JP6963177B2 - 発光装置の製造方法 - Google Patents

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Description

本開示は、発光装置の製造方法に関する。
液晶テレビ用バックライトや照明器具などの光源として、発光素子を備える発光装置が用いられている。このような発光装置として、発光素子の発光面に、蛍光体と樹脂とを含む蛍光体含有の樹脂部材が配置された構造が知られている(例えば、特許文献1)。
国際公開第2014/002784号
発光装置の製造方法では、発光装置を構成する一部材である樹脂部材を容易に載置する方法が望まれている。
本発明の実施形態に係る発光装置の製造方法は、以下の工程を備える。
第1面と、第1面の反対側の第2面と、を備える樹脂部材と、第1面上に配置され、樹脂部材よりも硬度が高い補強膜と、を備える透光性部材を準備する工程と、発光面と、発光面の反対側の電極面と、発光面と電極面との間の側面と、を備えた発光素子を準備する工程と、補強膜にコレットを当接させて透光性部材を吸着保持し、発光素子の発光面上に、透光性部材を載置する工程と、発光素子及び透光性部材を、被覆部材で埋設する工程と、透光性部材の少なくとも一部が露出するように、被覆部材の一部を除去する工程と、を含む。
本発明の実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、樹脂部材を載置する際に容易に取り扱うことができる。
実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図1AのIB−IB線における概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図2AのIIB−IIB線における概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図3AのIIIB−IIIB線における概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図6AのVIB−VIB線における概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図7AのVIIB−VIIB線における概略断面図である。 実施形態1の変形例を示す概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図8AのVIIIB−VIIIB線における概略断面図である。 実施形態1の発光装置の製造方法で得られる発光装置の一例を示す概略断面図である。 実施形態2の発光装置の製造方法で得られる発光装置の一例を示す概略断面図である。 実施形態2の発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。 実施形態2の発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。 実施形態2の変形例を説明する概略断面図である。 実施形態2の発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。 実施形態2の発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。 実施形態2の発光装置の製造方法を説明する概略断面図である。
以下、本発明の実施形態について適宜図面を参照して説明する。ただし、以下に説明する発光装置及びその製造方法は、実施形態の技術的思想を具現化するためのものであって、以下に限定するものではない。特に、構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、単なる説明例であり、説明を明確にするために誇張していることがある。以下に記載される実施形態は、各構成等を適宜組み合わせて適用できる。また、樹脂部材、補強膜、透光性部材、被覆部材は、これらの硬化工程の前後や個片化工程の前後において、同じ名称を用いて説明する場合がある。
<実施形態1>
図9は、実施形態1に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置100の一例である。発光装置100は、発光素子6と、透光性の樹脂部材2と、光反射性の被覆部材8と、を備える。樹脂部材2は発光素子6の発光面T上に配置され、被覆部材8は、発光素子6の側面及び樹脂部材2の側面を被覆するように配置される。このような構成の発光装置100の製造方法について、以下、説明する。
実施形態1の発光装置100の製造方法は、主として以下の工程を備える。
(1)第1面Qと、第1面Qの反対側の第2面Rと、を備える樹脂部材2と、第2面R上に配置され、樹脂部材2よりも硬度が高い補強膜3と、を備える透光性部材4を準備する工程
(2)発光面Tと、発光面Tの反対側の電極形成面Vと、発光面Tと電極形成面Vとの間の側面Wと、を備えた発光素子6を準備する工程
(3)補強膜3にコレット12を当接させて透光性部材4を吸着保持し、発光素子6の発光面T上に、透光性部材4を載置する工程
(4)発光素子6及び透光性部材4を、被覆部材8で埋設する工程
(5)透光性部材4の少なくとも一部が露出するように、被覆部材8の一部を除去する工程
を含む。
実施形態1の発光装置100の製造方法を、図1A〜図8Bを用いて説明する。
(1)透光性部材4を準備する工程
第1面Qと、第1面Qの反対側の第2面Rと、を備えた樹脂部材2を準備する。樹脂部材2の詳細については、後述する。
支持部材1の上面と、樹脂部材2の第1面Qとを対向させるようにして、支持部材1の上面Z上に樹脂部材2を配置する。ここでは、後に切断することで複数の個片化された樹脂部材2が得られるような大きさの大面積の樹脂部材2を配置する。
詳細には、図1A及び図1Bに示すように、樹脂部材2を支持部材1の上面Z上に配置する。支持部材1は、例えば、樹脂シートを用いることができる。支持部材1は、個片化前の樹脂部材2を配置できる大きさとすることができる。樹脂部材2は、例えば、支持部材1の上面Z上に、樹脂部材2の材料となる硬化前の樹脂材料を印刷、スプレー等によって直接形成することができる。あるいは、上述の方法や、金型を用いた成形等によって別途形成した樹脂部材2を、支持部材1上に載置してもよい。
支持部材1の上面Z上に樹脂部材2を載置する場合、例えば、粘着層を有する支持部材1の上面Z上に樹脂部材2を固定することができる。このような粘着層を有する支持部材1として、例えば、UV硬化型の粘着層を有するダイシングテープ等の当該分野で公知のものを用いることができる。
樹脂部材2は、例えば、ショアA硬度15〜65の硬さであり、単層、又は、複数の層を備える積層体を用いることができる。樹脂部材2は、発光装置100の光取り出し面を構成する部材であるため、透過率の高い材料が選択される。さらに耐光性や耐熱性に優れる材料も適している。そのため、取扱いにくい硬さの材料等が選択されることがある。例えば、シリコーン系樹脂は、光学特性に優れた材料であり、発光装置の発光面を構成するのに適した材料である。しかしながら、シリコーン系樹脂は、軟らかくタック性が高いため、工程内等において取扱いにくい(ハンドリングが難しい)場合がある。実施形態1では、このような取扱いにくい樹脂部材2に補強膜3を形成することで、取扱い易い透光性部材4としている。詳細には、樹脂部材2に、それよりも硬度の高い補強膜3を付けることで、樹脂部材2のみの場合に比して硬度の高い透光性部材4とすることで工程内での取扱い性を良好にしている。これにより、予期せぬ部分への樹脂部材2引っ付き等を抑制することができ、歩留の低下を抑制することができる。
樹脂部材2の厚みは、例えば、50μm〜250μmとすることができる。樹脂部材2を積層させる場合は、その合計の厚みが、上記の範囲とすることができる。
大面積の樹脂部材2の平面形状は、円形、楕円形、三角形、四角形及び六角形等の多角形等のいずれであってもよい。また、樹脂部材2の厚みは、目的とする配光特性や樹脂部材2の特性等に応じて、適宜選択することができる。図1Aは、樹脂部材2の一例として、平面形状が矩形の樹脂部材2を図示している。
次に、樹脂部材2の第1面R上に補強膜3を形成する。補強膜3は、樹脂部材2よりも硬度の高い膜である。これにより、樹脂部材2と補強膜3とが積層された構造の透光性部材4が得られる。この時点では、個片化されていない大面積の透光性部材4である。
補強膜3は、図2Bに示すように、大面積の樹脂部材2の側面及び、樹脂部材2が配置されていない支持部材1の上面Z上に形成してもよい。
補強膜3の材料としては、金属材料や、樹脂材料、無機材料等が挙げられる。
金属材料は、原子層堆積法(ALD)、CVD、スパッタ、蒸着、箔を貼り合わせる、のいずれかで形成することができる。特に、スパッタによれば容易に補強膜3を形成することができる。
樹脂材料は、塗布、スプレー、板やシートの貼り合わせ、のいずれかで形成することができる。
無機材料は、ALD、CVD、スパッタ、蒸着、板やシートの貼り合わせ、のいずれかで形成することができる。
次に、大面積の透光性部材4を個片化する。具体的には、図3A及び図3Bに示すように、透光性部材4を、上面視において直交する縦切断ライン及び横切断ラインに沿って切断(除去部5を除去)し、透光性部材4を個片化して所望の大きさとする。透光性部材4の個片化の方法は、当該分野で公知の切断方法、例えば、ブレードを用いたブレードダイシングや、レーザダイシング、カッタースクライブ、ドリル、マスクを用いてのブラスト等を利用することができる。
個片化された透光性部材4の平面形状は、円形、楕円形、三角形、四角形及び六角形等の多角形等のいずれであってもよい。
(2)発光素子を準備する工程
次に、発光素子6を準備する。発光素子6は、少なくとも発光層を含む半導体層を含む半導体積層構造体6cと、正負一対の電極6a、6bを有する。発光素子6は、発光面Tと、発光面Tの反対側であって、電極6a、6bが形成された電極面Vと、発光面Tと電極面Vとの間の側面Wと、を備える。図5は、後述の透光性部材4を載置する工程後の図面であるが、この図5に示すように、発光素子6の電極面Vと支持部材7の上面Uと対向させて配置する。このように、ウエハ状態から個片化された発光素子6は、例えば、発光特性等の選別を行った後に、所望の特性を有するものを選択的に用いることで、歩留まりよく発光装置を形成することができる。
発光素子6の平面形状は、円形、楕円形、三角形、四角形及び六角形等の多角形等のいずれであってもよい。また、発光素子6の大きさ及び厚みは、適宜選択することができる。図5では、一例として平面形状が矩形の発光素子6を用いている。
(3)透光性部材4を載置する工程
図4に示すように、真空吸着可能なコレット12を、個片化された透光性部材4の補強膜3に当接させる。コレット12で透光性部材4を吸着することで、支持部材1から透光性部材4を取り外してピックアップする。透光性部材4を保持した状態でコレット12を移動させる。その後、図5に示すように、支持部材7に配置された発光素子6の発光面T上に、透光性部材4を載置する。
図5に示すように、支持部材7の上面U上に、あらかじめ発光素子6を配置している。複数の発光素子6を、等間隔で列状又は行状に配置することで、後工程において被覆部材8を切断し易い。特に、上面視形状が矩形の発光素子6を用い、隣接する発光素子6の側面W同士が平行となるように配置することで、被覆部材8を切断し易い。
尚、発光素子6の発光面T上には、透光性部材4を載置する前に、あらかじめ接着剤を配置しておくことが好ましい。接着剤としては、例えば、透光性の樹脂等を用いることができる。特に、透過率の高い樹脂を用いることが好ましい。具体的には、シリコーン樹脂等が挙げられる。
(4)被覆部材を形成する工程
次に、被覆部材8を形成する。図6A及び図6Bに示すように、発光素子6の側面Wと、透光性部材4の側面と、を被覆する被覆部材8を形成する。具体的には、支持部材7の上面Uに、配置された複数の発光素子6の側面Wと、透光性部材4の側面と透光性部材4の上面を被覆する被覆部材8を形成する。また、被覆部材8は、発光素子6の電極面V及び電極6a、6bの側面も被覆することが好ましい。これにより、被覆部材8と発光素子6の剥離や、発光素子6の損傷を抑制することができる。ここでは、複数の発光素子6及び透光性部材4を、一体的に被覆するように被覆部材8を形成する例を示している。
被覆部材8は、光反射性の樹脂材料である。被覆部材8は、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、スクリーン印刷、ポッティング、スプレー等の方法で形成することができる。特に、発光素子6の上に透光性部材4を載置した積層構造体を、比較的狭い間隔で配置させる場合は圧縮成形、コンプレッションモールド、トランスファーモールド等の金型を用いた成形方法が好ましい。これにより、狭い空間領域にも被覆部材8を形成することができる。
(5)透光性部材4を露出させる工程
次に、図7A及び図7Bに示すように、発光素子6の上方に配置される被覆部材8及び補強膜38の一部(発光素子の上方に配置される除去部9)を除去することで、透光性部材4を被覆部材8の表面(上面)から露出させる。これにより、発光素子6から出力される光を、透光性部材4を介して発光装置100の外へ出力することができる。尚、補強膜3が透光性の場合は、図7Cに示すように、補強膜3の一部又は全部を残してもよい。このような透光性の補強膜3としては、ガラスや、SiO膜などが挙げられる。
透光性部材4の露出は、研削、ルーター、切断、エッチングなどの方法を用いることができる。発光装置から出力される光をできるだけ均一に出力する為に、この工程においては被覆部材8と透光性部材4との上面が略同一平面となるように平坦とすることが好ましい。このような観点および量産性を向上させる観点から、透光性部材4を露出する方法は、研削が好ましい。
(6)発光装置の個片化
次に、被覆部材8の一部を除去することで、個片化された発光装置を得る。具体的には、図8A及び図8Bに示すように、支持部材7の上面Uに配置された複数の発光素子6と透光性部材4の積層構造体の間の被覆部材8を、透光性部材4の被覆部材8から露出した部分に対して略垂直に交差する方向に切断する。これにより、発光装置を個片化することができる。
発光装置を個片化するための被覆部材8の一部除去は、当該分野で公知の切断方法、例えば、ブレードを用いたブレードダイシングや、レーザダイシング、カッタースクライブ、ドリル、マスクを用いてのブラスト等を利用することができる。
なお、発光装置の個片化は、上述の透光性部材4の露出工程の前に行ってもよい。透光性部材4の露出工程後に個片化する場合は、露出された透光性部材4の位置をカメラで確認しながら切断(除去部10を除去)することができるため、発光装置の量産性や切断位置の精度を高めることができ好ましい。また、被覆部材8を成形する際に、1つの透光性部材4及び1つの発光素子6を被覆するよう成形する場合は、上述の個片化工程(切断工程)を省略することができる。
<実施形態2>
図10は、実施形態2に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置100Aの一例である。発光装置100Aは、発光素子6と、透光性の樹脂部材2と、樹脂部材2の側面Sに配置される補強膜3Aと、光反射性の被覆部材8と、を備える。樹脂部材2は発光素子6の発光面T上に配置され、被覆部材8は、発光素子6の側面及び補強膜3Aの側面を被覆するように配置される。このような構成の発光装置100Aの製造方法について、主に実施形態1と異なる点について説明する。
実施形態2の発光装置100Aの製造方法は、実施形態1における透光性部材4を準備する工程において、樹脂部材2を切断した後に、樹脂部材2の第2面R上の補強膜3及び樹脂部材2の側面S上の補強膜3Aを形成する点が異なる。そのため、樹脂部材2の第2面R上に加え、樹脂部材2の側面S上にも補強膜3Aが配置される。
まず、図1A、図1Bに示すように、支持部材1の上面Z上に樹脂部材2を配置する工程は、実施形態1と同様である。ここでは、後に切断することで複数の個片化された樹脂部材2が得られるような大きさの大面積の樹脂部材2を配置する。
次に、図11に示すように、樹脂部材2の一部を除去することで、個片化された樹脂部材2が得られる。樹脂部材2の平面形状は、円形、楕円形、三角形、四角形及び六角形等の多角形等のいずれであってもよい。
個片化された樹脂部材2と隣接する樹脂部材2との間隔は、任意に設定することができる。例えば、隣接する樹脂部材2の間隔は、補強膜3Aの厚み以上であることが好ましく、例えば、0.1μm〜300μm程度とすることができる。このような間隔を空けて配置することで、後の工程において補強膜3Aを形成する工程において、樹脂部材2の側面Sに、補強膜3Aを形成し易い。また、透光性部材4のハンドリングがしやすく、効率よく発光装置を製造することができる。
次に、図12Aに示すように、補強膜3、3Aを形成する。このとき、樹脂部材2の第2面R及び側面Sに連続する補強膜3、3Aが形成される。樹脂部材2の間に露出している支持部材1の上面Z上にも補強膜3Aが形成される。支持部材1上の補強膜は、除去することが好ましい。特に、補強膜3、3Aとして展性の高い金属材料を用いる場合は、支持部材1上の補強膜が引っ付いたまま、透光性部材4Aをピッククアップする可能性があるため、除去することが好ましい。補強膜3、3Aとして、例えば、SiO等をスパッタで形成した場合などは、支持部材1上の補強膜と、樹脂部材2の側面Sに形成された補強膜3Aとの間で切断され易いため、支持部材1上の補強膜を除去する工程を省略することができる。
また、補強膜3、3Aとして、例えば、光反射性の樹脂材料を用いる場合は、図12Bに示すように、隣接する樹脂部材2の間を充填するような厚みの補強膜3Aとしてもよい。このような場合は、支持部材上の補強膜3Aを切断する工程を備えることで、透光性部材4Aを形成することができる。
以上のようにして形成された透光性部材4Aを、コレットを用いてピックアップし、図13に示すように発光素子6上に載置する。次に、透光性部材4A及び発光素子6を、図14に示すように被覆部材8で被覆する。次に、図15に示すように、被覆部材8と、樹脂部材2の上面に形成された補強膜3とを除去した後、被覆部材8を切断することで、図10に示す発光装置100Aを得ることができる。
以下、実施形態の発光装置及びその製造方法における各構成部材について説明する。
(支持部材1、7)
支持部材1は、シート状の樹脂、セラミックス、ガラス等を用いることができる。特に、耐熱性の観点から、シート状のUVシートを用いることが好ましい。支持部材1の平面形状、大きさ、厚み等は、配置する樹脂部材2の大きさや数によって適宜調整することができる。特に、均一な厚みを有し、その表面が平坦なシート状の支持部材1であると、樹脂部材2を安定的に配置しやすく好ましい。
(樹脂部材2)
樹脂部材2は、透光性部材4、4Aの一部を構成する部材であり、発光素子から出射される光に対して透光性(例えば光透過率50%以上、好ましくは70%以上、より好ましくは85%以上)を有するものであればよい。樹脂部材2の母材は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、又はこれらの変性樹脂若しくはハイブリッド樹脂を用いることができる。なかでも、シリコーン樹脂又はその変性樹脂若しくはハイブリッド樹脂は、耐熱性及び耐光性に優れ、好ましい。樹脂部材2は、これらの母材のうちの1種を単層で、若しくはこれらの母材のうちの2種以上を積層して構成することができる。
(補強膜3、3A)
補強膜3、3Aは、透光性部材4、4Aの一部を構成する部材であり、材料によっては、発光装置の一部を構成する部材である。補強膜3、3Aの材料としては、例えば、金属材料や、樹脂材料、無機材料等が挙げられる。補強膜3、3Aは、強度の観点から、金属材料の単体又は合金、樹脂材料を用いることが好ましい。特に、補強膜3、3Aに用いられる金属材料としては、銀、アルミニウム、又はこれらの合金が好ましい。金属材料からなる補強膜3、3Aの厚みは、例えば、1μm〜10μmとすることができる。また、金属材料からなる補強膜3、3Aの硬度は、例えば、HV22〜388である。
補強膜3、3Aに用いられる樹脂材料としては、樹脂材料としては、熱可塑性樹脂、又は、熱硬化性樹脂のいずれでもよい。例えば、アクリル樹脂、ABS樹脂、フッ素樹脂であることが好ましい。また、補強膜3、3Aの厚さは、ピックアップする為に十分な強度を確保できればよいが材料損失を考慮すると1nm〜100nmであることが好ましい。このような比較的薄い補強膜であれば、小型の発光装置を形成することができる。また、透光性、光反射性のいずれでもよい。樹脂材料からなる補強膜3の厚みは材料等にもよるが、例えば、10μm〜150μmとすることができる。また、樹脂材料からなる補強膜3の硬度は、例えば、ショアD硬度14〜28である。また、補強膜として用いられる樹脂材料は、透光性又は光反射性とすることができる。
補強膜3、3Aに用いられる無機材料としては、例えば、ガラス、セラミックス等が挙げられる。無機材料からなる補強膜3、3Aの厚みは、例えば、1μm〜10μmとすることができる。また、無機材料からなる補強膜3、3Aの硬度は、例えば、HV640〜2300である。
(発光素子6)
発光素子6は、当該分野で一般的に用いられる発光ダイオード、レーザダイオード等を用いることができる。例えば、窒化物系半導体(InAlGa1−X−YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)、GaP、GaAsなどのIII−V族化合物半導体、ZnSe、II−VI族化合物半導体等、種々の半導体を利用することができる。なお、発光素子6は、半導体層を成長させるための基板を有していてもよい。基板としては、サファイア等の絶縁性基板、SiC、ZnO、Si、GaAs、ダイヤモンド、窒化物半導体と格子接合するニオブ酸リチウム、ガリウム酸ネオジム等の酸化物からなる基板が挙げられる。なお、基板はレーザリフトオフ法等を利用して除去されていてもよい。
(被覆部材8)
被覆部材8は、例えば、母材である樹脂に光反射性又は光吸収性物質を含有させた材料により形成することができる。これにより、被覆部材8を所望の形状に成形しやすい。樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、変性ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリレート樹脂、ユリア樹脂、アクリル樹脂、ポリフタルアミド(PPA)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、液晶ポリマー(LCP)等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上の樹脂を組み合わせて用いてもよい。特に、耐熱性、耐光性の観点から、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、又はハイブリッドシリコーン樹脂が好ましい。また、接着性の観点から、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、ハイブリッドエポキシ樹脂が好ましい。なお、被覆部材8の厚み(発光素子6の側面から発光装置の側面までの距離)は、例えば10μm〜100μmとすることで、主発光面Q以外からの発光素子の光を十分に遮光しつつ、小型の発光装置を形成することができる。
光反射性又は光吸収性物質としては、例えば、セラミックス、二酸化チタン、二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ムライト、酸化ニオブ、酸化亜鉛、硫酸バリウム、各種希土類酸化物(例えば、酸化イットリウム、酸化ガドリニウム)等が挙げられる。光反射性又は光吸収性物質は、被覆部材の全重量において、約20重量%〜80重量%程度含有されていることが好ましく、約30重量%〜70重量%程度がより好ましい。これにより、被覆部材の遮光性及び強度を確保することができる。
本発明の実施形態に係る発光装置は、照明用光源、各種インジケーター用光源、車載用光源、ディスプレイ用光源、液晶のバックライト用光源、センサー用光源、信号機等、種々の発光装置に使用することができる。
1 支持部材
Z 支持部材の上面
2 樹脂部材
Q 第1面
R 第2面
S 側面
3、3A 補強膜
4、4A 透光性部材
5 除去部
6 発光素子
6a、6b 発光素子の電極
6c 半導体積層構造体
T 発光面
V 電極形成面
W 側面
7 支持部材
U 支持部材の上面
8 被覆部材
9 除去部
10 除去部
12 コレット
100、100A 発光装置

Claims (7)

  1. 第1面と、前記第1面の反対側の第2面と、側面と、を備える透光性の樹脂部材と、前記第2面及び前記側面に連続して配置され、前記樹脂部材よりも硬度が高い補強膜と、を備える中間体を準備する工程と、
    発光面と、前記発光面の反対側の電極面と、前記発光面と前記電極面との間の側面と、を備えた発光素子を準備する工程と、
    前記補強膜にコレットを当接させて前記中間体を吸着保持し、前記発光素子の前記発光面上に、前記を載置する工程と、
    前記発光素子及び前記中間体を、被覆部材で埋設する工程と、
    前記樹脂部材の前記第2面上の前記補強膜を除去して前記樹脂部材が露出するように前記被覆部材の一部を除去する工程と、
    を含む発光装置の製造方法。
  2. 前記中間体を準備する工程は、前記樹脂部材を切断した後、前記樹脂部材の前記第2面及び側面に連続する前記補強膜を形成して前記中間体を得る工程を含む、請求項1記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記樹脂部材の前記第2面上の前記補強膜を除去して前記樹脂部材が露出するように前記被覆部材の一部を除去する方法は、研削、ルーターのいずれかの方法を用いる、請求項1又は請求項2に記載の発光装置の製造方法。
  4. 前記補強膜は金属材料であり、前記補強膜を形成する工程は、スパッタ、蒸着、箔、塗布のいずれかの方法を用いる、請求項2又は請求項3に記載の発光装置の製造方法。
  5. 前記補強膜は、厚みが1μm〜10μmである、請求項4記載の発光装置の製造方法。
  6. 前記補強膜は樹脂材料であり、前記補強膜を形成する工程は、塗布、スプレー、シートの貼り合わせのいずれかの方法を用いる、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
  7. 前記樹脂部材は、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、ハイブリッドシリコーン樹脂、のうちいずれか1つである請求項1〜請求項6に記載の発光装置の製造方法。
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