JP7007561B2 - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、発光装置及びその製造方法に関する。

従来、液晶テレビ用バックライトや照明器具などの光源として、発光素子を備える発光装置が広く用いられている。このような発光装置として、ＬＥＤ素子から出力される光の取り出し効率を向上させるため、白色セラミック製の枠体を備えた板状透明部材を備えた構造が提案されている（例えば、特許文献１）。

特開２０１２－１３４３５５公報

今後もさらなる光取り出し効率がよい小型の発光装置が要求されている

本発明の実施形態の発光装置の製造方法は、以下の構成を含む。
第１面と、第１面の反対側の第２面と、第１面と第２面との間の側面と、を備える複数の透光性部材を、支持部材１の上面と第１面を対向させ、且つ、互いに離間して配置させる工程と、透光性部材の第２面上及び側面上に金属膜を形成する工程と、透光性部材の第２面に形成された金属膜を除去し、側面に金属膜を備えた金属膜付透光性部材を形成する工程と、発光面と、発光面の反対側の電極形成面と、発光面と電極形成面との間の側面と、を備えた発光素子を、金属膜付透光性部材の前記透光性部材の第２面と、発光素子の発光面とを対向して配置する工程と、発光素子の側面と、金属膜付透光性部材の側面と、を被覆する被覆部材を形成する工程と、を含む発光装置の製造方法。

本発明の実施形態の発光装置は、以下の構成を含む。
第１面と、第１面の反対側の第２面と、第１面と第２面との間の側面と、を備えた透光性部材と、発光面と、発光面の反対側の電極形成面と、発光面と電極形成面との間の側面と、を備え、発光面が透光性部材の第１面と対向して配置された発光素子と、透光性部材の側面上に配置された側面部と、第２面側において側面部から側方に延伸した延伸部とを有する金属膜と、発光素子の側面と、金属膜の側面部の側面と、を被覆する被覆部材と、を備える発光装置。

本発明の一実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、光取り出し効率のよい小型の発光装置を製造することができる。

一実施形態の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図１ＡのＩＢ－ＩＢ線における概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図２ＡのＩＩＢ－ＩＩＢ線における概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ線における概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線における概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図５ＡのＶＢ－ＶＢ線における概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法を説明する概略平面図である。 図６ＡのＶＩＢ－ＶＩＢ線における概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法で得られる発光装置の一例を示す概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法で得られる発光装置の一例を示す概略断面図である。 一実施形態の発光装置の製造方法で得られる発光装置の一例を示す概略断面図である。 一実施形態の金属膜付透光性部材の一例を示す概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について適宜図面を参照して説明する。ただし、以下に説明する発光装置及びその製造方法は、実施形態の技術的思想を具現化するためのものであって、以下に限定するものではない。特に、構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、説明を明確にするために誇張していることがある。以下に記載される実施形態は、各構成等を適宜組み合わせて適用できる。

＜実施形態１＞
図７は、実施形態に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置１００の一例である。発光装置１００は、発光素子５と、透光性部材２と、被覆部材６と、金属膜３と、を備える。透光性部材２は発光素子５の発光面上に配置され、被覆部材６は、発光素子５の側面に配置される。金属膜３は、透光性部材２の側面に配置される側面部３１と、被覆部材６の上面に延伸する延伸部３２と、を備える。このような構成の発光装置１００の製造方法について、以下、説明する。尚、透光性部材２と金属膜３とを合わせて、金属膜付透光性部材１０とも称する。

実施形態１の発光装置の製造方法は、図１Ａ～図６Ｂに示すように、１）支持部材１の上面に透光性部材２の第１面Ｑを配置する工程と、２）透光性部材２の第２面Ｒ上及び側面Ｔ上に金属膜３を形成する工程と、３）透光性部材２の第２面Ｒに形成された金属膜３を除去し、透光性部材２の側面Ｔに金属膜３を備えた金属膜付透光性部材１０を形成する工程と、４）発光素子５を、その発光面を金属膜付透光性部材１０の第２面Ｒ’と対向させて配置する工程と、５）発光素子５の側面と、金属膜付透光性部材１０の側面と、を被覆する被覆部材６を形成する工程と、を含む。

本実施形態１の発光装置の製造方法に係る各工程は、例えば、下記のようにして行うことができる。

１．支持部材１上に透光性部材２を配置する工程
透光性部材２の第１面Ｑを、支持部材１の上面と対向させて配置する工程を行う。なお、本実施形態１では、複数の透光性部材２を、互いに離間させて、透光性部材２の第１面Ｑを支持部材１の上面と対向させて配置する。この工程は、例えば下記のように行うことができる。

図１Ａ及び図１Ｂに示すように、複数の透光性部材２を、互いに離間させるように支持部材１上に配置する。透光性部材２は、例えば透光性部材の原反であるシート状透光性部材を支持部材１に載置し、ダイシング、リューター、カット金型、刃物等による切断を行い、形成することができる。また、予め所定の形状に形成された透光性部材２を支持部材１上に載置してもよい。透光性部材２は、色調特性等の選別を行い、所望の特性を有するものを用いることで、特性が均一な発光装置を歩留まりよく形成することができる。

透光性部材２の平面形状は、円形、楕円形、三角形、四角形及び六角形等の多角形等のいずれであってもよい。また、透光性部材２の大きさ及び厚みは、適宜選択することができる。実施形態１では、例えば、平面形状が四角形の透光性部材２を用いることができる。

実施形態１では、このような透光性部材２の第１面Ｑが支持部材１と接し、透光性部材２の第２面Ｒが支持部材１と反対側に配置されるように、複数の透光性部材２を離間させて支持部材１上に配置する。これにより、後の工程において金属膜を形成しやすく、さらに、透光性部材の第１面Ｑを露出させるように形成しやすい。

複数の透光性部材２が配置される間隔（隣接する透光性部材２との距離）は、少なくとも、後述において形成する金属膜３の厚みよりも大きいことが必要である。隣接する透光性部材２の、対向する２つの側面の両方に金属膜３を形成する場合は、透光性部材２の間隔は、少なくとも金属膜３の厚みの２倍以上であることが必要である。また、隣接する透光性部材２との距離の上限は特に限定されるものではなく、任意に設定することができる。透光性部材２は、発光素子５の配置精度、後の個片化工程における切断位置精度、被覆部材６の構成にもよるが、例えば、複数の透光性部材２を行列状に配置させ、縦方向及び横方向においてそれぞれ０．１μｍ～３００μｍ程度の間隔を空けて配置することができる。これにより、後の工程において第１面Ｑと第２面Ｒとの間の側面Ｔ、隣接する透光性部材２の側面Ｔとの間に露出されている支持部材１の上に、連続した金属膜３を形成し易い。尚、透光性部材２の側面Ｔに形成される金属膜３を側面部３１、支持部材１上に形成される金属膜３を延伸部３２とも称する。また、隣接する透光性部材２の間に露出された支持部材１は、透光性部材２の第１面Ｑの外周部とも称する。

支持部材１上に透光性部材２を配置する際、例えば、支持部材１が粘着層を備えていることで、透光性部材２をその粘着層で固定することができる。例えばＵＶ硬化型の粘着層を有する、ダイシングテープ等の当該分野で公知のものを支持部材１として用いることができる。

２．金属膜３を形成する工程
次に、透光性部材２の第２面Ｒ上と側面Ｔ上に金属膜３を形成する。金属膜３として、反射率の高い部材を用いることで、透光性部材２の発光面となる第１面Ｑから効率よく光を取り出すことができる。

上述のように、支持部材１上に配置された複数の透光性部材２のうち、第２面Ｒと側面Ｔとに連続する金属膜３を形成する。さらに隣接する透光性部材２間において露出されている支持部材１（透光性部材２の第１面Ｑの外周部）上にも、金属膜３を形成する。このように、金属膜３を、透光性部材２の側面Ｔと支持部材１の上面上に連続して形成することが好ましい。さらには、金属膜３を、複数の透光性部材２の側面Ｔ上と支持部材１の上面上に連続して形成することが好ましい。これにより、透光性部材２の側面Ｔと透光性部材２の第１面Ｑの外周部に金属膜３容易に形成することができる。

金属膜３は、ＡＬＤ、ＣＶＤ、スパッタ、蒸着等のいずれかの方法で形成することができる。中でも、スパッタによれば容易に金属膜３を形成することができる。特に、隣接する透光性部材２の間隔が比較的狭い場合は、スパッタを用いることが好ましい。なお、金属膜３は、一層でもよく、複数の層が積層された積層膜でもよい。また、複数の透光性部材２に対して、一括して金属膜３を形成してもよく、あるいは、複数回に分けて形成してもよい。

３．金属膜付透光性部材を形成する工程
次に、図３Ａ及び３Ｂに示すように、透光性部材２の第２面Ｒに形成された金属膜３を除去する。金属膜３の除去は、切削や研磨、切断、エッチング等によって行うことができる。透光性部材２の第２面Ｒ上の金属膜３を除去することで、透光性部材２を露出させることができる。これにより、側面Ｔに金属膜３を備えた金属膜付透光性部材１０を得ることができる。尚、金属膜３に加えて、透光性部材２の一部を除去してもよい。その場合、透光性部材２の第２面Ｒが除去されることになるが、新たに露出された透光性部材２の面も、第１面Ｑの反対側の面であるため、第２面Ｒと称する。また、透光性部材２の第２面Ｒを含む金属膜付透光性部材１０の面を、第２面Ｒ’と称する。

露出された透光性部材２と、金属膜３の側面部の上面とは、略同一面であることが好ましい。これにより、後の工程において設けられる被覆部材６と金属膜３間の密着性の低下を低減するため、この工程においては金属膜３と透光性部材２との上面が略同一平面となるように平坦とすることが好ましい。このような観点および量産性を向上させる観点から、研削によって透光性部材２及び金属膜３を露出させることが好ましい。

４．発光素子を配置する工程
次に、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、発光素子５を、その発光面と金属膜付透光性部材１０の第２面Ｒ’とが対向するように配置する。発光素子５は、少なくとも発光層を含む半導体層を含み、発光面と、発光面と反対側の面である電極形成面に正負一対の電極５ａ、５ｂを有する。このように、ウエハ状態から個々に分離した発光素子５を用いる。例えば特性の選別を行った後に、所望の特性を有するものだけを発光装置の製造に用いることで、バラつきの少ない発光装置を形成することができる。

発光素子５の平面形状は、円形、楕円形、三角形、四角形及び六角形等の多角形等のいずれであってもよい。また、発光素子５の大きさ及び厚みは、適宜選択することができる。実施形態１では、例えば、平面形状が四角形の発光素子５を用いることができる。

実施形態１では、このような発光素子５の電極５ａ、５ｂを上向きにして、金属膜付透光性部材１０の第２面Ｒ’上に配置することで、後の工程において被覆部材６を形成しやすい。さらに、発光素子５の電極５ａ、５ｂを露出させるように被覆部材６を形成しやすい。

金属膜付透光性部材１０の第２面Ｒ’上に発光素子５を配置する際、例えば、予め第２面Ｒ’上に接着剤を配置し、その接着剤の上に発光素子５を配置して固定することができる。接着剤としては、樹脂等の当該分野で公知のものを用いることができる。特に、透光性の高い樹脂を用いることが好ましい。例えば、ジメチルシリコーンや、フェニルシリコーン等のシリコーン樹脂を用いることが好ましい。

５．被覆部材６を形成する工程
次に、図５Ａ、図５Ｂに示すように、発光素子５と、金属膜付透光性部材１０とを一体的に覆う被覆部材６を形成する。

詳細には、少なくとも発光素子５の側面と、金属膜付透光性部材１０の側面と、を被覆する被覆部材６を形成する。また、支持部材１の上面上に形成された金属膜３（延伸部３２）も覆うように、被覆部材６を形成することが好ましい。

図５Ａ及び５Ｂに示すように、被覆部材６は、電極５ａ、５ｂを覆うように形成している。これにより、発光素子５の電極面を覆う被覆部材６を形成し易い。なお、被覆部材６は、少なくとも電極５ａ、５ｂの一部が露出されるように形成してもよい。

被覆部材６は、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、スクリーン印刷、ポッティング、スプレー等で成形することで形成できる。特に、隣接する発光素子５、あるいは、隣接する金属膜付透光性部材１０が、比較的狭い間隔で配置されている場合は、圧縮成形、コンプレッションモールド、トランスファーモールド等の金型を用いた成形方法が好ましい。なお、被覆部材６は、一括して形成してもよいし、複数回に分けて形成してもよい。

次に、図６Ａ、図６Ｂに示すように、被覆部材６の一部を除去し、発光素子５の電極５ａ、５ｂの上面を被覆部材６の表面（上面）から露出させる。これにより、発光素子５へ電気を供給する電極を形成することができる。被覆部材６と電極５ａ、５ｂの上面が略同一平面となるように平坦とすることが好ましい。これにより、発光装置１００を配線基板などに２次実装する際に、電極５ａ、５ｂと配線基板の配線との密着性の低下を抑制することができる。電極５ａ、５ｂの露出は、研削、切断、エッチングなどの方法を用いることができる。被覆部材６と電極５ａ、５ｂとを面一にするためには、研削が好ましい。

６．個片化
次に、被覆部材６と金属膜３の一部を除去することで、個片化された発光装置１００を形成する。具体的には、図６Ａ及び６Ｂに示すように、複数の発光素子５間の被覆部材６及び金属膜３をライン状に切断する。切断時には、切断に用いる切断刃等の幅に応じて、一定の幅の除去部８が除去される。これにより、個片化された発光装置１００を得ることができる。

被覆部材６の一部及び金属膜３の一部の除去は、当該分野で公知の切断方法、例えば、ブレードを用いたブレードダイシングや、レーザダイシング、カッタースクライブ、ドリル、マスクを用いてのブラスト等を利用することができる。

支持部材１上に配置する複数の透光性部材２（金属膜付透光性部材１０）とその上部配置される発光素子５の形状をそれぞれ同じとすると、被覆部材６の切断がしやすくなる。さらに、上面視において矩形の透光性部材２とその第２面Ｒ上に配置された発光素子５の側面が対向するように配置することで、効率的に被覆部材６と金属膜３の切断をし、発光装置の個片化を行うことができる。

なお、発光装置の個片化は、上述のように、一体成形された被覆部材６等の一部を除去して切断する方法のほか、被覆部材６の成形の際に同時に行われてもよい。例えば、被覆部材６を成形する金型で、発光素子５を被覆するとともに発光装置の４つの側面を有する形状に被覆部材６を形成してもよい。なお、発光装置の個片化は、上述の電極５ａ、５ｂの露出工程の前に行われてもよく、後で行われてもよい。発光素子５の電極５ａ、５ｂの露出工程の後で発光装置の個片化を行う場合、発光素子５の電極５ａ、５ｂの位置をカメラで確認しながら、被覆部材６の一部及び金属膜３の一部を除去することができるため、位置精度よく個片化することができ好ましい。

切断ライン（除去部８の位置）は、複数の透光性部材２及び発光素子５間にわたって連続した線状とすることが好ましい。これにより、切削や金型による成形によって容易に切断することができる。なお、発光装置に１つの発光素子を備える場合は、１つの発光素子の周囲を切断する。また、１つの発光装置に複数の発光素子５を有する場合は、その複数の発光素子を取り囲む領域で切断する。

以上の工程を経て、図７に示すような発光装置１００を得ることができる。このような構成を有する発光装置では、透光性部材２の側面Ｔ上に形成された金属膜３の側面部３１が透光性部材２の側面から漏れ出る光を遮光できる。さらに、透光性部材２の第１面Ｑの外周部に、金属膜３の延伸部３２を備えていることで、透光性部材２の第１面Ｑ以外から漏れ出る光を遮光でき、発光領域と非発光領域とのコントラストが大きくすることができる。

また、発光装置２００として、図８に示すような、金属膜付透光性部材１０の第２面Ｒ’上にレンズ９を備えていてもよい。その場合、レンズ９を、透光性部材２の第１面Ｑ及び金属膜３の上面を被覆するように形成することが好ましい。これにより、金属膜３の上面が剥離又は損傷することを抑制することができる。なお、レンズ９の形成は、発光装置の個片化の前であってもよいし、後であってもよい。

＜実施形態２＞
図９は、実施形態２に係る発光装置の製造方法で得られる発光装置３００の一例である。発光装置３００は、発光素子５と、透光性部材２と、被覆部材６と、金属膜３と、を備える。実施形態１に係る発光装置１００では、図７に示すように、金属膜３が側面部３１と側面部３２の上端から側方に向かって延伸する延伸部３２とで構成されているのに対し、実施形態２では、金属膜３が側面部３１のみである点が異なる。そのため、発光装置２００の上面において、透光性部材２の周囲に金属膜３が枠状に配置され、その外周には被覆部材６の上面が配置される。これにより、光学特性として発光領域と非発光領域とのコントラスト差が大きくなり光束がアップし、レンズ底面に反射効率のよい金属膜３の延伸部３２を配置することにより、レンズ内に滞留する光の出力効率がアップする。

このような、発光装置３００は、実施形態１で示した製造方法において、図３Ｂに示すように、離間した透光性部材２の第２面Ｒ上の金属膜３を除去して透光性部材２を露出させる工程の後に、金属膜３の延伸部３２に相当する部分を除去する工程を含むことで得られる。詳細には、図１０に示すように、透光性部材２の側面に、金属膜３の側面部３１のみを備えた金属膜付透光性部材１０Ａとする工程を備え、その後の工程は、実施形態１と同じ方法で工程を行うことで、発光装置３００を得ることができる。

また、実施形態１では、延伸部３２を備える金属膜付透光性部材１０の上に、発光素子５を載置する工程を例に挙げたが、実施形態２に示すような、延伸部を備えない金属膜付透光性部材１０Ａは、この部材を単体で取り扱うことができる。連続して形成した金属膜３の延伸部３２を除去することで、個片化された金属膜付透光性部材１０Ａを得ることができるため、これを発光素子５の発光面の上に載置することができる。

以下、実施形態の発光装置及びその製造方法における各構成部材について説明する。

（支持部材１）
支持部材１は、シート状の樹脂、セラミックス、ガラス等を用いることができる。特に、耐熱性の観点から、シート状のポリイミド樹脂を用いることが好ましい。支持部材１の平面形状、大きさ、厚み等は、配置する透光性部材２の大きさや数によって適宜調整することができる。特に、均一な厚みを有し、その表面が平坦なシート状の支持部材１であると、透光性部材２を安定的に配置しやすく好ましい。

（透光性部材２）
透光性部材２は、発光素子から出射される光に対して透光性（例えば光透過率５０％以上、好ましくは７０％以上、より好ましくは８５％以上）を有するものであればよい。透光性部材２の母材は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、又はこれらの変性樹脂若しくはハイブリッド樹脂を用いることができる。なかでも、シリコーン樹脂又はその変性樹脂若しくはハイブリッド樹脂は、耐熱性及び耐光性に優れ、好ましい。ガラスでもよい。透光性部材２は、これらの母材のうちの１ 種を単層で、若しくはこれらの母材のうちの２種以上を積層して構成することができる。このほか、透光性部材２は、蛍光体と無機物（例えばアルミナ）との焼結体、又は蛍光体の板状結晶などを用いることができる。

（金属膜３）
金属膜３の材料としては、反射率の高い金属又は合金を用いることができる。特に、金属膜３は、銀、アルミニウム、又はこれらの合金であることが好ましい。また、金属膜３の厚さは、１ｎｍ～１００ｎｍであることが好ましい。このような比較的薄い金属膜であれば、小型の発光装置を形成することができる。

（発光素子５）
発光素子５は、当該分野で一般的に用いられる発光ダイオード、レーザダイオード等を用いることができる。例えば、窒化物系半導体（Ｉｎ_ＸＡｌ_ＹＧａ_{１－Ｘ－Ｙ}Ｎ、０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）、ＧａＰ、ＧａＡｓなどのＩＩＩ－Ｖ族化合物半導体、ＺｎＳｅ、ＩＩ－ＶＩ族化合物半導体等、種々の半導体を利用することができる。なお、発光素子５は、半導体層を成長させるための基板を有していてもよい。基板としては、サファイア等の絶縁性基板、ＳｉＣ、ＺｎＯ、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ダイヤモンド、窒化物半導体と格子接合するニオブ酸リチウム、ガリウム酸ネオジム等の酸化物からなる基板が挙げられる。なお、基板はレーザリフトオフ法等を利用して除去されていてもよい。

（被覆部材６）
被覆部材６は、例えば、母材である樹脂に光反射性又は光吸収性物質を含有させた材料により形成することができる。これにより、被覆部材６を所望の形状に成形しやすい。樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、変性ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリレート樹脂、ユリア樹脂、アクリル樹脂、ポリフタルアミド（ＰＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上の樹脂を組み合わせて用いてもよい。特に、耐熱性、耐光性の観点から、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、又はハイブリッドシリコーン樹脂が好ましい。また、接着性の観点から、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、ハイブリッドエポキシ樹脂が好ましい。なお、被覆部材６の厚み（発光素子５の側面から発光装置の側面までの距離）は、例えば１０μｍ～１００μｍとすることで、主発光面Ｑ以外からの発光素子の光を十分に遮光しつつ、小型の発光装置を形成することができる。

被覆部材に含有されるフィラーとしては、例えば、セラミックス、二酸化チタン、二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ムライト、酸化ニオブ、酸化亜鉛、硫酸バリウム、各種希土類酸化物（例えば、酸化イットリウム、酸化ガドリニウム）等が挙げられる。光反射性又は光吸収性物質は、被覆部材の全重量において、約２０ｗｔ％～８０ｗｔ％程度含有されていることが好ましく、約３０ｗｔ％～７０ｗｔ％程度がより好ましい。これにより、被覆部材の遮光性及び強度を確保することができる。

（レンズ９）
レンズ９は、透光性部材２を経由した発光素子から出射される光に対して透光性（ 例えば光透過率５０ ％ 以上、好ましくは７０ ％ 以上、より好ましくは８５ ％ 以上） を有するものであればよい。レンズの母材は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、又はこれらの変性樹脂若しくはハイブリッド樹脂を用いることができる。なかでも、シリコーン樹脂又はその変性樹脂若しくはハイブリッド樹脂は、耐熱性及び耐光性に優れ、好ましい。ガラスでもよい。レンズ９は、これらの母材のうちの１ 種を単層で、若しくはこれらの母材のうちの２ 種以上を積層して構成することができる。

本発明の実施形態に係る発光装置は、照明用光源、各種インジケーター用光源、車載用光源、ディスプレイ用光源、液晶のバックライト用光源、センサー用光源、信号機等、種々の発光装置に使用することができる。

１ 支持部材
２ 透光性部材（Ｑ 第１面、Ｒ 第２面、Ｔ 側面）
３ 金属膜（３１ 金属膜の側面部、３２ 延伸部）
５ 発光素子（５ａ、５ｂ 発光素子の電極）
６ 被覆部材
８ 除去部
９ レンズ
１０ 金属膜付透光性部材（Ｒ’ 第２面）
１００、２００、３００ 発光装置

Claims (15)

1. 第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間の側面と、を備える複数の透光性部材を、支持部材の上面と前記第１面とが接するように対向させ、且つ、複数の前記透光性部材を互いに離間して配置させる工程と、
   前記透光性部材の前記第２面上及び前記側面上に金属膜を形成する工程と、
   前記透光性部材の前記第２面に形成された前記金属膜を除去し、前記側面に前記金属膜を備えた金属膜付透光性部材を形成する工程と、
   発光面と、前記発光面の反対側の電極形成面と、前記発光面と前記電極形成面との間の側面と、を備えた発光素子を、前記金属膜付透光性部材の前記透光性部材の前記第２面と、前記発光素子の前記発光面を対向して配置する工程と、
   前記発光素子の前記側面と、前記金属膜付透光性部材の前記側面と、を被覆する被覆部材を形成する工程と、
   前記支持部材を除去することで、前記透光性部材と、その周囲に前記金属膜が枠状に配置された前記金属膜付透光性部材を含む上面を備える発光装置とする工程と、を含む発光装置の製造方法。
2. 前記金属膜を、前記透光性部材の前記側面上と前記支持部材の前記上面上に連続して形成する請求項１に記載の発光装置の製造方法。
3. 前記被覆部材を、前記支持部材の前記上面上に形成された前記金属膜を被覆させて形成する、請求項２に記載の発光装置の製造方法。
4. 前記発光素子間の前記被覆部材及び前記金属膜をライン状に切断する工程を含む、請求項３に記載の発光装置の製造方法。
5. 前記支持部材の前記上面上の前記金属膜を除去し、前記透光性部材の前記側面のみに前記金属膜を備えた前記金属膜付透光性部材を形成する請求項２に記載の発光装置の製造方法。
6. 前記金属膜を、スパッタで形成する、請求項１から５のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
7. 前記金属膜は、銀、アルミニウム、又はこれらの合金である、請求項１から６のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
8. 前記金属膜の厚さは、１ｎｍ～１００ｎｍである、請求項１から７のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
9. 前記透光性部材の前記第２面に形成された前記金属膜を、研削又はリューターで除去する、請求項１から８のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
10. 第１面と、前記第１面の反対側であって発光面となる第２面と、前記第１面と前記第２面との間の側面と、を備えた透光性部材と、
    発光面と、前記発光面の反対側の電極形成面と、前記発光面と前記電極形成面との間の側面と、を備え、前記発光面が前記透光性部材の前記第１面と対向して配置された発光素子と、
    前記透光性部材の前記側面上に配置された側面部と、前記第２面側において前記側面部から側方に延伸し前記透光性部材の前記第２面と同一面の上面を有する延伸部とを有する金属膜と、
    前記発光素子の前記側面と、前記金属膜の前記側面部の側面と、を被覆する被覆部材と、を備える発光装置。
11. 前記金属膜は、銀、アルミニウム、又はこれらの合金である、請求項１０に記載の発光装置。
12. 前記被覆部材の母材は、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、ハイブリッドシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、ハイブリッドエポキシ樹脂のうちのいずれか１つである、請求項１０又は１１に記載の発光装置。
13. 前記金属膜の厚さは、１ｎｍ～１００ｎｍである、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の発光装置。
14. 前記被覆部材はフィラーを含有し、前記フィラーはアルミナ、二酸化チタン、二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ムライト、酸化ニオブ、酸化亜鉛、硫酸バリウム、酸化イットリウム、酸化ガドリニウムのうち少なくとも１つを含む請求項１０から１３のいずれか一項に記載の発光装置。
15. 前記被覆部材はフィラーを含有し、前記フィラーの含有量は、２０ｗｔ％以上８０ｗｔ％以下である請求項１０から１３のいずれか一項に記載の発光装置。

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