JP7369091B2 - 光学装置用蓋体、光学装置用パッケージ及び光学装置 - Google Patents
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貫通孔を囲む枠体と、
前記枠体における前記貫通孔の一方の開口を塞ぐ透光部材と、
を備え、
前記枠体は、第1壁部と、前記第1壁部よりも高い第2壁部と、前記第1壁部及び前記第2壁部に繋がる第3壁部及び第4壁部とを有し、
前記第1壁部と前記第3壁部及び前記第4壁部とのそれぞれの間の内側隅部は、前記第2壁部と前記第3壁部及び前記第4壁部とのそれぞれの間の内側隅部よりも曲り度合が緩い緩隅部を含む。
光学素子が搭載される搭載部を有する基板と、
前記搭載部を封止する上記の光学装置用蓋体と、
を備える。
上記の光学装置用パッケージと、
前記搭載部に搭載された光学素子と、
を備える。
本実施形態の光学装置100は、光学素子102の搭載部R1を有する基板110と、搭載部R1に搭載された光学素子102と、基板110に接合されて搭載部R1を封止する蓋体130とを備える。基板110と蓋体130とが光学装置用パッケージに相当し、蓋体130が光学装置用蓋体に相当する。
図5は、蓋体の枠体を示す斜視図(A)、平面図(B)、側面図(C)、底面図(D)である。枠体133を構成する第1壁部H1、第2壁部H2、第3壁部H3及び第4壁部H4のうち、隣接する2つの間の外側角部(貫通孔の周囲における外周側の角部)Q1~Q4は、R面、C面などの面取り形状を有してもよい。枠体133を構成する第1壁部H1、第2壁部H2、第3壁部H3及び第4壁部H4のうち、隣接する2つの間の内側隅部(貫通孔の周囲における内周側の隅部)P1~P4は、R面を有する。
光学装置100は、基板110に光学素子102が搭載された後、基板110に蓋体130が接合されて製造される。蓋体130の接合工程には、金属フレーム131に熱が加えられる工程が含まれ、上記の加熱に起因して枠体133に応力が加わることがある。
図6は、変形例1の蓋体の枠体を示す斜視図(A)、平面図(B)、側面図(C)、底面図(D)である。変形例1は、枠体133Aが異なる他は、実施形態1の蓋体130及び光学装置100と同様である。
図7(A)は、変形例2の蓋体の枠体を示す平面図である。変形例2は、枠体133Bが異なる他は、実施形態1の蓋体130及び光学装置100と同様である。
図8は、変形例3~5の蓋体の枠体を示す平面図(A)~(C)である。変形例3~5は、蓋体130の枠体133C~133Eが異なる他は、実施形態1の蓋体130及び光学装置100と同様である。
枠体133は、例えば、酸化アルミニウム(Al2O3)質焼結体又は窒化アルミニウム(AlN)質焼結体等から構成できる。例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、まず、アルミナ(Al2O3)とシリカ(SiO2)、カルシア(CaO)又はマグネシア(MgO)等との原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して坏土状あるいは顆粒状の材料とする。そして、この材料から押出し成形により、枠体133の壁部H1~H4が上下に延在するようなチューブ状の成形体を形成し、この成形体を枠体133の下面及び下面に対して傾斜した上面に対応する箇所で切断し、焼成することで作製できる。また、金型を用いて上記の顆粒状の材料をプレス成形することで、枠体133に対応した形状の成形体を形成し、焼成することで作製してもよい。
102 光学素子
110 基板(光学装置用パッケージ)
111 基体
112 シールリング
114 配線導体
130 蓋体(光学装置用蓋体、光学装置用パッケージ)
131 金属フレーム
133、133A~133E 枠体
135 透光部材
H1 第1壁部
H2 第2壁部
H3 第3壁部
H4 第4壁部
I3、I4 内側の面
O3、O4 外側の面
P1~P4 内側隅部
P1a、P2a 緩隅部
R1 搭載部
Claims (11)
- 貫通孔を囲む枠体と、
前記枠体における前記貫通孔の一方の開口を塞ぐ透光部材と、
を備え、
前記枠体は、第1壁部と、前記第1壁部よりも高い第2壁部と、前記第1壁部及び前記第2壁部に繋がる第3壁部及び第4壁部とを有し、
前記第1壁部と前記第3壁部及び前記第4壁部とのそれぞれの間の内側隅部は、前記第2壁部と前記第3壁部及び前記第4壁部とのそれぞれの間の内側隅部よりも曲り度合が緩い緩隅部を含む、
光学装置用蓋体。 - 前記緩隅部が前記透光部材から遠い側の端部に位置する、
請求項1記載の光学装置用蓋体。 - 前記緩隅部が前記透光部材に近い側の端部から遠い側の端部にかけて位置する、
請求項1又は請求項2に記載の光学装置用蓋体。 - 前記第1壁部は前記第2壁部よりも厚い、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の光学装置用蓋体。 - 前記第3壁部及び前記第4壁部は、前記第1壁部に近い部位が前記第2壁部に近い部位よりも厚い、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の光学装置用蓋体。 - 前記第3壁部の内側の面と前記第4壁部の内側の面との距離が前記第1壁部に近いほど短い、
請求項5記載の光学装置用蓋体。 - 前記第3壁部の外側の面と前記第4壁部の外側の面との距離が前記第1壁部に近いほど長い、
請求項5記載の光学装置用蓋体。 - 前記緩隅部はR面を有する、
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の光学装置用蓋体。 - 前記枠体の前記透光部材とは逆側に接合された金属フレームを更に備える、
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の光学装置用蓋体。 - 光学素子が搭載される搭載部を有する基板と、
前記搭載部を封止する請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の光学装置用蓋体と、
を備える光学装置用パッケージ。 - 請求項10に記載の光学装置用パッケージと、
前記搭載部に搭載された光学素子と、
を備える光学装置。
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