JP6938475B2 - 保護膜形成用複合シート - Google Patents
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Description
本願は、2016年4月28日に、日本に出願された特願2016−092008号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
ところが、保護膜のレーザー印字面が、レーザー印字前の段階で既に粗くなっていると、鮮明にレーザー印字できないため、印字視認性が悪くなってしまう。このように、保護膜のレーザー印字面が粗くなるのは、既に保護膜形成用フィルムの段階でレーザー印字面に相当する表面が粗くなっているか、又は熱硬化性の保護膜形成用フィルムが硬化のための加熱中に、柔らかくなって変形し易くなっていたり、充填材等の含有成分が表面方向に移動してきたりすることが原因と推測される。したがって、少なくとも、加熱ではなく、紫外線等のエネルギー線の照射により硬化可能な保護膜形成用フィルムを用いて、レーザー印字面が粗くならないように硬化させることが望ましい。
本発明の保護膜形成用フィルムにおいては、エネルギー線を照射して保護膜としたとき、前記保護膜の表面(β’)となる、少なくとも一方の表面(β)の最大断面高さ(Rt)が10μm未満であることが好ましい。
また、本発明は、支持シートを備え、前記保護膜形成用フィルムを前記支持シート上に備えてなり、前記保護膜形成用フィルムにエネルギー線を照射して保護膜としたとき、前記保護膜の表面(β’)となる、前記保護膜形成用フィルムの表面(β)が、前記支持シートに向かい合っている、保護膜形成用複合シートを提供する。
本発明の保護膜形成用フィルムは、エネルギー線硬化性の保護膜形成用フィルムであって、前記保護膜形成用フィルムにエネルギー線を照射して保護膜としたとき、前記保護膜において、少なくとも一方の表面(β’)の最大断面高さ(Rt)が10μm未満となるものである。
後述するように、前記保護膜形成用フィルムを支持シートに設けることで、保護膜形成用複合シートを構成できる。
前記保護膜形成用フィルムは、エネルギー線硬化性であることにより、熱硬化性の保護膜形成用フィルムよりも、短時間での硬化によって保護膜を形成できる。
エネルギー線硬化性成分(a)は、未硬化であることが好ましく、粘着性を有することが好ましく、未硬化でかつ粘着性を有することがより好ましい。
紫外線は、例えば、紫外線源として高圧水銀ランプ、ヒュージョンHランプ、キセノンランプ、ブラックライト又はLEDランプ等を用いることで照射できる。電子線は、電子線加速器等によって発生させたものを照射できる。
本発明において、「エネルギー線硬化性」とは、エネルギー線を照射することにより硬化する性質を意味し、「非エネルギー線硬化性」とは、エネルギー線を照射しても硬化しない性質を意味する。
表面(β’)の最大断面高さ(Rt)の下限値は、特に限定されない。例えば、表面(β’)の最大断面高さ(Rt)は、0.5μm以上であってもよい。
表面(β’)のグロス値の上限値は、特に限定されない。例えば、表面(β’)のグロス値は、95以下であってもよい。
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表面(β)のグロス値の上限値は、特に限定されない。例えば、表面(β)のグロス値は、95以下であってもよい。
一方、熱硬化性の保護膜形成用フィルムは、加熱により保護膜を形成したとき、上述のような、本発明のエネルギー線硬化性の保護膜形成用フィルムでは抑制されていた、表面形状に関する不具合が抑制されない。また、熱硬化中においては、上述のように表面形状が変形し易いだけでなく、加熱時間が長いことによって、保護膜形成用フィルム及び保護膜の構成成分について、印字視認性に悪影響を与えるような変質も生じ易い。例えば、保護膜の表面における最大断面高さ(Rt)が10μm未満となっていても、保護膜の印字視認性が不良となることもある。このように、熱硬化性の保護膜形成用フィルムを用いた場合には、熱硬化中の様々な要因によって、保護膜の印字視認性が悪化してしまう。
例えば、剥離フィルムの凹凸面である表面を平滑化処理することで、最大断面高さ(Rt)を小さくする方法としては、原材料となる剥離フィルムの表面に平滑面を押圧して平滑形状を前記表面に転写する、いわゆる型押し法が挙げられる。この型押し法では、平滑面における平滑度を調節することで、剥離フィルムの表面の最大断面高さ(Rt)を調節できる。平滑形状の転写に用いる型は、ロール状(平滑面がロール面)、プレート状(平滑面が平面)、ブロック状(平滑面が平面)等、いずれの形状であってもよい。
また、剥離フィルムの平滑面の最大断面高さ(Rt)を大きくする方法としては、上記の型押し法以外に、例えば、サンドブラスト処理法、溶剤処理法等も挙げられる。
なお、本明細書においては、保護膜形成用フィルムの場合に限らず、「複数層が互いに同一でも異なっていてもよい」とは、「すべての層が同一であってもよいし、すべての層が異なっていてもよく、一部の層のみが同一であってもよい」ことを意味し、さらに「複数層が互いに異なる」とは、「各層の構成材料及び厚さの少なくとも一方が互いに異なる」ことを意味する。
ここで、「保護膜形成用フィルムの厚さ」とは、保護膜形成用フィルム全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなる保護膜形成用フィルムの厚さとは、保護膜形成用フィルムを構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
例えば、保護膜形成用フィルムの硬化時における、エネルギー線の照度は、4〜280mW/cm2であることが好ましい。そして、前記硬化時における、エネルギー線の光量は、3〜1000mJ/cm2であることが好ましい。
このような保護膜形成用フィルム13は、例えば、ロール状として保管するのに好適である。
保護膜形成用フィルム13において、前記表面13a及び表面13bのいずれか一方又は両方は、表面(β)である。
第1剥離フィルム151及び第2剥離フィルム152は、互いに同じものであってもよいし、例えば、保護膜形成用フィルム13から剥離させるときに必要な剥離力が互いに異なるなど、互いに異なるものであってもよい。
保護膜形成用フィルムは、その構成材料を含有する保護膜形成用組成物を用いて形成できる。例えば、保護膜形成用フィルムの形成対象面に保護膜形成用組成物を塗工し、必要に応じて乾燥させることで、目的とする部位に保護膜形成用フィルムを形成できる。保護膜形成用組成物中の、常温で気化しない成分同士の含有量の比率は、通常、保護膜形成用フィルムの前記成分同士の含有量の比率と同じとなる。なお、本明細書において、「常温」とは、特に冷やしたり、熱したりしない温度、すなわち平常の温度を意味し、例えば、15〜25℃の温度等が挙げられる。
保護膜形成用組成物としては、例えば、前記エネルギー線硬化性成分(a)を含有する保護膜形成用組成物(IV−1)等が挙げられる。
エネルギー線硬化性成分(a)は、エネルギー線の照射によって硬化する成分であり、保護膜形成用フィルムに造膜性や、可撓性等を付与するための成分でもある。
エネルギー線硬化性成分(a)としては、例えば、エネルギー線硬化性基を有する、重量平均分子量が80000〜2000000の重合体(a1)、及びエネルギー線硬化性基を有する、分子量が100〜80000の化合物(a2)が挙げられる。前記重合体(a1)は、その少なくとも一部が、後述する架橋剤(f)によって架橋されたものであってもよいし、架橋されていないものであってもよい。
なお、本明細書において、重量平均分子量とは、特に断りのない限り、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算値を意味する。
エネルギー線硬化性基を有する、重量平均分子量が80000〜2000000の重合体(a1)としては、例えば、他の化合物が有する基と反応可能な官能基を有するアクリル系重合体(a11)と、前記官能基と反応する基、及びエネルギー線硬化性二重結合等のエネルギー線硬化性基を有するエネルギー線硬化性化合物(a12)と、が重合してなるアクリル系樹脂(a1−1)が挙げられる。
これらの中でも、前記官能基は、水酸基であることが好ましい。
前記官能基を有するアクリル系重合体(a11)としては、例えば、前記官能基を有するアクリル系モノマーと、前記官能基を有しないアクリル系モノマーと、が共重合してなるものが挙げられ、これらモノマー以外に、さらにアクリル系モノマー以外のモノマー(非アクリル系モノマー)が共重合したものであってもよい。
また、前記アクリル系重合体(a11)は、ランダム共重合体であってもよいし、ブロック共重合体であってもよい。
前記アクリル系重合体(a11)を構成する前記非アクリル系モノマーは、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
前記エネルギー線硬化性化合物(a12)は、前記アクリル系重合体(a11)が有する官能基と反応可能な基として、イソシアネート基、エポキシ基及びカルボキシ基からなる群より選択される1種又は2種以上を有するものが好ましく、前記基としてイソシアネート基を有するものがより好ましい。前記エネルギー線硬化性化合物(a12)は、例えば、前記基としてイソシアネート基を有する場合、このイソシアネート基が、前記官能基として水酸基を有するアクリル系重合体(a11)のこの水酸基と容易に反応する。
ジイソシアネート化合物又はポリイソシアネート化合物と、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物;
ジイソシアネート化合物又はポリイソシアネート化合物と、ポリオール化合物と、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物等が挙げられる。
これらの中でも、前記エネルギー線硬化性化合物(a12)は、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートであることが好ましい。
エネルギー線硬化性基を有する、分子量が100〜80000の化合物(a2)中の前記エネルギー線硬化性基としては、エネルギー線硬化性二重結合を含む基が挙げられ、好ましいものとしては、(メタ)アクリロイル基、ビニル基等が挙げられる。
前記アクリレート系化合物としては、例えば、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル]プロパン、9,9−ビス[4−(2−(メタ)アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル]プロパン、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート(トリシクロデカンジメチロールジ(メタ)アクリレート)、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリテトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジ(メタ)アクリロキシプロパン等の2官能(メタ)アクリレート;
トリス(2−(メタ)アクリロキシエチル)イソシアヌレート、ε−カプロラクトン変性トリス−(2−(メタ)アクリロキシエチル)イソシアヌレート、エトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート;
ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー等の多官能(メタ)アクリレートオリゴマー等が挙げられる。
保護膜形成用組成物(IV−1)及び保護膜形成用フィルムは、前記エネルギー線硬化性成分(a)として前記化合物(a2)を含有する場合、さらにエネルギー線硬化性基を有しない重合体(b)も含有することが好ましい。
前記重合体(b)は、その少なくとも一部が架橋剤(f)によって架橋されたものであってもよいし、架橋されていないものであってもよい。
これらの中でも、前記重合体(b)は、アクリル系重合体(以下、「アクリル系重合体(b−1)」と略記することがある)であることが好ましい。
(メタ)アクリル酸ベンジル等の(メタ)アクリル酸アラルキルエステル;
(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルエステル等の(メタ)アクリル酸シクロアルケニルエステル;
(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルオキシエチルエステル等の(メタ)アクリル酸シクロアルケニルオキシアルキルエステル等が挙げられる。
前記水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸ヒドロキシメチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチル等が挙げられる。
前記置換アミノ基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸N−メチルアミノエチル等が挙げられる。
前記反応性官能基は、架橋剤(f)の種類等に応じて適宜選択すればよく、特に限定されない。例えば、架橋剤(f)がポリイソシアネート化合物である場合には、前記反応性官能基としては、水酸基、カルボキシ基、アミノ基等が挙げられ、これらの中でも、イソシアネート基との反応性が高い水酸基が好ましい。また、架橋剤(f)がエポキシ系化合物である場合には、前記反応性官能基としては、カルボキシ基、アミノ基、アミド基等が挙げられ、これらの中でもエポキシ基との反応性が高いカルボキシ基が好ましい。ただし、半導体ウエハや半導体チップの回路の腐食を防止するという点では、前記反応性官能基はカルボキシ基以外の基であることが好ましい。
例えば、前記エネルギー線硬化性成分(a)及び熱硬化性成分(h)を含有する保護膜形成用組成物(IV−1)を用いることにより、形成される保護膜形成用フィルムは、加熱によって被着体に対する接着力が向上し、この保護膜形成用フィルムから形成された保護膜の強度も向上する。
光重合開始剤(c)としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール等のベンゾイン化合物;アセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等のアセトフェノン化合物;ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド化合物;ベンジルフェニルスルフィド、テトラメチルチウラムモノスルフィド等のスルフィド化合物;1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα−ケトール化合物;アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物;チタノセン等のチタノセン化合物;チオキサントン等のチオキサントン化合物;ベンゾフェノン、2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)−2−ベンジル−1−ブタノン、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のベンゾフェノン化合物;パーオキサイド化合物;ジアセチル等のジケトン化合物;ベンジル;ジベンジル;2,4−ジエチルチオキサントン;1,2−ジフェニルメタン;2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]プロパノン;2−クロロアントラキノン等が挙げられる。
また、光重合開始剤(c)としては、例えば、1−クロロアントラキノン等のキノン化合物;アミン等の光増感剤等を用いることもできる。
保護膜形成用フィルムが充填材(d)を含有することにより、保護膜形成用フィルムを硬化して得られた保護膜は、熱膨張係数の調整が容易となる。そして、この熱膨張係数を保護膜の形成対象物に対して最適化することで、保護膜形成用複合シートを用いて得られたパッケージの信頼性がより向上する。また、保護膜形成用フィルムが充填材(d)を含有することにより、保護膜の吸湿率を低減したり、放熱性を向上させたりすることもできる。
充填材(d)としては、例えば、熱伝導性材料からなるものが挙げられる。
好ましい無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム、チタンホワイト、ベンガラ、炭化ケイ素、窒化ホウ素等の粉末;これら無機充填材を球形化したビーズ;これら無機充填材の表面改質品;これら無機充填材の単結晶繊維;ガラス繊維等が挙げられる。
これらの中でも、無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましい。
なお、本明細書において「平均粒子径」とは、特に断りのない限り、レーザー回折散乱法によって求められた粒度分布曲線における、積算値50%での粒子径(D50)の値を意味する。
カップリング剤(e)として、無機化合物又は有機化合物と反応可能な官能基を有するものを用いることにより、保護膜形成用フィルムの被着体に対する接着性及び密着性を向上させることができる。また、カップリング剤(e)を用いることで、保護膜形成用フィルムを硬化して得られた保護膜は、耐熱性を損なうことなく、耐水性が向上する。
好ましい前記シランカップリング剤としては、例えば、3−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシジルオキシメチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−(2−アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3−(2−アミノエチルアミノ)プロピルメチルジエトキシシラン、3−(フェニルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3−アニリノプロピルトリメトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、ビス(3−トリエトキシシリルプロピル)テトラスルファン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、イミダゾールシラン等が挙げられる。
架橋剤(f)を用いて、上述のエネルギー線硬化性成分(a)やエネルギー線硬化性基を有しない重合体(b)を架橋することにより、保護膜形成用フィルムの初期接着力及び凝集力を調節できる。
着色剤(g)としては、例えば、無機系顔料、有機系顔料、有機系染料等、公知のものが挙げられる。
保護膜形成用組成物(IV−1)及び保護膜形成用フィルムが含有する熱硬化性成分(h)は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
エポキシ系熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂(h1)及び熱硬化剤(h2)からなる。
保護膜形成用組成物(IV−1)及び保護膜形成用フィルムが含有するエポキシ系熱硬化性樹脂は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
エポキシ樹脂(h1)としては、公知のものが挙げられ、例えば、多官能系エポキシ樹脂、ビフェニル化合物、ビスフェノールAジグリシジルエーテル及びその水添物、オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェニレン骨格型エポキシ樹脂等、2官能以上のエポキシ化合物が挙げられる。
また、不飽和炭化水素基を有するエポキシ樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂を構成する芳香環等に、不飽和炭化水素基を有する基が直接結合した化合物等が挙げられる。
不飽和炭化水素基は、重合性を有する不飽和基であり、その具体的な例としては、エテニル基(ビニル基)、2−プロペニル基(アリル基)、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリルアミド基等が挙げられ、アクリロイル基が好ましい。
エポキシ樹脂(h1)のエポキシ当量は、100〜1000g/eqであることが好ましく、150〜800g/eqであることがより好ましい。
熱硬化剤(h2)は、エポキシ樹脂(h1)に対する硬化剤として機能する。
熱硬化剤(h2)としては、例えば、1分子中にエポキシ基と反応し得る官能基を2個以上有する化合物が挙げられる。前記官能基としては、例えば、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基、アミノ基、カルボキシ基、酸基が無水物化された基等が挙げられ、フェノール性水酸基、アミノ基、又は酸基が無水物化された基であることが好ましく、フェノール性水酸基又はアミノ基であることがより好ましい。
熱硬化剤(h2)のうち、アミノ基を有するアミン系硬化剤としては、例えば、ジシアンジアミド(以下、「DICY」と略記することがある)等が挙げられる。
不飽和炭化水素基を有する熱硬化剤(h2)としては、例えば、フェノール樹脂の水酸基の一部が、不飽和炭化水素基を有する基で置換されてなる化合物、フェノール樹脂の芳香環に、不飽和炭化水素基を有する基が直接結合してなる化合物等が挙げられる。
熱硬化剤(h2)における前記不飽和炭化水素基は、上述の不飽和炭化水素基を有するエポキシ樹脂における不飽和炭化水素基と同様のものである。
熱硬化剤(h2)のうち、例えば、ビフェノール、ジシアンジアミド等の非樹脂成分の分子量は、特に限定されないが、例えば、60〜500であることが好ましい。
硬化促進剤(i)は、保護膜形成用フィルムの硬化速度を調整するための成分である。
好ましい硬化促進剤(i)としては、例えば、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等の3級アミン類;2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール類(1個以上の水素原子が水素原子以外の基で置換されたイミダゾール);トリブチルホスフィン、ジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類(1個以上の水素原子が有機基で置換されたホスフィン);テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩等が挙げられる。
硬化促進剤(i)を用いる場合、保護膜形成用組成物(IV−1)及び保護膜形成用フィルムの硬化促進剤(i)の含有量は、特に限定されず、併用する成分に応じて適宜選択すればよい。
汎用添加剤(z)は、公知のものでよく、目的に応じて任意に選択でき、特に限定されないが、好ましいものとしては、例えば、可塑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、ゲッタリング剤等が挙げられる。
汎用添加剤(z)を用いる場合、保護膜形成用組成物(IV−1)及び保護膜形成用フィルムの汎用添加剤(z)の含有量は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択すればよい。
保護膜形成用組成物(IV−1)は、さらに溶媒を含有することが好ましい。溶媒を含有する保護膜形成用組成物(IV−1)は、取り扱い性が良好となる。
前記溶媒は特に限定されないが、好ましいものとしては、例えば、トルエン、キシレン等の炭化水素;メタノール、エタノール、2−プロパノール、イソブチルアルコール(2−メチルプロパン−1−オール)、1−ブタノール等のアルコール;酢酸エチル等のエステル;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン;テトラヒドロフラン等のエーテル;ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン等のアミド(アミド結合を有する化合物)等が挙げられる。
保護膜形成用組成物(IV−1)が含有する溶媒は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
保護膜形成用組成物(IV−1)等の保護膜形成用組成物は、これを構成するための各成分を配合することで得られる。
各成分の配合時における添加順序は特に限定されず、2種以上の成分を同時に添加してもよい。
溶媒を用いる場合には、溶媒を溶媒以外のいずれかの配合成分と混合してこの配合成分を予め希釈しておくことで用いてもよいし、溶媒以外のいずれかの配合成分を予め希釈しておくことなく、溶媒をこれら配合成分と混合することで用いてもよい。
配合時に各成分を混合する方法は特に限定されず、撹拌子又は撹拌翼等を回転させて混合する方法;ミキサーを用いて混合する方法;超音波を加えて混合する方法等、公知の方法から適宜選択すればよい。
各成分の添加及び混合時の温度並びに時間は、各配合成分が劣化しない限り特に限定されず、適宜調節すればよいが、温度は15〜30℃であることが好ましい。
本発明の保護膜形成用フィルムは、剥離フィルム(好ましくはその剥離処理面)上に保護膜形成用組成物を塗工し、必要に応じて乾燥させることで製造できる。このとき、剥離フィルムにおける保護膜形成用組成物の塗工面の最大断面高さ(Rt)を調節することで、前記表面(β)を有する保護膜形成用フィルムを形成できる。
本発明の保護膜形成用フィルムは、上述のように、支持シートに設けることで、保護膜形成用複合シートを構成できる。保護膜形成用複合シートは、その保護膜形成用フィルムにより、半導体ウエハの裏面(電極形成面とは反対側の面)に貼付されて、使用される。以降は、後述する保護膜形成用複合シートの場合と同じ方法で、保護膜形成用フィルムの硬化による保護膜の形成、ダイシング、保護膜付き半導体チップのピックアップ等を行い、目的とする半導体装置を製造すればよい。
本発明の保護膜形成用複合シートは、支持シートを備え、前記保護膜形成用フィルムを前記支持シート上に備えてなり、前記保護膜形成用フィルムにエネルギー線を照射して保護膜としたとき、前記保護膜の表面(β’)となる、前記保護膜形成用フィルムの表面(β)が、前記支持シートに向かい合っているものである。
本発明の保護膜形成用複合シートは、ダイシングシートとしての機能が予め付与されたものである。
前記保護膜形成用複合シートは、前記保護膜形成用フィルムを備えていることで、保護膜の表面(β’)におけるレーザー印字が鮮明となり、印字視認性に優れる。
以下、保護膜形成用複合シートの構成について、詳細に説明する。
前記支持シートは、1層(単層)からなるものでもよいし、2層以上の複数層からなるものでもよい。支持シートが複数層からなる場合、これら複数層は、互いに同一でも異なっていてもよく、これら複数層の組み合わせは、本発明の効果を損なわない限り、特に限定されない。
本発明の保護膜形成用複合シートの例を、以下、図面を参照しながら説明する。
なお、図2以降の図において、既に説明済みの図に示すものと同じ構成要素には、その説明済みの図の場合と同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
ここに示す保護膜形成用複合シート1Dは、治具用接着剤層16を備えていない点以外は、図2に示す保護膜形成用複合シート1Cと同じものである。すなわち、保護膜形成用複合シート1Dにおいては、基材11の一方の表面11aに保護膜形成用フィルム13が積層され、保護膜形成用フィルム13の第1面13aの全面に剥離フィルム15が積層されている。
また、本発明の保護膜形成用複合シートにおいては、剥離フィルムと、この剥離フィルムと直接接触している層との間に、一部隙間が生じていてもよい。
また、本発明の保護膜形成用複合シートにおいては、各層の大きさや形状は、目的に応じて任意に調節できる。
なかでも、保護膜形成用フィルムがエネルギー線硬化性を有する本発明においては、支持シートはエネルギー線を透過させるものが好ましい。
一方、支持シートにおいて、波長375nmの光の透過率の上限値は特に限定されない。例えば、前記光の透過率は95%以下であってもよい。
一方、支持シートにおいて、波長532nmの光の透過率の上限値は特に限定されない。例えば、前記光の透過率は95%以下であってもよい。
一方、支持シートにおいて、波長1064nmの光の透過率の上限値は特に限定されない。例えば、前記光の透過率は95%以下であってもよい。
支持シートにおける保護膜形成用組成物の塗工面としては、例えば、前記基材の表面が挙げられる。
次に、支持シートを構成する層について、さらに詳細に説明する。
前記基材は、シート状又はフィルム状であり、その構成材料としては、例えば、各種樹脂が挙げられる。
前記樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン(LDPE)、直鎖低密度ポリエチレン(LLDPE)、高密度ポリエチレン(HDPE)等のポリエチレン;ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、ノルボルネン樹脂等のポリエチレン以外のポリオレフィン;エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン−ノルボルネン共重合体等のエチレン系共重合体(モノマーとしてエチレンを用いて得られた共重合体);ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体等の塩化ビニル系樹脂(モノマーとして塩化ビニルを用いて得られた樹脂);ポリスチレン;ポリシクロオレフィン;ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレンジカルボキシレート、すべての構成単位が芳香族環式基を有する全芳香族ポリエステル等のポリエステル;2種以上の前記ポリエステルの共重合体;ポリ(メタ)アクリル酸エステル;ポリウレタン;ポリウレタンアクリレート;ポリイミド;ポリアミド;ポリカーボネート;フッ素樹脂;ポリアセタール;変性ポリフェニレンオキシド;ポリフェニレンスルフィド;ポリスルホン;ポリエーテルケトン等が挙げられる。
また、前記樹脂としては、例えば、前記ポリエステルとそれ以外の樹脂との混合物等のポリマーアロイも挙げられる。前記ポリエステルとそれ以外の樹脂とのポリマーアロイは、ポリエステル以外の樹脂の量が比較的少量であるものが好ましい。
また、前記樹脂としては、例えば、ここまでに例示した前記樹脂の1種又は2種以上が架橋した架橋樹脂;ここまでに例示した前記樹脂の1種又は2種以上を用いたアイオノマー等の変性樹脂も挙げられる。
ここで、「基材の厚さ」とは、基材全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなる基材の厚さとは、基材を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
そして、保護膜形成用フィルムがエネルギー線硬化性を有する本発明においては、基材はエネルギー線を透過させるものが好ましい。
本発明の保護膜形成用複合シートは、上述の各層を対応する位置関係となるように順次積層することで製造できる。各層の形成方法は、先に説明したとおりである。
剥離フィルムは、保護膜形成用フィルムを形成後の任意のタイミングで取り除けばよい。
本発明の保護膜形成用複合シートは、例えば、以下に示す方法で使用できる。
すなわち、半導体ウエハの裏面(電極形成面とは反対側の面)に、保護膜形成用複合シートをその保護膜形成用フィルムによって貼付する。次いで、保護膜形成用フィルムにエネルギー線を照射して、保護膜形成用フィルムを硬化させて保護膜とする。次いで、ダイシングによって、半導体ウエハを保護膜ごと分割して半導体チップとする。そして、半導体チップを、この保護膜が貼付された状態のまま(すなわち、保護膜付き半導体チップとして)、支持シートから引き離してピックアップする。
以降は従来法と同様の方法で、得られた保護膜付き半導体チップの半導体チップを基板の回路面にフリップチップ接続した後、半導体パッケージとする。そして、この半導体パッケージを用いて、目的とする半導体装置を作製すればよい。
・エネルギー線硬化性成分
(a2)−1:トリシクロデカンジメチロールジアクリレート(日本化薬社製「KAYARAD R−684」、2官能紫外線硬化性化合物、分子量304)
・エネルギー線硬化性基を有しない重合体
(b)−1:アクリル酸ブチル(以下、「BA」と略記する)(10質量部)、アクリル酸メチル(以下、「MA」と略記する)(70質量部)、メタクリル酸グリシジル(以下、「GMA」と略記する)(5質量部)及びアクリル酸−2−ヒドロキシエチル(以下、「HEA」と略記する)(15質量部)を共重合してなるアクリル系重合体(重量平均分子量300000、ガラス転移温度−1℃)。
(b)−2:MA(85質量部)及びHEA(15質量部)を共重合してなるアクリル系重合体(重量平均分子量370000、ガラス転移温度6℃)。
・光重合開始剤
(c)−1:2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)−2−ベンジル−1−ブタノン(BASF社製「Irgacure(登録商標)369」)
(c)−2:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(BASF社製「Irgacure(登録商標)OXE02」)
・充填材
(d)−1:シリカフィラー(溶融石英フィラー、平均粒子径8μm)
(d)−2:球状シリカフィラー(アドマテックス社製「SC2050MA」、平均粒子径0.5μm)
・カップリング剤
(e)−1:3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBM−503」、シランカップリング剤)
(e)−2:3−アミノプロピルトリメトキシシラン(日本ユニカー社製「A−1110」、シランカップリング剤)
・着色剤
(g)−1:フタロシアニン系青色色素(Pigment Blue 15:3)32質量部と、イソインドリノン系黄色色素(Pigment Yellow 139)18質量部と、アントラキノン系赤色色素(Pigment Red 177)50質量部とを混合し、前記3種の色素の合計量/スチレンアクリル樹脂量=1/3(質量比)となるように顔料化して得られた顔料。
(g)−2:カーボンブラック(三菱化学社製「#MA650」、平均粒子径28nm)
・エポキシ樹脂
(h1)−1:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「jER828」、エポキシ当量184〜194g/eq)
(h1)−2:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「jER1055」、エポキシ当量800〜900g/eq)
(h1)−3:ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC社製「エピクロンHP−7200HH」、エポキシ当量255〜260g/eq)
・熱硬化剤
(h2)−1:ジシアンジアミド(熱活性潜在性硬化剤、ADEKA社製「アデカハードナーEH−3636AS」、活性水素量21g/eq)
・硬化促進剤
(i)−1:2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業社製「キュアゾール2PHZ−PW」)
・基材(11)−1:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が0.9μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリプロピレン系フィルムからなる基材。
・基材(11)−2:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が8.0μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリプロピレン系フィルムからなる基材。
・基材(91)−1:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が12.0μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリプロピレン系フィルムからなる基材。
・基材(91)−2:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が16.0μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリプロピレン系フィルムからなる基材。
・剥離フィルム(15)−1:ポリエチレンテレフタレート製フィルムの片面がシリコーン処理により剥離処理された剥離フィルム(リンテック社製「SP−PET381031」、厚さ38μm)。
・剥離フィルム(15)−3:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が0.9μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリエチレンテレフタレートを用いた剥離フィルム。
・剥離フィルム(15)−4:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が8.0μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリエチレンテレフタレートを用いた剥離フィルム。
・剥離フィルム(95)−1:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が12.0μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリエチレンテレフタレートを用いた剥離フィルム。
・剥離フィルム(95)−2:厚さが80μm、一方の表面の最大断面高さ(Rt)が16.0μm、他方の表面の最大断面高さ(Rt)が1.5μmであるポリエチレンテレフタレートを用いた剥離フィルム。
<保護膜形成用フィルム及び保護膜形成用複合シートの製造>
(保護膜形成用組成物(IV−1)の製造)
エネルギー線硬化性成分(a2)−1、重合体(b)−1、光重合開始剤(c)−1、光重合開始剤(c)−2、充填材(d)−1、カップリング剤(e)−1及び着色剤(g)−1を、これらの含有量(固形分量、質量部)が表1に示す値となるようにメチルエチルケトンに溶解又は分散させて、23℃で撹拌することで、固形分濃度が50質量%である保護膜形成用組成物(IV−1)を調製した。なお、表1中の含有成分の欄の「−」との記載は、保護膜形成用組成物(IV−1)がその成分を含有していないことを意味する。
基材(11)−1の最大断面高さ(Rt)が0.9μmである一方の表面に、上記で得られた保護膜形成用組成物(IV−1)をナイフコーターにより塗工し、100℃で2分乾燥させることにより、厚さ25μmのエネルギー線硬化性の保護膜形成用フィルム(13)−1を作製した。
(保護膜の半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面の最大断面高さ(Rt))
紫外線照射装置(リンテック社製「RAD2000m/8」)を用いて、照度195mW/cm2、光量170mJ/cm2の条件で、上記で得られた保護膜形成用複合シートに対して支持シート側から紫外線を照射することで、保護膜形成用フィルム(13)−1を硬化させ、保護膜を形成した。
次いで、形成した保護膜から支持シートを剥離させ、保護膜の露出面、すなわち保護膜の半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面(基材(11)−1に向かい合っていた面)の最大断面高さ(Rt)を、JIS B 0601:2013に準拠して測定した。結果を表2に示す。表2中、「Rt」の欄で示す数値が、その測定値である。
上記の最大断面高さ(Rt)の測定時に、光沢計(日本電色社製グロスメーター「VG 2000」)を用いて、JIS K 7105に準拠して、保護膜について、半導体ウエハを貼付する側とは反対側から、半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面の60°鏡面光沢度を測定し、その測定値を保護膜の前記表面のグロス値とした。結果を表2に示す。
上記で得られた保護膜形成用複合シートにおいて、保護膜形成用フィルム(13)−1を、最大断面高さ(Rt)の測定時と同じ方法で硬化させ、保護膜を形成した。
次いで、印字装置(KEYENCE社製「MD−S9910A」)を用いて、出力1.2W、周波数40kHz、走査速度100mm/秒の条件で、保護膜の半導体ウエハへの貼付面とは反対側から保護膜の表面に対して、波長532nmのレーザー光を照射して、レーザー印字を行った。
基材(11)−1を介して、保護膜のこの印字を目視観察し、すべての印字を鮮明に読み取れた場合にはレーザー印字視認性を「A」と判定し、少なくとも一部の印字を鮮明に読み取れなかった場合にはレーザー印字視認性を「B」と判定した。結果を表2に示す。
[実施例2]
基材(11)−1に代えて基材(11)−2を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、保護膜形成用フィルム及び保護膜形成用複合シートを製造し、保護膜を評価した。保護膜形成用組成物(IV−1)は、基材(11)−2の最大断面高さ(Rt)が8.0μmである一方の表面に塗工した。結果を表2に示す。
<保護膜形成用フィルムの製造>
(保護膜形成用組成物(IV−1)の製造)
実施例1と同じ方法で、保護膜形成用組成物(IV−1)を製造した。
剥離フィルム(15)−3の最大断面高さ(Rt)が0.9μmである一方の表面に、上記で得られた保護膜形成用組成物(IV−1)をナイフコーターにより塗工し、100℃で2分乾燥させることにより、厚さ25μmのエネルギー線硬化性の保護膜形成用フィルム(13)−1を作製した。
(保護膜形成用フィルムの半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面の最大断面高さ(Rt))
上記で得られた積層シートから剥離フィルム(15)−3を取り除き、保護膜形成用フィルム(13)−1の露出面、すなわち、保護膜形成用フィルム(13)−1の半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面について、最大断面高さ(Rt)を、JIS B 0601:2013に準拠して測定した。結果を表2に示す。表2中、「Rt」の欄で示す数値が、その測定値である。
光沢計(日本電色社製グロスメーター「VG 2000」)を用いて、JIS K 7105に準拠して、上記で得られた保護膜形成用フィルム(13)−1について、半導体ウエハを貼付する側とは反対側から、半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面の60°鏡面光沢度を測定し、その測定値を保護膜形成用フィルム(13)−1の前記表面のグロス値とした。結果を表2に示す。
紫外線照射装置(リンテック社製「RAD2000m/8」)を用いて、照度195mW/cm2、光量170mJ/cm2の条件で、上記で得られた保護膜形成用フィルム(13)−1に対して紫外線を照射することで、保護膜形成用フィルム(13)−1を硬化させ、保護膜を形成した。
次いで、形成した保護膜について、半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面の最大断面高さ(Rt)を、JIS B 0601:2013に準拠して測定した。結果を表2に示す。
上記の最大断面高さ(Rt)の測定時に、光沢計(日本電色社製グロスメーター「VG 2000」)を用いて、JIS K 7105に準拠して、保護膜について、半導体ウエハを貼付する側とは反対側から、半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面の60°鏡面光沢度を測定し、その測定値を保護膜の前記表面のグロス値とした。結果を表2に示す。
上記で得られた積層シートにおいて、保護膜形成用フィルム(13)−1を、実施例1の場合と同じ方法で硬化させ、保護膜を形成した。
次いで、印字装置(KEYENCE社製「MD−S9910A」)を用いて、出力1.2W、周波数40kHz、走査速度100mm/秒の条件で、保護膜の半導体ウエハへの貼付面とは反対側から保護膜の表面に対して、波長532nmのレーザー光を照射して、レーザー印字を行った。
剥離フィルム(15)−3を介して、保護膜のこの印字を目視観察し、実施例1の場合と同じ方法で保護膜のレーザー印字視認性を評価した。結果を表2に示す。
[実施例4]
剥離フィルム(15)−3に代えて剥離フィルム(15)−4を用いた点以外は、実施例3と同じ方法で、保護膜形成用フィルム及び積層シートを製造し、保護膜形成用フィルム及び保護膜を評価した。保護膜形成用組成物(IV−1)は、剥離フィルム(15)−4の最大断面高さ(Rt)が8.0μmである一方の表面に塗工した。また、保護膜形成用フィルム(13)−1の露出面は、剥離フィルム(15)−1の剥離処理面に貼り合わせた。結果を表2に示す。
[比較例1]
基材(11)−1に代えて基材(91)−1を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、保護膜形成用フィルム及び保護膜形成用複合シートを製造し、保護膜形成用フィルム及び保護膜を評価した。保護膜形成用組成物(IV−1)は、基材(91)−1の最大断面高さ(Rt)が12.0μmである一方の表面に塗工した。結果を表3に示す。
基材(11)−1に代えて基材(91)−2を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、保護膜形成用フィルム及び保護膜形成用複合シートを製造し、保護膜形成用フィルム及び保護膜を評価した。保護膜形成用組成物(IV−1)は、基材(91)−2の最大断面高さ(Rt)が16.0μmである一方の表面に塗工した。結果を表3に示す。
[比較例3]
剥離フィルム(15)−3に代えて剥離フィルム(95)−1を用いた点以外は、実施例3と同じ方法で、保護膜形成用フィルム及び積層シートを製造し、保護膜形成用フィルム及び保護膜を評価した。保護膜形成用組成物(IV−1)は、剥離フィルム(95)−1の最大断面高さ(Rt)が12.0μmである一方の表面に塗工した。また、保護膜形成用フィルム(13)−1の露出面は、剥離フィルム(15)−1の剥離処理面に貼り合わせた。結果を表3に示す。
剥離フィルム(15)−3に代えて剥離フィルム(95)−2を用いた点以外は、実施例3と同じ方法で、保護膜形成用フィルム及び積層シートを製造し、保護膜形成用フィルム及び保護膜を評価した。保護膜形成用組成物(IV−1)は、剥離フィルム(95)−2の最大断面高さ(Rt)が16.0μmである一方の表面に塗工した。また、保護膜形成用フィルム(13)−1の露出面は、剥離フィルム(15)−1の剥離処理面に貼り合わせた。結果を表3に示す。
<保護膜形成用フィルムの製造>
(保護膜形成用組成物の製造)
重合体(b)−2、エポキシ樹脂(h1)−1、エポキシ樹脂(h1)−2、エポキシ樹脂(h1)−3、熱硬化剤(h2)−1、硬化促進剤(i)−1、充填材(d)−2、カップリング剤(e)−2及び着色剤(g)−2を、これらの含有量(固形分量、質量部)が表1に示す値となるようにメチルエチルケトンに溶解又は分散させて、23℃で撹拌することで、固形分濃度が50質量%である保護膜形成用組成物を調製した。エポキシ樹脂(h1)−1、エポキシ樹脂(h1)−2、エポキシ樹脂(h1)−3、及び熱硬化剤(h2)−1は、熱硬化性成分(h)であり、得られた組成物は熱硬化性の保護膜形成用組成物である。
実施例3の場合と同じ方法で、保護膜形成用フィルム及び保護膜の半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面の最大断面高さ(Rt)、並びに保護膜形成用フィルム及び保護膜の半導体ウエハへの貼付面とは反対側の表面のグロス値を測定した。結果を表3に示す。
次いで、実施例3の場合と同じ方法で保護膜にレーザー印字を行い、レーザー印字視認性を評価した。結果を表3に示す。
また、実施例1〜4の保護膜形成用フィルムを用いた場合、保護膜の表面(β’)の最大断面高さ(Rt)が0.8〜7.5μmと小さいのに対応して、保護膜の表面(β’)のグロス値は、50〜90と十分に大きかった。
また、比較例1〜4の保護膜形成用フィルムを用いた場合、保護膜の表面(β’)の最大断面高さ(Rt)が11.4〜15.1μmと大きいのに対応して、保護膜の表面(β’)のグロス値は、23〜30と小さかった。
Claims (4)
- 支持シートを備え、保護膜形成用フィルムを前記支持シート上に備えてなり、
前記支持シートが基材のみからなり、
前記保護膜形成用フィルムがエネルギー線硬化性であり、
前記保護膜形成用フィルムが、エネルギー線硬化性成分(a)と、エネルギー線硬化性基を有しない重合体(b)と、光重合開始剤(c)を含有し、前記エネルギー線硬化性成分(a)が、エネルギー線硬化性基を有する、分子量が100〜80000の化合物(a2)であり、
前記保護膜形成用フィルムにエネルギー線を照射して保護膜としたとき、前記保護膜において、少なくとも一方の表面(β’)の最大断面高さ(Rt)が10μm未満であり、
前記保護膜の表面(β’)となる、前記保護膜形成用フィルムの表面(β)が、前記支持シートに向かい合っている、保護膜形成用複合シート。 - 前記基材が、ポリエチレン、前記ポリエチレン以外のポリオレフィン、エチレン系共重合体、塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン、ポリシクロオレフィン、ポリエステル、2種以上の前記ポリエステルの共重合体、ポリウレタン、ポリウレタンアクリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネート、フッ素樹脂、ポリアセタール、変性ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン及びポリエーテルケトンからなる群より選択される1種又は2種以上を構成材料とする、請求項1に記載の保護膜形成用複合シート。
- 前記表面(β’)のグロス値が45以上である、請求項1又は2に記載の保護膜形成用複合シート。
- 前記保護膜形成用フィルムにおいて、エネルギー線を照射して保護膜としたとき、前記保護膜の表面(β’)となる、少なくとも一方の表面(β)の最大断面高さ(Rt)が10μm未満である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の保護膜形成用複合シート。
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