JP6960363B2 - Coアノード、Coアノードを用いた電気Coめっき方法及びCoアノードの評価方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係るCoアノードは、硝酸濃度20質量%の希硝酸で溶解した後、液中パーティクルカウンターによってJIS B 9925に基づいて測定した、粒径が0.5μm以上のパーティクルの数が、6000個/g以下である。CoアノードはCuアノードに対してEM耐性が良好で、バリアメタル層が薄くできる分、配線距離が短い場合は配線抵抗もCu配線より低く抑えることができる。また、粒径が0.5μm以上のパーティクルの数が6000個/g以下に制御されているため、Coアノードを用いて電気めっきを行うとき、めっきの異常析出の発生が抑制され、その結果めっき不良を良好に抑制することができる。
液中パーティクルカウンターの実施手順を具体的に説明すると、1gをサンプリングし、パーティクルが溶解しないように、ゆっくりと150mlの希硝酸(硝酸濃度20質量%水溶液)で溶解し、24時間放置後、さらにこれを500mlになるように、純水で希釈し、この10mlを取り、前記液中パーティクルカウンターで測定するものである。例えば、パーティクルの個数が1000個/mlの場合では、10mlの中には0.02gのサンプルが測定されることになるので、パーティクルは500000個/gとなる。
なお、パーティクルの個数は、液中パーティクルカウンターによる測定に限られず、同様の個数の測定が可能であれば、他の手段を用いて測定しても良い。
本発明の実施形態に係るCoアノードの製造方法について詳述する。まず、原料であるCoを所定の容器内で溶解する。使用するCo原料は、例えば、純度3N(純度99.9質量%)以上のCoを使用することができる。
前述のように、電気めっき時に問題となるパーティクルは、Fe、Mg、Cr、Ni、Si、Al等の化合物の粒子であり、これら粒子がめっき膜中に発生するパーティクルの原因となる。これらの粒子がCoアノードに混入しないように制御するためには、容器、配管及び鋳型において、Co原料と接する部分の表面粗さを制御してもよい。また、これら粒子はスラグ側に浮きやすいという知見から、溶湯の撹拌時間を多くすることで、Fe、Mg、Cr、Ni、Si、Alの化合物の粒径0.5μmを超える粒子をスラグ側へ分配させてもよい。
本発明の実施形態に係るCoアノードを用いて電気Coめっきを行うことで、作製されるめっき膜中のパーティクルの発生を極めて良好に抑制することでき、その結果めっきの異常析出の発生を抑制することができる。
本発明の実施形態に係る電気Coめっき方法では、特に限定されないが、例えばめっき液として、硫酸コバルト:10〜30g/L(Co)、又は、塩化コバルト5〜15g/Lを適量使用することができる。pHは2.5〜3.5とする。
その他、めっき浴温25〜60℃、陰極電流密度0.5〜10A/dm2、陽極電流密度0.5〜10A/dm2とすることができるが、必ずしもこれらの条件に制限される必要はない。めっき浴には、光沢剤・錯化剤・pH緩衝剤、界面活性剤等を含んでもよい。
実施例1〜5、比較例1として、所定の純度のCo原料を真空溶解してインゴットを作成し溶解させた。なお、純度が3NのCo原料は市販コバルト材を使用し、純度が4N及び5NのCo原料は電解精製により得た。
次に、溶解したCo原料を鋳型に供給して鍛造した後、30〜50%の圧下率で圧延を行い、続いて300℃〜600℃の熱処理を行い、さらに表面の切削加工を行うことにより、Coアノードを作製した。
(パーティクルの評価)
パーティクルの粒径及び個数は、「液体用光散乱式自動粒子計数器」(九州リオン株式会社製)で測定した。具体的には、Coアノード1gをサンプリングし、パーティクルが溶解しないように、ゆっくりと150mlの希硝酸(硝酸濃度20質量%水溶液)で溶解し、24時間放置後、さらにこれを500mlになるように純水で希釈し、この10mlを取り、前記液中パーティクルカウンターで測定した。これを3回繰り返した平均値をパーティクルの数とした。また、パーティクルの粒径はSEM像で評価した。図1(a)に実施例5(純度:3N、倍率:300倍)、(b)に実施例3(純度:4N、倍率:300倍)、(c)に実施例1(純度:5N、倍率:300倍)のSEM像を示す。また、図2(a)に実施例5(純度:3N、倍率:15000倍)、(b)に実施例3(純度:4N、倍率:30000倍)、(c)に実施例1(純度:5N、倍率:15000倍)のSEM像を示す。また、図1において、粒径が0.5μm以上のパーティクル(介在物)が枠線で囲まれて示されている。
Coアノードに含まれるFe濃度は、GDMSにより評価した。また、パーティクルの粒径及び個数を測定した際にフィルタ上に残存したパーティクル成分については、エネルギー分散型X線分析(EDX:Energy Dispersive X−ray Spectrometry)を用いて評価した。図3(a)に実施例5、(b)に実施例3、(c)に実施例1のEDXスペクトルのグラフをそれぞれ示す。
直径300mmのウェハ(Wafer)上に、実施例1〜5及び比較例1のCoアノードを用いて、それぞれ同条件で電気Coめっきを行い、厚さ10nmのCoめっき膜を形成し、Coめっき膜中に生じた欠陥の数(異常電着の個数)を評価した。
以上の各実施例及び比較例の結果を表1に示す。
実施例1〜5では、粒径が0.5μm以上のパーティクル数が6000個/g以下であるCoアノードを作製することができた。一方、比較例1では粒径が0.5μm以上のパーティクル数が6000個/gを超えたCoアノードとなった。
また、実施例1と実施例2、実施例3と実施例4、実施例5と比較例1とは、それぞれ同じ純度のCoアノードを使用しているが、Fe濃度が異なるため、粒径が0.5μm以上のパーティクル数に違いが生じている。この結果から、純度が同じであればFe濃度が小さい方が、粒径が0.5μm以上のパーティクル数をより低減できることがわかる。
なお、純度4Nである実施例4は、純度3Nである実施例5に対し、粒径が0.5μm以上のパーティクル数が多かった。このように、必ずしも「高純度」であればパーティクルの数が少ないという関係にはならず、純度が高いCoアノードの方が、純度が低いCoアノードより本発明で示すパーティクルの数が多い場合もある。
また、実施例1〜5のCoアノードを用いて形成したCoめっき膜は、異常電着の個数が0であり、めっき不良が良好に抑制されていた。比較例1のCoアノードを用いて形成したCoめっき膜は、異常電着が確認され、めっき不良が生じた。
Claims (9)
- 硝酸濃度20質量%の希硝酸で溶解した後、液中パーティクルカウンターによってJIS B 9925に基づいて測定した、粒径が0.5μm以上のパーティクルの数が、6000個/g以下である電気めっき用のCoアノード。
- 前記粒径が0.5μm以上のパーティクルの数が5000個/g以下である請求項1に記載のCoアノード。
- 純度が3N以上である請求項1又は2に記載のCoアノード。
- 純度が4N以上である請求項3に記載のCoアノード。
- Fe濃度が10ppm以下である請求項3又は4に記載のCoアノード。
- Fe濃度が5ppm以下である請求項5に記載のCoアノード。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載のCoアノードを用いた電気Coめっき方法。
- 硝酸濃度20質量%の希硝酸でCoアノードを溶解するステップと、
前記Coアノードを溶解した希硝酸における液中パーティクルを、液中パーティクルカウンターによってJIS B 9925に基づいて測定するステップと、
前記液中パーティクルカウンターによる測定結果に基づいて前記Coアノードの良否を判断するステップと、
を含む電気めっき用のCoアノードの評価方法。 - 前記液中パーティクルカウンターによる測定結果に基づいて前記Coアノードの良否を判断するステップが、0.5μm以上の所定の粒径以上のパーティクルの数が、6000個/g以下の所定の閾値以下であるかを確認するステップを含む請求項8に記載の電気めっき用のCoアノードの評価方法。
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