JP6918926B2 - 装置マークのインシチュプリンティングを含む計測方法及び対応する装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2016年9月8日に出願された米国仮特許出願第62/385,095号の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
[0005] 上述のように、リソグラフィは、IC及びその他のデバイスの製造の中心的工程であり、基板上に形成されるパターンが、マイクロプロセッサ、メモリチップなどのデバイスの機能素子を画定する。フラットパネルディスプレイ、マイクロ電子機械システム(MEMS:micro electro mechanical system)及びその他のデバイスの形成にも同様のリソグラフィ技術が使用される。
[0012] 実施形態は、単なる例として添付の概略的図面を参照してこれから説明される。
放射(例えばUV放射又はDUV放射)のビームPBを調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
フレームMFと、
パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持する支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
少なくとも1つが基板(例えばレジストコートウェーハ)を保持するように構成された2つのテーブルWT1、WT2(この例では各テーブルはそれぞれ基板W1、W2を保持するように構成されている)と、
パターニングデバイスMAにより放射ビームPBに付与されたパターンを、2つのテーブルWT1、WT2の少なくとも1つにより保持された基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)に結像するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズ)PLと、を備える。
[0085] 本明細書中の説明は、アライメントマーク及びアライメントセンサシステムの較正に焦点を合わせているが、本明細書における開示は異なるマークに適用することもできる。例えばマークを使用して、フォーカス/レベリングシステムなどの、アライメントセンサシステムと異なるセンサシステムの診断や較正などを行うことができる。
Claims (15)
- 基板テーブルとアライメントセンサシステムとを備える装置において、前記基板テーブルにより保持される基板から分離した構造上に、前記基板テーブルが少なくとも部分的に前記装置内にある間に装置マークをプリントすることと、
前記アライメントセンサシステムを使用して前記基板テーブル内で前記装置マークを計測することと、を含み、
前記装置マークをプリントすることが、前記装置マークを有する前記構造の表面をアブレートすることを含む、方法。 - 前記構造は、前記基板テーブルの一部であるか、又は、前記基板テーブル上に位置する、請求項1に記載の方法。
- 前記アライメントセンサシステムを、前記装置マークを使用して較正することをさらに含む、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記装置マークをプリントすることは、前記基板テーブルを含むシステムからの放射ビームを使用することを含む、請求項1から3の何れか一項に記載の方法。
- 前記装置マークをプリントすることは、パターニングデバイスによりパターンがパターン付与されたビームを前記構造に投影して前記装置マークをプリントすることを含む、請求項1から4の何れか一項に記載の方法。
- 前記構造は、表面コーティングを有するプレートを備える、請求項1から5の何れか一項に記載の方法。
- 前記装置マークは、前記基板の前記アライメントマークのセンサシステムのドリフト挙動を模倣する、請求項1から6の何れか一項に記載の方法。
- 請求項1から7の何れか一項に記載の方法の実行をプロセッサシステムに行わせるための機械可読命令を含む、非一時的コンピュータプログラム。
- 構造と、マークを計測するように構成されたアライメントセンサシステムと、基板テーブルと、を備える装置であって、
前記基板テーブルにより保持される基板から分離した前記構造上に、前記基板テーブルが少なくとも部分的に前記装置内にある間に装置マークのプリントを行わせ、前記基板テーブル内で前記アライメントセンサシステムを使用して前記装置マークの計測を行わせるように構成された制御システムを備え、
前記制御システムは、前記装置マークを有する前記構造の表面をアブレートすることによって、前記装置マークの前記プリントを行わせるように構成される、装置。 - 前記構造は、前記基板テーブルの一部であるか、又は前記基板テーブル上に位置する、請求項9に記載の装置。
- 前記制御システムはさらに、前記装置マークを使用して前記アライメントセンサシステムの較正を行わせるように構成される、請求項9又は10に記載の装置。
- 放射ビームを投影するように構成された放射システムをさらに備え、
前記制御システムは、前記放射システムからの放射ビームを使用することによって前記装置マークの前記プリントを行わせるように構成される、請求項9から11の何れか一項に記載の装置。 - 前記制御システムは、パターニングデバイスによりパターンがパターン付与されたビームを前記構造に投影して前記装置マークをプリントすることによって、前記装置マークの前記プリントを行わせるように構成される、請求項9から12の何れか一項に記載の装置。
- 前記構造は、表面コーティングを有するプレートを備える、請求項9から13の何れか一項に記載の装置。
- ハードウェアプロセッサシステムと、機械可読命令を記憶する非一時的コンピュータ可読記憶媒体と、を備え、
実行されるとき、前記機械可読命令が、請求項1から7の何れか一項に記載の方法の実行を前記プロセッサシステムに行わせる、システム。
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