JP6930077B2 - 積層体、発光装置、光源ユニット、レーザ装置、点火装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係る発光装置を例示する平面図である。図2は、第1の実施の形態に係る発光装置を例示する断面図であり、図1のA−A線に沿う断面を示している。
面発光レーザアレイ素子100は、モノリシックに作製された素子であり、発光チャネルとなる複数のメサ150を有している。各々のメサ150は、例えば、基板200側がn型、レーザ光の射出側がp型とされた、発振波長が808nm帯である垂直共振器型のレーザ素子である。
基板200は、基体210と、基体210上に形成された金属膜220とを有している。金属膜220は、所定の間隙を有するようにパターニングされ、互いに電気的に独立した第1の電極221と第2の電極222とを備えている。なお、基板200は、サブマウントと称される場合がある。
面発光レーザアレイ素子100と基板200とを接合する金属膜330は、錫(Sn)と他の金属との合金により構成されている。Snを含むことにより、280℃程度の比較的低い温度での合金化が可能となる。他の金属としては、金(Au)、銀(Ag)、ビスマス(Bi)、アンチモン(Sb)等のSnとの合金により低融点化する金属を挙げることができる。金属膜330は、Snと2つ以上の他の金属との合金から構成されてもよい。
次に、図4〜図10を参照しながら、発光装置1の製造方法について説明する。まず、図4(a)に示すように、n型の単結晶GaAs等からなる半導体基板101上に、バッファ層102、下部半導体DBR103、下部スペーサ層104、活性層105、上部スペーサ層106、上部半導体DBR107、コンタクト層109を順次積層し、半導体積層部180を形成する。各層を構成する材料等は前述の通りである。
を用いることができるが、炭化ケイ素、ダイヤモンド、銅ダイヤモンド等を用いてもよい。金属膜220としては、例えば、Cu膜を用いることができるが、Au膜等を用いてもよい。
実施例では、図1及び図2に示す発光装置1を作製した。
第1の実施の形態では、基板200と、金属膜330を介して基板200上に接合された面発光レーザアレイ素子100とを有する発光装置1を例にして、金属膜330に空孔335を設ける効果について説明した。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態に係る発光装置を有する光源ユニット及びレーザ装置の例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第3の実施の形態では、第2の実施の形態に係る光源ユニットを有するレーザ装置及び点火装置の例を示す。なお、第3の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
2 レーザ装置
100 面発光レーザアレイ素子
101 半導体基板
102 バッファ層
103 下部半導体DBR(Distributed Bragg Reflector)
104 下部スペーサ層
105 活性層
106 上部スペーサ層
107 上部半導体DBR(Distributed Bragg Reflector)
108 電流狭窄層
108a 選択酸化領域
108b 電流通過領域
109 コンタクト層
110 層間絶縁膜
110x 開口部
111 上部電極
112 下部電極
120 共振器構造体
150 メサ
180 半導体積層部
200 基板
210 基体
220、310、320、330 金属膜
221 第1の電極
222 第2の電極
335 空孔
350 金属線
410 光源ユニット
413 マイクロレンズアレイ
420 集光光学系
430 光ファイバ
431 コア
432 クラッド
500 レジストパターン
510 接着剤
520 搬送用基板
530 セラミックヒータ
540 封止環境
550 直流電源
1200 レーザ装置
1203 第1集光光学系
1204 光ファイバ
1205 第2集光光学系
1206 レーザ共振器
1206a レーザ媒質
1206b 可飽和吸収体
1210 射出光学系
1212 保護部材
1220 駆動装置
1222 エンジン制御装置
1301 点火装置
Claims (13)
- 第1の部材と、錫を含む合金により形成されている金属膜を介して前記第1の部材上に接合された第2の部材と、を有する積層体であって、
前記第1の部材と前記第2の部材とは熱膨張係数が互いに異なり、
前記金属膜の深さ方向において、
前記第1の部材側からみて、第1の深さから第2の深さまでの範囲に空孔が存在し、
前記金属膜の、前記第1の深さよりも浅い範囲内および前記第2の深さより深い範囲内には、前記空孔は存在せず、
前記空孔は平面方向に2次元状に分布していることを特徴とする積層体。 - 前記金属膜の熱膨張係数は、前記第1の部材の熱膨張係数及び前記第2の部材の熱膨張係数より大きいことを特徴とする請求項1に記載の積層体。
- 前記第1の部材は基板であり、前記第2の部材は発熱体であることを特徴とする請求項1又は2に記載の積層体。
- 前記基板は熱拡散板を有していることを特徴とする請求項3に記載の積層体。
- 基板と、錫を含む合金により形成されている金属膜を介して前記基板上に接合された発光素子と、を有する発光装置であって、
前記基板と前記発光素子とは熱膨張係数が互いに異なり、
前記金属膜の深さ方向において、
前記基板側からみて、第1の深さから第2の深さまでの範囲に空孔が存在し、
前記金属膜の、前記第1の深さより浅い範囲内および前記第2の深さより深い範囲内には、前記空孔は存在せず、
前記空孔は平面方向に2次元状に分布していることを特徴とする発光装置。 - 前記金属膜の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数及び前記発光素子の熱膨張係数より大きいことを特徴とする請求項5に記載の発光装置。
- 前記基板は、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ダイヤモンド、銅ダイヤモンドの何れかの材料により形成された熱拡散板を有していることを特徴とする請求項5又は6に記載の発光装置。
- 前記発光素子は、面発光レーザアレイ素子であることを特徴とする請求項5乃至7の何れか一項に記載の発光装置。
- 請求項8に記載の発光装置と、
前記面発光レーザアレイ素子より射出される光を平行光とするマイクロレンズアレイと、を有することを特徴とする光源ユニット。 - 請求項9に記載の光源ユニットと、
前記光源ユニットより射出される光を集光する集光光学系と、を有することを特徴とするレーザ装置。 - 前記集光光学系を介した光が入射されるレーザ共振器を有することを特徴とする請求項10に記載のレーザ装置。
- 前記集光光学系を介した光を前記レーザ共振器に伝送する伝送部材を有することを特徴とする請求項11に記載のレーザ装置。
- 請求項10乃至12の何れか一項に記載のレーザ装置と、前記レーザ装置から射出される光を集光する光学系と、を有することを特徴とする点火装置。
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