JP6934300B2 - 板状ワークの加工方法及びそれを用いる加工装置 - Google Patents
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Description
2 反り低減手段
21 仮置きテーブル(テーブル)
22 (仮置きテーブルの)載置面
34 搬入プレート(押圧手段)
34a 押し面
70 ヒータ(加熱手段)
83 エアー供給源(冷却手段)
R モールド樹脂層(樹脂層)
S 基板
W 板状ワーク
Claims (2)
- 基板の上面のパターン層を封止する樹脂層を形成し該樹脂層側が凹状に反った板状ワークの反りを低減させ板状ワークを保持テーブルに保持させ加工する板状ワークの加工方法であって、
該樹脂層を吸引保持可能な吸引保持面となる押し面を有する搬入プレートで板状ワークの該樹脂層を加熱する加熱工程と、
板状ワークの該樹脂層の反対面全面を接触可能に載置する載置面を有するテーブルと板状ワークの該樹脂層の表面に接触可能な該吸引保持面となる該押し面を有する該搬入プレートとを用い、該テーブルに載置した板状ワークを該搬入プレートで押して平坦化させる平坦化工程と、
該平坦化工程の後、該搬入プレートの該吸引保持面となる該押し面を該樹脂層の表面から離間させ、該吸引保持面から噴出するエアーによって該樹脂層を冷却する冷却工程と、
該冷却工程後、板状ワークを加工する加工工程とを、備える板状ワークの加工方法。 - 請求項1記載の板状ワークの加工方法を用いる加工装置であって、
板状ワークの反りを低減させる反り低減手段と、板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持した板状ワークを加工具で加工する加工手段と、を備え、
該反り低減手段は、該樹脂層を加熱する加熱手段と、該樹脂層が加熱された板状ワークを平坦化させる押圧手段と、該押圧手段で押圧された該樹脂層を冷却する冷却手段と、を備え、
該押圧手段は、板状ワークの上面を吸引保持する該吸引保持面となる該押し面を有する該搬入プレートを備え、該搬入プレートで該テーブルに板状ワークを押して平坦化させ、
該冷却手段は、該吸引保持面となる該押し面に連通するエアー供給源を備え、板状ワークを該吸引保持面となる該押し面から離間させた後、該吸引保持面となる該押し面から該樹脂層にエアーを噴出して、板状ワークの反りを低減させて該保持テーブルに保持させた板状ワークを冷却した後、該加工手段で加工する加工装置。
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