JP3134922B2 - ウェーハ落下防止具 - Google Patents
ウェーハ落下防止具Info
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- JP3134922B2 JP3134922B2 JP34591196A JP34591196A JP3134922B2 JP 3134922 B2 JP3134922 B2 JP 3134922B2 JP 34591196 A JP34591196 A JP 34591196A JP 34591196 A JP34591196 A JP 34591196A JP 3134922 B2 JP3134922 B2 JP 3134922B2
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- Japan
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- wafer
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- wafers
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ落下防止具
に係り、特にワイヤソーで櫛歯状に切断されたウェーハ
のスライスベースからの落下を防止するウェーハ落下防
止具に関する。
に係り、特にワイヤソーで櫛歯状に切断されたウェーハ
のスライスベースからの落下を防止するウェーハ落下防
止具に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーでは、インゴットの切断に際
して、その切り終わり部分の欠損を防止するため、イン
ゴットにスライスベースを接着して切断している。この
ため、切り出されるウェーハは、全て１本のスライスベ
ースに接着された櫛歯状に切り出される。
して、その切り終わり部分の欠損を防止するため、イン
ゴットにスライスベースを接着して切断している。この
ため、切り出されるウェーハは、全て１本のスライスベ
ースに接着された櫛歯状に切り出される。
【０００３】一方、前記ワイヤソーによる切断後の面取
り工程や、ラッピング工程等は、すべてウェーハを１枚
ごと処理しているため、前記ワイヤソーで櫛歯状に切断
されたウェーハは、スライスベースから剥離して枚葉化
する必要がある。このため、前記ワイヤソーで切断され
たウェーハは、剥離装置に搬送され、スライスベースか
ら１枚ずつ剥離される（枚葉化される）。
り工程や、ラッピング工程等は、すべてウェーハを１枚
ごと処理しているため、前記ワイヤソーで櫛歯状に切断
されたウェーハは、スライスベースから剥離して枚葉化
する必要がある。このため、前記ワイヤソーで切断され
たウェーハは、剥離装置に搬送され、スライスベースか
ら１枚ずつ剥離される（枚葉化される）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来、
前記ワイヤソーで切断されたウェーハは、切断後は、そ
のままの状態、すなわち、なんらウェーハを保護するこ
となく剥離装置に搬送されていたため、その搬送中にス
ライスベースからウェーハが落下し、ウェーハが破損す
るという事態が生じていた。このワイヤソーで切断され
るウェーハ（特に半導体ウェーハ）は、１枚がきわめて
高価な品であるため、ウェーハの破損は、絶対に防止し
なければならない事項の一つである。
前記ワイヤソーで切断されたウェーハは、切断後は、そ
のままの状態、すなわち、なんらウェーハを保護するこ
となく剥離装置に搬送されていたため、その搬送中にス
ライスベースからウェーハが落下し、ウェーハが破損す
るという事態が生じていた。このワイヤソーで切断され
るウェーハ（特に半導体ウェーハ）は、１枚がきわめて
高価な品であるため、ウェーハの破損は、絶対に防止し
なければならない事項の一つである。
【０００５】また、通常、切断後のウェーハは、加工液
等が付着してきわめて汚れた状態にあるため、前記剥離
装置による剥離作業の前に予めウェーハを粗洗浄する
が、このウェーハの洗浄作業は、ウェーハを洗浄液内に
浸漬させ、ウェーハを上下動させて洗浄しているため、
ウェーハがよく落下するという事態が発生していた。こ
の場合、ウェーハは、落下しても水中であるため破損す
ることはないが、落下すると、歯欠けの状態になり、そ
の後の処理が面倒になるという欠点がある。
等が付着してきわめて汚れた状態にあるため、前記剥離
装置による剥離作業の前に予めウェーハを粗洗浄する
が、このウェーハの洗浄作業は、ウェーハを洗浄液内に
浸漬させ、ウェーハを上下動させて洗浄しているため、
ウェーハがよく落下するという事態が発生していた。こ
の場合、ウェーハは、落下しても水中であるため破損す
ることはないが、落下すると、歯欠けの状態になり、そ
の後の処理が面倒になるという欠点がある。
【０００６】すなわち、前記剥離装置で行う剥離作業
（枚葉化作業）は、ウェーハを１枚ずつ順番通りに剥離
し、カセットに収容する必要があるのが、途中で抜けた
ものがあると、元の位置に戻すのがきわめて面倒にな
る。また、複数のウェーハが落下した場合には、元の位
置に戻すのが不可能な場合もある。本発明は、このよう
な事情に鑑みてなされたもので、ワイヤソーで切断され
たウェーハのスライスベースからの落下を防止するウェ
ーハ落下防止具を提供することを目的とする。
（枚葉化作業）は、ウェーハを１枚ずつ順番通りに剥離
し、カセットに収容する必要があるのが、途中で抜けた
ものがあると、元の位置に戻すのがきわめて面倒にな
る。また、複数のウェーハが落下した場合には、元の位
置に戻すのが不可能な場合もある。本発明は、このよう
な事情に鑑みてなされたもので、ワイヤソーで切断され
たウェーハのスライスベースからの落下を防止するウェ
ーハ落下防止具を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、スライスベースが接着されたインゴット
をワイヤソーで櫛歯状のウェーハに切断し、その櫛歯状
に切断されたウェーハの前記スライスベースからの落下
を防止するウェーハ落下防止具において、前記ウェーハ
の外周に当接して前記ウェーハを支持する受材と、一端
が前記スライスベース又は前記スライスベースが取り付
けられたワークブロックに着脱自在に取り付けられ、他
端が前記受材を支持する一対の支持部材と、からなるこ
とを特徴とする。
成するために、スライスベースが接着されたインゴット
をワイヤソーで櫛歯状のウェーハに切断し、その櫛歯状
に切断されたウェーハの前記スライスベースからの落下
を防止するウェーハ落下防止具において、前記ウェーハ
の外周に当接して前記ウェーハを支持する受材と、一端
が前記スライスベース又は前記スライスベースが取り付
けられたワークブロックに着脱自在に取り付けられ、他
端が前記受材を支持する一対の支持部材と、からなるこ
とを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、ワイヤソーで櫛歯状に切
断されたウェーハは、その外周に当接した受材によっ
て、スライスベースから落下するのを防止される。そし
て、その受材は、ウェーハが接着されているスライスベ
ース、又は、そのスライスベースが取り付けられたワー
クブロックに着脱自在に取り付けることができる。
断されたウェーハは、その外周に当接した受材によっ
て、スライスベースから落下するのを防止される。そし
て、その受材は、ウェーハが接着されているスライスベ
ース、又は、そのスライスベースが取り付けられたワー
クブロックに着脱自在に取り付けることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハ落下防止具の好ましい実施の形態について詳
説する。前述したように、ワイヤソーでは、インゴット
の切断に際して、その切り終わり部分の欠損を防止する
ため、インゴットにスライスベースＳを取り付けて切断
している。
るウェーハ落下防止具の好ましい実施の形態について詳
説する。前述したように、ワイヤソーでは、インゴット
の切断に際して、その切り終わり部分の欠損を防止する
ため、インゴットにスライスベースＳを取り付けて切断
している。
【００１０】また、前記インゴットをワイヤソーのワー
クフィードテーブル（インゴットを支持してワイヤ列に
向けて送る装置）に装着する場合は、前記インゴットに
取り付けたスライスベースＳをワークブロックＢを取り
付け、このワークブロックＢを介して前記インゴットを
ワークテーブルに装着している。したがって、前記ワイ
ヤソーで切断されたウェーハＷ、Ｗ、…は、前記ワーク
ブロックＢごと、前記ワイヤソーから取り出され、ワー
クブロックＢごと剥離装置に搬送される。
クフィードテーブル（インゴットを支持してワイヤ列に
向けて送る装置）に装着する場合は、前記インゴットに
取り付けたスライスベースＳをワークブロックＢを取り
付け、このワークブロックＢを介して前記インゴットを
ワークテーブルに装着している。したがって、前記ワイ
ヤソーで切断されたウェーハＷ、Ｗ、…は、前記ワーク
ブロックＢごと、前記ワイヤソーから取り出され、ワー
クブロックＢごと剥離装置に搬送される。
【００１１】本実施の形態のウェーハ落下防止具は、こ
のワイヤソーで切断されたウェーハＷ、Ｗ、…に装着
し、ウェーハＷ、Ｗ、…がスライスベースＳから落下す
るのを防止する。以下、その構成について説明する。図
１、図２は、それぞれ本発明に係るウェーハ落下防止具
の全体構成を示す斜視図と側面図である。
のワイヤソーで切断されたウェーハＷ、Ｗ、…に装着
し、ウェーハＷ、Ｗ、…がスライスベースＳから落下す
るのを防止する。以下、その構成について説明する。図
１、図２は、それぞれ本発明に係るウェーハ落下防止具
の全体構成を示す斜視図と側面図である。
【００１２】同図に示すように、前記ウェーハ落下防止
具１０は、ウェーハＷ、Ｗ、…を受ける一対の受棒１
２、１２と、前記受棒１２、１２を支持する一対の支持
部材１４、１４とから構成されている。前記受棒１２
は、ステンレス製の棒材の外周をシリコンチューブで被
覆して形成され、前記ウェーハＷ、Ｗ、…の外周に当接
するように配置される。
具１０は、ウェーハＷ、Ｗ、…を受ける一対の受棒１
２、１２と、前記受棒１２、１２を支持する一対の支持
部材１４、１４とから構成されている。前記受棒１２
は、ステンレス製の棒材の外周をシリコンチューブで被
覆して形成され、前記ウェーハＷ、Ｗ、…の外周に当接
するように配置される。
【００１３】なお、前記受棒１２の配置位置は、ウェー
ハＷ、Ｗ、…を支持して、ウェーハＷ、Ｗ、…がスライ
スベースＳから落下するのを防止できる位置に配置す
る。具体的には、ウェーハＷ、Ｗ、…の下半分の外周に
当接し、左右対称位置に配置される。本実施の形態で
は、前記ウェーハＷ、Ｗ、…の中心に対して１００°の
間隔をもって配置されている。
ハＷ、Ｗ、…を支持して、ウェーハＷ、Ｗ、…がスライ
スベースＳから落下するのを防止できる位置に配置す
る。具体的には、ウェーハＷ、Ｗ、…の下半分の外周に
当接し、左右対称位置に配置される。本実施の形態で
は、前記ウェーハＷ、Ｗ、…の中心に対して１００°の
間隔をもって配置されている。
【００１４】前記支持部材１４は、前記一対の受棒１
２、１２を支持する部材であり、前記スライスベースＳ
に着脱自在に取り付けられる。この支持部材１４は、前
記受棒１２、１２を支持する側板１４Ａと、該側板１４
Ａを前記スライスベースＳに係合させて吊り下げる一対
のフック１４Ｂ、１４Ｂとから構成されている。前記側
板１４Ａは、ステンレス製のプレートをＸ字状に形成し
て構成され、その脚部１４ａ、１４ａに前記受棒１２、
１２を支持する。
２、１２を支持する部材であり、前記スライスベースＳ
に着脱自在に取り付けられる。この支持部材１４は、前
記受棒１２、１２を支持する側板１４Ａと、該側板１４
Ａを前記スライスベースＳに係合させて吊り下げる一対
のフック１４Ｂ、１４Ｂとから構成されている。前記側
板１４Ａは、ステンレス製のプレートをＸ字状に形成し
て構成され、その脚部１４ａ、１４ａに前記受棒１２、
１２を支持する。
【００１５】ここで、前記受棒１２、１２の支持は、前
記側板１４Ａの脚部先端に穿孔された取付孔１４Ｈ、１
４Ｈに、嵌入することにより行われ、該取付孔１４Ｈ、
１４Ｈは、前記受棒１２、１２とほぼ同径に形成されて
いる。前述したように、前記受棒１２の外周は、シリコ
ンチューブで被覆されているため、前記取付孔１４Ｈに
嵌入されると、そのシリコンチューブの弾性力により孔
の周縁に密着する。したがって、孔から受棒１２が抜け
落ちることはない。
記側板１４Ａの脚部先端に穿孔された取付孔１４Ｈ、１
４Ｈに、嵌入することにより行われ、該取付孔１４Ｈ、
１４Ｈは、前記受棒１２、１２とほぼ同径に形成されて
いる。前述したように、前記受棒１２の外周は、シリコ
ンチューブで被覆されているため、前記取付孔１４Ｈに
嵌入されると、そのシリコンチューブの弾性力により孔
の周縁に密着する。したがって、孔から受棒１２が抜け
落ちることはない。
【００１６】前記一対のフック１４Ｂ、１４Ｂは、ステ
ンレス製の円柱体にシリコンチューブを被覆して形成さ
れている。そして、前記側板１４Ａの上端部に所定間隔
をもって固着されている。前記側板１４Ａは、このフッ
ク１４Ｂ、１４Ｂを前記スライスベースＳの上面に引っ
掛けるようにして載置することにより、前記スライスベ
ースＳに吊り下げられる。
ンレス製の円柱体にシリコンチューブを被覆して形成さ
れている。そして、前記側板１４Ａの上端部に所定間隔
をもって固着されている。前記側板１４Ａは、このフッ
ク１４Ｂ、１４Ｂを前記スライスベースＳの上面に引っ
掛けるようにして載置することにより、前記スライスベ
ースＳに吊り下げられる。
【００１７】なお、前記スライスベースＳの幅は、前記
ワークブロックＢの幅よりも大きく形成されているの
で、このワークブロックＢから突出している部分に前記
フック１４Ｂ、１４Ｂを載置するようにする。したがっ
て、前記一対のフック１４Ｂ、１４Ｂの配置間隔は、こ
のスライスベースＳの突出部分に載置できる間隔とす
る。
ワークブロックＢの幅よりも大きく形成されているの
で、このワークブロックＢから突出している部分に前記
フック１４Ｂ、１４Ｂを載置するようにする。したがっ
て、前記一対のフック１４Ｂ、１４Ｂの配置間隔は、こ
のスライスベースＳの突出部分に載置できる間隔とす
る。
【００１８】また、前記フック１４Ｂ、１４Ｂは、前記
スライスベースＳの上面に載置すると、同時に前記ワー
クブロックＢの側面に当接するような間隔で配置する。
これにより、前記フック１４Ｂ、１４Ｂは、横方向のズ
レが規制され、安定して側板１４Ａ、１４Ｂを保持する
ことが可能になる。前記支持部材１４は、前記のごとく
構成されるが、前記側板１４Ａ、１４Ａの内側面の４ヵ
所には、シリコンゴムで形成された半球状の座１６、１
６、…が固着されている。これは、切断されたウェーハ
Ｗ、Ｗ、…が側板１４に接触して傷つくのを防止するた
めであり、前記受棒１２、１２をシリコンチューブで被
覆するのも同様の理由による。
スライスベースＳの上面に載置すると、同時に前記ワー
クブロックＢの側面に当接するような間隔で配置する。
これにより、前記フック１４Ｂ、１４Ｂは、横方向のズ
レが規制され、安定して側板１４Ａ、１４Ｂを保持する
ことが可能になる。前記支持部材１４は、前記のごとく
構成されるが、前記側板１４Ａ、１４Ａの内側面の４ヵ
所には、シリコンゴムで形成された半球状の座１６、１
６、…が固着されている。これは、切断されたウェーハ
Ｗ、Ｗ、…が側板１４に接触して傷つくのを防止するた
めであり、前記受棒１２、１２をシリコンチューブで被
覆するのも同様の理由による。
【００１９】前記の如く構成された本発明に係るウェー
ハ落下防止具の実施の形態の作用は次の通りである。ワ
イヤソーによって切断されたウェーハＷ、Ｗ、…は、ワ
ークブロックＢごとワイヤソーから取り出され、インゴ
ットローダーによって剥離装置まで搬送される。この
際、インゴットローダーでは、ワークブロックＢの両端
部を、そのアームで保持してウェーハＷ、Ｗ、…を搬送
する。
ハ落下防止具の実施の形態の作用は次の通りである。ワ
イヤソーによって切断されたウェーハＷ、Ｗ、…は、ワ
ークブロックＢごとワイヤソーから取り出され、インゴ
ットローダーによって剥離装置まで搬送される。この
際、インゴットローダーでは、ワークブロックＢの両端
部を、そのアームで保持してウェーハＷ、Ｗ、…を搬送
する。
【００２０】本実施の形態のウェーハ落下防止具１０
は、前記ワイヤソーで切断されたウェーハＷ、Ｗ、…を
ワイヤソーから取り出し、インゴットローダーに移載す
る際に装着する。その装着方法は、以下の通りである。
まず、フック１４Ｂ、１４ＢをスライスベースＳに掛
け、側板１４Ａ、１４ＡをスライスベースＳに吊り下げ
る。
は、前記ワイヤソーで切断されたウェーハＷ、Ｗ、…を
ワイヤソーから取り出し、インゴットローダーに移載す
る際に装着する。その装着方法は、以下の通りである。
まず、フック１４Ｂ、１４ＢをスライスベースＳに掛
け、側板１４Ａ、１４ＡをスライスベースＳに吊り下げ
る。
【００２１】次に、そのスライスベースＳに吊り下げら
れた側板１４Ａ、１４Ａの取付孔１４Ｈ、１４Ｈに受棒
１２、１２を挿入する。以上の作業によりウェーハ防止
具１０の装着は終了し、この状態において、前記受棒１
２、１２は、各ウェーハＷ、Ｗ、…の外周に当接する。
また、側板１４Ａ、１４Ａの内面に設けられた座１６、
１６、…が、両端に位置するウェーハＷ、Ｗの端面に当
接する。
れた側板１４Ａ、１４Ａの取付孔１４Ｈ、１４Ｈに受棒
１２、１２を挿入する。以上の作業によりウェーハ防止
具１０の装着は終了し、この状態において、前記受棒１
２、１２は、各ウェーハＷ、Ｗ、…の外周に当接する。
また、側板１４Ａ、１４Ａの内面に設けられた座１６、
１６、…が、両端に位置するウェーハＷ、Ｗの端面に当
接する。
【００２２】これにより、ウェーハＷ、Ｗ、…は、横方
向、縦方向、共にその動きが規制され、スライスベース
Ｓから落下するという事態が防止される。剥離作業前の
粗洗浄（揺動洗浄）の際も、この状態で行われるが、洗
浄作業に支障を来すことなく、また、洗浄効果を低下さ
せることなく、ウェーハＷ、Ｗ、…を洗浄することがで
きる。
向、縦方向、共にその動きが規制され、スライスベース
Ｓから落下するという事態が防止される。剥離作業前の
粗洗浄（揺動洗浄）の際も、この状態で行われるが、洗
浄作業に支障を来すことなく、また、洗浄効果を低下さ
せることなく、ウェーハＷ、Ｗ、…を洗浄することがで
きる。
【００２３】また、ウェーハＷ、Ｗ、…が剥離装置に搬
送されると、ウェーハＷ、Ｗ、…からウェーハ落下防止
具１０を取り外さなければならないが、その取り外し
は、側板１４Ａ、１４Ａから受棒１２、１２を抜き取れ
ば、簡単に取り外すことができる。このように、本実施
の形態のウェーハ落下防止具１０によれば、搬送中又は
洗浄中にウェーハＷ、Ｗ、…がスライスベースＳから落
下するのを確実に防止することができる。また、その装
着、取り外しも極めて簡単に行うことができる。
送されると、ウェーハＷ、Ｗ、…からウェーハ落下防止
具１０を取り外さなければならないが、その取り外し
は、側板１４Ａ、１４Ａから受棒１２、１２を抜き取れ
ば、簡単に取り外すことができる。このように、本実施
の形態のウェーハ落下防止具１０によれば、搬送中又は
洗浄中にウェーハＷ、Ｗ、…がスライスベースＳから落
下するのを確実に防止することができる。また、その装
着、取り外しも極めて簡単に行うことができる。
【００２４】また、側板１４Ａ、１４Ａが受棒１２、１
２の軸線に沿って移動可能であるため、様々な枚数のウ
ェーハに対応して取り付けることができる。なお、本実
施の形態では、支持部材１４の取り付けは、フック１４
Ｂ、１４ＢをスライスベースＳに掛けることにより行っ
ているが、取付方法は、これに限定されない。例えば、
図３に示すように、ワークブロックＢの側面にネジ孔を
形成し、このネジ孔に蝶ネジ１８を用いて側板１４Ａを
取り付けるように構成してもよい。
２の軸線に沿って移動可能であるため、様々な枚数のウ
ェーハに対応して取り付けることができる。なお、本実
施の形態では、支持部材１４の取り付けは、フック１４
Ｂ、１４ＢをスライスベースＳに掛けることにより行っ
ているが、取付方法は、これに限定されない。例えば、
図３に示すように、ワークブロックＢの側面にネジ孔を
形成し、このネジ孔に蝶ネジ１８を用いて側板１４Ａを
取り付けるように構成してもよい。
【００２５】また、本実施の形態では、側板１４Ａの脚
部１４ａ、１４ａに穿孔した取付孔１４Ｈ、１４Ｈに、
受棒１２、１２を嵌入することにより、受棒１２、１２
を取り付けているが、着脱自在な構成であれば、この取
付方法には限定されない。たとえば、図３に示すよう
に、側板１４Ａの脚部１４ａ、１４ａの先端に前記取付
孔１４Ｈ、１４Ｈに通じるキリ欠き１４Ｃ、１４Ｃを形
成し、このキリ欠き１４Ｃ、１４Ｃから受棒１２、１２
を嵌め込むように構成してもよい。
部１４ａ、１４ａに穿孔した取付孔１４Ｈ、１４Ｈに、
受棒１２、１２を嵌入することにより、受棒１２、１２
を取り付けているが、着脱自在な構成であれば、この取
付方法には限定されない。たとえば、図３に示すよう
に、側板１４Ａの脚部１４ａ、１４ａの先端に前記取付
孔１４Ｈ、１４Ｈに通じるキリ欠き１４Ｃ、１４Ｃを形
成し、このキリ欠き１４Ｃ、１４Ｃから受棒１２、１２
を嵌め込むように構成してもよい。
【００２６】また、本実施の形態では、ウェーハＷ、
Ｗ、…は、２本の受棒１２、１２によって支持されてい
るが、ウェーハＷ、Ｗ、…の外周に当接し、ウェーハ
Ｗ、Ｗ、…の落下を有効に防止することができるなら
ば、特にこの数には限定されない。たとえば、ウェーハ
Ｗ、Ｗ、…の下半分の外周の３ヵ所を等間隔で支持する
ように構成してもよい。
Ｗ、…は、２本の受棒１２、１２によって支持されてい
るが、ウェーハＷ、Ｗ、…の外周に当接し、ウェーハ
Ｗ、Ｗ、…の落下を有効に防止することができるなら
ば、特にこの数には限定されない。たとえば、ウェーハ
Ｗ、Ｗ、…の下半分の外周の３ヵ所を等間隔で支持する
ように構成してもよい。
【００２７】さらに、棒状に形成されている受棒１２で
支持するのではなく、図４に示すように、円弧状に形成
された受材２０で支持するように構成してもよい。
支持するのではなく、図４に示すように、円弧状に形成
された受材２０で支持するように構成してもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送中又は洗浄中にウェーハがスライスベースから落下
するのを確実に防止することができる。
搬送中又は洗浄中にウェーハがスライスベースから落下
するのを確実に防止することができる。
【図１】本発明に係るウェーハ落下防止具の全体構成を
示す斜視図
示す斜視図
【図２】図１の側面図
【図３】本発明に係るウェーハ落下防止具の他の実施の
形態の正面図
形態の正面図
【図４】本発明に係るウェーハ落下防止具の他の実施の
形態の正面図
形態の正面図
【符号の説明】 １０…ウェーハ落下防止具 １２…受棒 １４…支持部材 １４Ａ…側板 １４Ｂ…フック １４Ｈ…取付孔 １６…座 ２０…受材 Ｂ…ワークブロック Ｓ…スライスベース Ｗ…ウェーハ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/07 H01L 21/304 611
Claims (2)
- 【請求項１】 スライスベースが接着されたインゴット
をワイヤソーで櫛歯状のウェーハに切断し、その櫛歯状
に切断されたウェーハの前記スライスベースからの落下
を防止するウェーハ落下防止具において、 前記ウェーハの外周に当接して前記ウェーハを支持する
受材と、 一端が前記スライスベース又は前記スライスベースが取
り付けられたワークブロックに着脱自在に取り付けら
れ、他端が前記受材を支持する一対の支持部材と、から
なることを特徴とするウェーハ落下防止具。 - 【請求項２】 前記受材は、前記ウェーハの外周に所定
の間隔をもって当接する少なくとも２本の受棒で構成さ
れ、前記支持部材は、前記受棒を支持する一対の側板
と、その一対の側板を前記スライスベース又は前記スラ
イスベースが取り付けられたワークブロックに係合させ
る係合部材とからなることを特徴とする請求項１記載の
ウェーハ落下防止具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34591196A JP3134922B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | ウェーハ落下防止具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34591196A JP3134922B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | ウェーハ落下防止具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10181880A JPH10181880A (ja) | 1998-07-07 |
| JP3134922B2 true JP3134922B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=18379839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34591196A Expired - Fee Related JP3134922B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | ウェーハ落下防止具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3134922B2 (ja) |
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- 1996-12-25 JP JP34591196A patent/JP3134922B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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