JP6958914B2 - ガス供給装置及びガス供給方法 - Google Patents
ガス供給装置及びガス供給方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6958914B2 JP6958914B2 JP2018528496A JP2018528496A JP6958914B2 JP 6958914 B2 JP6958914 B2 JP 6958914B2 JP 2018528496 A JP2018528496 A JP 2018528496A JP 2018528496 A JP2018528496 A JP 2018528496A JP 6958914 B2 JP6958914 B2 JP 6958914B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- compound
- temperature
- storage container
- supply pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 82
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 393
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 264
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 208
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 33
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 19
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 14
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 13
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 7
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 459
- 229940126214 compound 3 Drugs 0.000 description 54
- 229940125782 compound 2 Drugs 0.000 description 48
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 24
- -1 aldehyde compounds Chemical class 0.000 description 21
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 17
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 14
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 9
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 6
- ZQBFAOFFOQMSGJ-UHFFFAOYSA-N hexafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F ZQBFAOFFOQMSGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 5
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 5
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N benzonitrile Chemical compound N#CC1=CC=CC=C1 JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DPBLXKKOBLCELK-UHFFFAOYSA-N pentan-1-amine Chemical compound CCCCCN DPBLXKKOBLCELK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N pentene Chemical compound CCCC=C YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PBKONEOXTCPAFI-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-trichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C(Cl)=C1 PBKONEOXTCPAFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1Cl RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N Caprylic acid Natural products CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 3
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- UAOMVDZJSHZZME-UHFFFAOYSA-N diisopropylamine Chemical compound CC(C)NC(C)C UAOMVDZJSHZZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 3
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETTZEONDQJALK-UHFFFAOYSA-N (trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC=C1 GETTZEONDQJALK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOYDNIKZWGIXJT-UHFFFAOYSA-N 1,2-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC=C1F GOYDNIKZWGIXJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMBXCGGQNSVESQ-UHFFFAOYSA-N 1-Hexanethiol Chemical compound CCCCCCS PMBXCGGQNSVESQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZRKMQKLGEQPLNS-UHFFFAOYSA-N 1-Pentanethiol Chemical compound CCCCCS ZRKMQKLGEQPLNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XFRVVPUIAFSTFO-UHFFFAOYSA-N 1-Tridecanol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCO XFRVVPUIAFSTFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XSMLLZPSNLQCQU-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2,3,5-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C(Br)=C1 XSMLLZPSNLQCQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BITLXSQYFZTQGC-UHFFFAOYSA-N 1-fluoroheptane Chemical compound CCCCCCCF BITLXSQYFZTQGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BBMCTIGTTCKYKF-UHFFFAOYSA-N 1-heptanol Chemical compound CCCCCCCO BBMCTIGTTCKYKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 1-hexene Chemical compound CCCCC=C LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PJLHTVIBELQURV-UHFFFAOYSA-N 1-pentadecene Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC=C PJLHTVIBELQURV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AFABGHUZZDYHJO-UHFFFAOYSA-N 2-Methylpentane Chemical compound CCCC(C)C AFABGHUZZDYHJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CJPNOLIZCWDHJK-UHFFFAOYSA-N 2-Pentadecanone Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC(C)=O CJPNOLIZCWDHJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Chemical class 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UEXCJVNBTNXOEH-UHFFFAOYSA-N Ethynylbenzene Chemical compound C#CC1=CC=CC=C1 UEXCJVNBTNXOEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N Methyl butyrate Chemical compound CCCC(=O)OC UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BZLVMXJERCGZMT-UHFFFAOYSA-N Methyl tert-butyl ether Chemical compound COC(C)(C)C BZLVMXJERCGZMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical group CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000209094 Oryza Species 0.000 description 2
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 2
- URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N Para-Xylene Chemical group CC1=CC=C(C)C=C1 URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBBJYMSMWIIQGU-UHFFFAOYSA-N Propionic aldehyde Chemical compound CCC=O NBBJYMSMWIIQGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 150000007824 aliphatic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000001463 antimony compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000001495 arsenic compounds Chemical class 0.000 description 2
- HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N benzaldehyde Chemical compound O=CC1=CC=CC=C1 HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910052795 boron group element Inorganic materials 0.000 description 2
- QARVLSVVCXYDNA-UHFFFAOYSA-N bromobenzene Chemical compound BrC1=CC=CC=C1 QARVLSVVCXYDNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N butan-1-amine Chemical compound CCCCN HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N butyric aldehyde Natural products CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052800 carbon group element Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052798 chalcogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N decan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCO MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KSMVZQYAVGTKIV-UHFFFAOYSA-N decanal Chemical compound CCCCCCCCCC=O KSMVZQYAVGTKIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JQVDAXLFBXTEQA-UHFFFAOYSA-N dibutylamine Chemical compound CCCCNCCCC JQVDAXLFBXTEQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N dodecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCO LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DNJIEGIFACGWOD-UHFFFAOYSA-N ethanethiol Chemical compound CCS DNJIEGIFACGWOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N ethyl butyrate Chemical compound CCCC(=O)OCC OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N ethyl propionate Chemical compound CCOC(=O)CC FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002259 gallium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000002291 germanium compounds Chemical class 0.000 description 2
- LEQAOMBKQFMDFZ-UHFFFAOYSA-N glyoxal Chemical compound O=CC=O LEQAOMBKQFMDFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- FXHGMKSSBGDXIY-UHFFFAOYSA-N heptanal Chemical compound CCCCCCC=O FXHGMKSSBGDXIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JARKCYVAAOWBJS-UHFFFAOYSA-N hexanal Chemical compound CCCCCC=O JARKCYVAAOWBJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AOGQPLXWSUTHQB-UHFFFAOYSA-N hexyl acetate Chemical compound CCCCCCOC(C)=O AOGQPLXWSUTHQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAPCMTMQBXLDBB-UHFFFAOYSA-N hexyl butyrate Chemical compound CCCCCCOC(=O)CCC XAPCMTMQBXLDBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LELOWRISYMNNSU-UHFFFAOYSA-N hydrogen cyanide Chemical compound N#C LELOWRISYMNNSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002472 indium compounds Chemical class 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N isopentane Chemical compound CCC(C)C QWTDNUCVQCZILF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N m-xylene Chemical group CC1=CC=CC(C)=C1 IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N n-hexanoic acid Natural products CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JACMPVXHEARCBO-UHFFFAOYSA-N n-pentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCNCCCCC JACMPVXHEARCBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N nonan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCO ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYHFUZHODSMOHU-UHFFFAOYSA-N nonanal Chemical compound CCCCCCCCC=O GYHFUZHODSMOHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FBUKVWPVBMHYJY-UHFFFAOYSA-N nonanoic acid Chemical compound CCCCCCCCC(O)=O FBUKVWPVBMHYJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NUJGJRNETVAIRJ-UHFFFAOYSA-N octanal Chemical compound CCCCCCCC=O NUJGJRNETVAIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 2
- REIUXOLGHVXAEO-UHFFFAOYSA-N pentadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCO REIUXOLGHVXAEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N pentanal Chemical compound CCCCC=O HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N pentyl acetate Chemical compound CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940100684 pentylamine Drugs 0.000 description 2
- 229910052696 pnictogen Inorganic materials 0.000 description 2
- SUVIGLJNEAMWEG-UHFFFAOYSA-N propane-1-thiol Chemical compound CCCS SUVIGLJNEAMWEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 2
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 2
- NUMQCACRALPSHD-UHFFFAOYSA-N tert-butyl ethyl ether Chemical compound CCOC(C)(C)C NUMQCACRALPSHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HLZKNKRTKFSKGZ-UHFFFAOYSA-N tetradecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCO HLZKNKRTKFSKGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 description 2
- KJIOQYGWTQBHNH-UHFFFAOYSA-N undecanol Chemical compound CCCCCCCCCCCO KJIOQYGWTQBHNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N (+)-propylene glycol Chemical compound C[C@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- QDZZDVQGBKTLHV-UHFFFAOYSA-N (2,4-difluorophenyl)methanamine Chemical compound NCC1=CC=C(F)C=C1F QDZZDVQGBKTLHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDFBHCMFIUBEQT-UHFFFAOYSA-N (2,5-difluorophenyl)methanamine Chemical compound NCC1=CC(F)=CC=C1F GDFBHCMFIUBEQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQCUDKMMPTXMAL-UHFFFAOYSA-N (2,6-difluorophenyl)methanamine Chemical compound NCC1=C(F)C=CC=C1F PQCUDKMMPTXMAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJPRLNWUNMBNBZ-QPJJXVBHSA-N (E)-cinnamaldehyde Chemical compound O=C\C=C\C1=CC=CC=C1 KJPRLNWUNMBNBZ-QPJJXVBHSA-N 0.000 description 1
- NKJOXAZJBOMXID-UHFFFAOYSA-N 1,1'-Oxybisoctane Chemical class CCCCCCCCOCCCCCCCC NKJOXAZJBOMXID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGXVIGDEPROXKC-UHFFFAOYSA-N 1,1-dichloroethene Chemical group ClC(Cl)=C LGXVIGDEPROXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZPCMSSQHRAJCC-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoro-1-(1,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropent-1-enoxy)pent-1-ene Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)=C(F)OC(F)=C(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F BZPCMSSQHRAJCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBMDPYAEZDJWNY-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,3,4,4,5,5-octafluorocyclopentene Chemical compound FC1=C(F)C(F)(F)C(F)(F)C1(F)F YBMDPYAEZDJWNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USPWUOFNOTUBAD-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5-pentafluoro-6-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(C(F)(F)F)C(F)=C1F USPWUOFNOTUBAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OPYHNLNYCRZOGY-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5-pentafluoro-6-iodobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(I)C(F)=C1F OPYHNLNYCRZOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZRQUIRABLIQJRI-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5-pentafluoro-6-methoxybenzene Chemical compound COC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F ZRQUIRABLIQJRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXPRVMIZFRCAGC-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5-pentafluoro-6-methylbenzene Chemical compound CC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F SXPRVMIZFRCAGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WACNXHCZHTVBJM-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5-pentafluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C(F)=C1F WACNXHCZHTVBJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKMDVNZEIQDZEP-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4-tetrafluoro-5-nitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC(F)=C(F)C(F)=C1F MKMDVNZEIQDZEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOZFIIXUNAKEJP-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(F)C(F)=C1F SOZFIIXUNAKEJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDLCUAUNAWWSBX-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,5-tetrafluoro-4-nitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=C(F)C=C(F)C(F)=C1F FDLCUAUNAWWSBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHHYOKRQTQBKSB-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,5-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C(F)=C1 UHHYOKRQTQBKSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJKNNUJQFALRIK-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(F)=C1F AJKNNUJQFALRIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZVPAJILXQHMKMT-UHFFFAOYSA-N 1,2,4,5-tetrafluoro-3-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C(C(F)(F)F)=C1F ZVPAJILXQHMKMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDXUIOOHCIQXRP-UHFFFAOYSA-N 1,2,4,5-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C=C1F SDXUIOOHCIQXRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEBWOGPSYUIOBP-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(F)C(F)=C1 PEBWOGPSYUIOBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBACIKXCRWGCBB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Epoxybutane Chemical compound CCC1CO1 RBACIKXCRWGCBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPLUWQPTPKNBRD-UHFFFAOYSA-N 1,2-dibromo-3,4,5,6-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(Br)C(Br)=C1F IPLUWQPTPKNBRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XILPLWOGHPSJBK-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichloro-4-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=C(Cl)C(Cl)=C1 XILPLWOGHPSJBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MVCGQTYWLZSKSB-UHFFFAOYSA-N 1,2-difluoro-4-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC1=CC=C(C(F)(F)F)C=C1F MVCGQTYWLZSKSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUBQQRMAWLSCCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-difluoro-4-nitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=C(F)C(F)=C1 RUBQQRMAWLSCCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKFFRPLNTYIV-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=CC(F)=C1 JXUKFFRPLNTYIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCWKDDQEZQRGDR-UHFFFAOYSA-N 1,3-dibromo-2,4,5,6-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(Br)=C(F)C(Br)=C1F UCWKDDQEZQRGDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASWYHZXKFSLNLN-UHFFFAOYSA-N 1,3-dibromo-5-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC(Br)=CC(Br)=C1 ASWYHZXKFSLNLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFIJIYWQWRQWQC-UHFFFAOYSA-N 1,3-dichloro-2,4,5,6-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(Cl)=C(F)C(Cl)=C1F LFIJIYWQWRQWQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQMXWPLTZBKNEH-UHFFFAOYSA-N 1,3-difluoro-2-iodobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(F)=C1I VQMXWPLTZBKNEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEMGWPRHOOEKTA-UHFFFAOYSA-N 1,3-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(F)=C1 UEMGWPRHOOEKTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 1,3-propanediol Substances OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJQTYCQGIXZSNM-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichloro-2-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC(Cl)=CC=C1Cl BJQTYCQGIXZSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLDOSVXRDMTZQE-UHFFFAOYSA-N 1,4-difluoro-2-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC1=CC=C(F)C(C(F)(F)F)=C1 BLDOSVXRDMTZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUGUFLJIAFISSW-UHFFFAOYSA-N 1,4-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(F)C=C1 QUGUFLJIAFISSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SGRHVVLXEBNBDV-UHFFFAOYSA-N 1,6-dibromohexane Chemical compound BrCCCCCCBr SGRHVVLXEBNBDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLNVRXFZTPRLIK-UHFFFAOYSA-N 1-(chloromethyl)-2,3,4,5,6-pentafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(CCl)C(F)=C1F ZLNVRXFZTPRLIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIAHZFPHXNQNQN-UHFFFAOYSA-N 1-(dibromomethyl)-3-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(C(Br)Br)=C1 ZIAHZFPHXNQNQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DVTULTINXNWGJY-UHFFFAOYSA-N 1-Bromo-2,4,5-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(Br)C=C1F DVTULTINXNWGJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005968 1-Decanol Substances 0.000 description 1
- JPZYXGPCHFZBHO-UHFFFAOYSA-N 1-aminopentadecane Chemical class CCCCCCCCCCCCCCCN JPZYXGPCHFZBHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYSCBCSGKXNZRH-UHFFFAOYSA-N 1-benzothiophene-2-carboxamide Chemical compound C1=CC=C2SC(C(=O)N)=CC2=C1 GYSCBCSGKXNZRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEKTVXADUPBFOA-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2,3,4,5,6-pentafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(Br)C(F)=C1F XEKTVXADUPBFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUYSIDPAOVWMQX-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2,3,4,5-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=CC(Br)=C(F)C(F)=C1F BUYSIDPAOVWMQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSFLQVNTBBUKEA-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2,4-dimethylbenzene Chemical group CC1=CC=C(Br)C(C)=C1 YSFLQVNTBBUKEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPWBFGUBXWMIPR-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC=C1Br IPWBFGUBXWMIPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIRHKGBNGGSCGS-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-iodobenzene Chemical compound BrC1=CC=CC=C1I OIRHKGBNGGSCGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZUPZGFPHUVJKC-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-methoxyethane Chemical compound COCCBr YZUPZGFPHUVJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSSXJPIWXQTSIX-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC=C1Br QSSXJPIWXQTSIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLVFKOKELQSXIQ-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-methylpropane Chemical compound CC(C)CBr HLVFKOKELQSXIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHLKSIOJYMGSMB-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-3,5-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=CC(Br)=C1 JHLKSIOJYMGSMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMFRTSBQRLSJHC-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-3,5-dimethylbenzene Chemical group CC1=CC(C)=CC(Br)=C1 LMFRTSBQRLSJHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDFKKJYEIFBEFC-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-3-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(Br)=C1 QDFKKJYEIFBEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLQSXGGDTHANLN-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-4-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=C(Br)C=C1 XLQSXGGDTHANLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AITNMTXHTIIIBB-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-4-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(Br)C=C1 AITNMTXHTIIIBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPPPKRYCTPRNTB-UHFFFAOYSA-N 1-bromobutane Chemical compound CCCCBr MPPPKRYCTPRNTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMSJFSOOQERIO-UHFFFAOYSA-N 1-bromodecane Chemical compound CCCCCCCCCCBr MYMSJFSOOQERIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSXKDWGTSHCFPP-UHFFFAOYSA-N 1-bromoheptane Chemical compound CCCCCCCBr LSXKDWGTSHCFPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNDIARAMWBIKFW-UHFFFAOYSA-N 1-bromohexane Chemical compound CCCCCCBr MNDIARAMWBIKFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYMUQTNXKPEMLM-UHFFFAOYSA-N 1-bromononane Chemical compound CCCCCCCCCBr AYMUQTNXKPEMLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VMKOFRJSULQZRM-UHFFFAOYSA-N 1-bromooctane Chemical compound CCCCCCCCBr VMKOFRJSULQZRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZWKKMVJZFACSU-UHFFFAOYSA-N 1-bromopentane Chemical compound CCCCCBr YZWKKMVJZFACSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYNYIHKIEHGYOZ-UHFFFAOYSA-N 1-bromopropane Chemical compound CCCBr CYNYIHKIEHGYOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGCDGLXSBHJAHZ-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2,3,4,5,6-pentafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(Cl)C(F)=C1F KGCDGLXSBHJAHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZHJIJZEOCBKRA-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-3-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(Cl)=C1 VZHJIJZEOCBKRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFWCMGCRMGJXDK-UHFFFAOYSA-N 1-chlorobutane Chemical compound CCCCCl VFWCMGCRMGJXDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTEHOZMYMCEYRM-UHFFFAOYSA-N 1-chlorodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCl ZTEHOZMYMCEYRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZMDPHNGKBEVRE-UHFFFAOYSA-N 1-chloroheptane Chemical compound CCCCCCCCl DZMDPHNGKBEVRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLRVZFYXUZQSRU-UHFFFAOYSA-N 1-chlorohexane Chemical compound CCCCCCCl MLRVZFYXUZQSRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKAMCQVGHFRILV-UHFFFAOYSA-N 1-chlorononane Chemical compound CCCCCCCCCCl RKAMCQVGHFRILV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNDHHGUSRIZDSL-UHFFFAOYSA-N 1-chlorooctane Chemical compound CCCCCCCCCl CNDHHGUSRIZDSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SQCZQTSHSZLZIQ-UHFFFAOYSA-N 1-chloropentane Chemical compound CCCCCCl SQCZQTSHSZLZIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVJZCPNIJXVIAT-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2,3,4,5,6-pentafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(C=C)C(F)=C1F LVJZCPNIJXVIAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWWCZZMOTBWUAB-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-3-fluorobenzene Chemical compound CCOC1=CC=CC(F)=C1 UWWCZZMOTBWUAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLDNWXVISIXWKZ-UHFFFAOYSA-N 1-ethyl-4-fluorobenzene Chemical compound CCC1=CC=C(F)C=C1 BLDNWXVISIXWKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNBADDMXGOBTIC-UHFFFAOYSA-N 1-fluoro-2,3-dimethoxybenzene Chemical compound COC1=CC=CC(F)=C1OC MNBADDMXGOBTIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCBJLBCGHCTPAQ-UHFFFAOYSA-N 1-fluorobutane Chemical compound CCCCF FCBJLBCGHCTPAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHLRHWJTTUCDQA-UHFFFAOYSA-N 1-fluorodecane Chemical compound CCCCCCCCCCF LHLRHWJTTUCDQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFERIJCSHDJMSA-UHFFFAOYSA-N 1-fluorohexane Chemical compound CCCCCCF OFERIJCSHDJMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITPAUTYYXIENLO-UHFFFAOYSA-N 1-fluorononane Chemical compound CCCCCCCCCF ITPAUTYYXIENLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHIVLKMGKIZOHF-UHFFFAOYSA-N 1-fluorooctane Chemical compound CCCCCCCCF DHIVLKMGKIZOHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJEGHEMJVNQWOJ-UHFFFAOYSA-N 1-heptoxyheptane Chemical class CCCCCCCOCCCCCCC UJEGHEMJVNQWOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMVXCPBXGZKUPN-UHFFFAOYSA-N 1-hexanamine Chemical compound CCCCCCN BMVXCPBXGZKUPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUNKQJAMHYKQIM-UHFFFAOYSA-N 1-iodo-2,4-dimethylbenzene Chemical group CC1=CC=C(I)C(C)=C1 BUNKQJAMHYKQIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RINOYHWVBUKAQE-UHFFFAOYSA-N 1-iodo-2-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC=C1I RINOYHWVBUKAQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTUGGGLMQBJCBN-UHFFFAOYSA-N 1-iodo-2-methylpropane Chemical compound CC(C)CI BTUGGGLMQBJCBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLCPISYURGTGLP-UHFFFAOYSA-N 1-iodo-3-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC(I)=C1 VLCPISYURGTGLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUZZUHJODKQYTF-UHFFFAOYSA-N 1-iodo-3-methylbutane Chemical compound CC(C)CCI BUZZUHJODKQYTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SKIDNYUZJPMKFC-UHFFFAOYSA-N 1-iododecane Chemical compound CCCCCCCCCCI SKIDNYUZJPMKFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMHCYRULPLGEEZ-UHFFFAOYSA-N 1-iodoheptane Chemical compound CCCCCCCI LMHCYRULPLGEEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ANOOTOPTCJRUPK-UHFFFAOYSA-N 1-iodohexane Chemical compound CCCCCCI ANOOTOPTCJRUPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGSJMFCWOUHXHN-UHFFFAOYSA-N 1-iodononane Chemical compound CCCCCCCCCI OGSJMFCWOUHXHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWLHSHAHTBJTBA-UHFFFAOYSA-N 1-iodooctane Chemical compound CCCCCCCCI UWLHSHAHTBJTBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLXSFCHWMBESKV-UHFFFAOYSA-N 1-iodopentane Chemical compound CCCCCI BLXSFCHWMBESKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AOPDRZXCEAKHHW-UHFFFAOYSA-N 1-pentoxypentane Chemical compound CCCCCOCCCCC AOPDRZXCEAKHHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFZLSTDPRQSZCQ-UHFFFAOYSA-N 1-pyrrolidin-3-ylpyrrolidine Chemical compound C1CCCN1C1CNCC1 HFZLSTDPRQSZCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRDGNXCXTDDYBZ-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-trifluoroaniline Chemical compound NC1=CC=C(F)C(F)=C1F WRDGNXCXTDDYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IGOGJHYWSOZGAE-UHFFFAOYSA-N 2,3,5,6-tetrafluorobenzenethiol Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C(S)=C1F IGOGJHYWSOZGAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQXKWPLDPFFDJP-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethyloxirane Chemical compound CC1OC1C PQXKWPLDPFFDJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDJZCCWUSOZUQG-UHFFFAOYSA-N 2,4-dichloro-1-fluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(Cl)C=C1Cl BDJZCCWUSOZUQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRMJLJFDPNJIQA-UHFFFAOYSA-N 2,4-difluoro-1-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC=C(F)C=C1F CRMJLJFDPNJIQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPXDAIBTYWGBSL-UHFFFAOYSA-N 2,4-difluoro-1-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=C(F)C=C1F MPXDAIBTYWGBSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEPCPXLLFXPZGW-UHFFFAOYSA-N 2,4-difluoroaniline Chemical compound NC1=CC=C(F)C=C1F CEPCPXLLFXPZGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BICHBFCGCJNCAT-UHFFFAOYSA-N 2,4-difluorobenzenethiol Chemical compound FC1=CC=C(S)C(F)=C1 BICHBFCGCJNCAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNOOQIUSYGWMSS-UHFFFAOYSA-N 2,5-difluoroaniline Chemical compound NC1=CC(F)=CC=C1F YNOOQIUSYGWMSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIMMFRUOZOWROM-UHFFFAOYSA-N 2-(2,5-difluorophenyl)acetonitrile Chemical compound FC1=CC=C(F)C(CC#N)=C1 UIMMFRUOZOWROM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVAYBGQTAADLJS-UHFFFAOYSA-N 2-(2,6-difluorophenyl)acetonitrile Chemical compound FC1=CC=CC(F)=C1CC#N GVAYBGQTAADLJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHOPWFKONJYLCF-UHFFFAOYSA-N 2-(2-sulfanylethyl)isoindole-1,3-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N(CCS)C(=O)C2=C1 UHOPWFKONJYLCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNPYERUNJMDEFQ-UHFFFAOYSA-N 2-(3,4-difluorophenyl)acetonitrile Chemical compound FC1=CC=C(CC#N)C=C1F GNPYERUNJMDEFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVVNZBSLUREFJN-UHFFFAOYSA-N 2-(4-chlorophenyl)sulfanyl-5-nitrobenzaldehyde Chemical compound O=CC1=CC([N+](=O)[O-])=CC=C1SC1=CC=C(Cl)C=C1 TVVNZBSLUREFJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYPKRALMXUUNKS-UHFFFAOYSA-N 2-Hexene Natural products CCCC=CC RYPKRALMXUUNKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULIKDJVNUXNQHS-UHFFFAOYSA-N 2-Propene-1-thiol Chemical compound SCC=C ULIKDJVNUXNQHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VRVRGVPWCUEOGV-UHFFFAOYSA-N 2-aminothiophenol Chemical compound NC1=CC=CC=C1S VRVRGVPWCUEOGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZBSPSOGEVCRQI-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-1,3,5-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(Br)C(F)=C1 PZBSPSOGEVCRQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRZTZLCMURHWFY-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-1,3-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(F)=C1Br HRZTZLCMURHWFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCRCSPKQEDMVBO-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-1,4-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(F)C(Br)=C1 XCRCSPKQEDMVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMRWILPUOVGIMU-UHFFFAOYSA-N 2-bromopyridine Chemical compound BrC1=CC=CC=N1 IMRWILPUOVGIMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUCRZHGAIRVWTI-UHFFFAOYSA-N 2-bromothiophene Chemical compound BrC1=CC=CS1 TUCRZHGAIRVWTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNUHTJBTOGQIHV-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-1,3,5-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(Cl)C(F)=C1 HNUHTJBTOGQIHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTZQYBFTOANOJO-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-1,3-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC(F)=C1Cl OTZQYBFTOANOJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWCKSJOUZQHFKI-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-1,4-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(F)C(Cl)=C1 XWCKSJOUZQHFKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLGPNBBJPOBSLY-UHFFFAOYSA-N 2-fluoro-1,3,5-trimethylbenzene Chemical compound CC1=CC(C)=C(F)C(C)=C1 ZLGPNBBJPOBSLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEBDXRXVGUQZJK-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-benzofuran-7-carboxylic acid Chemical compound C1=CC(C(O)=O)=C2OC(C)=CC2=C1 CEBDXRXVGUQZJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMPPDTMATNBGJN-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethylbromide Chemical compound BrCCC1=CC=CC=C1 WMPPDTMATNBGJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYPKRALMXUUNKS-HWKANZROSA-N 2E-hexene Chemical compound CCC\C=C\C RYPKRALMXUUNKS-HWKANZROSA-N 0.000 description 1
- TYNRPOFACABVSI-UHFFFAOYSA-N 3,3,4,4,5,5,6,6,6-nonafluorohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F TYNRPOFACABVSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYUPEJSTJSFVRR-UHFFFAOYSA-N 3,3,4,4,5,5,6,6,6-nonafluorohexyl prop-2-enoate Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CCOC(=O)C=C GYUPEJSTJSFVRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRJRKPMIRMSBNK-UHFFFAOYSA-N 3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctan-1-ol Chemical compound OCCC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F GRJRKPMIRMSBNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDXFIRXEAJABAZ-UHFFFAOYSA-N 3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F CDXFIRXEAJABAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPKQPPJQTZJZDB-UHFFFAOYSA-N 3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl prop-2-enoate Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CCOC(=O)C=C VPKQPPJQTZJZDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGKLVWTVCUDISO-UHFFFAOYSA-N 3,4-dibromothiophene Chemical compound BrC1=CSC=C1Br VGKLVWTVCUDISO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXNUZKSSQHTNPZ-UHFFFAOYSA-N 3,4-difluoroaniline Chemical compound NC1=CC=C(F)C(F)=C1 AXNUZKSSQHTNPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHZBSXQCGIQSID-UHFFFAOYSA-N 3-(bromomethyl)-1,2,4,5-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C(CBr)=C1F QHZBSXQCGIQSID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZWIYPLSXWYKLH-UHFFFAOYSA-N 3-(bromomethyl)heptane Chemical compound CCCCC(CC)CBr NZWIYPLSXWYKLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHAFCGSUIAFUCX-UHFFFAOYSA-N 3-bromo-1,2,4,5-tetrafluorobenzene Chemical compound FC1=CC(F)=C(F)C(Br)=C1F YHAFCGSUIAFUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NYPYPOZNGOXYSU-UHFFFAOYSA-N 3-bromopyridine Chemical compound BrC1=CC=CN=C1 NYPYPOZNGOXYSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHXMBKTYQFGDQM-UHFFFAOYSA-N 3-chlorooxetane Chemical compound ClC1COC1 JHXMBKTYQFGDQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFCSRWGYGMRBGD-UHFFFAOYSA-N 3-iodoaniline Chemical compound NC1=CC=CC(I)=C1 FFCSRWGYGMRBGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHQXBTXEYZIYOV-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-1-ene Chemical compound CC(C)C=C YHQXBTXEYZIYOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYKZRKKEYSRDNF-UHFFFAOYSA-N 3-methylidenepentane Chemical compound CCC(=C)CC RYKZRKKEYSRDNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDTAOIUHUHHCMU-UHFFFAOYSA-N 3-methylpent-1-ene Chemical compound CCC(C)C=C LDTAOIUHUHHCMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSASLUGILQLHMS-UHFFFAOYSA-N 4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,9-tridecafluoronon-1-ene Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CC=C DSASLUGILQLHMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJIFTOPVKWDHJI-UHFFFAOYSA-N 4-(bromomethyl)-1,2-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(CBr)C=C1F JJIFTOPVKWDHJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKIHXNKYYGUVTE-UHFFFAOYSA-N 4-Fluorothiophenol Chemical compound FC1=CC=C(S)C=C1 OKIHXNKYYGUVTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJPJQTDYNZXKQF-UHFFFAOYSA-N 4-bromoanisole Chemical compound COC1=CC=C(Br)C=C1 QJPJQTDYNZXKQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OPQMRQYYRSTBME-UHFFFAOYSA-N 4-chloro-1,2-difluorobenzene Chemical compound FC1=CC=C(Cl)C=C1F OPQMRQYYRSTBME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODGIMMLDVSWADK-UHFFFAOYSA-N 4-trifluoromethylaniline Chemical compound NC1=CC=C(C(F)(F)F)C=C1 ODGIMMLDVSWADK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWQSAIIDOMEEOD-UHFFFAOYSA-N 5,5-Dimethyl-4-(3-oxobutyl)dihydro-2(3H)-furanone Chemical compound CC(=O)CCC1CC(=O)OC1(C)C AWQSAIIDOMEEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HKJCELUUIFFSIN-UHFFFAOYSA-N 5-bromo-1,2,3-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC(Br)=CC(F)=C1F HKJCELUUIFFSIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZXWRVPVZZZAKB-UHFFFAOYSA-N 5-ethynyl-1,2,3-trifluorobenzene Chemical compound FC1=CC(C#C)=CC(F)=C1F BZXWRVPVZZZAKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CJPSFIYLTINNQG-UHFFFAOYSA-N 8-ethenoxy-1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-tridecafluorooctane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CCOC=C CJPSFIYLTINNQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N Allyl chloride Chemical compound ClCC=C OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGJOPFRUJISHPQ-UHFFFAOYSA-N Carbon disulfide Chemical class S=C=S QGJOPFRUJISHPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N Decanoic acid Natural products CCCCCCCCCC(O)=O GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N Dicyclohexylamine Chemical class C1CCCCC1NC1CCCCC1 XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N Diisopropyl ether Chemical compound CC(C)OC(C)C ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMMFVYPAHWMCMS-UHFFFAOYSA-N Dimethyl sulfide Chemical class CSC QMMFVYPAHWMCMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical class CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJEPCLZVXSSTRW-UHFFFAOYSA-N F.F.F.Cl Chemical compound F.F.F.Cl GJEPCLZVXSSTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTKINSOISVBQLD-UHFFFAOYSA-N Glycidol Chemical compound OCC1CO1 CTKINSOISVBQLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPIAKHNXCOTPAY-UHFFFAOYSA-N Heptane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCS VPIAKHNXCOTPAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N Methyl propionate Chemical compound CCC(=O)OC RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015275 MoF 6 Inorganic materials 0.000 description 1
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N Pentane Chemical compound CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018287 SbF 5 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- AWMVMTVKBNGEAK-UHFFFAOYSA-N Styrene oxide Chemical compound C1OC1C1=CC=CC=C1 AWMVMTVKBNGEAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKJPEAGHQZHRQV-UHFFFAOYSA-N Triiodomethane Natural products IC(I)I OKJPEAGHQZHRQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N acetaldehyde Chemical compound [14CH]([14CH3])=O IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- BTGRAWJCKBQKAO-UHFFFAOYSA-N adiponitrile Chemical compound N#CCCCCC#N BTGRAWJCKBQKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- BHELZAPQIKSEDF-UHFFFAOYSA-N allyl bromide Chemical compound BrCC=C BHELZAPQIKSEDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N alpha-ethylcaproic acid Natural products CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229940058905 antimony compound for treatment of leishmaniasis and trypanosomiasis Drugs 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N as-o-xylenol Natural products CC1=CC=C(O)C=C1C YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GONOPSZTUGRENK-UHFFFAOYSA-N benzyl(trichloro)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)CC1=CC=CC=C1 GONOPSZTUGRENK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003939 benzylamines Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- AQNQQHJNRPDOQV-UHFFFAOYSA-N bromocyclohexane Chemical compound BrC1CCCCC1 AQNQQHJNRPDOQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RDHPKYGYEGBMSE-UHFFFAOYSA-N bromoethane Chemical compound CCBr RDHPKYGYEGBMSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N butanethiol Chemical compound CCCCS WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMGBZBJJOKUPIA-UHFFFAOYSA-N butyl iodide Chemical compound CCCCI KMGBZBJJOKUPIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N butyronitrile Chemical compound CCCC#N KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- HRYZWHHZPQKTII-UHFFFAOYSA-N chloroethane Chemical compound CCCl HRYZWHHZPQKTII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001701 chloroform Drugs 0.000 description 1
- KJPRLNWUNMBNBZ-UHFFFAOYSA-N cinnamic aldehyde Natural products O=CC=CC1=CC=CC=C1 KJPRLNWUNMBNBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940117916 cinnamic aldehyde Drugs 0.000 description 1
- KFUSEUYYWQURPO-UPHRSURJSA-N cis-1,2-dichloroethene Chemical group Cl\C=C/Cl KFUSEUYYWQURPO-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- MLUCVPSAIODCQM-NSCUHMNNSA-N crotonaldehyde Chemical compound C\C=C\C=O MLUCVPSAIODCQM-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- MLUCVPSAIODCQM-UHFFFAOYSA-N crotonaldehyde Natural products CC=CC=O MLUCVPSAIODCQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWAJLVLEBYIOTI-UHFFFAOYSA-N cyclohexene oxide Chemical compound C1CCCC2OC21 ZWAJLVLEBYIOTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWFSEYBSWVRWGL-UHFFFAOYSA-N cyclohexene oxide Natural products O=C1CCCC=C1 FWFSEYBSWVRWGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003946 cyclohexylamines Chemical class 0.000 description 1
- 125000004956 cyclohexylene group Chemical group 0.000 description 1
- AZSZCFSOHXEJQE-UHFFFAOYSA-N dibromodifluoromethane Chemical compound FC(F)(Br)Br AZSZCFSOHXEJQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJBFPHVGVWTDIP-UHFFFAOYSA-N dibromomethane Chemical compound BrCBr FJBFPHVGVWTDIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJSQFQKUNVCTIA-UHFFFAOYSA-N diethyl sulfide Chemical class CCSCC LJSQFQKUNVCTIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N diiodomethane Chemical compound ICI NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043279 diisopropylamine Drugs 0.000 description 1
- WQOXQRCZOLPYPM-UHFFFAOYSA-N dimethyl disulfide Chemical class CSSC WQOXQRCZOLPYPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical class CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAWOZCWGWDVVSG-UHFFFAOYSA-N dioctylamine Chemical compound CCCCCCCCNCCCCCCCC LAWOZCWGWDVVSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N dipropylamine Chemical compound CCCNCCC WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical group CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIUSEGSNTOUIPT-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-cyanoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC#N ZIUSEGSNTOUIPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000002485 formyl group Chemical group [H]C(*)=O 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 229940015043 glyoxal Drugs 0.000 description 1
- 229940093920 gynecological arsenic compound Drugs 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGFXOWRDDHCDTE-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene oxide Chemical compound FC(F)(F)C1(F)OC1(F)F PGFXOWRDDHCDTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004836 hexamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- XRURPHMPXJDCOO-UHFFFAOYSA-N iodine heptafluoride Chemical compound FI(F)(F)(F)(F)(F)F XRURPHMPXJDCOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNHMUERNLJLMHN-UHFFFAOYSA-N iodobenzene Chemical compound IC1=CC=CC=C1 SNHMUERNLJLMHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVTICUPFWKNHNG-UHFFFAOYSA-N iodoethane Chemical compound CCI HVTICUPFWKNHNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INQOMBQAUSQDDS-UHFFFAOYSA-N iodomethane Chemical compound IC INQOMBQAUSQDDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- ULYZAYCEDJDHCC-UHFFFAOYSA-N isopropyl chloride Chemical compound CC(C)Cl ULYZAYCEDJDHCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJWLVOIRVHMVIS-UHFFFAOYSA-N isopropylamine Chemical compound CC(C)N JJWLVOIRVHMVIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002611 lead compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- CUONGYYJJVDODC-UHFFFAOYSA-N malononitrile Chemical compound N#CCC#N CUONGYYJJVDODC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940017219 methyl propionate Drugs 0.000 description 1
- PYLWMHQQBFSUBP-UHFFFAOYSA-N monofluorobenzene Chemical compound FC1=CC=CC=C1 PYLWMHQQBFSUBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIAIBWNEUYXDNL-UHFFFAOYSA-N n,n-dihexylhexan-1-amine Chemical compound CCCCCCN(CCCCCC)CCCCCC DIAIBWNEUYXDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N n-Propyl acetate Natural products CCCOC(C)=O YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXSXRABJBXYMFT-UHFFFAOYSA-N n-hexylhexan-1-amine Chemical compound CCCCCCNCCCCCC PXSXRABJBXYMFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNMVRZFUUCLYTO-UHFFFAOYSA-N n-propyl chloride Chemical compound CCCCl SNMVRZFUUCLYTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVWOIHVRPOBWPI-UHFFFAOYSA-N n-propyl iodide Chemical compound CCCI PVWOIHVRPOBWPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJDUDHYHRVPMJZ-UHFFFAOYSA-N nonan-1-amine Chemical class CCCCCCCCCN FJDUDHYHRVPMJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N octan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N octane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCS KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N para-ethylbenzaldehyde Natural products CCC1=CC=C(C=O)C=C1 QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M pent-4-enoate Chemical compound [O-]C(=O)CCC=C HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XDEPVFFKOVDUNO-UHFFFAOYSA-N pentafluorobenzyl bromide Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(CBr)C(F)=C1F XDEPVFFKOVDUNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFNJLPHOBMVMNS-UHFFFAOYSA-N pentyl butyrate Chemical compound CCCCCOC(=O)CCC CFNJLPHOBMVMNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWSRVQVEYJNFKQ-UHFFFAOYSA-N pentyl propanoate Chemical compound CCCCCOC(=O)CC TWSRVQVEYJNFKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005003 perfluorobutyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- ZWBAMYVPMDSJGQ-UHFFFAOYSA-N perfluoroheptanoic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F ZWBAMYVPMDSJGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005005 perfluorohexyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N perfluorotributylamine Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)N(C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- SUSQOBVLVYHIEX-UHFFFAOYSA-N phenylacetonitrile Chemical compound N#CCC1=CC=CC=C1 SUSQOBVLVYHIEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920000166 polytrimethylene carbonate Polymers 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- FVSKHRXBFJPNKK-UHFFFAOYSA-N propionitrile Chemical compound CCC#N FVSKHRXBFJPNKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940090181 propyl acetate Drugs 0.000 description 1
- HUAZGNHGCJGYNP-UHFFFAOYSA-N propyl butyrate Chemical compound CCCOC(=O)CCC HUAZGNHGCJGYNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N propyl prop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C=C PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 229940065287 selenium compound Drugs 0.000 description 1
- 150000003343 selenium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical class O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940065278 sulfur compound Drugs 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- KFUSEUYYWQURPO-OWOJBTEDSA-N trans-1,2-dichloroethene Chemical group Cl\C=C\Cl KFUSEUYYWQURPO-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKBCYCFRFCNLTO-UHFFFAOYSA-N triisopropylamine Chemical compound CC(C)N(C(C)C)C(C)C RKBCYCFRFCNLTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GABHTFORECKGBB-UHFFFAOYSA-N trimethyl-(2,3,4,5,6-pentafluorophenyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F GABHTFORECKGBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N tripropylamine Chemical compound CCCN(CCC)CCC YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
- F17C7/02—Discharging liquefied gases
- F17C7/04—Discharging liquefied gases with change of state, e.g. vaporisation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
- C23C16/4485—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by evaporation without using carrier gas in contact with the source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
- F17C13/025—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment having the pressure as the parameter
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
- F17C13/026—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment having the temperature as the parameter
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C9/00—Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C9/00—Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure
- F17C9/02—Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure with change of state, e.g. vaporisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45561—Gas plumbing upstream of the reaction chamber
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0352—Pipes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/01—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the phase
- F17C2223/0146—Two-phase
- F17C2223/0153—Liquefied gas, e.g. LPG, GPL
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/03—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the pressure level
- F17C2223/033—Small pressure, e.g. for liquefied gas
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2225/00—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel
- F17C2225/01—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel characterised by the phase
- F17C2225/0107—Single phase
- F17C2225/0123—Single phase gaseous, e.g. CNG, GNC
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0302—Heat exchange with the fluid by heating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0302—Heat exchange with the fluid by heating
- F17C2227/0304—Heat exchange with the fluid by heating using an electric heater
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0302—Heat exchange with the fluid by heating
- F17C2227/0309—Heat exchange with the fluid by heating using another fluid
- F17C2227/0311—Air heating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0302—Heat exchange with the fluid by heating
- F17C2227/0309—Heat exchange with the fluid by heating using another fluid
- F17C2227/0316—Water heating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0337—Heat exchange with the fluid by cooling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/043—Pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/0439—Temperature
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
- F17C2250/0605—Parameters
- F17C2250/0626—Pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
- F17C2250/0605—Parameters
- F17C2250/0631—Temperature
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2270/00—Applications
- F17C2270/05—Applications for industrial use
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2270/00—Applications
- F17C2270/05—Applications for industrial use
- F17C2270/0518—Semiconductors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
これら原料やエッチング剤が液体である場合、当該液体を気化させてCVD装置、エッチング装置等に供給する。このように液体を気化させて各種装置に供給する技術としては、種々のものが知られている。
例えば、特許文献1には、液相状態の原料を気化して成長・合成装置に供給するCVD装置の原料供給装置であって、原料容器の下流側に真空発生装置を配置し、真空発生装置の内部から真空発生装置の下流側の配管にキャリアガスを導入するガス導入手段を設けた原料供給装置が記載されている。
特許文献2には、液体有機金属化合物を封入した容器にキャリアガスを送り、液体有機金属化合物をキャリアガスと共に供給する装置が記載されている。
特許文献3には、原料を加熱し気化させて気体流量制御部に供給し、該気体流量制御部により流量制御して、同伴ガスを伴うことなく半導体製造装置へ供給する気化供給方法が記載されている。
特許文献2のようにキャリアガスを原料液体中にバブリングさせる場合、原料ガスの供給量が安定しないという問題がある。
特許文献3のように原料容器をヒータ等で加熱させる場合、特許文献1と同様に、気化された原料ガスを半導体製造装置に供給する際に輸送配管内で原料ガスが冷却されて凝縮し、配管が閉塞するという問題がある。
すなわち本発明は、以下の[1]〜[21]に関する。
[1]液体化合物から気化したガス化合物を対象箇所まで供給するためのガス供給装置であって、前記液体化合物を収容可能な貯蔵容器と、一端が前記貯蔵容器に接続されており、他端が前記対象箇所に配置可能となっているガス化合物供給配管と、前記貯蔵容器内における前記ガス化合物又は液体化合物の温度を前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下に制御する温度制御装置と、を有するガス供給装置。
[2]前記温度制御装置は、前記貯蔵容器内の前記液体化合物の温度を測定する液体温度測定装置、及び前記液体温度測定装置で測定される測定温度に関する信号を受信し、前記測定温度が前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下になるように、前記貯蔵容器に対して熱の授受を行う伝熱装置、を有する、上記[1]に記載のガス供給装置。
[4]前記温度制御装置は、前記貯蔵容器内の前記ガス化合物の圧力を測定する圧力測定装置、及び前記圧力測定装置で測定される測定圧力に関する信号を受信し、前記測定圧力が、前記ガス化合物供給配管の周囲温度と同一温度における前記ガス化合物の飽和蒸気圧以下になるように、前記貯蔵容器に対して熱の授受を行う伝熱装置、を有する、上記[1]〜[3]のいずれかに記載のガス供給装置。
[5]前記ガス化合物供給配管の周囲の温度を測定し、前記周囲の温度に関する信号を前記伝熱装置に送信する周囲温度測定装置を有する、[1]〜[4]のいずれかに記載のガス供給装置。
[7]前記ガス化合物供給配管の途中に、マスフローコントローラーが設置されている、上記[1]〜[6]のいずれかに記載のガス供給装置。
[8]前記貯蔵容器内におけるガス化合物の圧力は、前記対象箇所の圧力よりも高い、上記[1]〜[7]のいずれかに記載のガス供給装置。
[9]前記貯蔵容器、前記温度制御装置及び前記ガス化合物供給配管を収容する、収納容器又は収容室を有する、上記[1]〜[8]のいずれかに記載のガス供給装置。
[10]前記収納容器又は収容室は、前記収納容器又は収容室の内部空間の温度を制御する空調装置を有する、上記[9]に記載のガス供給装置。
[12]下記の初期運転工程を有する、上記[11]に記載のガス供給方法。
初期運転工程:前記貯蔵容器を冷却して、前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度を前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下に制御した後、前記貯蔵容器内の前記ガス化合物を、前記ガス化合物供給配管を介して対象箇所まで供給する工程。
[13]下記の定常運転工程を有する、上記[11]又は[12]に記載のガス供給方法。
定常運転工程:前記貯蔵容器内の前記ガス化合物を、前記ガス化合物供給配管を介して対象箇所まで供給すると共に、前記液体化合物の気化によって消費された熱エネルギーを前記貯蔵容器内に補給する工程。
[14]前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度を設定温度範囲内に制御するガス供給方法であって、前記設定温度範囲の上限値は、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下の特定値である、上記[11]〜[13]のいずれかに記載のガス供給方法。
[15]前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度が前記設定温度範囲の上限値に達したときに、前記貯蔵容器を冷却する、上記[14]に記載のガス供給方法。
[17]前記貯蔵容器内に収容された前記液体化合物の温度を測定し、前記測定温度に基づいて、前記液体化合物への熱の授受を行うことにより、前記液体化合物の測定温度を設定温度範囲内に制御するガス供給方法であって、前記設定温度範囲の上限値は、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下の特定値である、上記[11]〜[16]のいずれかに記載のガス供給方法。
[18]前記貯蔵容器内に存在するガス化合物の温度を測定し、前記測定温度に基づいて、前記液体化合物への熱の授受を行うことにより、前記ガス化合物の測定温度を設定温度範囲内に制御するガス供給方法であって、前記設定温度範囲の上限値は、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下の特定値である、上記[11]〜[17]のいずれかに記載のガス供給方法。
[20]上記[1]〜[10]のいずれかに記載のガス供給装置を用いた、上記[11]〜[19]のいずれかに記載のガス供給方法。
[21]対象箇所が、CVD装置又はエッチング装置である、上記[11]〜[20]のいずれかに記載のガス供給方法。
当該ガス供給装置によると、貯蔵容器内におけるガス化合物又は液体化合物の温度をガス化合物供給配管の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御することができる。このため、ガス化合物供給配管の周囲の温度よりも低いガス化合物はガス化合物供給配管を流れることによって加熱される。これにより、ガス化合物供給配管内の環境が貯蔵容器内の環境より凝縮し難くなるので、貯蔵容器内のガス化合物が供給配管内を流れる際に凝縮することが防止される。
ここで、前記ガス化合物の供給量を高く維持するためには、前記貯蔵容器内の液体化合物の温度と前記ガス化合物供給配管の周囲の温度との差は、10℃以内が好ましく、5℃以内がより好ましい。前記貯蔵容器内の液体化合物の温度と前記ガス化合物供給配管の周囲の温度との差は、好ましくは0〜10℃、より好ましくは1〜10℃、ある態様では2〜10℃、別の態様では2〜8℃、更別の態様では3〜5℃である。
このように、貯蔵容器内の液体化合物の温度に基づいて伝熱装置を制御することにより、貯蔵容器内における液体化合物の温度をより安定的に制御を行うことができる。
ここで、貯蔵容器内のガス化合物の圧力を、ガス化合物供給配管の周囲温度と同一温度におけるガス化合物の飽和蒸気圧以下(例えば飽和蒸気圧未満)にするためには、貯蔵容器内の前記ガス化合物の温度を、ガス化合物供給配管の周囲温度よりも低温にする必要がある。したがって、当該温度制御装置によると、貯蔵容器内のガス化合物の圧力を制御することにより、貯蔵容器内のガス化合物の温度をガス化合物供給配管の周囲温度よりも低温にすることができる。これにより、貯蔵容器内のガス化合物が供給配管内を流れる際に凝縮することが防止される。
これにより、ガス化合物供給配管の周囲の温度が変化する場合にあっても、貯蔵容器内におけるガス化合物又は液体化合物の温度を、ガス化合物供給配管の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御することができる。
これにより、仮にガス化合物の一部が接続配管内で凝縮して液体化合物になった場合でも、当該液体化合物は、接続配管の傾斜に沿って貯蔵容器内に流れ落ちるため、接続配管が詰まることを防止することができる。
また、前記貯蔵容器内におけるガス化合物の圧力は、前記対象箇所の圧力よりも高いことが好ましい。この圧力差により、貯蔵容器内のガス化合物が対象箇所に供給される。
本実施の形態に係るガス供給装置は、前記貯蔵容器、前記温度制御装置及び前記ガス化合物供給配管を収容する収納容器又は収容室を有することが好ましい。これにより、貯蔵容器内のガス化合物又は液体化合物の温度又は圧力を精度よく制御することができる。
前記収納容器又は収容室は、前記収納容器又は収容室の内部空間の温度を制御する空調装置を有することが好ましい。これにより、ガス化合物供給配管の周囲の温度が大きく変化することを防止することができる。
当該ガス供給方法によると、貯蔵容器内におけるガス化合物又は液体化合物の温度をガス化合物供給配管の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御することができる。これにより、貯蔵容器内のガス化合物が供給配管内を流れる際に凝縮することが防止される。
初期運転工程:前記貯蔵容器を冷却して、前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度を前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御した後、前記貯蔵容器内の前記ガス化合物を、前記ガス化合物供給配管を介して対象箇所まで供給する工程。
すなわち、運転開始前には、液体化合物は貯蔵容器内に密閉されているため、貯蔵容器内で気液平衡になっている。したがって、液体化合物の気化によって貯蔵容器内の温度が低下することはない。よって、運転開始時には、貯蔵容器内の温度は、ガス化合物供給配管の周囲の温度と同程度であると考えられる。そのため、運転開始時には、貯蔵容器を冷却して、貯蔵容器内の液体化合物又はガス化合物の温度をガス化合物供給配管の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御した後、ガス化合物を対象箇所まで供給することにより、ガス化合物供給配管内の閉塞が確実に防止される。
定常運転工程:前記貯蔵容器内の前記ガス化合物を、前記ガス化合物供給配管を介して対象箇所まで供給すると共に、前記液体化合物の気化によって消費された熱エネルギーを前記貯蔵容器内に補給する工程。
すなわち、定常運転工程では、貯蔵容器内のガス化合物は対象箇所に供給され、また、供給されたガス化合物の分だけ、液体化合物が気化する。この液体化合物の気化によって熱エネルギーが消費されるため、その分だけ熱エネルギーを貯蔵容器内に補給することにより、貯蔵容器内のガス化合物及び液体化合物の温度を一定に保つことができる。これにより、貯蔵容器内のガス化合物及び液体化合物の温度低下に起因して、対象箇所へのガス化合物の供給量が低下することが防止される。
この場合、設定温度範囲の上限値とガス化合物供給配管の周囲の温度との間の温度差を大きくすることにより、ガス供給配管の閉塞を確実に防止することができる。また、当該温度差を小さくすることにより、対象箇所へのガス化合物の供給量を多くすることができる。
したがって、前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度が前記設定温度範囲の上限値に達したときには、貯蔵容器内に補給する熱エネルギー量を当該気化熱よりも少量にすることにより、前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度を前記設定温度範囲内(例えば設定温度の上限値未満)に戻すことができる。
ただし、貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度が前記設定温度範囲の上限値に達したときに、前記貯蔵容器を冷却してもよい。これにより、より早期に貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度が前記設定温度範囲内に戻すことができるため、ガス供給配管の閉塞をより確実に防止することができる。
これにより、5〜40℃という室温付近で液体である液体化合物を、対象箇所に供給することができる。
このように、貯蔵容器内の液体化合物及びガス化合物のうち液体化合物の測定温度に基づいて温度制御するため、より安定的に制御を行うことができる。
また、前述の対象箇所は、CVD装置又はエッチング装置であることが好ましい。
本実施の形態に係るガス供給装置及びガス供給方法に適用される液体化合物は、特に限定されるものではない。当該液体化合物としては、例えば、ハロゲン含有化合物、脂肪族化合物、芳香族化合物、エポキシ化合物、エーテル化合物、二トリル化合物、アルデヒド化合物、カルボン酸化合物、エステル化合物、アミン化合物、窒素酸化物、水、アルコール化合物、ケトン化合物、第4〜第12族金属含有化合物、13族元素化合物であるホウ素化合物、アルミニウム化合物、ガリウム化合物、インジウム化合物、14族元素含有化合物である珪素化合物、ゲルマニウム化合物、スズ化合物、鉛化合物、15族元素含有化合物であるリン化合物、ヒ素化合物、アンチモン化合物、16族元素含有化合物である硫黄化合物、セレン化合物等が挙げられる。
[第1の実施の形態(図1)]
<ガス供給装置1>
図1は、第1の実施の形態に係るガス供給装置及びガス供給方法を説明する模式図である。
第1の実施の形態に係るガス供給装置1は、液体化合物2から気化したガス化合物3を対象箇所(本実施の形態ではエッチング装置)100まで供給するためのガス供給装置であって、前記液体化合物2を収容可能な貯蔵容器10と、一端が前記貯蔵容器10に接続されており、他端が前記対象箇所(エッチング装置)100に配置可能となっているガス化合物供給配管20と、前記貯蔵容器10内における液体化合物2の温度を前記ガス化合物供給配管20の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御する温度制御装置30と、を有する。
このガス化合物供給配管20の当該他端が、対象箇所(エッチング装置)100に接続されている。また、当該対象箇所(エッチング装置)100は、真空にて使用される。このため、対象箇所(エッチング装置)100の圧力とガス供給装置1内の圧力との圧力差により、ガス供給装置1から対象箇所(エッチング装置)100に、ガス化合物が供給可能とされている。
このガス供給装置1は、ガス化合物供給配管20の周囲の温度を測定し、測定結果を伝熱装置40に送信する周囲温度測定装置32を更に有する。
熱媒体は、水等の液体でもよく、また、空気等の気体でもよい。
この制御装置45は、有線31aを介して液体温度測定装置31で測定された液体温度に関する信号を受信可能とされ、有線32aを介して周囲温度測定装置32で測定される周囲温度に関する信号を受信可能とされ、有線42aを介して熱媒体供給装置42に出力信号を送信可能とされている。
但し、これら有線31a、32a、42aのうちの一部又は全部は無線としてもよい。
この収容室50は、収容室50の内部空間の温度を制御する空調装置51を有する
この前記接続配管12は、前記貯蔵容器本体11側から前記ガス化合物供給配管20側に向かって、水平よりも上方に傾斜している。これにより、万一接続配管12内でガス化合物が凝縮して液体化合物になった場合、当該液体化合物が接続配管12の傾斜に沿って貯蔵容器本体11内に流れ落ちる。
この接続配管12の水平線に対する傾斜角度は、好ましくは10〜90°であり、より好ましくは20〜80°である。
次に、上記のとおり構成されたガス供給装置1を用いたガス供給方法を説明する。
収容室50内において、空調装置51が、収容室50内を所定の温度に制御する。
この収容室50内において、周囲温度測定装置32が、ガス化合物供給配管20の周囲の温度を測定する。また、液体温度測定装置31が、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度を測定する。
このように本実施の形態では、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度を熱媒体の熱によって設定温度範囲に制御することを介して、貯蔵容器10内のガス化合物3の温度をガス化合物供給配管20の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)の設定温度範囲内に制御する。
このガス化合物供給配管20内におけるガス化合物3の流量は、マスフローコントローラー21によって制御される。
なお、この貯蔵容器10内の液体化合物2の温度が当該設定温度範囲の上限値に達したときには、熱媒体を介して貯蔵容器10内の液体化合物2又はガス化合物3に供給する熱量を、液体化合物2の気化により消費される熱量以下にすればよい。これにより、液体化合物2の温度を上限値以下に低下させることができる。
但し、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度が当該設定温度範囲の上限値に達したときに、貯蔵容器10を冷却してもよい。これにより、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度を早急に上限値以下に低下させることができる。その場合、伝熱装置40内で熱媒体の温度を貯蔵容器10内の液体化合物2の温度よりも低温にし、当該熱媒体を保温容器41内に供給すればよい。
本実施の形態に係るガス供給装置1を用いて運転を開始する際には、次の初期運転工程を行うことが好ましい。
すなわち、初期運転工程とは、前記貯蔵容器10の温度を調節(例えば冷却)して、前記貯蔵容器10内の液体化合物2の温度を前記ガス化合物供給配管20の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御した後、前記貯蔵容器10内の前記ガス化合物3を、前記ガス化合物供給配管20を介して対象箇所(エッチング装置)100まで供給する工程である。
運転開始時には、貯蔵容器10内の温度は、ガス化合物供給配管20の周囲の温度と同程度であることが多い。このような場合は、運転開始時には、貯蔵容器10を冷却して、貯蔵容器10内の液体化合物2又はガス化合物3の温度をガス化合物供給配管20の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御した後、ガス化合物3を対象箇所(エッチング装置)100まで供給することにより、ガス化合物供給配管20内の閉塞が確実に防止される。
また、必要に応じて、初期運転工程の前に、前記貯蔵容器10から対象箇所100までの配管内を減圧または真空処理することにより、配管内の空気や窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスを予め排気することも可能である。
また、上記の初期運転工程の後に、次の定常運転工程を行うことが好ましい。
すなわち、定常運転工程とは、前記貯蔵容器10内の前記ガス化合物3を、前記ガス化合物供給配管20を介して対象箇所(エッチング装置)100まで供給すると共に、前記液体化合物2の気化によって消費された熱エネルギーを前記貯蔵容器10内に補給する工程である。
これにより、貯蔵容器10内のガス化合物3及び液体化合物2の温度を一定に保つことができる。これにより、貯蔵容器10内のガス化合物3及び液体化合物2の温度低下によって液体化合物2の気化量が減少することを防止することができ、したがって、対象箇所(エッチング装置)100へのガス化合物3の供給量が低下することを防止することができる。
<ガス供給装置1A>
図2は、第2の実施の形態に係るガス供給装置及びガス供給方法を説明する模式図である。
第2の実施の形態に係るガス供給装置1Aは、図1のガス供給装置1において、液体温度測定装置31に代えて、接続配管12にガス温度測定装置33を設けたものである。このガス温度測定装置33は、有線33aを介して制御装置45Aに接続されている。
このガス供給装置1Aは、ガス化合物供給配管20の周囲の温度を測定し、測定結果を伝熱装置40Aに送信する周囲温度測定装置32を更に有する。
この制御装置45Aは、ガス温度測定装置33で測定されるガス化合物の温度及び周囲温度測定装置32で測定される周囲温度に関する信号を受信し、当該ガス化合物の温度が当該周囲温度以下(例えば周囲の温度未満)になるように、熱媒体供給装置42の出力を制御可能となっている。
但し、これら有線31a、32a、42aのうちの一部又は全部は無線としてもよい。
更に、このガス供給装置1は、収容室50を有する。この収容室50の構成は、第1の実施の形態と同様である。
この接続配管12に、ガス温度測定装置33が設置されている。このガス温度測定装置33の設置位置は、できるだけガス化合物供給配管20に近い位置であることが好ましい。これにより、ガス化合物供給配管20に供給される直近のガス化合物3の温度を測定することができるため、より確実にガス化合物供給配管20内が液体化合物3で閉塞することが防止される。
当該観点から、当該設置位置は、接続配管12の長さの中間位置よりもガス化合物供給配管20側であることが好ましい。また、当該設置位置は、ガス化合物供給配管20との接続箇所から100cm以内であることが好ましく、50cm以内であることがより好ましい。
前記ガス化合物供給配管20の構成は、第1の実施の形態と同様である。
上記のとおり構成されたガス供給装置1Aを用いたガス供給方法は、液体温度測定装置31に代えてガス温度測定装置33を用いたこと以外は、第1の実施の形態の場合と同様である。
すなわち、ガス温度測定装置33が、ガス温度に関する信号を、有線33aを介して制御装置45Aに送信する。また、周囲温度測定装置32が、周囲温度に関する信号を、有線32aを介して制御装置45Aに送信する。制御装置45Aは、ガス温度測定装置33からガス化合物温度に関する信号及び周囲温度測定装置32から周囲温度に関する信号を受信し、これらの信号に基づいて、熱媒体供給装置42に出力信号を送信する。当該出力信号に基づき、熱媒体供給装置42は、当該熱媒体供給装置42内の熱媒体を冷却又は加熱する。これにより、熱媒体供給装置42内における熱媒体の温度が制御される。
このように本実施の形態では、貯蔵容器10内のガス化合物3の温度をガス化合物供給配管20の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)の設定温度範囲内に制御する。
上記の点以外は、本実施の形態に係るガス供給方法は、第1の実施の形態に係るガス供給方法と同様である。
これにより、5〜40℃という室温近辺で液体である液体化合物2を、対象箇所(エッチング装置)100に供給することができる。
<ガス供給装置1B>
図3は、第3の実施の形態に係るガス供給装置及びガス供給方法を説明する模式図である。
第3の実施の形態に係るガス供給装置1Bは、図2のガス供給装置1Aにおいて、接続配管12に、ガス温度測定装置33に代えて圧力測定装置34を設け、また、圧力測定装置34が、有線34aを介して制御装置45Bに接続されたものである。
なお、後述するとおり本実施の形態では、貯蔵容器10内におけるガス化合物3の圧力を制御することを通じて、前記貯蔵容器10内における前記ガス化合物3又は液体化合物2の温度を前記ガス化合物供給配管20の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御する。
このガス供給装置1Bは、ガス化合物供給配管20の周囲の温度を測定し、測定結果を伝熱装置40Bに送信する周囲温度測定装置32を更に有する。
なお、予め制御装置45Bは、使用する液体化合物2の温度と飽和蒸気圧との関係を、計算式、表等として記憶している記憶部を有していることが好ましい。
この制御装置45Bは、有線34aを介して圧力測定装置34で測定されたガス圧力に関する信号を受信可能とされ、有線32aを介して周囲温度測定装置32で測定される周囲温度に関する信号を受信可能とされ、有線42aを介して熱媒体供給装置42に出力信号を送信可能とされている。但し、これら有線34a、32a、42aのうちの一部又は全部は無線としてもよい。
更に、このガス供給装置1は、収容室50を有する。この収容室50の構成は、第1の実施の形態と同様である。
この接続配管12に、圧力測定装置34が設置されている。この圧力測定装置34の設置位置は、できるだけガス化合物供給配管20に近い位置であることが好ましい。これにより、ガス化合物供給配管20に供給される直近のガス化合物3の圧力を測定することができるため、より確実にガス化合物供給配管20内が液体化合物3で閉塞することが防止される。当該観点から、当該設置位置は、接続配管12の長さの中間位置よりもガス化合物供給配管20側であることが好ましい。また、当該設置位置は、ガス化合物供給配管20との接続箇所から100cm以内であることが好ましく、50cm以内であることがより好ましい。
前記ガス化合物供給配管20の構成は、第1の実施の形態と同様である。
次に、上記のとおり構成されたガス供給装置1Bを用いたガス供給方法を説明する。
圧力測定装置34が、貯蔵容器10内におけるガス化合物3の圧力に関する信号を、有線34aを介して制御装置45Bに送信する。また、周囲温度測定装置32が、周囲温度に関する信号を、有線32aを介して制御装置45Bに送信する。
制御装置45Bは、当該周囲温度に関する信号に基づいて、ガス化合物3が当該周囲温度と同一温度に設定された場合における圧力(飽和蒸気圧)を得る。そして、当該圧力(飽和蒸気圧)よりも、圧力測定装置34から受信したガス化合物3の圧力が低圧になるように、熱媒体供給装置42に出力信号を送信する。例えば、圧力測定装置34から受信したガス化合物3の圧力が、周囲温度と同一温度に設定した場合における圧力(飽和蒸気圧)よりも低い設定圧力範囲内になるように、出力信号を決定し、当該出力信号を熱媒体供給装置42に送信する。
当該出力信号に基づき、伝熱装置40Bは、当該熱媒体供給装置42内の熱媒体を冷却又は加熱する。これにより、熱媒体供給装置42内における熱媒体の温度が制御される。
このようにして、貯蔵容器10内のガス化合物3の圧力が、ガス供給配管20の周囲温度と同一温度に設定した場合における圧力(飽和蒸気圧)以下(例えば飽和蒸気圧未満)に制御される。
その後、保温容器41内のガス化合物3は、熱媒体返送配管44を介して熱媒体供給装置42に返送される。
このように本実施の形態では、貯蔵容器10内のガス化合物3の圧力を設定圧力範囲に制御することを介して、貯蔵容器10内のガス化合物3の温度をガス化合物供給配管20の周囲の温度以下(例えば周囲の温度未満)の設定温度範囲内に制御する。
このガス化合物供給配管20内におけるガス化合物3の流量は、マスフローコントローラー21によって制御される。
但し、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度が当該設定温度範囲の上限値に達したときに、貯蔵容器10を冷却してもよい。これにより、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度を早急に上限値以下に低下させることができる。その場合、熱媒体供給装置42内で熱媒体の温度を低温にし、当該熱媒体を保温容器41内に供給すればよい。
しかし、当該態様に限定されるものではなく、例えば、ガス化合物3が当該周囲温度と同一温度に設定した場合における圧力(飽和蒸気圧)から、圧力測定装置34から受信したガス化合物3の圧力を引き算してなる差圧が、設定差圧範囲内になるように制御してもよい。
その場合、当該設定差圧範囲は、好ましくは0.01〜100KPa、より好ましくは0.1〜90KPa、更に好ましくは1.0〜80KPaである。
なお、初期運転工程及び定常運転工程については、第1の実施の形態の場合と同様である。
<ガス供給装置1C>
図4は、第4の実施の形態に係るガス供給装置及びガス供給方法を説明する模式図である。
第4の実施の形態に係るガス供給装置1Cは、空調装置61を備えた隣室(クリーンルーム)60と隣接している。この隣室60は、収容室50と隣接している。当該隣室60内に、対象箇所100が設置されている。
ガス供給装置1Cのガス供給配管20は、一端が貯蔵容器10に接続され、他端が対象箇所100に接続されている。したがって、ガス供給配管20は、収容室50から隣室60にわたって延在している。
制御装置45Cは、液体温度測定装置31で測定される液体温度に関する信号、周囲温度測定装置32で測定される周囲温度Xに関する信号、及び周囲温度測定装置62で測定される周囲温度Yに関する信号を受信し、当該液体温度が当該周囲温度X以下かつ周囲温度Y以下になるように、熱媒体供給装置42の出力を制御可能となっている。
本実施の形態に係るガス供給装置1Cの上記以外の構成は、ガス供給装置1と同様であり、同一符号は同一部分を示す。
本実施の形態においては、制御装置45Cが、液体温度測定装置31から液体温度に関する信号、周囲温度測定装置32から周囲温度Xに関する信号、及び周囲温度測定装置62から周囲温度Yに関する信号を受信し、これらの信号に基づいて、熱媒体供給装置42に出力信号を送信する。
当該出力信号に基づき、熱媒体供給装置42は、当該熱媒体供給装置42内の熱媒体を冷却又は加熱する。これにより、熱媒体供給装置42内における熱媒体の温度が制御される。
熱媒体供給装置42は、このようにして温度制御された熱媒体を、熱媒体供給配管43を介して保温容器41に供給する。保温容器41内に供給された熱媒体は、貯蔵容器10を介して、貯蔵容器10内の液体化合物2又は気体化合物3との間で熱の授受を行う。このようにして、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度が設定温度範囲に制御される。その後、保温容器41内の熱媒体は、熱媒体返送配管44を介して熱媒体供給装置42に返送される。
このように本実施の形態では、貯蔵容器10内の液体化合物2の温度を設定温度範囲に制御することを介して、貯蔵容器10内のガス化合物3の温度をガス化合物供給配管20の周囲の温度X以下かつガス化合物供給配管20の周囲の温度Y以下の設定温度範囲内に制御する。
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
例えば、第1〜第4の実施の形態において、収容室50や空調装置51は省略されていてもよい。但し、収容室50及び空調装置51を有する方が、より確実にガス供給配管20内におけるガス化合物の凝縮を防止することができる。
第1〜第4の実施の形態において、収容室50内に空調装置51を設置する等により、ガス供給配管の周囲温度が一定である場合には、周囲温度測定装置32を省略してもよい。隣室60内に空調装置61を設置する等により、ガス供給配管の周囲温度が一定である場合には、周囲温度測定装置62を省略してもよい。
第1〜第4の実施の形態において、液温測定装置31、ガス温度測定装置33、及び圧力測定装置34のいずれか二つ、又は全てを設置し、これらの二つ、又は全てに基づいて、貯蔵容器10内におけるガス化合物又は液体化合物の温度をガス供給配管の周囲温度以下(例えば周囲の温度未満)に制御してもよい。その場合、周囲温度測定装置32は設置しても省略してもよい。周囲温度測定装置62は設置しても省略してもよい。
第1〜第4の実施の形態において、伝熱装置40、40A、40B、40Cは、収容室50の外側に設置されてもよい。また、熱媒体は液体でも気体でもよい。
貯蔵容器10を保温容器41内に収容することに代えて、金属容器内に収容してもよい。その場合、金属容器内に貯蔵容器10を収容すると共に、金属容器を外側から加熱又は冷却するようにしてもよい。
伝熱装置40、40A、40B、40Cに代えて、ヒーターを設置してもよい。また、保温容器41の外側に、冷却用の冷媒配管を巻き付けてもよい。
上記実施の形態では、対象箇所100はエッチング装置であったが、CVD装置等の半導体製造装置であってもよく、その他、減圧下でガスを使用する装置であれば特に限定は無い。
なお、ガス供給装置としては、次のものを用いた。
<ガス供給装置>
図1に示すガス供給装置1を用いた。但し、ガス供給装置1のガス化合物供給配管20の先端には、対象箇所(エッチング装置)100に代えて、ガス化合物のトラップを備えた真空ポンプを接続した。当該トラップは、ガス化合物を受け入れる容器と、当該容器を収容する冷媒槽とからなる。この冷媒槽により、当該容器が周りから冷却されることにより、容器内のガス化合物が液化して容器内に補集される。
なお、当該ガス化合物供給装置1の詳細は、次の通りである。
口径:1/8インチ、長さ:10m、材質:SUS304
(2)収容室50
温度:20℃
(3)液体化合物
ヘキサフルオロベンゼン(飽和蒸気圧:10.7kPa(20℃)、融点:5℃、沸点:81℃)
(4)貯蔵容器10
容量:1L、液体化合物充填量:0.7L
上記のガス供給装置を用い、表1に示す条件にて、液体化合物の供給を行った。その結果を表1に示す。
実施例14〜16
上記のガス供給装置を用い、表2に示す条件にて、液体化合物の供給を行った。その結果を表2に示す。なお、実施例14〜16では、MFCを全開(設定値:50sccm)とした。
一方、比較例1〜2によると、貯蔵容器10内の液体化合物の温度がガス化合物供給配管20の周囲の温度を超えているため、ガス化合物供給配管20内でガス化合物が凝縮し、ガス化合物供給配管20が詰まった。
10 貯蔵容器
11 貯蔵容器本体
12 接続配管
20 ガス化合物供給配管
21 マスフローコントローラー(MFC)
30、30A、30B、30C 温度制御装置
31 液体温度測定装置
32 周囲温度測定装置
33 液体温度測定装置
34 圧力測定装置
40、40A、40B、40C 伝熱装置
41 保温容器
42 熱媒体供給装置
45,45A,45B,45C 制御装置
50 収容室
100 対象箇所
Claims (20)
- 液体化合物から気化したガス化合物を対象箇所まで供給するためのガス供給装置であって、
前記液体化合物を収容可能な貯蔵容器と、
一端が前記貯蔵容器に接続されており、他端が前記対象箇所に配置可能となっているガス化合物供給配管と、
前記貯蔵容器内における前記ガス化合物又は液体化合物の温度を前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下に制御する温度制御装置と、
を有し、
前記温度制御装置が、前記貯蔵容器を冷却する装置であるガス供給装置。 - 前記温度制御装置は、
前記貯蔵容器内の前記液体化合物の温度を測定する液体温度測定装置、及び
前記液体温度測定装置で測定される測定温度に関する信号を受信し、前記測定温度が前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下になるように、前記貯蔵容器に対して熱の授受を行う伝熱装置、
を有する、請求項1に記載のガス供給装置。 - 前記温度制御装置は、
前記貯蔵容器内の前記ガス化合物の温度を測定するガス温度測定装置、及び
前記ガス温度測定装置で測定される測定温度に関する信号を受信し、前記測定温度が前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下になるように、前記貯蔵容器に対して熱の授受を行う伝熱装置、
を有する、請求項1又は2に記載のガス供給装置。 - 前記温度制御装置は、
前記貯蔵容器内の前記ガス化合物の圧力を測定する圧力測定装置、及び
前記圧力測定装置で測定される測定圧力に関する信号を受信し、前記測定圧力が、前記ガス化合物供給配管の周囲温度と同一温度における前記ガス化合物の飽和蒸気圧以下になるように、前記貯蔵容器に対して熱の授受を行う伝熱装置、
を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のガス供給装置。 - 前記ガス化合物供給配管の周囲の温度を測定し、前記周囲の温度に関する信号を前記伝熱装置に送信する周囲温度測定装置を有する、請求項2〜4のいずれか1項に記載のガス供給装置。
- 前記貯蔵容器は、貯蔵容器本体と、前記貯蔵容器本体の前記ガス化合物が存在する領域と前記ガス化合物供給配管とを接続する接続配管とを有しており、
前記接続配管は、前記貯蔵容器本体側から前記ガス化合物供給配管側に向かって、水平よりも上方に傾斜している、請求項1〜5のいずれか1項に記載のガス供給装置。 - 前記ガス化合物供給配管の途中に、マスフローコントローラーが設置されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載のガス供給装置。
- 前記貯蔵容器内におけるガス化合物の圧力は、前記対象箇所の圧力よりも高い、請求項1〜7のいずれか1項に記載のガス供給装置。
- 前記貯蔵容器、前記温度制御装置及び前記ガス化合物供給配管を収容する、収納容器又は収容室を有する、請求項1〜8のいずれか1項に記載のガス供給装置。
- 前記収納容器又は収容室は、前記収納容器又は収容室の内部空間の温度を制御する空調装置を有する、請求項9に記載のガス供給装置。
- 貯蔵容器内に収容された液体化合物から気化したガス化合物を、ガス化合物供給配管を介して対象箇所まで供給するガス供給方法であって、
前記貯蔵容器を冷却して、前記貯蔵容器内の液体化合物又はガス化合物の温度を、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下に制御する、ガス供給方法。 - 下記の初期運転工程を有する、請求項11に記載のガス供給方法。
初期運転工程:前記貯蔵容器を冷却して、前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度を前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下に制御した後、前記貯蔵容器内の前記ガス化合物を、前記ガス化合物供給配管を介して対象箇所まで供給する工程。 - 下記の定常運転工程を有する、請求項11又は12に記載のガス供給方法。
定常運転工程:前記貯蔵容器内の前記ガス化合物を、前記ガス化合物供給配管を介して対象箇所まで供給すると共に、前記液体化合物の気化によって消費された熱エネルギーを前記貯蔵容器内に補給する工程。 - 前記貯蔵容器内の前記液体化合物又はガス化合物の温度を設定温度範囲内に制御するガス供給方法であって、
前記設定温度範囲の上限値は、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下の特定値である、請求項11〜13のいずれか1項に記載のガス供給方法。 - 前記設定温度範囲の上限値は5〜40℃の範囲内の特定値であり、
前記設定温度範囲の下限値は5〜40℃の範囲内の特定値であり、
前記貯蔵容器内の気圧における前記液体化合物の沸点が、前記上限値よりも高く、
前記貯蔵容器内の気圧における前記液体化合物の融点が、前記下限値よりも低い、請求項14に記載のガス供給方法。 - 前記貯蔵容器内に収容された前記液体化合物の温度を測定し、前記測定温度に基づいて、前記液体化合物への熱の授受を行うことにより、前記液体化合物の測定温度を設定温度範囲内に制御するガス供給方法であって、
前記設定温度範囲の上限値は、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下の特定値である、請求項11〜15のいずれか1項に記載のガス供給方法。 - 前記貯蔵容器内に存在するガス化合物の温度を測定し、前記測定温度に基づいて、前記液体化合物への熱の授受を行うことにより、前記ガス化合物の測定温度を設定温度範囲内に制御するガス供給方法であって、
前記設定温度範囲の上限値は、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度以下の特定値である、請求項11〜16のいずれか1項に記載のガス供給方法。 - 前記貯蔵容器内に存在するガス化合物の圧力を測定し、
前記貯蔵容器内に存在するガス化合物の圧力が、前記ガス化合物供給配管の周囲の温度と同一温度に設定した場合における前記液体化合物の飽和蒸気圧以下となるように、前記液体化合物への熱の授受を制御することにより、前記ガス化合物又は液体化合物の測定温度を設定温度範囲内に制御する、請求項11〜17のいずれか1項に記載のガス供給方法。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のガス供給装置を用いた、請求項11〜18のいずれか1項に記載のガス供給方法。
- 対象箇所が、CVD装置又はエッチング装置である、請求項11〜19のいずれか1項に記載のガス供給方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016142652 | 2016-07-20 | ||
JP2016142652 | 2016-07-20 | ||
PCT/JP2017/025214 WO2018016375A1 (ja) | 2016-07-20 | 2017-07-11 | ガス供給装置及びガス供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018016375A1 JPWO2018016375A1 (ja) | 2019-05-09 |
JP6958914B2 true JP6958914B2 (ja) | 2021-11-02 |
Family
ID=60992981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018528496A Active JP6958914B2 (ja) | 2016-07-20 | 2017-07-11 | ガス供給装置及びガス供給方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11427907B2 (ja) |
EP (1) | EP3489569B1 (ja) |
JP (1) | JP6958914B2 (ja) |
KR (1) | KR102259628B1 (ja) |
CN (1) | CN109477613B (ja) |
TW (1) | TWI671803B (ja) |
WO (1) | WO2018016375A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6813788B1 (ja) | 2020-04-24 | 2021-01-13 | セントラル硝子株式会社 | 組成物の供給方法、組成物、供給装置及び組成物の充填方法 |
JP7485922B2 (ja) | 2020-04-24 | 2024-05-17 | セントラル硝子株式会社 | 組成物の供給方法、組成物、供給装置及び組成物の充填方法 |
CN115493082B (zh) * | 2022-09-15 | 2023-08-01 | 四川红华实业有限公司 | 电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3031887A (en) * | 1960-12-01 | 1962-05-01 | Herrick L Johnston Inc | Device for measurement of liquid level or volume of liquefied gases |
JPS57155732A (en) | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Sharp Corp | Dry etching |
JPS6460938A (en) | 1987-09-01 | 1989-03-08 | Hitachi Ltd | Cathode for electron tube |
JPH04132300U (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-07 | 京セラ株式会社 | 液化ガス気化装置 |
JPH07161638A (ja) | 1993-12-03 | 1995-06-23 | Fuji Electric Co Ltd | 気相成長装置の有機金属化合物ガス供給装置 |
US6076359A (en) * | 1996-11-25 | 2000-06-20 | American Air Liquide Inc. | System and method for controlled delivery of liquified gases |
US6004433A (en) | 1997-02-03 | 1999-12-21 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes George Claude | Purification of electronic specialty gases by vapor phase transfilling |
US6199384B1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-03-13 | American Air Liquide Inc. | System and method for controlled delivery of liquefied gases including control aspects |
JP2001023974A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-26 | Sony Corp | 半導体装置の製造装置 |
US6581623B1 (en) * | 1999-07-16 | 2003-06-24 | Advanced Technology Materials, Inc. | Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels |
US6363728B1 (en) | 2000-06-20 | 2002-04-02 | American Air Liquide Inc. | System and method for controlled delivery of liquefied gases from a bulk source |
US6443435B1 (en) * | 2000-10-23 | 2002-09-03 | Applied Materials, Inc. | Vaporization of precursors at point of use |
US20020124575A1 (en) * | 2001-01-05 | 2002-09-12 | Atul Pant | Gas delivery at high flow rates |
AUPR728501A0 (en) * | 2001-08-27 | 2001-09-20 | Johns, Bradley Charles | Apparatus for dispensing a vapour into an air flow |
JP2003268551A (ja) | 2002-03-14 | 2003-09-25 | Furukawa Co Ltd | Cvd装置の原料供給装置 |
JP2003332327A (ja) | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Japan Pionics Co Ltd | 気化供給方法 |
JP2008172184A (ja) | 2006-02-23 | 2008-07-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
CN101230948A (zh) | 2007-01-24 | 2008-07-30 | 力晶半导体股份有限公司 | 气柜温度控制系统及其控制方法 |
US20110225986A1 (en) * | 2010-03-22 | 2011-09-22 | Justin Cole Germond | Systems and methods for gas supply and usage |
US9347614B2 (en) * | 2010-04-21 | 2016-05-24 | Honda Motor Co., Ltd. | Method and system for tank refilling using active fueling speed control |
KR101287113B1 (ko) | 2010-06-30 | 2013-07-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치용 캐니스터 및 이를 이용한 증착 장치 |
KR101883360B1 (ko) | 2011-03-28 | 2018-07-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 에피택셜 게르마늄 스트레서 합금들의 선택적 증착을 위한 방법 및 장치 |
US8776821B2 (en) | 2011-05-24 | 2014-07-15 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Vapor delivery device, methods of manufacture and methods of use thereof |
JP2013113151A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Toyota Motor Corp | エンジンの暖機装置 |
US9970108B2 (en) | 2014-08-01 | 2018-05-15 | Lam Research Corporation | Systems and methods for vapor delivery in a substrate processing system |
-
2017
- 2017-07-11 US US16/318,645 patent/US11427907B2/en active Active
- 2017-07-11 CN CN201780044746.4A patent/CN109477613B/zh active Active
- 2017-07-11 JP JP2018528496A patent/JP6958914B2/ja active Active
- 2017-07-11 WO PCT/JP2017/025214 patent/WO2018016375A1/ja active Application Filing
- 2017-07-11 KR KR1020197001592A patent/KR102259628B1/ko active IP Right Grant
- 2017-07-11 EP EP17830895.3A patent/EP3489569B1/en active Active
- 2017-07-13 TW TW106123430A patent/TWI671803B/zh active
-
2022
- 2022-04-21 US US17/725,655 patent/US20220251703A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190020063A (ko) | 2019-02-27 |
EP3489569A4 (en) | 2020-03-25 |
EP3489569B1 (en) | 2023-01-18 |
US20220251703A1 (en) | 2022-08-11 |
CN109477613A (zh) | 2019-03-15 |
EP3489569A1 (en) | 2019-05-29 |
JPWO2018016375A1 (ja) | 2019-05-09 |
TWI671803B (zh) | 2019-09-11 |
TW201810381A (zh) | 2018-03-16 |
US20190292660A1 (en) | 2019-09-26 |
CN109477613B (zh) | 2021-11-19 |
WO2018016375A1 (ja) | 2018-01-25 |
KR102259628B1 (ko) | 2021-06-02 |
US11427907B2 (en) | 2022-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20220251703A1 (en) | Gas supply apparatus and gas supply method | |
CN103180275B (zh) | 2,3,3,3-四氟丙烯的制备方法 | |
KR101620588B1 (ko) | 2,3,3,3-테트라플루오로프로펜 제조 방법 | |
JP5360230B2 (ja) | 2−クロロ−3,3,3−トリフルオロプロペンの製造方法 | |
CN103937460A (zh) | 包含1,1,1,2,3-五氟丙烷或2,3,3,3-四氟丙烯的组合物 | |
US11578022B2 (en) | Process for manufacture of 2-chloro-1,1,1-trifluoropropene | |
CN102686543B (zh) | 1230xa到1234yf的催化气相氟化 | |
JP2012020992A (ja) | 含フッ素プロペンの製造方法 | |
US11655199B2 (en) | Methods for producing halogenated alkene compound and fluorinated alkyne compound | |
CN102947255B (zh) | 2,3,3,3-四氟丙烯的制造方法 | |
US20230242466A1 (en) | Methods for producing halogenated alkene compound and fluorinated alkyne compound | |
CN103180276A (zh) | 通过五氯丙烷的气相氟化制造2-氯-3,3,3-三氟丙烯的方法 | |
CN109071386B (zh) | 1,2-二氯-3,3,3-三氟丙烯的制造方法 | |
US9029616B2 (en) | Process for 1-chloro-3,3,3-trifluoropropene from trifluoromethane | |
EP4093721A1 (en) | Synthesis of (e)-1,1,1,4,5,5,5-heptafluoro-4-(trifluoromethyl)pent-2-ene | |
JP2021042242A (ja) | 1,3−ジクロロ−3,3−ジフルオロプロペンの製造方法 | |
CN113661154A (zh) | 用于制备z-1,1,1,4,4,4-六氟丁-2-烯的方法以及用于制备其的中间体 | |
JP3105321B2 (ja) | フッ素含有エタン誘導体の製法 | |
TW202417405A (zh) | 鹵化烯化合物之製造方法、鹵化炔化合物之製造方法、含有鹵化烯化合物之組成物及含有鹵化炔化合物之組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6958914 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |