JP6743436B2 - 面発光レーザアレイ、及びレーザ装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施例1に係る面発光レーザアレイについて、図面を参照しながら説明する。図1は、実施例1に係る面発光レーザアレイ(VCSELアレイ)の平面図及びそのA−A’線断面図である。本明細書では、面発光レーザアレイの発振方向をZ方向、Z方向に直交する平面内で互いに直交する方向をX方向及びY方向として説明する。ここでは、面発光レーザアレイの出射方向は、+Z方向(上面)である。
次に、本発明の実施例2に係るレーザアレイを、図8を参照しながら説明する。実施例2に係る面発光レーザアレイ10Aは、実施例1に係る面発光レーザアレイ10と基本構成は同一である。そのため、同一の構成には同一の符号を付して説明を省略し、以下では実施例1とは異なる構成について説明する。以降の実施例についても同様である。
次に、本発明の実施例3に係る面発光レーザアレイを、図9を参照しながら説明する。この図9に示すように、実施例3に係る面発光レーザアレイ10Bは、第2の分離溝13の壁面(側面)まで上部電極(p側電極)を設けたこと以外は、実施例1に係る面発光レーザアレイ10と同一の基本構成を備えている。
次に、本発明の実施例4に係る面発光レーザアレイを、図10を参照しながら説明する。この図10に示すように、実施例4に係る面発光レーザアレイ10Cは、第2の分離溝13内に埋め込み材料113を有すること以外は、実施例1に係る面発光レーザアレイ10と同一の基本構成を備えている。
次に、本発明の面発光レーザアレイを有するレーザ装置の一例として、点火装置について、図11を参照しながら説明する。実施例5では、燃料噴出機構、排気機構、燃焼室、及びピストン等を備えたエンジン(内燃機関)の点火装置の一例を挙げて説明する。エンジンとしては、例えば、ピストンエンジン、ロータリーエンジン、ガスタービンエンジン、ジェットエンジン等が挙げられる。
11 チップ分離溝 13 第2の分離溝
102 下部半導体DBR(下部反射鏡) 104 活性層
106 上部半導体DBR(上部反射鏡) 109 誘電体膜
110 上部電極(金属膜) 113 埋め込み材料
300 点火装置(レーザ装置)
Claims (6)
- 異なる屈折率を有する2つの層からなる下部反射鏡と、上部反射鏡と、前記下部反射鏡及び前記上部反射鏡間に配置された活性層と、を含む積層体を備え、
前記上部反射鏡と、前記活性層と、前記下部反射鏡とが除去された分離溝によって隣接するチップと分離された面発光レーザアレイにおいて、
レーザ光を出射する発光部と前記分離溝との間に、所定深さの第2の分離溝を有し、
前記第2の分離溝は、壁面の少なくとも一部に、誘電体膜を介して金属膜が配置されていることを特徴とする面発光レーザアレイ。 - 前記第2の分離溝は、前記上部反射鏡、前記活性層及び前記下部反射鏡を貫通する形成深さを有することを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記第2の分離溝は、前記壁面の少なくとも一部に、前記誘電体膜を有することを特徴とする請求項1または2に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記誘電体膜が、シリコン窒化膜であり、前記金属膜が金膜であること特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記第2の分離溝の少なくとも1部に、埋め込み材料を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の面発光レーザアレイ。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の面発光レーザアレイを有することを特徴とするレーザ装置。
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