JP6949091B2 - 回路基板構造およびその製造方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2018年12月28日に出願された台湾特許出願第107147584号の優先権を主張するもので、その全体が参照することにより本明細書に援用される。
先ず、図1Aは、本発明の実施形態の回路基板構造の製造方法の最初のステップを示している。先ず、コア基板100を準備する。いくつかの実施形態において、コア基板100は、ベース板102と、ベース板102の相対向する2つの面に配置された金属層104とを含み得る金属張積層板(例えば銅箔基板)を含んでいてよい。例えば、ベース板102は、紙フェノール樹脂(paper phenolic resin)、複合エポキシ、ポリイミド樹脂、ガラス繊維、他の適した絶縁材料またはこれらの組み合わせを含んでいてよく、その厚さは100μmから300μmであってよい。金属層104は、銅、タングステン、銀、スズ、ニッケル、コバルト、クロム、チタン、鉛、金、ビスマス、アンチモン、亜鉛、ジルコニウム、マグネシウム、インジウム、テルル、ガリウム、他の適した金属材料、これらの合金、またはこれらの組み合わせを含んでいてよく、その厚さは5μmから30μmであってよい。金属層104を、スパッタリング、ラミネーション、コーティング、またはこれらの組み合わせのような任意の適した方法を用いてベース板102上に形成することができる。他の実施形態では、コア基板100は金属張積層板に限定されず、単層基板、高密度配線基板または他の適した基板も含み得るということに留意されなければならない。
102…ベース板
104、126、130…金属層
106…絶縁層
108、124…導電層
110…パターン化マスク層
112…パターン化金属層
112a…はんだパッド
112b…配線層
114…マスク層
116…第1の金属ピラー
116B、120B、134B…底面
116T、120T…上面
118…第1のはんだレジスト層
120…第1の開口
122…はんだバンプ
122a…はんだ材料
122B…底面
128…第2の金属ピラー
132…第2のはんだレジスト層
D1…第1の距離
D2…第2の距離
D3…第3の距離
D4…第4の距離
W1…第1の幅
W2…第2の幅
Claims (14)
- 回路基板構造の製造方法であって、
コア基板を準備する工程と、
前記コア基板上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層上に、配線層およびパッドを含むパターン化金属層を形成する工程と、
前記パッド上に、上面を有する第1の金属ピラーを形成する工程と、
前記配線層上に第2の金属ピラーを形成する工程と、
前記パターン化金属層および前記第1の金属ピラー上に第1のはんだレジスト層を形成する工程であって、前記第1のはんだレジスト層が、前記第1の金属ピラーおよび前記第2の金属ピラーを露出させる第1の開口を有し、かつ前記第1の開口が底面を有し、前記第1の金属ピラーの前記上面が前記第1の開口の前記底面よりも高いかまたはこれに等しい、工程と、
はんだバンプを前記第2の金属ピラー上には形成せず前記第1の金属ピラー上に形成する工程と、を含む回路基板構造の製造方法。 - 前記第1のはんだレジスト層の前記第1の開口が底面を有し、前記第1の開口の前記底面の同一面上において、前記第1の金属ピラーが第1の幅を有すると共に、前記第1の開口の前記底面が第2の幅を有し、前記第1の幅は前記第2の幅よりも小さいかまたはこれに等しい請求項1に記載の回路基板構造の製造方法。
- 前記第1のはんだレジスト層上に第2のはんだレジスト層を形成する工程をさらに含み、前記第2のはんだレジスト層は、前記第1の金属ピラーを露出させる第2の開口を有する請求項1に記載の回路基板構造の製造方法。
- 前記第1の開口中に導電層を形成する工程と、
前記導電層上に金属層を形成する工程と、
をさらに含む請求項1に記載の回路基板構造の製造方法。 - 前記第1の金属ピラー上に前記はんだバンプを形成する前記工程が、
前記パッド上に前記第1の金属ピラーを形成した後であって、かつ前記パターン化金属層および前記第1の金属ピラー上に前記第1のはんだレジスト層を形成する前に、はんだ材料を前記第1の金属ピラー上に形成する工程と、
前記はんだ材料を加熱して、前記はんだ材料を前記はんだバンプに形成する工程と、
を含む、請求項1に記載の回路基板構造の製造方法。 - 上方から見て、前記第1の金属ピラーが、長方形、台形、逆台形、T字形、逆L字形、ジグザグ、十字形、円、楕円形またはこれらの組み合わせの形状を含む請求項1に記載の回路基板構造の製造方法。
- 前記パッドおよび前記配線層が前記第1の金属ピラーと同じ金属を含む請求項1に記載の回路基板構造の製造方法。
- 前記パッドおよび前記配線層が前記第1の金属ピラーとは異なる金属を含む請求項1に記載の回路基板構造の製造方法。
- コア基板と、
前記コア基板上に配置された絶縁層と、
前記絶縁層上に配置された、配線層およびパッドを含むパターン化金属層と、
前記パッド上に配置された、上面を有する第1の金属ピラーと、
前記配線層上に配置された第2の金属ピラーと、
前記パターン化金属層および前記第1の金属ピラー上に配置された第1のはんだレジスト層であって、前記第1のはんだレジスト層が、前記第1の金属ピラーおよび前記第2の金属ピラーを露出させる第1の開口を有し、かつ前記第1の開口が底面を有し、前記第1の金属ピラーの前記上面が前記第1の開口の前記底面よりも高いかまたはこれに等しい、第1のはんだレジスト層と、
前記第2の金属ピラー上には形成されず前記第1の金属ピラー上に形成されたはんだバンプと、を含む回路基板構造。 - 前記第1のはんだレジスト層の前記第1の開口が底面を有し、前記第1の開口の前記底面の同一面上において、前記第1の金属ピラーが第1の幅を有すると共に、前記第1の開口の前記底面が第2の幅を有し、前記第1の幅が前記第2の幅よりも小さいかまたはこれに等しい請求項9に記載の回路基板構造。
- 前記第1のはんだレジスト層上に配置された第2のはんだレジスト層をさらに含み、前記第2のはんだレジスト層は前記第1の金属ピラーを露出させる第2の開口を有する請求項9に記載の回路基板構造。
- 前記第1の開口中の導電層と、
前記導電層上の金属層と、
をさらに含む請求項9に記載の回路基板構造。 - 上方から見て、前記第1の金属ピラーが、長方形、台形、逆台形、T字形、逆L字形、ジグザグ、十字形、円、楕円形またはこれらの組み合わせの形状を含む請求項9に記載の回路基板構造。
- 前記パッドおよび前記配線層が前記第1の金属ピラーと同じ金属を含む請求項9に記載の回路基板構造。
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