KR20240043105A - 리프트 핀 어셈블리를 위한 시스템 및 장치 - Google Patents

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KR20240043105A
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매튜 리켓츠
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
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Abstract

본 기술의 다양한 구현예는 리프트 핀 어셈블리를 위한 시스템 및 장치를 제공할 수 있다. 리프트 핀 어셈블리는 리프트 핀 및 상기 리프트 핀의 일부분에 부착되어 이를 둘러싸는 추를 포함할 수 있다. 추는 나사에 의해 서로 부착되는 제1 부재 및 제2 부재를 포함할 수 있다. 각 부재는 채널을 가질 수 있다. 각 부재의 채널은 리프트 핀을 수용하기 위한 관통 구멍을 형성할 수 있다.

Description

리프트 핀 어셈블리를 위한 시스템 및 장치{SYSTEMS AND APPARATUS FOR A LIFT PIN ASSEMBLY}
반도체 제조 공정 동안, 리프트 핀이 사용되어 웨이퍼를 서셉터 상에 로딩하고 서셉터로부터 언로딩하는 것을 용이하게 할 수 있다. 대부분의 경우에, 리프트 핀은 서셉터 내의 구멍을 통해 연장된다. 웨이퍼는 고정식 서셉터를 통해 리프트 핀을 작동시킴으로써 서셉터의 표면으로부터 들어 올려질 수 있다. 사용 동안, 리프트 핀은 서셉터 내의 바람직하지 않은 위치에 고착될 수 있다. 따라서, 고착을 방지하거나 감소시키는 설계가 요망될 수 있다.
본 기술의 다양한 구현예는 리프트 핀 어셈블리를 위한 시스템 및 장치를 제공할 수 있다. 리프트 핀 어셈블리는 리프트 핀 및 상기 리프트 핀의 일부분에 부착되어 이를 둘러싸는 추를 포함할 수 있다. 추는 나사에 의해 서로 부착되는 제1 부재 및 제2 부재를 포함할 수 있다. 각 부재는 채널을 가질 수 있다. 각 부재의 채널은 리프트 핀을 수용하기 위한 관통 구멍을 형성할 수 있다.
일 양태에 따르면, 리프트 핀 어셈블리는, 리프트 핀(상기 리프트 핀은, 샤프트로서, 제1 직경을 갖고 제1 단부와 제2 단부를 포함한 제1 구획; 상기 제1 구획의 제2 단부에 직접 결합되고 제2 직경을 갖는 제2 구획; 및 상기 제2 구획에 직접 결합되고 제3 직경을 갖는 제3 구획을 포함하는, 상기 샤프트; 및 상기 제1 구획의 제1 단부에 결합된 핀 헤드를 포함함); 및 상기 샤프트의 제2 구획에 부착되고 제1 부재 및 제2 부재를 포함하는 추(상기 제1 및 제2 부재 각각은, 상기 샤프트의 제2 구획으로부터 제1 거리만큼 연장되는 제1 에지를 갖는 상단부; 및 상기 상단부와 맞은편에 있고 상기 샤프트의 제2 구획으로부터 제2 거리만큼 연장되는 제2 에지를 갖는 하단부를 포함하되, 상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 작음)를 포함한다.
다른 양태에 따르면, 리프트 핀 어셈블리는, 리프트 핀(상기 리프트 핀은, 샤프트로서, 제1 직경을 갖고 제1 단부와 제2 단부를 포함한 제1 구획; 상기 제1 구획의 제2 단부에 직접 연결되고 제2 직경을 갖는 제2 구획; 및 상기 제2 구획에 직접 결합되고 제3 직경을 갖는 제3 구획을 포함하는, 상기 샤프트; 및 상기 제1 구획의 제1 단부에 연결된 핀 헤드를 포함함) 및 상기 샤프트의 제2 구획을 둘러싸고 제2 부재에 결합된 제1 부재를 포함한 추(상기 제1 및 제2 부재 각각은 상기 추의 상단부로부터 상기 추의 하단부로 연장된 관통 구멍을 형성하는 채널을 포함하며, 상기 샤프트의 제2 구획은 상기 관통 구멍을 통해 연장되고 관통 구멍에 의해 경계지어짐)를 포함한다.
또 다른 양태에 따르면, 리프트 핀에 부착될 수 있는 추는, 제2 부재에 부착된 제1 부재를 포함하되, 상기 제1 및 제2 부재 각각은, 내부 대향면; 상단부와 하단부; 및 상기 내부 대향면을 따라 상단부로부터 하단부로 연장된 채널을 포함하며, 상기 상단부는, 상기 채널로부터 제1 거리만큼 연장된 제1 에지를 갖고, 상기 하단부는, 상기 상단부와 반대 방향에 있고 상기 채널로부터 상기 제1 거리보다 작은 제2 거리만큼 연장된 제2 에지를 갖고, 상기 제1 부재의 내부 대향면은 상기 제2 부재의 내부 대향면과 접경하고, 상기 제1 및 제2 부재의 채널은, 상기 리프트 핀의 일부분을 포위할 수 있는 관통 구멍을 형성한다.
다음의 예시적인 도면과 연관하여 고려되는 경우에 발명의 상세한 설명을 참조함으로써, 본 기술에 대해 더욱 완전한 이해를 얻을 수 있다. 다음 도면에서, 유사한 참조 번호는 도면 전체에 걸쳐 유사한 요소 및 단계를 지칭한다.
도 1은 본 기술의 예시적인 구현예에 따른 시스템을 대표적으로 나타낸다.
도 2는 본 기술의 예시적인 구현예에 따른 리프트 핀 어셈블리의 사시도이다.
도 3은 본 기술의 예시적인 구현예에 따른 리프트 핀 어셈블리의 사시도이다.
도 4는 본 기술의 예시적인 구현예에 따른 추의 사시도이다.
도 5는 본 기술의 예시적인 구현예에 따른 리프트 핀 어셈블리의 일부분의 단면도이다.
본 기술은 기능적 블록 구성 요소 및 다양한 처리 단계에 관하여 설명할 수 있다. 이러한 기능적 블록은, 명시된 기능을 수행하고 다양한 결과를 달성하도록 구성된 임의의 수의 구성 요소에 의해 실현될 수 있다. 예를 들어, 본 기술은 다양한 패스너 및 재료를 사용하여 리프트 핀 및 추를 형성할 수 있다. 또한, 본 기술은 리프트 핀 및 추를 제조하기 위한 임의의 수의 기술을 사용할 수 있다.
도 1을 참조하면, 예시적인 시스템(100)은 웨이퍼(125)와 같은 기판을 처리하기 위한 반응 챔버(105) 및 샤워헤드(110)를 포함할 수 있다. 반응 챔버(103)는 수직으로 배향된 측벽, 수평으로 배향된 바닥 표면, 및 샤워헤드(110)에 의해 정의되는 내부 공간(102)을 포함할 수 있다. 시스템(100)은 다양한 전구체를 샤워헤드(110)를 통해 반응 챔버(105)로 전달하기 위한 유입구(180)를 더 포함할 수 있다.
샤워헤드(110)는 유입구(180)로부터 웨이퍼(125)를 향해 전구체를 흐르게 하도록 구성된 복수의 관통 구멍(135)을 포함할 수 있다. 샤워헤드(110)는 반응 챔버(105)의 측벽에 인접하게 위치하여 이에 의해 지지될 수 있다.
시스템(100)은, 반응 챔버(105)의 내부 공간(102) 내에 배치되고 웨이퍼(125)를 지지하도록 구성된 서셉터(117)를 더 포함할 수 있다. 서셉터(117)는, 받침대(130)에 의해 지지되는 플레이트(120)를 포함할 수 있다. 다양한 구현예에서, 서셉터(117)는 z-축(Z)을 따라 상하로 이동하도록 구성될 수 있다. 그러나, 다른 구현예에서, 서셉터(117)는 정지 상태로 유지될 수 있다. 다양한 구현예에서, 플레이트(120)는 세라믹(알루미나, AlOx) 또는 금속(예: 스테인리스 강, 하스텔로이 등)으로부터 형성될 수 있다. 플레이트(120)는, 수평으로 배향되고 샤워헤드(110) 바로 아래에 위치하는 상단 표면을 포함할 수 있다. 웨이퍼(125)(또는 다른 기판)는 처리 동안 플레이트(120)의 상단 표면 상에 놓일 수 있다. 플레이트(120)는 처리 동안 웨이퍼(125)를 가열하도록 구성된 가열 요소(미도시)를 포함할 수 있다. 가열 요소는 임의의 적절한 가열 요소를 포함할 수 있고 임의의 원하는 형상 또는 패턴으로 배열될 수 있다. 다양한 구현예에서, 플레이트(120)는 관통 구멍(140)을 더 포함할 수 있다.
다양한 구현예에서, 시스템(100)은 플레이트(120)로부터 웨이퍼(125)를 들어 올리도록 구성된 리프트 핀 어셈블리(115)를 더 포함할 수 있다. 다양한 구현예에서, 시스템(100)은 복수, 예컨대 3개 이상의 리프트 핀 어셈블리(115)를 포함할 수 있다. 리프트 핀 어셈블리(115)는 플레이트(120) 내의 관통 구멍(140)을 통해 연장된다. 다양한 구현예에서, 리프트 핀 어셈블리(115)는 플레이트(120)에 대해 정지 상태로 유지되는 한편, 플레이트(120)는 z축을 따라 이동한다. 다양한 구현예에서, 리프트 핀 어셈블리(115)는 z축을 따라 이동하는 한편, 플레이트(120)는 리프트 핀 어셈블리(115)에 대해 정지 상태로 유지된다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 예시적인 구현예에서, 리프트 핀 어셈블리(115)는, 플레이트(120)로부터 웨이퍼(125)를 들어 올리기 위해 그리고 또한 플레이트(120) 상에 웨이퍼(125)를 배치하는 것을 용이하게 하기 위해 서로 함께 작동하는 리프트 핀(200) 및 추(225)를 포함할 수 있다. 추(225)는 리프트 핀(200)에 하향력을 인가하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 추(225)는 15~30 그램, 예를 들어 24 그램의 중량을 가질 수 있다. 다양한 구현예에서, 추(225)는 리프트 핀(115)의 일부분을 둘러쌀 수 있고, 추는 리프트 핀(115)의 바닥 근처에 위치할 수 있어서, 추(225)는 플레이트(120)의 상단 표면과 맞은편에 있는 하단 표면에 인접한다(도 1). 다양한 구현예에서, 리프트 핀(200)은 금속 재료(예: 스테인리스 강, 티타늄 또는 알루미늄) 또는 세라믹 재료(예: 알루미나, AlOx)를 포함할 수 있다. 다양한 구현예에서, 추(225)는 금속 재료(예: 스테인리스 강, 티타늄, 또는 알루미늄)를 포함할 수 있다.
다양한 구현예에서, 리프트 핀(200)은 상기 리프트 핀(200)의 축을 따라 제1 구획(205), 제2 구획(210) 및 제3 구획(215)을 갖는 샤프트를 포함할 수 있다. 축은 리프트 핀(200)의 길이를 따라 연장된다. 제1 구획(205)은 제1 단부(270) 및 제2 단부(275)를 포함할 수 있다. 제2 구획(210)은 제1 단부(500) 및 제2 단부(505)를 포함할 수 있다. 제3 구획(215)은 제1 단부(510) 및 제2 단부(515)를 포함할 수 있다. 다양한 구현예에서, 제2 구획(210)은 제1 구획(205)과 제3 구획(215) 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제2 구획(210)의 제1 단부(500)는 제1 구획(205)의 제2 단부에 직접 연결될 수 있고, 제2 구획(210)의 제2 단부(505)는 제3 구획(215)의 제1 단부(510)에 직접 연결될 수 있다. 각각의 구획(205, 210, 215)은 원통형 형상을 가질 수 있다.
다양한 구현예에서, 제1 구획(205)은 제1 직경 D1을 갖고, 제2 구획(210)은 제2 직경 D2를 갖고, 제3 구획(215)은 제3 직경 D3을 갖는다. 예시적인 구현예에서, 제3 직경 D3은 제2 직경 D2보다 크다. 예를 들어, 제3 직경 D3은 3.5 mm 내지 4.5 mm의 범위일 수 있고, 제2 직경 D2는 2.0 mm 내지 2.5 mm의 범위일 수 있다. 또한, 제1 직경 D1은 제2 직경 D2보다 클 수 있다. 예를 들어, 제1 직경 D1은 3.50 mm 내지 4.00 mm의 범위일 수 있다. 또한, 제1 직경 D1 및 제3 직경 D3은 실질적으로 동일할 수 있다(예: 5% 허용 오차).
다양한 구현예에서, 리프트 핀(200)은 제1 구획(205)의 제1 단부(270)에 연결된 핀 헤드(220)를 더 포함할 수 있다. 핀 헤드(220)는 임의의 적절한 형상 및 크기를 가질 수 있다.
다양한 구현예에서, 추(225)는 리프트 핀(200)의 제2 구획(210)의 적어도 일부분을 둘러쌀 수 있다. 예시적인 구현예에서, 추(225)는 제1 구획(205) 또는 제3 구획(215)을 둘러싸지 않을 수 있다. 다양한 구현예에서, 추(225)는 제1 부재(230) 및 제2 부재(235)를 포함할 수 있다. 각각의 부재(230, 235)는 상단 표면(240)을 갖는 상단부(230) 및 하단부(250)를 포함할 수 있다. 또한, 각각의 부재(230, 235)는 내부 대향면(400)을 포함할 수 있다. 각각의 부재(230, 235)의 내부 대향면은 서로 접경하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 부재(230)의 상단부(230)는 제2 부재(235)의 상단부(230)와 정렬될 수 있고, 제1 부재(230)의 하단부는 제2 부재(235)의 하단부(250)와 정렬될 수 있다. 특히, 제1 및 제2 부재(230, 235)는 동일한 형상 및 치수를 갖는다.
다양한 구현예에서, 상단부(230)는 제1 거리 X1만큼 채널(410)로부터 연장되는 제1 에지(245)를 가질 수 있다. 다양한 구현예에서, 제1 거리 X1은 1.5 mm 내지 2.5 mm의 범위일 수 있다. 예시적인 구현예에서, 제1 거리 X1은 2.0 mm이다. 다양한 구현예에서, 제1 에지(245)는 아치형 부분을 포함할 수 있다.
다양한 구현예에서, 하단부(250)는 채널(410)로부터 제2 거리 X2만큼 연장되는 제2 에지(255)를 가질 수 있다. 다양한 구현예에서, 제2 거리 X2는 4.0 mm 내지 6.5 mm의 범위일 수 있다. 예시적인 구현예에서, 제2 거리 X2는 5.0 mm이다. 다양한 구현예에서, 제2 거리 X2는 제1 거리 X1보다 작다. 다양한 구현예에서, 제2 에지(255)는 반원형 형상을 형성할 수 있다.
예시적인 구현예에서, 제1 및 제2 부재(230, 235) 각각은, 각 부재(230, 235)를 따라 수직으로 연장되고 길이 L를 갖는 채널(410)(예: 반원형 절개부)을 포함할 수 있다. 다양한 구현예에서, 길이는 10 mm 내지 20 mm 범위일 수 있다. 예시적인 구현예에서, 길이는 15 mm이다. 채널(410)은 각 부재(230, 235)의 내부 대향면(400) 내에 형성될 수 있다. 더불어, 각 부재(230, 235)의 채널(410)은 상단 표면(240)으로부터 하단부(255)로 연장되는 관통 구멍(405)을 형성할 수 있다. 제1 및 제2 부재(230, 235)는 리프트 핀의 일부분을 둘러쌀 수 있거나 달리 포위할 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 부재(230, 235)는 리프트 핀(200)의 제2 구획(210)의 적어도 일부분을 둘러쌀 수 있다. 예시적인 구현예에서, 리프트 핀 어셈블리(115)가 웨이퍼 처리 동안 고온(예: 450℃)에 놓일 때, 추(230)가 리프트 핀(200)의 길이를 따라 팽창할 수 있도록 제2 구획(210)의 일부분이 노출된다. 제2 구획(210)의 일부분이 노출되지 않는 경우, 추(230)의 팽창은 리프트 핀(200)에 바람직하지 않은 응력을 인가할 수 있으며, 이는 리프트 핀(200)의 파손 또는 균열을 야기할 수 있다.
다양한 구현예에서, 각 부재(230, 235)의 상단부(230)는 제1 선형 에지(420) 및 상기 제1 선형 에지(420)에 수직인 제2 선형 에지(425)에 의해 규정되는 노치 영역(415)을 더 포함할 수 있다. 제1 선형 에지(420)는 제1 에지(245)와 연속적이고, 제2 선형 에지(425)는 제1 선형 에지(420)와 연속적이다.
다양한 구현예에서, 각 부재(230, 235)는 나사형 관통 구멍(520)을 더 포함할 수 있다. 예시적인 구현예에서, 나사형 관통 구멍(520)은 상단 표면(230) 상에 위치할 수 있고, 제2 선형 에지(425)로부터 내부 대향면(400)으로 연장될 수 있다. 나사형 관통 구멍(520)은 외부 에지(245) 근처에 위치할 수 있다.
다양한 구현예에서, 각 부재(230, 235)는 나사형 구멍(515)을 더 포함할 수 있다. 예시적인 구현예에서, 나사형 구멍(515)은 나사형 관통 구멍(520)과 맞은편에 있는 에지에서 상단 표면(230) 상에 위치할 수 있다. 하나의 부재(예: 제1 부재(230))의 나사형 구멍(515)은 나머지 하나의 부재(예: 제2 부재(235))의 나사형 관통 구멍(520)과 정렬되도록 위치할 수 있다.
다양한 구현예에서, 리프트 핀 어셈블리(115)는 제1 부재(230)를 제2 부재(235)에 고정하도록 구성된 나사를 더 포함할 수 있다. 예시적인 구현예에서, 리프트 핀 어셈블리(115)는 제1 나사(260) 및 제2 나사(265)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 나사(260, 265) 각각에는 나사형 관통 구멍(515) 및 나사형 구멍(520)의 나사산이 정합하도록 나사산이 형성되어 있을 수 있다. 예를 들어, 제1 나사(260)는 나사형 관통 구멍(520)과 정합하도록 구성될 수 있고, 제2 나사(265)는 나사형 구멍(515)과 정합하도록 구성될 수 있다. 각각의 나사(260, 265)는 나사의 길이를 따라 축을 가질 수 있다. 나사(260, 265)의 축이 설치될 때 리프트 핀(200)의 축에 수직일 수 있다.
전술한 설명에서, 기술은 특정 예시적인 구현예를 참조하여 설명되었다. 나타내고 설명된 특정 구현은, 본 기술 및 이의 최상의 모드를 예시하며, 임의의 방식으로 본 기술의 범주를 달리 제한하도록 의도되지 않는다. 실제로, 간결성을 위해, 방법 및 시스템의 종래 제조, 연결, 제조, 및 다른 기능적 양태는 상세히 설명되지 않을 수 있다. 또한, 다양한 도면에 나타낸 연결 선은, 다양한 요소 사이의 예시적인 기능적 관계 및/또는 단계를 나타내도록 의도된다. 대안적이거나 추가적인 많은 기능적 관계 또는 물리적 연결이 실제 시스템에 존재할 수 있다.
본 기술은 특정 예시적인 구현예를 참조하여 설명되었다. 그러나, 본 기술의 범주를 벗어나지 않는다면 다양한 변형 및 변경이 이루어질 수 있다. 설명 및 도면은 제한적인 것 보다는 예시적인 방식으로 고려되어야 하며, 이러한 모든 변형은 본 기술의 범주 내에 포함되는 것으로 의도된다. 따라서, 본 기술의 범주는 단지 전술한 특정 예시에 의한 것이 아니라, 설명된 일반적인 구현예 및 그의 법적 균등물에 의해 결정되어야 한다. 예를 들어, 임의의 방법 또는 공정 구현예에 인용된 단계는, 달리 명시적으로 명시되지 않는 한, 임의의 순서로 실행될 수 있고, 특정 예시에서 제시된 명시적 순서에 제한되지 않는다. 또한, 임의의 장치 구현예에서 인용된 구성 요소 및/또는 요소는, 본 기술과 실질적으로 동일한 결과를 생성하기 위해 조립되거나 달리 다양한 순서로 작동 가능하게 구성될 수 있고, 따라서 특정 예시에서 인용된 특정 구성으로 제한되지 않는다.
이점, 다른 장점 및 문제점에 대한 해결책은 특정 구현예와 관련하여 위에서 설명되었다. 그러나, 임의의 이점, 장점, 문제점에 대한 해결책 또는 임의의 특정 이점, 장점 또는 해결책이 발생하거나 더 두드러지게 될 수 있는 임의의 요소는, 중요하거나 필수이거나 본질적인 특징부 또는 구성 요소로 해석되어서는 안된다.
용어 "포함하다", "포함하는", 또는 이들의 임의의 변형은, 요소 목록을 포함하는 공정, 방법, 물품, 조성물 또는 장치가 인용된 요소만을 포함하지 않고, 또한 이러한 공정, 방법, 물품, 조성물 또는 장치에 명시적으로 열거되지 않거나 내재되지 않은 다른 요소를 포함할 수 있도록, 비-배타적인 포함을 참조하게 의도된다. 구체적으로 인용되지 않은 것 이외에, 본 기술의 실시에 사용된 전술한 구조, 배열, 적용, 비율, 요소, 재료 또는 구성 요소의 다른 조합 및/또는 변형은, 동일한 것의 일반 원리를 벗어나지 않는다면, 변경되거나 달리 특정 환경, 제조 사양, 설계 파라미터 또는 기타 작동 요건에 구체적으로 적용될 수 있다.
본 기술은 예시적인 구현예를 참조하여 상기에서 설명되었다. 그러나, 본 기술의 범주를 벗어나지 않는다면 다양한 변형 및 변경이 예시적인 구현예에 이루어질 수 있다. 이들 및 다른 변경 또는 변형은 다음의 청구범위에 표현된 바와 같이 본 기술의 범주 내에 포함되는 것으로 의도된다.

Claims (20)

  1. 리프트 핀 어셈블리에 있어서,
    리프트 핀(상기 리프트 핀은,
    샤프트로서,
    제1 직경을 갖고 제1 단부와 제2 단부를 포함한 제1 구획;
    상기 제1 구획의 제2 단부에 직접 결합되고 제2 직경을 갖는 제2 구획; 및
    상기 제2 구획에 직접 결합되고 제3 직경을 갖는 제3 구획을 포함하는, 상기 샤프트; 및
    상기 제1 구획의 제1 단부에 결합된 핀 헤드를 포함함); 및
    상기 샤프트의 제2 구획에 부착되고 제1 부재 및 제2 부재를 포함하는 추(상기 제1 및 제2 부재 각각은,
    상기 샤프트의 제2 구획으로부터 제1 거리만큼 연장되는 제1 에지를 갖는 상단부; 및
    상기 상단부와 맞은편에 있고 상기 샤프트의 제2 구획으로부터 제2 거리만큼 연장되는 제2 에지를 갖는 하단부를 포함하되, 상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 작음)를 포함하는, 리프트 핀 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 부재 각각은 상기 상단부로부터 상기 하단부로 연장된 관통 구멍을 형성하는 채널을 더 포함하는, 리프트 핀 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서, 상기 샤프트의 제2 구획은 상기 관통 구멍에 의해 경계지어지는, 리프트 핀 어셈블리.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 부재는 상기 제1 부재의 상단부를 통해 상기 제2 부재의 상단부 내로 연장된 나사에 의해 상기 제2 부재에 부착되는, 리프트 핀 어셈블리.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 에지는 아치형 구획을 포함하는, 리프트 핀 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 직경은 상기 제3 직경과 동일하고, 상기 제2 직경은 상기 제1 직경보다 작은, 리프트 핀 어셈블리.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1 직경은 상기 제3 직경보다 크고, 상기 제2 직경은 제1 및 제3 직경보다 작은, 리프트 핀 어셈블리.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 직경은 상기 제3 직경보다 작고, 상기 제2 직경은 제1 및 제3 직경보다 작은, 리프트 핀 어셈블리.
  9. 리프트 핀 어셈블리에 있어서,
    리프트 핀(상기 리프트 핀은,
    샤프트로서,
    제1 직경을 갖고 제1 단부와 제2 단부를 포함한 제1 구획;
    상기 제1 구획의 제2 단부에 직접 연결되고 제2 직경을 갖는 제2 구획; 및
    상기 제2 구획에 직접 결합되고 제3 직경을 갖는 제3 구획을 포함하는, 상기 샤프트; 및
    상기 제1 구획의 제1 단부에 연결된 핀 헤드를 포함함); 및
    상기 샤프트의 제2 구획을 둘러싸고 제2 부재에 결합된 제1 부재를 포함한 추(상기 제1 및 제2 부재 각각은 상기 추의 상단부로부터 상기 추의 하단부로 연장된 관통 구멍을 형성하는 채널을 포함하며, 상기 샤프트의 제2 구획은 상기 관통 구멍을 통해 연장되고 관통 구멍에 의해 경계지어짐)를 포함하는, 리프트 핀 어셈블리.
  10. 제9항에 있어서, 상기 상단부는 상기 채널로부터 제1 거리만큼 연장된 제1 에지를 포함하는, 리프트 핀 어셈블리.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1 에지는 아치형 구획을 포함하는, 리프트 핀 어셈블리.
  12. 제10항에 있어서, 상기 하단부는 상기 채널로부터 제2 거리만큼 연장된 제2 에지를 포함하되, 상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 작은, 리프트 핀 어셈블리.
  13. 제9항에 있어서, 상기 제2 직경은 제1 및 제3 직경보다 작은, 리프트 핀 어셈블리.
  14. 제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2 부재 각각의 상단부는 나사형 구멍을 더 포함하고, 상기 제1 부재는 상기 나사형 구멍과 정합하는 나사형 나사에 의해 상기 제2 부재에 결합되는, 리프트 핀 어셈블리.
  15. 제14항에 있어서, 상기 정합된 나사형 나사는 상기 리프트 핀의 샤프트에 수직인, 리프트 핀 어셈블리.
  16. 리프트 핀에 부착할 수 있는 추로서,
    제2 부재에 부착된 제1 부재를 포함하되, 상기 제1 및 제2 부재 각각은,
    내부 대향면;
    상단부와 하단부; 및
    상기 내부 대향면을 따라 상기 상단부로부터 상기 하단부로 연장된 채널을 포함하며,
    여기서,
    상기 상단부는 상기 채널로부터 제1 거리만큼 연장된 제1 에지를 갖고,
    상기 하단부는 상기 상단부와 반대 방향에 있고 상기 채널로부터 상기 제1 거리보다 작은 제2 거리만큼 연장된 제2 에지를 갖고,
    상기 제1 부재의 내부 대향면은 상기 제2 부재의 내부 대향면과 접경하고,
    상기 제1 및 제2 부재의 채널은 상기 리프트 핀의 일부분을 포위할 수 있는 관통 구멍을 형성하는, 추.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1 및 제2 부재 각각의 상단부는 나사형 구멍 및 나사형 관통 구멍을 더 포함하되, 상기 제1 부재는, 하나의 부재의 나사형 구멍 및 나머지 하나의 부재의 나사형 관통 구멍과 정합하는 나사형 나사에 의해, 상기 제2 부재에 결합되는, 추.
  18. 제16항에 있어서, 상기 상단부는,
    아치형 에지; 및
    선형 에지에 의해 규정되는 노치 영역을 포함하는, 추.
  19. 제18항에 있어서, 상기 추는 상기 아치형 에지 근처에 위치한 나사형 구멍 및 상기 선형 에지로부터 상기 내부 대향면으로 연장된 나사형 관통 구멍을 더 포함하는, 추.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제1 부재의 나사형 구멍은 상기 제2 부재의 관통 구멍과 정렬되는, 추.
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