JP6500792B2 - エピタキシャルウェーハの品質評価方法および製造方法 - Google Patents
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Images
Description
2 シリコン基板
3 エピタキシャルシリコン膜
10 エピタキシャル成長装置
11 チャンバー
11a チャンバーのガス導入口
11b チャンバーのガス排出口
12 サセプタ
12a サセプタの凹部
12b サセプタのテーパー面
12c サセプタの底面
12d サセプタの貫通孔
13 回転シャフト
14 ヒーター
15 支持アーム
15a 貫通孔
16 リフトピン
17 リフトピン昇降機構
W ウェーハ
Claims (5)
- 同一のエピタキシャル成長装置を用いて製造された複数枚のエピタキシャルウェーハのナノトポグラフィマップを測定し、前記複数枚のエピタキシャルウェーハの前記ナノトポグラフィマップの重ね合わせからエピタキシャル工程要因のナノトポグラフィ成分を抽出することを特徴とするエピタキシャルウェーハの品質評価方法。
- 前記エピタキシャル成長装置は、チャンバーと、前記チャンバー内に設置された貫通孔を有するサセプタと、前記貫通孔に挿入され、前記サセプタ上に載置される基板を昇降自在に支持するリフトピンとを備え、前記サセプタ上にセットされた基板の表面にエピタキシャル膜を形成する、請求項1に記載のエピタキシャルウェーハの品質評価方法。
- 同一のエピタキシャル成長装置を用いて第1のエピタキシャル成長条件下で第1の基板の表面に第1のエピタキシャル膜を形成することにより複数枚の第1のエピタキシャルウェーハを製造する工程と、
前記複数枚の第1のエピタキシャルウェーハの表面のナノトポグラフィマップを測定する工程と、
前記複数枚の第1のエピタキシャルウェーハの前記ナノトポグラフィマップの重ね合わせからエピタキシャル工程要因のナノトポグラフィ成分を抽出する工程と、
前記エピタキシャル工程要因のナノトポグラフィ成分が所定の高さを超える場合に、第1のエピタキシャル成長条件とは異なる第2のエピタキシャル成長条件を前記エピタキシャル成長装置に設定し、当該エピタキシャル成長装置を用いて前記第2のエピタキシャル成長条件下で第2の基板に第2のエピタキシャル膜を形成することにより第2のエピタキシャルウェーハを製造する工程とを備えることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記エピタキシャル成長装置は、チャンバーと、前記チャンバー内に設置された貫通孔を有するサセプタと、前記貫通孔に挿入され、前記サセプタ上に載置される基板を昇降自在に支持するリフトピンとを備え、前記サセプタ上にセットされた前記第1の基板の表面に前記第1のエピタキシャル膜を形成し、前記サセプタ上にセットされた前記第2の基板の表面に前記第2のエピタキシャル膜を形成する、請求項3に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記サセプタ上にセットされたとき前記リフトピンと平面視で重なる位置における前記エピタキシャル工程要因のナノトポグラフィ成分が所定の高さ以下となるように前記第2のエピタキシャル成長条件を調整する、請求項4に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
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