JP6918173B1 - 容量性半導体素子 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 69
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 152
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 152
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 152
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 108
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 163
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N [B].[P] Chemical compound [B].[P] GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000036039 immunity Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001184 polypeptide Polymers 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
以下に、本発明に係る容量性半導体素子の第1実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る容量性半導体素子1の断面図である。図1に示すように、本実施形態に係る容量性半導体素子1は、配線領域LAと、配線領域LAが積層されたシリコン基板Subとを有している。配線領域LAとは、シリコン基板Subに積層され、容量性素子や配線等を構成する領域である。
次に、本発明の第2実施形態に係る容量性半導体素子について説明する。
本実施形態では、さらに寄生容量を抑制する場合について説明する。以下、本実施形態に係る容量性半導体素子について、第1実施形態と異なる点について主に説明する。
図9から図13は、容量性半導体素子1の各製造工程を示した図である。なお、各図においては左側に容量性領域CRに対応するダミーを形成(ダミー領域DA)し、右側にトランジスタを形成(トランジスタ領域)する場合を示している。図9から図13の各工程では、第1工程から第5工程の各工程を示している。
図16から図20は、容量性半導体素子1の各製造工程を示した図である。なお、各図においては左側に容量性領域CRに対応するダミーを形成(ダミー領域DA)し、右側にトランジスタを形成(トランジスタ領域)する場合を示している。図16から図20の各工程では、第1工程から第5工程の各工程を示している。
次に、本発明の第3実施形態に係る容量性半導体素子について説明する。
本実施形態では、更に寄生容量を抑制する場合について説明する。以下、本実施形態に係る容量性半導体素子について、第1実施形態及び第2実施形態と異なる点について主に説明する。
C0−C8 :寄生容量
CR :容量性領域
D :シリコン領域
DA :ダミー領域
EX :エクステンション領域
FW :フローティングウェル
G :ゲート電極
LA :配線領域
S1−S3 :スペース
SD :ソースドレイン
STI :STI領域
SW :サイドウォール
Sub :シリコン基板
Claims (9)
- シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に積層された配線領域と、
を備え、
前記配線領域は、容量性領域を有し、
前記シリコン基板は、
ウェル領域と、
前記シリコン基板の中に形成されており、前記シリコン基板の表面に露出され、前記ウェル領域及び前記配線領域に接しているSTI領域と、
前記シリコン基板の表面において前記STI領域以外の領域に形成されており、前記ウェル領域及び前記配線領域に接し、前記ウェル領域と反対極性の不純物により形成されるシリコン領域と、
を有し、
前記シリコン領域は、コンタクトが接続されていない容量性半導体素子。 - 前記シリコン領域と前記ウェル領域との間に形成され、前記シリコン領域と同極性であり、前記シリコン領域に対して不純物濃度が低いエクステンション領域を備える請求項1に記載の容量性半導体素子。
- 前記ウェル領域は、極性の異なる他のウェル領域と分離されており、コンタクトが接続されていない請求項1または2に記載の容量性半導体素子。
- 前記ウェル領域は、前記他のウェル領域に対して所定距離だけ離れて形成されている請求項3に記載の容量性半導体素子。
- 前記ウェル領域は、N型であり、P型基板領域によって極性の異なるP型のウェル領域と分離されており、コンタクトが接続されていない請求項4に記載の容量性半導体素子。
- 前記ウェル領域は、P型であり、ディープNウェル領域によって極性の異なるN型のウェル領域と分離されており、コンタクトが接続されていない請求項4に記載の容量性半導体素子。
- 前記ウェル領域は、極性の等しい他のウェル領域と所定距離だけ離れて分離されており、コンタクトが接続されていない請求項1または2に記載の容量性半導体素子。
- 前記ウェル領域は、P型であり、ディープNウェル領域によって他のP型のウェル領域と分離されており、コンタクトが接続されていない請求項7に記載の容量性半導体素子。
- 前記ウェル領域は、N型であり、P型基板領域によって他のN型のウェル領域と分離されており、コンタクトが接続されていない請求項7に記載の容量性半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020076551A JP6918173B1 (ja) | 2020-04-23 | 2020-04-23 | 容量性半導体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020076551A JP6918173B1 (ja) | 2020-04-23 | 2020-04-23 | 容量性半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6918173B1 true JP6918173B1 (ja) | 2021-08-11 |
JP2021174842A JP2021174842A (ja) | 2021-11-01 |
Family
ID=77172718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020076551A Active JP6918173B1 (ja) | 2020-04-23 | 2020-04-23 | 容量性半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6918173B1 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6383858B1 (en) * | 2000-02-16 | 2002-05-07 | Agere Systems Guardian Corp. | Interdigitated capacitor structure for use in an integrated circuit |
US7579644B2 (en) * | 2006-05-18 | 2009-08-25 | International Business Machines Corporation | Adjustable on-chip sub-capacitor design |
JP2008117996A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP5103232B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2012-12-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP5942471B2 (ja) * | 2012-02-27 | 2016-06-29 | 株式会社ソシオネクスト | 半導体装置 |
-
2020
- 2020-04-23 JP JP2020076551A patent/JP6918173B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021174842A (ja) | 2021-11-01 |
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