JP6944659B2 - サーミスタセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また、同様に、非焼成で絶縁性基材に直接成膜できるサーミスタ用金属窒化物材料として、一般式:MxAlyNz(但し、MはZr,Nb,Mo,Hf,Ta及びWの少なくとも1種を示す。0.65≦y/(x+y)≦0.98、0.35≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であって高B定数が得られる材料も開発している(特許文献8)。
さらに、一般式:(M1−wAw)xAlyNz(但し、MはTi,V,Cr,Mn,Fe及びCoの少なくとも1種を示すと共に、AはSc,Zr,Mo,Nb及びWの少なくとも1種を示す。0.0<w<1.0、0.70≦y/(x+y)≦0.98、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相である材料も開発している(特許文献9)。
すなわち、複数の素子を同時に製造する際には、一枚の基材を切断して複数の素子を製造することが一般的である。そのような製造方法において、基材上の絶縁性下地膜を介して金属窒化膜を成膜した場合、基材全面に絶縁性下地膜が成膜されていると、素子毎に切断する際に切断面から絶縁性下地膜にクラックが入るおそれがあり、信頼性が低下するおそれがあった。また、絶縁性フィルム等のフレキシブルな基材を採用した場合、全体を曲げた際に、基材全面に成膜された絶縁性下地膜全体に曲げ応力が強く加わり、やはりクラックが入るおそれがあった。
すなわち、このサーミスタセンサでは、絶縁性下地膜が、非晶質膜であるので、結晶性の下地膜に比べて非晶質膜の絶縁性下地膜が応力の緩和層としても機能することで、クラックがより入り難くなると共に、耐熱試験後でも抵抗値変化が小さくなり、優れた耐熱性も得ることができる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、絶縁性下地膜が、金属窒化膜と同じ形状でパターン形成されているので、小面積化することができる。
また、同じメタルマスクにより同一形状の金属窒化膜と絶縁性下地膜とを続けてパターン形成することができ、工程数を削減することが可能になる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、金属窒化膜が、絶縁性下地膜の外周縁よりも内側にパターン形成され、対向電極が、金属窒化膜上から絶縁性下地膜上を介して基材上までパターン形成されているので、金属窒化膜から基材まで延在する対向電極の段差が小さくなり、段差による対向電極の断線を防ぐことができる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、絶縁性下地膜が、非晶質のAl−O膜であるので、Al−Oを結晶核として金属窒化膜が結晶成長することで、成膜初期から良質な柱状結晶化膜の金属窒化膜を得ることができる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、絶縁性下地膜が、非晶質のSi−N膜であるので、Si−Nを結晶核として金属窒化膜が結晶成長することで、成膜初期から良質な柱状結晶化膜の金属窒化膜を得ることができる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、金属窒化膜が、サーミスタ特性を有するM−A−N(但し、MはTi,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni及びCuの少なくとも1種を示すと共に、AはAl又は(Al及びSi)を示す。)、M’−Al−N(但し、M’はZr,Nb,Mo,Hf,Ta及びWの少なくとも1種を示す。)、又はG−A’−Al−N(但し、GはTi,V,Cr,Mn,Fe及びCoの少なくとも1種を示すと共に、A’はSc,Zr,Mo,Nb及びWの少なくとも1種を示す。)であり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であるので、高B定数を得ることができる。
すなわち、このサーミスタセンサでは、金属窒化膜が前記M−A−Nであり、前記M−A−Nにおける前記Mの元素がTiであり、前記Aの元素がAlであるので、金属窒化膜層がTi−Al−Nである。
すなわち、このサーミスタセンサでは、基材が絶縁性フィルムであるので、柔軟性を有する絶縁性下地膜及び金属窒化膜を成膜すれば、全体として柔軟性を有することができ、曲げた状態で設置等が可能なフレキシブルサーミスタとして使用することが可能になる。
すなわち、このサーミスタセンサの製造方法では、下地膜形成工程及び金属窒化膜形成工程で、同じメタルマスクを用いて基材上に絶縁性下地膜と金属窒化膜とをこの順で続けてパターン形成するので、同一形状の金属窒化膜と絶縁性下地膜とを続けて成膜でき、工程数を削減することが可能になる。特に、メタルマスクでパターニングするので、絶縁性下地膜がエッチングによりパターニングが困難な材料であるときでも、容易に所望の形状でパターン形成することが可能である。
すなわち、本発明に係るサーミスタセンサ及びその製造方法によれば、絶縁性下地膜が、基材の外周縁を避けてパターン形成されるので、素子毎に切断する際に基材部分だけを切断可能であると共に、基材全面に絶縁性下地膜を成膜した場合に比べて絶縁性下地膜に加わる応力を低減することができ、絶縁性下地膜にクラックが入り難い。したがって、本発明のサーミスタセンサでは、クラックが生じ難い絶縁性下地膜により、高い信頼性を得ることができる。
上記絶縁性下地膜3は、基材2の外周縁を避けてパターン形成されている。
上記金属窒化膜4は、柱状結晶化膜であり、絶縁性下地膜3は、非晶質膜である。
本実施形態では、絶縁性下地膜3が、無機系非晶質のAl−O膜である。
なお、絶縁性下地膜3が非晶質であることは、X線回折および電子線回折において回折パターンが得られないことで確認している。
また、金属窒化膜4は、緻密な柱状結晶化膜である。これは、断面SEMや断面TEMの結晶形態の評価によって確認することができる。さらに、金属窒化膜4及び非晶質の絶縁性下地膜3は、それぞれ柔軟性を有した膜であることも確認されている。
また、上記「y/(x+y)」(すなわち、A/(M+A))が0.98を超えると、抵抗率が非常に高く、きわめて高い絶縁性を示すため、サーミスタ材料として適用できない。
さらに、上記「z」(すなわち、N/(M+A+N))が0.5を超えると、ウルツ鉱型の単相を得ることができない。このことは、ウルツ鉱型の単相において、窒素サイトにおける欠陥がない場合の化学量論比が0.5(すなわち、N/(M+A+N)=0.5)であることに起因する。
以下の表1にAl,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Siの各イオン種における有効イオン半径を示す(参照論文 R.D.Shannon, Acta Crystallogr., Sect.A, 32, 751(1976))。
本発明は、ウルツ鉱型の結晶構造をもつ窒化物絶縁体である結晶性Al−NのAlサイトをTi等のMに置き換えることにより、キャリアドーピングし、電気伝導が増加することで、サーミスタ特性が得られるものであるが、例えばAlサイトをTiに置き換えた場合は、AlよりTiの方が有効イオン半径が大きいので、その結果、AlとTiとの平均イオン半径は増加する。その結果、原子間距離が増加し、格子定数が増加すると推測できる。
実際に、特許文献2〜7にて、ウルツ鉱型のMxAyNz(但し、MはTi,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni及びCuの少なくとも1種を示すと共に、AはAl又は(Al及びSi)を示す。)が得られ、サーミスタ特性が得られている。また、結晶性Al−NのAlサイトをTi等に置き換えることによる格子定数の増加が、X線データより確認されていることが報告されている。なお、Siについては、表1より、Si及びAlのイオン半径の大小関係は判別できないが、特許文献5にて、AlとSiの双方を含むMxAyNzにて、ウルツ鉱型の結晶構造をもち、さらに、サーミスタ特性が得られていることが報告されている。
また、上記「y/(x+y)」(すなわち、Al/(M’+Al))が0.98を超えると、抵抗率が非常に高く、きわめて高い絶縁性を示すため、サーミスタ材料として適用できない。
また、上記「z」(すなわち、N/(M’+Al+N))が0.35未満であると、金属の窒化量が少ないため、ウルツ鉱型の単相が得られず、十分な高抵抗と高B定数とが得られない。
また、上記「z」(すなわち、N/(M’+Al+N))が0.5を超えると、ウルツ鉱型の単相を得ることができない。このことは、ウルツ鉱型の単相において、窒素サイトにおける欠陥がない場合の化学量論比が0.5(すなわち、N/(M’+Al+N)=0.5)であることに起因する。
なお、実際に、特許文献8にて、ウルツ鉱型のM’xAlyNz(但し、M’はZr,Nb,Mo,Hf,Ta及びWの少なくとも1種を示す。0.65≦y/(x+y)≦0.98、0.35≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物では、非焼成で良好なB定数のサーミスタ特性が得られている。
また、上記「y/(x+y)」(すなわち、Al/(G+A’+Al))が0.98を超えると、抵抗率が非常に高く、きわめて高い絶縁性を示すため、サーミスタ材料として適用できない。
また、上記「z」(すなわち、N/(G+A’+Al+N))が0.4未満であると、金属の窒化量が少ないため、ウルツ鉱型の単相が得られず、十分な高抵抗と高B定数とが得られない。
さらに、上記「z」(すなわち、N/(G+A’+Al+N))が0.5を超えると、ウルツ鉱型の単相を得ることができない。このことは、ウルツ鉱型の単相において、窒素サイトにおける欠陥がない場合の化学量論比が0.5(すなわち、N/(G+A’+Al+N)=0.5)であることに起因する。
なお、実際に、特許文献9にて、ウルツ鉱型の(G1−wA’w)xAlyNz(但し、GはTi,V,Cr,Mn,Fe及びCoの少なくとも1種を示すと共に、A’はSc,Zr,Mo,Nb及びWの少なくとも1種を示す。0.0<w<1.0、0.70≦y/(x+y)≦0.98、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物では、非焼成で良好なB定数のサーミスタ特性が得られている。
上記金属窒化膜4は、エッチングやメタルマスク等を用いてパターン形成されている。
また、上記下地膜形成工程では、絶縁性下地膜3を基材2の外周縁を避けてパターン形成する。
上記金属窒化膜形成工程では、金属窒化膜4を構成する元素のうち窒素以外の元素からなる合金スパッタリングターゲットを用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って金属窒化膜4を成膜する。
この時のスパッタ条件は、例えば、到達真空度:4×10−5Pa、ターゲット投入電力(出力):200Wで、Arガス雰囲気下においてスパッタガス圧:0.4Paとする。なお、スパッタ時に用いられるガス種は、Arガスと酸素ガスとの混合ガスを用いてもよい。
また、絶縁性下地膜3が、金属窒化膜4と同じ形状でパターン形成されているので、小面積化することができる。
さらに、基材2が絶縁性フィルムであるので、柔軟性を有する絶縁性下地膜3及び金属窒化膜4を成膜すれば、全体として柔軟性を有することができ、曲げた状態で設置等が可能なフレキシブルサーミスタとして使用することが可能になる。
特に、200℃以上の温度でも使用可能な耐熱性が極めて優れたポリイミドフィルムを採用することで、200℃以上でも使用可能なフレキシブルサーミスタセンサを得ることができる。
すなわち、第2実施形態では、例えば基材2上にメタルマスクを用いて絶縁性下地膜23を矩形状にパターン形成した後、さらに別のメタルマスクを用いて金属窒化膜24を絶縁性下地膜23よりも小さい矩形状にパターン形成する。したがって、絶縁性下地膜23は、金属窒化膜24よりも広くパターニングされている。
すなわち、第2実施形態では、下地膜形成工程で、Si3N4スパッタリングターゲットを用いてスパッタを行って非晶質膜のSi−N膜を形成している。
なお、この時のスパッタ条件は、例えば、到達真空度:4×10−5Pa、ターゲット投入電力(出力):200Wで、スパッタガス圧:0.67Paとし、Arガス+窒素ガスの混合ガス雰囲気下において窒素ガス分圧:40%とする。
また、絶縁性下地膜23が、非晶質のSi−N窒化膜であるので、Si−Nを結晶核として同じ窒化物膜である金属窒化膜4が結晶成長することで、成膜初期から良質な柱状結晶化膜の金属窒化膜4を得ることができる。
本発明の実施例及び比較例として、図2に示すサーミスタセンサを膜評価用素子として次のように作製した。なお、これら実施例及び比較例は、膜評価用として基材全面に非晶質の絶縁性下地膜及び金属窒化膜を形成したものであり、パターン形成していない。
まず、本発明の実施例1〜3として、ポリイミド基板の基材上に絶縁性下地膜として非晶質のAl−O膜を表2に記載の膜厚で成膜した。
一方、本発明の実施例4,5として、ポリイミド基板の基材上に絶縁性下地膜として非晶質のSi−N膜を表2に記載の膜厚で成膜した。
次に、これら実施例1〜5の金属窒化膜上に、上述した条件で対向電極を形成して、本発明の実施例のサーミスタセンサを作製した。
なお、比較例2,3と実施例1〜5とは、対向電極のパターン形状が同じであるが、比較例1は対向電極のパターン形状が異なっているため、25℃の抵抗値が小さくなっている。
上記比較例及び本発明の各実施例について、4端子法(van der pauw法)にて25℃での比抵抗を測定した。その結果をもとに、対向電極のパターン形状を検討し、所望の25℃の抵抗値を設計した。
各膜評価用素子の25℃及び50℃の抵抗値を恒温槽内で測定し、25℃と50℃との抵抗値よりB定数を算出した。その結果も表2に示す。また、25℃と50℃との抵抗値より負の温度特性をもつサーミスタであることを確認している。
なお、本発明におけるB定数算出方法は、上述したように25℃と50℃とのそれぞれの抵抗値から以下の式によって求めている。
B定数(K)=ln(R25/R50)/(1/T25−1/T50)
R25(Ω):25℃における抵抗値
R50(Ω):50℃における抵抗値
T25(K):298.15K 25℃を絶対温度表示
T50(K):323.15K 50℃を絶対温度表示
なお、絶縁性下地膜3が、基材2の外周縁を避けてパターン形成されているので、素子毎に切断する前後において、絶縁性下地膜3にクラックが入ることがなく、所望の抵抗値とB定数が得られている。
これらの結果からわかるように、本発明の実施例及び比較例は、いずれも高い抵抗率及びB定数が得られているが、本発明の実施例は、いずれも比較例に比べて耐熱試験後の25℃抵抗値の上昇率が低く抑えられている。
これらの断面TEM像からわかるように、良好な柱状結晶のTi−Al−Nからなる金属窒化膜が得られている。なお、図中、金属窒化膜はTi−Al−N柱状結晶と記載している。非晶質からなる絶縁性下地膜上に金属窒化膜を結晶成長させることで、金属窒化膜は、成膜開始直後の初期結晶成長時より、窒素欠陥量が極めて少ない柱状結晶化膜が得られ、高い結晶性が得られる。さらに非晶質膜の絶縁性下地膜が応力の緩和層としても機能することで、耐熱試験後でも抵抗値変化が小さくなり、優れた耐熱性が得られている。
さらに、Al−O膜及びSi−N膜のいずれも電子線回折によいて、回折パターンが得られず、非晶質であることが確認されている。なお、図中、Al−O膜の絶縁性下地膜はAl−O非晶質と記載し、Si−N膜の絶縁性下地膜はSi−N非晶質と記載している。
Claims (11)
- 基材と、
前記基材上に形成された絶縁性下地膜と、
前記絶縁性下地膜上に形成されたサーミスタ特性を有する結晶性の金属窒化膜と、
前記金属窒化膜に形成された一対の対向電極とを備え、
前記絶縁性下地膜が、前記基材の外周縁を避けてパターン形成されていることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記絶縁性下地膜が、非晶質膜であることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1又は2に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記絶縁性下地膜が、前記金属窒化膜と同じ形状でパターン形成されていることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1又は2に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記金属窒化膜が、前記絶縁性下地膜の外周縁よりも内側にパターン形成され、
前記対向電極が、前記金属窒化膜上から前記絶縁性下地膜上を介して前記基材上までパターン形成されていることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記絶縁性下地膜が、非晶質のAl−O膜であることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記絶縁性下地膜が、非晶質のSi−N膜であることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記金属窒化膜が、サーミスタ特性を有するM−A−N(但し、MはTi,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni及びCuの少なくとも1種を示すと共に、AはAl又は(Al及びSi)を示す。)、M’−Al−N(但し、M’はZr,Nb,Mo,Hf,Ta及びWの少なくとも1種を示す。)、又はG−A’−Al−N(但し、GはTi,V,Cr,Mn,Fe及びCoの少なくとも1種を示すと共に、A’はSc,Zr,Mo,Nb及びWの少なくとも1種を示す。)であり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項7に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記金属窒化膜が前記M−A−Nであり、前記M−A−Nにおける前記Mの元素がTiであり、前記Aの元素がAlであることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載のサーミスタセンサにおいて、
前記基材が、絶縁性フィルムであることを特徴とするサーミスタセンサ。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載のサーミスタセンサの製造方法であって、
基材上に絶縁性下地膜を形成する下地膜形成工程と、
前記絶縁性下地膜上に金属窒化膜を形成する金属窒化膜形成工程とを有し、
前記下地膜形成工程で、前記絶縁性下地膜を前記基材の外周縁を避けてパターン形成することを特徴とするサーミスタセンサの製造方法。 - 請求項10に記載のサーミスタセンサの製造方法において、
前記下地膜形成工程及び前記金属窒化膜形成工程で、同じメタルマスクを用いて前記基材上に前記絶縁性下地膜と前記絶縁性下地膜とをこの順で続けてパターン形成することを特徴とするサーミスタセンサの製造方法。
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