JP7047270B2 - 封着材料層付きパッケージ基体の製造方法及び気密パッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
10 パッケージ基体
11 ガラス蓋
12 基部
13 枠部
14 内部素子
15 枠部の頂部
16、17 封着材料層
18 レーザー照射装置
L レーザー光
Claims (6)
- 基部と基部上に設けられた枠部とを有するパッケージ基体を用意する工程と、
ガラス組成として、モル%で、CuO 1~20%、CuO+MnO 1~40%、Al2O3 0.1~10%を含有するビスマス系ガラス粉末を含む封着材料とビークルを混練して、樹脂量が0.6質量%未満となる封着材料ペーストを作製する工程と、
パッケージ基体の枠部の頂部上に、封着材料ペーストを塗布、乾燥し、乾燥膜を作製する工程と、
乾燥膜にレーザー光を照射することにより、乾燥膜を焼結させて、封着材料層を得る工程と、を備えることを特徴とする封着材料層付きパッケージ基体の製造方法。 - 乾燥膜にレーザー光を照射することにより、乾燥膜を焼結させて、平均厚みが1.0~10.0μmとなる封着材料層を得ることを特徴とする請求項1に記載の封着材料層付きパッケージ基体の製造方法。
- 封着材料層の波長808nmの単色光の吸収率が、厚さ1μm当たり5~50%であることを特徴とする請求項1又は2に記載の封着材料層付きパッケージ基体の製造方法。
- パッケージ基体の枠部の頂部上に乾燥膜を形成する前に、パッケージ基体の枠部内に内部素子を収容する工程を備えることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の封着材料層付きパッケージ基体の製造方法。
- パッケージ基体が、ガラスセラミック、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムの何れか、或いはこれらの複合材料であることを特徴とする請求項1~4の何れかに記載の封着材料層付きパッケージ基体の製造方法。
- 請求項1~5の何れかに記載の封着材料層付きパッケージ基体の製造方法により、封着材料層付きパッケージ基体を作製する工程と、
ガラス蓋を用意する工程と、
封着材料層を介してパッケージ基体とガラス蓋を積層配置する工程と、
ガラス蓋側からレーザー光を照射し、封着材料層を軟化変形させることにより、ガラス蓋とパッケージ基体を気密一体化して、気密パッケージを得る工程と、を備えることを特徴とする気密パッケージの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017137680A JP7047270B2 (ja) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | 封着材料層付きパッケージ基体の製造方法及び気密パッケージの製造方法 |
TW107122237A TW201908266A (zh) | 2017-07-14 | 2018-06-28 | 附有密封材料層封裝基體之製造方法及氣密封裝之製造方法 |
PCT/JP2018/024616 WO2019013009A1 (ja) | 2017-07-14 | 2018-06-28 | 封着材料層付きパッケージ基体の製造方法及び気密パッケージの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017137680A JP7047270B2 (ja) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | 封着材料層付きパッケージ基体の製造方法及び気密パッケージの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019021716A JP2019021716A (ja) | 2019-02-07 |
JP7047270B2 true JP7047270B2 (ja) | 2022-04-05 |
Family
ID=65002459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017137680A Active JP7047270B2 (ja) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | 封着材料層付きパッケージ基体の製造方法及び気密パッケージの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7047270B2 (ja) |
TW (1) | TW201908266A (ja) |
WO (1) | WO2019013009A1 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011051811A (ja) | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Asahi Glass Co Ltd | 封着材料層付きガラス部材の製造方法と電子デバイスの製造方法 |
JP2014024730A (ja) | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 電子部品及びその製法、並びにそれに用いる封止材料ペースト |
WO2014092013A1 (ja) | 2012-12-10 | 2014-06-19 | 旭硝子株式会社 | 封着材料、封着材料層付き基板、積層体および電子デバイス |
JP2015023263A (ja) | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 日本電気硝子株式会社 | 電気素子パッケージの製造方法及び電気素子パッケージ |
JP2016027610A (ja) | 2014-06-27 | 2016-02-18 | 旭硝子株式会社 | パッケージ基板、パッケージ、および電子デバイス |
WO2016136899A1 (ja) | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 日本電気硝子株式会社 | 気密パッケージの製造方法 |
JP2016225383A (ja) | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 日本電気硝子株式会社 | 気密パッケージの製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4556624B2 (ja) * | 2004-11-12 | 2010-10-06 | 日本電気硝子株式会社 | 封着用粉末および封着用ペースト |
JP2012041196A (ja) * | 2010-08-12 | 2012-03-01 | Asahi Glass Co Ltd | 封着材料層付きガラス部材とそれを用いた電子デバイスおよびその製造方法 |
WO2012117978A1 (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-07 | 旭硝子株式会社 | 気密部材とその製造方法 |
-
2017
- 2017-07-14 JP JP2017137680A patent/JP7047270B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-28 TW TW107122237A patent/TW201908266A/zh unknown
- 2018-06-28 WO PCT/JP2018/024616 patent/WO2019013009A1/ja active Application Filing
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WO2014092013A1 (ja) | 2012-12-10 | 2014-06-19 | 旭硝子株式会社 | 封着材料、封着材料層付き基板、積層体および電子デバイス |
JP2015023263A (ja) | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 日本電気硝子株式会社 | 電気素子パッケージの製造方法及び電気素子パッケージ |
JP2016027610A (ja) | 2014-06-27 | 2016-02-18 | 旭硝子株式会社 | パッケージ基板、パッケージ、および電子デバイス |
WO2016136899A1 (ja) | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 日本電気硝子株式会社 | 気密パッケージの製造方法 |
JP2016225383A (ja) | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 日本電気硝子株式会社 | 気密パッケージの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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WO2019013009A1 (ja) | 2019-01-17 |
JP2019021716A (ja) | 2019-02-07 |
TW201908266A (zh) | 2019-03-01 |
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