JP6913279B2 - 気密パッケージ - Google Patents
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Description
2、11、21、33 基部
3、12、22、34 枠部
4、13、23 内壁隅部
5、15、25 外壁隅部
6 クラック
14、24 応力緩衝部
30 気密パッケージ
32 ガラス蓋
35 内部素子
36 封着材料層
L レーザー光
Claims (5)
- パッケージ基体の枠部の頂部とガラス蓋との間に封着材料層が配されている気密パッケージであって、
封着材料層の厚みが8.0μm未満であり、
該パッケージ基体が、略矩形の基部と、該基部の外周に沿って設けられた略額縁状の枠部と、を有し、該枠部の内壁隅部の全部又は一部に応力緩衝部を有し、黒色顔料が分散された状態で焼結されてなることを特徴とする気密パッケージ。 - パッケージ基体が、パッケージ基体の枠部の頂部側から見た時に、応力緩衝部が円弧状であることを特徴とする請求項1に記載の気密パッケージ。
- パッケージ基体が、パッケージ基体の枠部の頂部側から見た時に、応力緩衝部が直線状であり、且つ該応力緩衝部と隣接する内壁のなす角度が100°〜160°であることを特徴とする請求項1に記載の気密パッケージ。
- パッケージ基体が、パッケージ基体の枠部の頂部側から見た時に、枠部の外壁隅部が面取りされていないことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の気密パッケージ。
- パッケージ基体が、ガラスセラミック、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムの何れか、或いはこれらの複合材料であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の気密パッケージ。
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