JP6959086B2 - 自動位置合わせ基板搬送装置 - Google Patents
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Description
上記の方程式によって、角度αは制御システム110によって計算されてもよい。制御システム110は、搬送装置参照フレームにおける基板ステーション405の角度方位を算出するために、格納された角度θと角度αを比較してもよい。参照フレームの原点に対して角度αと角度θの差異によって、搬送装置参照フレームにおける基板ステーション405の角度方位が与えられる。この実施例では、搬送装置参照フレームにおける基板ステーション405のその角度方位は、基板搬送装置アーム335,340の回転軸と一致している。本発明の他の実施例では、基板ステーション405の角度方位を算出するのに他の技術を使用してもよい。他の実施例では、任意の原点を有する直交座標系などの搬送装置参照フレームとして異なった参照フレームを選択してもよい。
又は
xC=xO+(ξc)cosα−(ηc)sinα
両式は同じ物理的長さxCを表しており、したがって、両表現が理想的にはxCに対して同じ値に達することが分かる。しかしながら、x、y座標系とξ、η座標系との関係は初めは未知である。また、位置情報には、何らかの変化があってもよい。なぜならば、測定値は非常に正確であってもよいが、完全な精度を伴わない。ycに対して同様の式を記述してもよい。ベクトルξによって、点Cの座標間の差異が異なる表現を用いて与えられる。インデックスiは異なったデータ点を示し、ε1iがx軸座標であり、ε2iがy軸の座標である。
(a)cosθi−(b)sinθi−xO−(ξci)cosα+(ηci)sinα
+xRi=ε1i
(a)sinθi+(b)cosθi−yO−(ξci)sinα−(ηci)cosα
+yRi=ε2i
異なったデータ点にたいして、xRi、yRi、θi、ξci及びηciは既知である。a、b、xO、yO、及びαは未知である。ブロック1430において、コスト関数Jは、上記変数と関連するように定義されてもよい。
105 制御環境
110 制御システム
120 ロードポート
125 ロードポート
130 カセット
135 ロードロック
140 ロードロック
200 フロントエンド
210 搬送装置
215 アーム
220 駆動機構
225 レール
230 フレーム
235 位置エンコーダ
240 上アーム
245 前アーム
250 エンドエフェクタ
255 突起部
260 突起部
265 通しビーム検知器(スルービームセンサ)
270 放射体
275 検出装置
300 バックエンド
305 搬送チャンバ
310 孤立環境
315 フレーム
320 基板搬送装置
325 駆動機構
330 位置エンコーダ
335 アーム
340 アーム
345 上アーム
350 上アーム
355 前アーム
360 前アーム
365 エンドエフェクタ
370 処理モジュール
380 基板配置装置
385 基板支持ピン
390 基板支持ピン
395 基板支持ピン
405 処理モジュール
410 処理モジュール
415 基板ステーション
420 基板ステーション
455 アクセス表面
460 アクセス表面
R 参照点
A 点
B 点
C 点
F 表面
S 基板
n 単位ベクトル
u 単位ベクトル
α 角度偏差
V12 変位ベクトル
V13 変位ベクトル
Claims (15)
- 基板搬送装置基準平面に対して物体を水平にする方法であって、
ロボットアームに取り付けられたスルービームセンサを用いて3以上の参照構造の各々の参照構造を直接検出するために各参照構造が3度接近する前記スルービームセンサによって直接検出されるように前記3以上の参照構造に3度接近するステップであって、前記3以上の参照構造は互いに所定の幾何学関係で配置されて前記3以上の参照構造の配置によって形成される前記所定の幾何学的関係が前記物体の基板支持表面の傾きを規定及び決定し、前記基板支持表面が基板を支持することが可能なステップ、と、
前記ロボットアームに接続された制御システムを用いて、前記基板搬送装置基準平面に対する前記物体の傾きを算出するステップであって、前記3以上の参照構造が前記基板支持表面の一部であり、前記基板搬送装置基準平面に対する物体の傾斜の算出は、各参照構造を直接的に検出して、前記基板搬送装置基準平面に対する各参照構造の位置を検出することに基づいており、前記3以上の参照構造の前記所定の幾何学的関係は前記制御システムに知られているステップと、
前記基板搬送装置基準平面に対する物体の傾きに基づいて前記基板搬送装置基準平面に対して物体を水平にするステップと、を含むことを特徴とする方法。 - 前記制御システムを用いて水平システムを調整する角度偏差を生成して、前記角度偏差を用いた前記水平システムの調整により、前記基板搬送装置基準平面に対する前記物体の傾きを変え、前記基板搬送装置基準平面に対する前記基板支持表面を水平にするステップと、
を更に含むことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記ロボットアームは水平多関節ロボットアームであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記3以上の参照構造は3つの参照構造であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- ロボットアームに取り付けられたスルービームセンサを用いて、互いに、および物体の表面と所定の幾何学的関係で配置された2以上の参照構造に、該参照構造への接近と直接検出が3度行われるように、接近しかつ前記2以上の参照構造を直接検出するステップであって、前記ロボットアームは、同一平面上の経路に沿って前記2以上の参照構造の各参照構造を直接検出するように制御システムによって制御され、前記2以上の参照構造は、前記2以上の参照構造の配置によって形成される前記所定の幾何学的関係が前記物体の位置を規定し決定するように、前記所定の幾何学的関係で配置されるステップと、
前記制御システムを用いて基板搬送装置基準平面に対して少なくとも2つの自由度において前記物体の前記位置を算出しかつ前記物体の角度方向を算出するステップと、を含み、
前記ロボットアームは前記制御システムによって制御され、前記位置及び前記角度方向は、前記2以上の参照構造のうちの参照構造の各々の前記直接検出によって各々算出され、前記2以上の参照構造は前記物体の基板支持特徴部であり、前記所定の幾何学的関係は前記制御システムに知られていることを特徴とする方法。 - 前記2以上の参照構造は2つの参照構造であることを特徴とする請求項5記載の方法。
- 前記物体は基板を取り外し可能に支持する基板支持部を含むことを特徴とする請求項5記載の方法。
- 前記ロボットアームは水平多関節ロボットアームであることを特徴とする請求項5記載の方法。
- 基板搬送装置を自動ティーチングする方法であって、
基板を載せることができる基板ステーション表面を形成するフレームを提供するステップと、
前記フレームに接続され、水平面内に基軸を有する搬送装置座標系を有し、可動アーム及び前記可動アームの一部に設けられたスルービームセンサを有する搬送装置を提供するステップと、
前記搬送装置に制御可能に接続された制御システムの下で、前記可動アームを移動せしめかつ前記可動アームの前記一部を移動させることによって前記スルービームセンサを位置決めするステップと、
を含み、
前記制御システムは、前記スルービームセンサを位置決めして前記基板ステーション表面に接続された2以上の参照構造を同一面上にある3つの異なった水平接近経路に沿って直接的に検出するようにプログラミングされ、
前記2以上の参照構造は、前記基板ステーション表面に対して既知の固定された幾何学的な関係を有し、前記既知の固定された幾何学的関係は、前記2以上の参照構造に対する前記基板ステーション表面の空間的位置及び配向を、個別にかつ組み合わせて表しかつ決定するものであり、前記既知の固定された幾何学的関係は、前記制御システムに知られており、
前記制御システムは、前記同一面上にある3つの異なった水平接近経路の各々において前記2以上の参照構造の各々が、前記同一面上にある3つの異なった水平接近経路の各々に沿って位置決めされた前記スルービームセンサによって直接検出される際に、前記スルービームセンサの前記位置を記録し、当該記録及び前記既知の固定された幾何学的関係から、前記搬送装置座標系における前記基板ステーション表面の位置及び前記水平面内の前記基軸に対する前記基板ステーション表面の角度位置を判定するようにプログラミングされ、
前記制御システムは、前記搬送装置座標系内の前記基板ステーション表面の当該判定された位置及び当前記基板ステーション表面の当該判定された角度位置に基づいて、水平移動平面内における前記可動アームの前記基板ステーション表面に向かう動きを自動的にティーチングするようにプログラミングされ、
前記2以上の参照構造は、前記基板ステーション表面の一部であることを特徴とする方法。 - 前記同一面上にある3つの異なった水平接近経路の各々は、前記同一平面上にある水平接近経路の各々に対応する移動直線の各々の直線セグメントの各々によって画定され、前記同一平面上にある水平接近経路の各々に対応する前記移動直線の各々は、前記同一平面上にある3つの異なった水平接近経路のうちの他の水平接近経路に対応する他の移動直線の各々とは異なり、前記移動直線の各々のうちの3つは、当該3つの経路の共通の交差点において交差することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記制御システムは、前記同一面上にある3つの異なった水平接近経路のうちの少なくとも2つに沿って前記2以上の参照構造の1つの参照構造に2回接近するようにプログラムされる、請求項9に記載の方法。
- 前記基板ステーション表面の前記判定された角度位置は、基板ステーション表面によって画定される平面内の垂直軸回りの角度位置であり、前記垂直軸は前記基板ステーション表面から垂直に伸張していることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記同一面上にある3つの異なった水平接近経路の各々が、実質的に水平な平面内にある請求項9に記載の方法。
- 前記可動アームが、水平多関節ロボットアームである請求項9に記載の方法。
- 前記基板ステーション表面は、搬送コンテナ、基板アライナ、バッファステーション、ロードロック、ロードポート、基板処理モジュール、または基板メトロロジーモジュールの少なくとも1つの上または内部に配置される請求項9に記載の方法。
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