JP6911818B2 - エピタキシャルウェーハの製造条件決定方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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評価用シリコンウェーハをエピタキシャル成長炉内に導入し、該エピタキシャル成長炉内に設けられたサセプタ上の第1の位置に、前記評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向が前記評価用シリコンウェーハの前記エピタキシャル成長炉内への導入方向に平行となるように配置する第1工程と、
前記評価用シリコンウェーハに対して、前記エピタキシャルウェーハを製造する際に前記シリコンウェーハに負荷される熱応力以上の熱応力を負荷する第2工程と、
前記第2工程後の前記評価用シリコンウェーハにスリップが発生しているか否かを評価する第3工程と、
前記第1工程〜前記第3工程を、評価用シリコンウェーハを前記第1の位置から前記評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向にずらした位置に配置して行う第4工程と、
前記第4工程の結果に基づいて、前記エピタキシャルウェーハを製造する際にスリップが発生しない、前記サセプタ上への前記シリコンウェーハの載置位置を特定する第5工程と、
を含み、
前記評価用シリコンウェーハとして、その裏面の外周部に多角形の圧痕であって、前記多角形の少なくとも1つの角の二等分線が<110>方向と等価な方向に向いている圧痕を少なくとも1つ有するシリコンウェーハを用いることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本発明によるエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法は、評価用シリコンウェーハをエピタキシャル成長炉内に導入し、該エピタキシャル成長炉内に設けられたサセプタ上の第1の位置に、評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向が評価用シリコンウェーハのエピタキシャル成長炉内への導入方向に平行となるように配置する第1工程と、評価用シリコンウェーハに対して、エピタキシャルウェーハを製造する際にシリコンウェーハに負荷される熱応力以上の熱応力を負荷する第2工程と、第2工程後の評価用シリコンウェーハにスリップが発生しているか否かを評価する第3工程と、上記第1工程〜第3工程を、評価用シリコンウェーハを第1の位置から評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向にずらした位置に配置して行う第4工程と、第4工程の結果に基づいて、エピタキシャルウェーハを製造する際にスリップが発生しない、サセプタ上へのシリコンウェーハの載置位置を特定する第5工程とを含む。ここで、評価用シリコンウェーハとして、その裏面の外周部に多角形の圧痕であって、多角形の少なくとも1つの角の二等分線が<110>方向と等価な方向に向いている圧痕を少なくとも1つ有するシリコンウェーハを用いることを特徴とする。
まず、第1工程において、評価用シリコンウェーハをエピタキシャル成長炉内に導入し、該エピタキシャル成長炉内に設けられたサセプタ上の第1の位置に、評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向が評価用シリコンウェーハのエピタキシャル成長炉内への導入方向に平行となるように配置する。評価用シリコンウェーハとしては、例えばチョクラルスキー(Czochralski)法により育成された単結晶シリコンインゴットを加工して得られたシリコンウェーハを用いることができる。また、シリコンウェーハの導電型や直径、ドーパントの種類、抵抗率等については、評価対象であるエピタキシャル成長炉において実際に製造するエピタキシャルウェーハと同じにすることができる。
次に、第2工程において、上記評価用シリコンウェーハに対して、エピタキシャルウェーハを製造する際にシリコンウェーハに負荷される熱応力以上の熱応力を負荷する。これは、実際のエピタキシャルウェーハの製造工程と同じように、エピタキシャル成長炉において、評価用シリコンウェーハ上にエピタキシャル層を形成してエピタキシャルウェーハを形成することによって行うことができる。
続いて、第3工程において、第2工程後の評価用シリコンウェーハにスリップが発生しているか否かを評価する。これは、評価用シリコンウェーハの裏面をX線トポグラフィ法によって撮影することによって行うことができる。
次いで、第4工程において、上記第1工程〜第3工程を、評価用シリコンウェーハを第1の位置から評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向にずらした位置に配置して行う。これは、例えば評価用シリコンウェーハを、最初に配置した第1の位置から<110>方向と等価な方向に、例えば0.1mmずつずらした多数の位置について行う。
続いて、第5工程において、上記第4工程の結果に基づいて、エピタキシャルウェーハを製造する際にスリップが発生しない、サセプタ上へのシリコンウェーハの載置位置を特定する。
次に、本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法について説明する。上述のように、本発明によるエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法により、エピタキシャルウェーハの製造工程においてスリップ転位が発生しない、エピタキシャル成長炉に設けられたサセプタ上へのシリコンウェーハの載置位置を特定することができる。
図7は、図5に示した関係におけるずれ量がゼロ付近の拡大図であり、(a)は図5(a)、(b)は図5(b)にそれぞれ対応している。図7(a)から、評価用シリコンウェーハを、該シリコンウェーハの中心がサセプタの中心の上方に来るように目視で配置した第1の位置(すれ量がゼロの位置)では、スリップ転位が発生することが分かる。第1の位置では、図8のX線トポグラフィ像に示すように、各圧痕からスリップ転位が発生していることが分かる。
本発明者らが知見を得た実験を、同一形式の3つの異なったエピタキシャル成長炉について行った。得られた結果を図9に示す。図9から明らかなように、スリップ転位が発生しない位置がエピタキシャル成長炉毎に異なっていることが分かる。よって、エピタキシャル成長炉毎にずれ量を特定し、スリップ転位が発生しない位置となるように調整すれば良いことが分かる。
Claims (7)
- シリコンウェーハ上にエピタキシャル層を成長させてエピタキシャルウェーハを製造する条件を決定する方法であって、
評価用シリコンウェーハをエピタキシャル成長炉内に導入し、該エピタキシャル成長炉内に設けられたサセプタ上の第1の位置に、前記評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向が前記評価用シリコンウェーハの前記エピタキシャル成長炉内への導入方向に平行となるように配置する第1工程と、
前記評価用シリコンウェーハに対して、前記エピタキシャルウェーハを製造する際に前記シリコンウェーハに負荷される熱応力以上の熱応力を負荷する第2工程と、
前記第2工程後の前記評価用シリコンウェーハにスリップが発生しているか否かを評価する第3工程と、
前記第1工程〜前記第3工程を、評価用シリコンウェーハを前記第1の位置から前記評価用シリコンウェーハにおける結晶の<110>方向と等価な方向にずらした位置に配置して行う第4工程と、
前記第4工程の結果に基づいて、前記エピタキシャルウェーハを製造する際にスリップが発生しない、前記サセプタ上への前記シリコンウェーハの載置位置を特定する第5工程と、
を含み、
前記評価用シリコンウェーハとして、その裏面の外周部に多角形の圧痕であって、前記多角形の少なくとも1つの角の二等分線が<110>方向と等価な方向に向いている圧痕を少なくとも1つ有するシリコンウェーハを用いることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法。 - 前記第2工程は、前記評価用シリコンウェーハにエピタキシャル層を形成することにより行う、請求項1に記載のエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法。
- 前記第2工程は、前記評価用シリコンウェーハに対して、前記エピタキシャルウェーハの製造過程において前記シリコンウェーハに負荷される熱処理を模した模擬熱処理を施すことによって行う、請求項1に記載のエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法。
- 前記模擬熱処理において、前記評価用シリコンウェーハに対して、前記エピタキシャルウェーハを製造する際に前記シリコンウェーハに負荷される熱応力を超える熱応力を負荷する、請求項3に記載のエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法。
- 前記第4工程は、<110>方向と等価な2つの方向に対して行う、請求項1〜4のいずれか一項に記載のエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法。
- 前記評価用シリコンウェーハとして、ウェーハ周方向に90°の間隔で前記圧痕を4つ有する面方位(100)シリコンウェーハを用いる、請求項1〜5のいずれか一項に記載のエピタキシャルウェーハの製造条件決定方法。
- シリコンウェーハを、請求項1〜6のいずれかの方法によって特定された、前記エピタキシャル成長炉内の、エピタキシャルウェーハ内にスリップが発生しないことが特定された位置に配置して、前記シリコンウェーハの表面にエピタキシャル層を形成することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018117563A JP6911818B2 (ja) | 2018-06-21 | 2018-06-21 | エピタキシャルウェーハの製造条件決定方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019220597A JP2019220597A (ja) | 2019-12-26 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018117563A Active JP6911818B2 (ja) | 2018-06-21 | 2018-06-21 | エピタキシャルウェーハの製造条件決定方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6911818B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04206942A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | サセプターの温度分布測定方法とモニター用半導体基板 |
JPH1012689A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Sumitomo Sitix Corp | 半導体基板の検査方法とモニター用半導体基板 |
JPH11106293A (ja) * | 1997-10-03 | 1999-04-20 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | エピタキシャルウエハ製造方法及び装置 |
JP5205738B2 (ja) * | 2006-10-16 | 2013-06-05 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハの支持方法、熱処理治具および熱処理ウェーハ |
JP6136205B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2017-05-31 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置炉内の汚染評価方法および汚染評価用テストウェーハ |
JP6520754B2 (ja) * | 2016-02-22 | 2019-05-29 | 株式会社Sumco | スリップ転位の発生予測方法、該方法を用いたシリコンウェーハの製造方法、シリコンウェーハの熱処理方法およびシリコンウェーハ |
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---|---|
JP2019220597A (ja) | 2019-12-26 |
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