JP6953788B2 - ウエハの製造方法、及び押さえ治具 - Google Patents
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Description
また、本発明の第9の態様によれば、第4から第8のいずれかの態様において、押さえ部は、円周面に接触する部分が弾性体である、押さえ治具が提供される。
実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係るウエハの製造方法を示すフローチャートである。本実施形態のウエハの製造方法(以下、単に「ウエハの製造方法」と称す)は、円柱状の単結晶を切断してウエハを製造する方法である。ウエハの製造方法は、図1に示すように、接着工程(ステップS1)、切断工程(ステップS2)、固定工程(ステップS3)、及び剥離工程(ステップS4)を含む。なお、本実施形態において、「ウエハ」とは、円柱状の単結晶を切断して形成された円盤状の板を意味する。
2a・・・回転ローラー
3・・・ワイヤー
4・・・ワイヤー列
6・・・スライス台
7・・・台座
8・・・装着部
10・・・接着剤
12・・・取り付け部
12a・・・クランプ部
13・・・端面押さえ部
14・・・押さえ部
14a・・・第1押さえ部
14b・・・第2押さえ部
16、20、22・・・弾性体
17a・・・接続部
17b・・・接続部
19・・・締結部材
AX・・・中心軸(単結晶)
A、B、C、D・・・固定機構
C・・・単結晶
Sc・・・円周面(単結晶、ウエハ)
LQ・・・剥離液
L・・・基準線
T・・・剥離槽
W・・・ウエハ
Z・・・押さえ治具
Claims (10)
- 円柱状の単結晶を切断してウエハを製造する方法であって、
前記単結晶の円周面の一部を接着剤により台座に接着することと、
前記台座に接着された前記単結晶を切断装置により切断して、前記台座に接着され且つ間隔をおいて並ぶ複数の前記ウエハを形成することと、
前記複数のウエハのそれぞれの円周面の一部を押す押さえ部を用いて、前記押さえ部と前記台座との間及び前記押さえ部同士の間の一方又は双方で前記円周面を挟みこんで押すことにより、前記複数のウエハ間の相対位置を固定することと、
前記台座に接着された複数のウエハを、前記台座から剥離することと、を含み、
前記固定することは、前記台座に接着され且つ間隔をおいて並ぶ複数の前記ウエハを、前記切断装置に取り付けた状態で行うことを含む、ウエハの製造方法。 - 前記台座に接着され且つ前記押さえ部により前記円周面が挟みこんで押された状態の前記複数のウエハを、前記剥離することを含む、請求項1に記載のウエハの製造方法。
- 円柱状の単結晶を切断してウエハを製造する方法であって、
前記単結晶の円周面の一部を接着剤により台座に接着することと、
前記台座に接着された前記単結晶を切断装置により切断して、前記台座に接着され且つ間隔をおいて並ぶ複数の前記ウエハを形成することと、
前記複数のウエハのそれぞれの円周面の一部を押す押さえ部を用いて、前記押さえ部と前記台座との間及び前記押さえ部同士の間の一方又は双方で前記円周面を挟みこんで押すことにより、前記複数のウエハ間の相対位置を固定することと、
前記台座に接着され且つ前記押さえ部により前記円周面が挟みこんで押された状態の前記複数のウエハを、前記台座から剥離することと、を含む、ウエハの製造方法。 - 台座に固定された円柱状の単結晶を切断して形成された、間隔をおいて並ぶ複数のウエハのそれぞれの円周面の一部を押し、前記複数のウエハ間の相対位置を固定可能な押さえ部と、
前記単結晶を切断する切断装置に取り付け可能な取り付け部と、を備え、
前記切断装置に取り付けた状態で前記複数のウエハ間の相対位置を固定可能である、押さえ治具。 - 前記押さえ部は、自身と前記台座とで前記円周面を挟み込んで前記円周面の一部を押す第1押さえ部を備える、請求項4に記載の押さえ治具。
- 前記押さえ部は、前記単結晶の中心軸方向及び前記台座の対向方向に直交する方向から前記円周面を挟みこんで前記円周面の一部を押す1対の第2押さえ部を備える、請求項4または請求項5に記載の押さえ治具。
- 前記一対の第2押さえ部は、それぞれ、前記円周面の一部と接触する位置が、前記単結晶の中心軸と交わり且つ前記直交する方向の基準線に対して前記台座側に設定される、請求項6に記載の押さえ治具。
- 台座に固定された円柱状の単結晶を切断して形成された、間隔をおいて並ぶ複数のウエハのそれぞれの円周面の一部を押し、前記複数のウエハ間の相対位置を固定可能な押さえ部を備え、
前記押さえ部は、前記単結晶の中心軸方向及び前記台座の対向方向に直交する方向から前記円周面を挟みこんで前記円周面の一部を押す1対の第2押さえ部を備え、
前記一対の第2押さえ部は、それぞれ、前記円周面の一部と接触する位置が、前記単結晶の中心軸と交わり且つ前記直交する方向の基準線に対して前記台座側に設定される、押さえ治具。 - 前記押さえ部は、前記円周面に接触する部分が弾性体である、請求項4から請求項8のいずれか一項に記載の押さえ治具。
- 前記複数のウエハの両端の前記ウエハの端面に接触して支持する端面押さえ部を備える、請求項4から請求項9のいずれか一項に記載の押さえ治具。
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