JP6908626B2 - 亀裂が低減されたロボットサブアセンブリ、エンドエフェクタアセンブリ、及び方法 - Google Patents

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関連出願

本出願は、「ＲＯＢＯＴ ＳＵＢＡＳＳＥＭＢＬＩＥＳ， ＥＮＤ ＥＦＦＥＣＴＯＲ ＡＳＳＥＭＢＬＩＥＳ， ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ ＷＩＴＨ ＲＥＤＵＣＥＤ ＣＲＡＣＫＩＮＧ」の名称で２０１６年５月５日に出願されたインド特許出願番号２０１６４１０１５７０５号（代理人整理番号２３９４４ＩＮ／ＣＨＣ）、及び「ＲＯＢＯＴ ＳＵＢＡＳＳＥＭＢＬＩＥＳ， ＥＮＤ ＥＦＦＥＣＴＯＲ ＡＳＳＥＭＢＬＩＥＳ， ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ ＷＩＴＨ ＲＥＤＵＣＥＤ ＣＲＡＣＫＩＮＧ」の名称で２０１６年８月１日に出願された米国特許出願番号１５／２２５，３９４号 （代理人整理番号２３９４４ＵＳＡ／ＣＨＣ）の優先権及び利益を主張し、その開示内容全体があらゆる目的のために参照により本明細書に援用される。

本開示は、電子デバイスの製造に関し、具体的には、調整可能なロボットエンドエフェクタアセンブリ、及び脆性のセラミック又はガラス製エンドエフェクタの配向を調整するための方法に関する。

電子デバイス、製品、メモリ品の製造において、そのような半導体ウエハ（例えば、基板−パターン形成された基板及びパターン形成されていない基板の両方）への前駆体品が、ツールの様々なチャンバ内部で一又は複数のロボット装置によって搬送されうる。例えば、搬送は、移送チャンバ内で一つのプロセスチャンバから別のプロセスチャンバへ、ロードロックチャンバからプロセスチャンバへ、又は基板キャリアからファクトリインターフェースのロードポートへ、などであってよい。このようなロボットによる搬送中、基板はロボットのアームコンポーネントに連結されたロボットのエンドエフェクタの上に載置される。例えば、従来のロボットでは、エンドエフェクタはロボットのリスト部などロボットの移動可能なコンポーネントに連結されうる。一部の例では、エンドエフェクタは、作動環境に存在しうる高温及び腐食環境に曝されることに対応するため、アルミナ材料から作られる。しかしながら、既存のアルミナ製エンドエフェクタ（あるいは“ブレード”と称される）は、破損率が比較的高い傾向にありうる。

したがって、破損する傾向が低減されたエンドエフェクタ装置、システム、及び方法が求められている。

第１の態様によれば、ロボットサブアセンブリが提供される。ロボットサブアセンブリは、ロボットコンポーネントと、ロボットコンポーネントに連結され、ロボットコンポーネントに対して調整可能な配向を含む取付板と、取付板に連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタとを含む。

別の態様では、エンドエフェクタアセンブリが提供される。エンドエフェクタアセンブリは、ロボットコンポーネントに調整可能に連結されるように構成された取付板と、取付板に連結されたエンドエフェクタと、ロボットコンポーネントと取付板との間に配向調整能を提供する配向調整部材とを含む。

更に別の態様では、セラミック又はガラス製エンドエフェクタの配向を調整する方法が提供される。方法は、ロボットコンポーネントと、ロボットコンポーネントに調整可能に連結された取付板と、取付板に連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタとを提供することと、ロボットコンポーネントと取付板との間の一又は複数の間隙を調整することによって、ロボットコンポーネントに対するセラミック又はガラス製エンドエフェクタのロール、ピッチ、及び垂直方向の配向のうち一又は複数を調整することとを含む。

本開示の上記の実施形態及び他の実施形態に従い、数多くの他の態様が提供される。本開示の実施形態の他の特徴及び態様は、以下の説明、付随する特許請求の範囲、及び添付の図面から、より詳細に明らかになるであろう。

Ａは、従来技術に係る、ロボットのリスト部に連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタの等角図を示す。Ｂは、従来技術に係る、ロボットのリスト部に連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタの一部の部分側面断面図を示す。Ｃは、従来技術に係る、ロボットのリスト部に連結され、シムを用いて配向が調整されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタの一部の部分断面図を示す。 Ａは、一又は複数の実施形態に係るロボットサブアセンブリの等角図を示す。Ｂは、一又は複数の実施形態に係る、図２Ａの断面線２Ｂ−２Ｂに沿って見たロボットサブアセンブリの部分側面断面図を示す。Ｃは、一又は複数の実施形態に係る、エンドエフェクタを装着するための装着アセンブリの部分側面断面図を示す。 Ｄは、一又は複数の実施形態に係る、ロボットコンポーネントと取付板との間の配向調整のためのシムを含むロボットサブアセンブリの部分側面断面図を示す。Ｅは、一又は複数の実施形態に係る、配向調整のためのシムを含み、取付板のエンドエフェクタ装着面上に傾斜面を更に含むロボットサブアセンブリの部分側面断面図を示す。Ｆは、一又は複数の実施形態に係る、配向調整のためのシムを含み、取付板のロボットコンポーネント装着面上に傾斜面を更に含むロボットサブアセンブリの部分側面断面図を示す。 Ａは、一又は複数の実施形態に係る、設定及びロック調整機構を含むロボットサブアセンブリの部分側面断面図を示し、設定要素を示す。Ｂは、一又は複数の実施形態に係る、設定及びロック調整機構を含むロボットサブアセンブリの側面断面図を示し、ロック要素を示す。Ｃは、一又は複数の実施形態に係る、設定及びロック調整機構の設定及びロック要素を配置可能な場所を示す、ロボットサブアセンブリの等角図を示す。 一又は複数の実施形態に係るロボットサブアセンブリの等角図を示す。 一又は複数の実施形態に係る、エンドエフェクタの配向を調整する方法のフローチャートを示す。

電子デバイス製造プロセスでは、最終電子デバイス（例えば、コンピュータチップ）を製造するために、多種多様な前駆体品、例えばパターン形成された半導体ウエハ、パターン形成されていない半導体ウエハ、ガラス板、マスク（本明細書では、このような前駆体品の全てを「基板（単数又は複数）」と称する）などを組み立てる。当該プロセスの一又は複数を行う製造ツールの内部でこのような基板を一つの場所から別の場所へと搬送している間、基板はエンドエフェクタ（「ブレード」と称されることもある）により運ばれうる。搬送中、基板はエンドエフェクタの上に載置される。製造公差及び公差蓄積に起因して、調節プロセスの一部として、エンドエフェクタは、様々な処理チャンバ及び／又はロードロックチャンバに対し確実に正しい配向となるように、使用前にその配向が調整されることがある。具体的には、配向調整は、ロール方向調整、ピッチ方向調整、垂直方向調整、又はその組み合わせを含みうる。

従来技術におけるエンドエフェクタアセンブリ１００では、図１Ａ〜図１Ｃに示すように、エンドエフェクタ１０２とロボットのリスト部１０４との間に挿入されるワッシャなどの一又は複数のシム１０１を用いて、エンドエフェクタ１０２とロボットのリスト部１０４との間に調整能を設けることにより配向調整が行われうる。シム１０１を、例えば図１Ｃに示すようにエンドエフェクタ１０２のロール、ピッチ、又は垂直配向のうち一又は複数を調整するために使用する場合、屈曲が生じる場合があり、エンドエフェクタ１０２の一又は複数の部分に曲げ応力が加わりうる。材料が非常に脆いセラミック又はガラス製エンドエフェクタの場合、これによって望ましくない応力が生じ、加わった曲げ応力が最も高い領域、例えば締め具１０６Ａ、１０６Ｂ間の第１の領域１０５、又は締め具１０６Ｂの外側にある第２の領域１０７においてさえも亀裂がもたらされる。他の領域もまた、亀裂を生じやすくなりうる。本明細書において、セラミックとは、非金属鉱物を高温で焼成することにより作られる、硬質で脆く、耐熱性且つ耐腐食性の材料を意味する。本明細書において、ガラスとは、純シリカを溶融することにより形成され、高温に耐えうる透明又は半透明のガラス状の固体を意味する。エンドエフェクタに使用するガラスは、溶融石英又は溶融シリカで作られうる。

本開示の実施形態により、このようなセラミック又はガラス製エンドエフェクタの亀裂が低減されうるか又はなくなりうる一方で、依然としてロール、ピッチ、又は垂直配向調整のうち一又は複数が可能である。したがって、第１の態様によれば、一又は複数の実施形態により、ロボットのリスト部などのロボットコンポーネントと、ロボットコンポーネントに連結され、ロボットコンポーネントに対して調整可能な配向を含む取付板と、取付板にしっかりと連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタとを備えるロボットサブアセンブリが提供される。調整可能な配向は、取付板とロボットコンポーネント（例えば、リスト部）との間に設けられてよく、両部材は比較的高い延性及び／又は弾性を有する金属でありうるため、亀裂又は破損を生じることなく曲げ応力に対応することが可能である。改善されたロボットサブアセンブリでは、セラミック又はガラス製エンドエフェクタは、セラミック又はガラス製エンドエフェクタの亀裂を引き起こす傾向が低い圧縮応力を実質的に主に受けるように、取付板の共平行な表面と装着アセンブリとの間に強固にクランプ固定される。

図２Ａ〜図５を参照して、エンドエフェクタアセンブリ、ロボットサブアセンブリ、及びエンドエフェクタの配向を調整する方法のこれらの実施形態及び他の実施形態を以下に記載し、全体を通じて同様の参照番号は同様の要素を示す。

図２Ａ〜図２Ｂは、本開示の一又は複数の実施形態に係るロボットサブアセンブリ２００とその種々のコンポーネントの部分等角図及び断面図を示す。ロボットサブアセンブリ２００は、ロボットのリスト部など最も外側に位置するロボットコンポーネントであってよいロボットコンポーネント２０４、及びロボットコンポーネント２０４に連結され、ロボットコンポーネント２０４に対して調整可能な配向を含む取付板２０８を含む。最も外側に位置するロボットコンポーネントは、ロボットの肩関節部から最も離れたロボットアームコンポーネントである。取付板２０８は、ロボットコンポーネント２０４とセラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２との間にある中間部材である。取付板２０８は板状構造で示されているが、他の構成を使用してもよい。ロボットサブアセンブリ２００は、取付板２０８にしっかりと連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２を更に含む（短縮した形状のものを図２Ｂに示す）。調整可能な配向により、エンドエフェクタ２０２とロボットコンポーネント２０４との間の相対的な配向のロール、ピッチ、若しくは垂直方向調整のうち一又は複数、又は調整の組み合わせが可能となるが、調整は、ロボットコンポーネント２０４と取付板２０８との間で行われる。これにより、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の亀裂が最小となるように、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２をツールのプロセスチャンバ及び／又はロードロックチャンバに対して正しい配向に調整することが可能となる。

図２Ａ及び図２Ｂに最も明確に示すように、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２は、装着アセンブリ２１０（図２Ｂ及び図２Ｃに示す）によって取付板２０８にしっかりと締結され装着されている。セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２は、例えば、アルミナ、アルミナ−チタニアセラミックなどの適切なセラミック材料、又は溶融シリカ、溶融石英などの適切なガラスで作られていてよい。セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の取付板２０８に連結される部分は薄くてもよく、且つ互いにほぼ平行な頂面及び底面を有しうる。セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の厚さは、例えば約１．５ｍｍから約５ｍｍでありうる。他の厚さを使用してもよい。セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の厚さは、クランプ固定された部分全体を通じて同じであってよい。

セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２は、円形、楕円形、正方形、六角形、八角形、又は矩形などの任意の適切な形状であってよいコンタクトパッド２０２Ｐを含みうる。他の形状を使用してもよい。好ましくは、２つのコンタクトパッド２０２Ｐは、脚部２０２Ｌ、２０２Ｒなどの上で横方向に離隔されていてよく、更なる少なくとも１つのコンタクトパッドがセラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２のいずれかの場所に設けられうる。いくつかの実施形態では、コンタクトパッド２０２Ｐにより、基板（図示しない）との少なくとも３点接触が設けられ、したがって基板とセラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の頂面との間に間隙が生じる。

コンタクトパッド２０２Ｐは、いくつかの実施形態においてはセラミック体上に一体的に機械加工されているか、代替的にはプレスフィット、焼結、接着、機械的な締め具（例えば、ねじ）を用いた締結などの任意の適切な手段によってセラミック体に締結されうる。コンタクトパッド２０２Ｐは、平坦な又はドーム型の輪郭を有しうる。

装着アセンブリ２１０は、図示のように取付板２０８の下側に連結されうる装着板２１２、及びエンドエフェクタ締め具２１８で構成されうる。装着板２１２は、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の下側に接触するように設けられうる上面２１４を含みうる。装着板２１２は、金属（例えば、アルミニウム又はステンレス鋼）でありうる。

取付板２０８は、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の上側に接触するように設けられうる、図示のような下面２１６を含みうる。下面２１６及び上面２１４の各々は、共平行の平らな表面であってよく、エンドエフェクタ締め具２１８を締め付けることによりセラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２としっかりクランプ固定係合するように引き寄せられうる。エンドエフェクタ締め具２１８は、図示のチャンファーヘッドを有するねじなどの適切なねじであってよい。他の適切な締結システム及び／又は締め具を用いて、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２を取付板２０８にクランプ固定してもよい。クランプ固定することにより、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２のクランプ固定された部分の比較的大きい面積（例えば、約５、０００ｍｍ^２以上の領域）にわたり大きい圧縮応力が加わりうるため、曲げ応力が最小となる。したがって、セラミック又はガラス製エンドエフェクタの亀裂を生じる傾向が低減されうる。

図２Ｃに最も明確に示すように、装着板２１２は、エンドエフェクタ締め具２１８を内部に受け入れるねじ式パイロット２２０を含みうる。ねじ式パイロット２２０は、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２に形成された取り付け孔を貫通し、図２Ｂに示す取付板２０８の下側に形成された凹部２１５に受け入れられうる。エンドエフェクタ締め具２１８及びねじ式パイロット２２０の数は３つ以上であってよく、例えば図２Ａに示すように取付板２０８上に位置決めされうる。エンドエフェクタ締め具２１８の他の配向を使用してもよい。任意選択的に、いくつかの実施形態では、装着板２１２は、Ｐｅｎｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ＆ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ社より入手可能なＰＥＭ(R)ブランドの締め具が内部に取り付けられた金属薄板で作られていてもよい。装着板２１２の他の構成を使用することも可能である。

いくつかの実施形態では、クランプ固定を更に改善し局所応力の集中を最小化するためにセラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の頂面及び／又は底面にポリイミドテープが貼付されうる。

図２Ａ及び図２Ｂを再度参照すると、調整可能な配向を設け、ロボットコンポーネント２０４を取付板２０８に連結するための一方法及び装置が示されている。具体的には、ロボットコンポーネント２０４（例えば、ロボットのリスト部）は第１の凹部２２２を含み、取付板２０８は第２の凹部２２４を含みうる。これらの凹部２２２、２２４により、ロボットサブアセンブリ２００の垂直方向の輪郭が比較的薄くなるように取付板２０８とロボットコンポーネント２０４の上面及び下面の位置合わせが可能となる一方で、各々に形成される段差によって組み立ても補助されうる。

一又は複数の実施形態では、一又は複数のシム２２６（例えば、薄ディスク形状のワッシャ）をロボットコンポーネント２０４と取付板２０８のそれぞれの表面間に挿入することにより、ロボットコンポーネント２０４と取付板２０８との間に調整可能な配向が設けられうる。いくつかの実施形態では、シム２２６はコンポーネント締め具２２８の上に挿入されうる。シム２２６は、ステンレス鋼材料で作られていてよい。シム２２６は、ロール、ピッチ、及び／又は垂直方向調整の量に応じて様々な厚さを有していてよい。

例えば、シム２２６は例えば約０．０２５ｍｍから約０．３０５ｍｍまでの様々な厚さを有しうる。シム２２６の他の厚さ又はシムの材料を使用してもよい。一又は複数のシム２２６は各調整場所で使用されうる。調整場所は、３つ以上の場所、例えば図示の４つの場所を含みうる。変更可能な間隙を設けることにより配向調整を補助するために、当該場所のうち一又は複数の場所に様々な量の、異なる厚さを有しうるシム２２６が置かれうる。

しかしながら、他の種類のシム２２６及びシム２２６の場所を使用してもよいことを認識すべきである。シム２２６は、ロボットコンポーネント２０４と取付板２０８との間に配向調整を設けることでエンドエフェクタ２０２の配向をロール、ピッチ、及び／又は垂直方向に調整するために変更可能な間隙を様々な場所に実現するための任意の適切な形状、厚さ、及び場所を有していてよい。シム２２６は、コンポーネント締め具２２８を締め付けることによりロボットコンポーネント２０４と取付板２０８との間にクランプ固定されうる。コンポーネント締め具２２８は、例えば、チャンファーヘッドを有するねじであってよい。他の適切な締め具を使用してもよい。取付板２０８及びロボットコンポーネント２０４の各々は、アルミニウム、ステンレス鋼、又は他の適切な金属などの金属であってよく、曲げ応力を受けうるが、セラミック又はガラス製材料よりもはるかに弾性且つ延性であるため、塑性降伏しないか又は亀裂を生じない。コンポーネント締め具２２８の肩部が取付板２０８に形成された嵌合チャンファー内の中央に置かれると、コンポーネント締め具２２８を締め付けることによってロボットコンポーネント２０４に対する取付板のＸ位置及びＹ位置が確定される。いくつかの実施形態では、取付板２０８をロボットコンポーネント２０４に対して大まかに位置づけることをアシストするための位置づけピン２０９を設けてもよい。

図２Ｄは、一又は複数の実施形態に係る、ロボットコンポーネント２０４と取付板２０８との間にシム２２６を含むロボットサブアセンブリ２００の部分側面断面図を示す。シム２２６を様々な場所に追加することにより、ロール、ピッチ及び／又は垂直方向の調整が提供されうる。

図２Ｅは、取付板２０８のエンドエフェクタ装着面として形成される傾斜面２３０を含むロボットサブアセンブリ２００Ａの部分側面断面図を示す。傾斜面２３０は、水平方向に対し約０．２度よりも大きい角度、又は約０．２度から２度までの角度を含みうる。他の角度を使用することも可能である。傾斜面２３０は、様々なチャンバ（例えば、処理チャンバ及び／又はロードロックチャンバ）内に延伸するときのセラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２及び他のロボットコンポーネントの垂下（ｄｒｏｏｐ）に起因するピッチ変更のためにおよそオフセットされるように設定されうる。いくつかの場合では、水平方向の配向を実現するために、より少ないシム２２６を使用してもよい。

図２Ｆは、一又は複数の実施形態に係る、取付板２０８のロボットコンポーネント装着面として形成される傾斜面２３０を含むロボットサブアセンブリ２００Ｂの断面側面図を示す。この場合も傾斜面２３０は、配向調整の前に、予想される垂下に対応し、当該垂下を修正し、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２をより水平な初期位置に据える。ロボットコンポーネント装着面上の傾斜面とエンドエフェクタ装着面上の傾斜面を組み合わせて使用してもよい。代替的には、垂下に対応するために、傾斜面をロボットコンポーネント上に配置してもよい。

更に、図３Ａ〜図３Ｃに示すロボットサブアセンブリ３００の設定及びロック機構３３２などの他の種類の配向調整手段を使用してもよい。設定及びロック機構３３２では、ロボットコンポーネント３０４と取付板３０８との間の配向は、取付板３０８の異なる場所に設けられた３つ以上の調整用ねじ３３４（図３Ｃでは４つを示す）によって達成されうる。調整用ねじ３３４は、相対的に異なる間隙をロボットコンポーネント３０４と取付板３０８との間で異なる場所に設けることが可能となるように調整されうる。設定された異なる間隙は、取付板３０８とロボットコンポーネント３０４との間に受け入れられるばね部材３３５により作用する力の下で維持される。ばね部材３３５は、ウェーブスプリング又は任意の他の適切な種類のばねであってよい。調整用ねじ３３４を内部又は外部へ調整することにより正しい配向が設定されると、様々な調整場所に間隙を確定することによりロボットコンポーネント３０４と取付板３０８との間のロール、ピッチ、及び／又は垂直方向における相対的な配向を確定させるためにロック用ねじ３３６（図３Ｂ及び図３Ｃに示す）が設定されうる。ロボットコンポーネントの表面に対してロック用ねじ３３６を締め付けることによって、調整用ねじ３３４のヘッドが取付板３０８に対して押し付けられ間隙が確定される。ロック用ねじ３３６は、調整用ねじ３３４の近傍又は他の適切な場所に位置づけられうる。セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２への接続については、図２Ａ〜図２Ｃで既に説明したものと同一である。

ロボットコンポーネント２０４と取付板２０８との間での位置調整可能な装着により達成される配向調整は、図２Ａに示すように、ロール方向調整２３１、ピッチ方向調整２３２、垂直方向調整２３５、又はこれらの組み合わせを含みうる。配向調整は、ロボットコンポーネント２０４、３０４と取付板２０８、３０８との間の異なる場所でサイズ変更可能な間隙を生じさせる配向調整部材（例えば、一又は複数のシム２２６又は調整用ねじ３３４）によって提供される。例えば、ロール調整２３１は、シム２２６を横方向に追加するか若しくは差し引くことにより、又は設定及びロック機構３３２の一方の側を適切に調整することにより、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の一方の側を他方の側に対して上昇又は下降させるものである。ピッチ調整２３２は、例えば取付板２０８の長さに沿ってシム２２６を追加するか若しくは差し引くことにより、又は設定及びロック機構３３２の調整用ねじ３３４を調整することにより、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の長手方向の一端（例えば、脚部２０２Ｌ、２０２Ｒ）を他端に対して上昇又は下降させるものでありうる。例えば、ロボットコンポーネント２０４により近い位置にシム２２６を追加することにより脚部２０２Ｌ、２０２Ｒは下降し、一方、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２により近い位置にシム２２６を追加することにより脚部２０２Ｌ、２０２Ｒは上昇する。垂直方向調整２３５は、シム２２６を追加するか若しくは差し引くことにより、又は設定及びロック機構３３２の調整用ねじ３３４を調整することにより、達成されうる。垂直方向調整２３５は、例えば、各場所において均等にシム２２６を追加するか又は調整用ねじ３３４を均等に調整することにより行われうる。上述したものの組み合わせは、異なる場所に追加された異なる厚さのシム、又は調整用ねじ３３４の異なる調整によって調整されうる。

図４は、電子デバイス製造システムチャンバ間で基板を搬送するように適合されたロボットサブアセンブリ４００を示す。ロボットサブアセンブリ４００は、剛性のビーム４０９、及び剛性のビーム４０９の対向する端部に連結されたロボットのリスト部などの連結ロボットコンポーネント２０４を含む。図示の実施形態では、剛性のビーム４０９は、メインフレームハウジング（図示しない）の搬送チャンバ内に設けられうるロボット（図示しない）の一又は複数の追加のロボットコンポーネントに装着されうる。前述のようなロボットアセンブリ２００が剛性のビーム４０９に連結される。ロボットサブアセンブリ４００は、例えばプロセスチャンバから及びプロセスチャンバへ、ロードロックチャンバから及びロードロックチャンバへなど、ツールの様々なチャンバから及び様々なチャンバへと基板を搬送するように構成され適合されうる。図示の実施形態では、ロール、ピッチ、及び垂直方向調整は、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の各々に対して個別に行われうる。対をなした特定のロボット構造が示されているが、ロボットは、３リンクロボット、４リンクロボット、水平多関節ロボット（ＳＣＡＲＡ）ロボット、又は独立制御可能アームロボットなどの任意の形態のものであってよい。他の種類のロボットを採用してもよく、本開示の実施形態の恩恵を受けることが可能である。例えば、ロボットサブアセンブリ２００は、例えば米国特許第５，７８９，８７８号、５，８７９，１２７号、６，２６７，５４９号、６，３７９，０９５号、６，５８２，１７５号、及び６，７２２，８３４号、並びに米国特許出願公開第２０１０／０１７８１４７号、２０１３／００３９７２６号、２０１３／０１４９０７６号、２０１３／０１１５０２８号、及び２０１０／０１７８１４６号に記載のロボットと共に使用されるように適合されうる。同様に、図３Ａ〜図３Ｃのロボットサブアセンブリ３００は、任意の適切なロボットに対して適合されうる。

図５は、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２の配向をロボットコンポーネント２０４、３０４に対して調整する方法５００を示す。方法５００は、５０２において、ロボットコンポーネント（例えば、ロボットコンポーネント２０４、３０４）、ロボットコンポーネントに調整可能に連結された取付板（例えば、取付板２０８、３０８）、及び取付板に連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタ（例えば、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２）を提供することを含む。

方法５００は、５０４において、ロボットコンポーネントと取付板との間の一又は複数の間隙を調整することにより、ロボットコンポーネント（例えば、ロボットコンポーネント２０４、３０４）に対するセラミック又はガラス製エンドエフェクタ（例えば、セラミック又はガラス製エンドエフェクタ２０２）のロール配向、ピッチ配向、及び／若しくは垂直配向、又はロール配向、ピッチ配向、及び／若しくは垂直配向の組み合わせを調整することを含む。上記のように、間隙の調整は、シム２２６を追加又は差し引くこと、設定及びロック機構３３２を調整することなどの任意の適切な間隙調整手段により行われうる。

上述の説明は、本開示の例示的な実施形態を開示するものである。本開示の範囲に含まれる上述のアセンブリ、装置、及び方法の変形例が、当業者には容易に明らかになるであろう。したがって、本開示はいくつかの実施形態を含むが、付随する特許請求の範囲により規定される開示の範囲内に他の実施形態が含まれることを理解されたい。

Claims (14)

1. ロボットコンポーネントと、
   前記ロボットコンポーネントに連結され、前記ロボットコンポーネントに対して調整可能な配向を含む取付板と、
   前記取付板に連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタと
   を備え、
   前記ロボットコンポーネントは第１の凹部を含み、前記取付板は第２の凹部を含み、前記第１の凹部及び第２の凹部により、前記ロボットコンポーネントの上面と前記取付板下面との位置合わせが可能となり、
   前記取付板の、前記ロボットコンポーネントに対する前記調整可能な配向は、前記取付板と前記ロボットコンポーネントとの間に置かれた一又は複数のシムによって設けられ、
   前記調整可能な配向により、ロール方向調整、またはピッチ方向調整のうちの一又は複数を可能とする、
   ロボットサブアセンブリ。
2. 前記セラミック又はガラス製エンドエフェクタは、
   装着板と、
   前記取付板と前記装着板との間に連結された締め具と
   を含む装着アセンブリによって前記取付板にしっかりと装着される、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
3. 前記セラミック又はガラス製エンドエフェクタはアルミナを含む、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
4. 前記ロボットコンポーネントは、最も外側に位置するロボットコンポーネントを備える、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
5. 前記ロボットコンポーネントは、ロボットのリスト部を備える、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
6. 前記ロボットコンポーネントは、複数のロボットのリスト部が配置されたビームを含む、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
7. 前記調整可能な配向は設定及びロック機構により設けられる、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
8. 前記設定及びロック機構は調整用ねじを備える、請求項７に記載のロボットサブアセンブリ。
9. 前記設定及びロック機構はロック用ねじを備える、請求項７に記載のロボットサブアセンブリ。
10. 前記取付板は、前記セラミック又はガラス製エンドエフェクタの垂下に合わせて調整するように構成された傾斜面を備える、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
11. 前記傾斜面は、ロボットコンポーネント装着面を備える、請求項１０に記載のロボットサブアセンブリ。
12. 前記ロボットコンポーネントに対する前記取付板の前記調整可能な配向によってさらに、垂直方向調整を可能とする、請求項１に記載のロボットサブアセンブリ。
13. ロボットコンポーネントに調整可能に連結されるように構成された取付板であって、前記ロボットコンポーネントは第１の凹部を含み、前記取付板は第２の凹部を含み、前記第１の凹部及び第２の凹部により、前記ロボットコンポーネントの上面と前記取付板下面との位置合わせが可能となる、取付板と、
    前記取付板に連結されたセラミック又はガラス製エンドエフェクタと、
    前記ロボットコンポーネントと前記取付板との間に配向調整能を提供する配向調整部材と
    を備え、前記配向調整部材により、ロール方向調整、またはピッチ方向調整のうちの一又は複数を可能とし、前記配向調整部材は前記取付板と前記ロボットコンポーネントとの間に置かれた一又は複数のシムを含む、エンドエフェクタアセンブリ。
14. セラミック又はガラス製エンドエフェクタの配向を調整する方法であって、
    ロボットコンポーネントと、前記ロボットコンポーネントに調整可能に連結された取付板と、前記取付板に連結された前記セラミック又はガラス製エンドエフェクタとを提供することと、
    前記ロボットコンポーネントの第１の凹部及び前記取付板の第２の凹部を介して、前記ロボットコンポーネントの上面と前記取付板の下面との位置合わせを行うことと、
    前記ロボットコンポーネントと前記取付板との間の一又は複数の間隙を、前記ロボットコンポーネントと前記取付板との間に置かれた一又は複数のシムによって調整することによって、前記ロボットコンポーネントに対する前記セラミック又はガラス製エンドエフェクタのロール、またはピッチ配向のうち一又は複数を調整することと
    を含む方法。

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