CN116313717A - 一种柔性安装连接结构及相应的等离子体处理器 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种柔性安装连接结构，用于连接具有不同热膨胀系数的第一板体和第二板体，所述柔性安装连接结构设置有热应力释放部，所述热应力释放部为能够产生形变的结构，用于通过形变消除或减小在温度变化时因所述第一板体与第二板体不同的热膨胀系数而产生的热应力，防止所述热应力损坏所述第一板体和第二板体。本发明还公开了一种等离子体处理器，采用了上述的柔性安装连接结构。本发明通过柔性安装连接结构的弹性变形来补偿不同材料的安装基板与气体喷淋头板之间热膨胀量差值，从而保护气体喷淋头板、安装基板不会因热应力而破坏，并且具有大位移变形量，可应用于高温刻蚀工艺。

Description

一种柔性安装连接结构及相应的等离子体处理器
技术领域
本发明涉及等离子体刻蚀及热膨胀技术领域，具体涉及一种柔性安装连接结构及相应的等离子体处理器。
背景技术
等离子体处理是集成电路领域通用的技术，该工艺步骤在一等离子体处理器的反应腔内部进行。在本发明所应用的等离子体处理器中，反应腔的顶部设置有装配体，装配体包括一铝制的安装基板(Mount Base)，安装基板的下方通过连接装置固定连接一陶瓷制成(如SiC或Si)的气体喷淋头板，用于将外接的工艺气体引入反应腔。在处理过程中，需要对引入反应腔的工艺气体施加高功率的射频功率以生成等离子体，此步骤会导致气体喷淋头和安装基板均上升到较高温度(大于100℃)，并在等离子体处理完成后又下降到室温。所以，在频繁进行的等离子处理工艺中，安装基板和气体喷淋头的温度会经常性往复波动。目前，安装基板与气体喷淋头板之间的连接装置多为刚性连接结构，比如通常采用多个均匀分布的螺钉(Screw)来连接固定。在此高温环境下，由于安装基板、气体喷淋头及刚性连接结构三者的热膨胀系数不同，会产生一些问题：
例如，在这种频繁温度变化的环境中会导致安装基板与气体喷淋头之间很容易出现缝隙变大或者相对变形的情况，从而导致整个等离子体处理器中的射频电场分布和热量分布的变化，这些因素又会导致等离子体处理效果的变化，所以刚性连接结构有可能会导致整个等离子处理器处理效果的不均一和不稳定。
又例如室温20℃条件下，以规格M3×20的哈氏合金(Hastlloy)材料的螺钉作为刚性连接结构，穿过铝材料的安装基板锁紧陶瓷材料的气体喷淋头板；其中，哈氏合金的热膨胀系数CTEH＝10.5×10-6/K，AL6061-T6铝的热膨胀系数CTEAL＝24×10-6/K，其热膨胀量的计算过程如下：
当120℃，△L＝120℃-20℃＝100℃；
螺钉ΔL1＝20×100×10.5×10-6＝0.021mm；
底座ΔL2＝20×100×24×10-6＝0.048mm；
ΔL＝ΔL2-ΔL1＝0.027mm；
哈氏合金弹性模量E＝213GPa；
E＝(F/A)/(ΔL/L)，其中F为外力，A为螺钉的横截面积，ΔL为程度增量，L为原始长度；
F＝EAΔL/L＝213×109×3.14×1.52×10-6×0.027×10-3/(20×10-3)＝2031.5N
即，室温时扭矩30cn*m，那么预紧力大约500N，当温度到120摄氏度，20mm铝膨胀量是0.048mm，20mm哈氏合金膨胀量是0.021mm，那么螺丝就会被拉长ΔL＝0.027mm，从而螺丝的内应力就会增加2031.5N。尤其在刻蚀工艺要求气体喷淋头板温度很高的情况下，如果气体喷淋头板强度不够就会被破坏，造成气体喷淋头板龟裂现象，同时也有可能破坏安装基板。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性安装连接结构及相应的等离子体处理器，通过柔性安装连接结构的弹性变形来补偿不同材料的安装基板与气体喷淋头板之间热膨胀量差值，从而保护气体喷淋头板、安装基板不会因热应力而破坏，并且具有大位移变形量，可应用于高温刻蚀工艺。
为了达到上述目的，本发明通过以下技术方案实现：
一种柔性安装连接结构，用于连接具有不同热膨胀系数的第一板体和第二板体，所述柔性安装连接结构设置有热应力释放部，所述热应力释放部为能够产生形变的结构，用于通过形变消除或减小在温度变化时因所述第一板体与第二板体不同的热膨胀系数而产生的热应力，防止所述热应力损坏所述第一板体和第二板体。
优选地，所述热应力释放部包括：
第一释放部，包括：
设置在所述柔性安装连接结构底部的多个瓣状件；
第一形变槽，为设置于所述柔性安装连接结构底部的沿水平方向开设的槽，各所述瓣状件底部通过所述第一形变槽分隔，所述第一形变槽用于为所述瓣状件提供形变空间。
优选地，所述热应力释放部还包括：
第二释放部，为设置在各所述瓣状件的内壁面的第二形变槽，各所述第二形变槽围合构成缓冲孔，所述缓冲孔的底部与所述第一形变槽的顶部连通，所述缓冲孔用于提供所述瓣状件的形变空间及提高所述瓣状件的弹性。
优选地，所述热应力释放部还包括：
第三释放部，为在各所述瓣状件外壁面沿水平方向设置的第三形变槽，用于提供所述瓣状件的形变空间及提高所述瓣状件的弹性。
可选地，所述柔性安装连接结构为金属材质。
优选地，所述柔性安装连接结构为不锈钢材质。
可选地，所述柔性安装连接结构为圆柱体。
可选地，所述柔性安装连接结构由上连接组件和下连接组件垂直连接构成，其中：
上连接组件与所述第一板体固定；
下连接组件与所述第二板体固定，所述下连接组件设置在所述上连接组件下方，并与所述上连接组件连接。
可选地，所述热应力释放部设置于所述下连接组件底端。
可选地，所述热应力释放部的瓣状件的底端设置有凸出所述瓣状件外壁的第二固定部；
所述第二板体上对应设置有开口向上的第二固定槽，该第二固定槽的形状与尺寸与所述瓣状件的第二固定部相适配，所述第二固定槽槽口的直径小于带有第二固定部的整个瓣状件底部的直径，以阻挡所述瓣状件的底部脱离所述第二固定槽；
所述下连接组件的底端通过所述第二固定部与第二固定槽的配合，固定插入设置在所述第二固定槽内。
可选地，所述瓣状件为两个，所述第一形变槽为一个。
可选地，两个所述瓣状件的顶端不连接且设置有缺口，所述下连接组件还包括：
设置在两个瓣状件之间的缺口内的连接块，所述连接块的形状、尺寸与所述缺口相适配；
连接定位装置，用于两个所述瓣状件和连接块之间的连接及定位。
优选地，所述缺口为向下的楔形，所述连接块为楔形块。
可选地，所述连接定位装置为贯通两个所述瓣状件及连接块的通孔，以及与所述通孔相适配的销钉，通过将销钉插入所述通孔实现两个所述瓣状件和连接块之间的连接及定位。
可选地，所述上连接组件的顶部设置有凸出其外壁的第一固定部；
所述第一板体上对应设置有第一固定槽，所述第一固定槽的形状与尺寸与所述上连接组件的第一固定部相适配，所述第一固定槽的槽底开设有垂直穿透所述第一板体的第一通孔，所述第一通孔的直径与所述上连接组件的外径相适配；
所述上连接组件通过所述第一固定部与第一固定槽的配合，固定在所述第一板体中，以阻挡所述上连接组件的顶部脱离所述第一固定槽；
所述上连接组件的底端设有开口向下的连接槽，该连接槽套设在所述下连接组件外部。
可选地，所述上连接组件的连接槽内壁及所述下连接组件的外壁上设置有适配的螺纹配合结构。
优选地，所述连接槽的高度设有余量，使得所述上连接组件与下连接组件拧紧后在所述下连接组件的顶部与连接槽的顶部之间具有形变空间，用于实现工作温度范围内所述第一板体与第二板体之间的紧密贴合安装。
可选地，所述柔性安装连接结构是用于等离子体处理器，并且所述第一板体为所述等离子体处理器中的安装基板，所述第二板体为所述等离子体处理器中的气体喷淋头板。
优选地，所述柔性安装连接结构为多个，沿所述安装基板的水平方向均匀设置，用于连接所述安装基板和气体喷淋头板。
一种等离子体处理器，包括：反应腔、设置在所述反应腔顶部的安装基板、设置在所述安装基板下方的气体喷淋头板，采用上述的柔性安装连接结构将所述安装基板与气体喷淋头板连接固定。
本发明与现有技术相比具有以下优点：
1、通过热应力释放部的弹性变形来补偿不同材料的气体喷淋头板与安装基板之间的热膨胀量差值，可以稳定固定安装基板和气体喷淋头板，解决了温度变化情况下气体喷淋头板、安装基板可能被热应力破坏的问题，实现等离子体处理器处理效果的均一和稳定；
2、本发明结构简单，并且通过上、下连接组件分体，以及下连接组件的楔形块等设计，更加便于安装；
3、通过第一释放部、第二释放部和第三释放部的设计，具有水平、垂直等全方位的位移、收缩、拉伸、扭转热应力的释放能力，且具有大位移变形量，可有效释放高温热应力，可应用于高温刻蚀工艺。
附图说明
为了更清楚地说明本发明专利实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明专利的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为一种等离子体处理装置的结构示意图；
图2为本发明实施例中柔性安装连接结构的结构示意图；
图3a为本发明实施例中下连接组件的正视结构示意图；
图3b为本发明实施例中下连接组件的侧视结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地描述，所描述的实施例不应视为对本发明的限制，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在以下的描述中，涉及到“一些实施例”、“一个或多个实施例”，其描述了所有可能实施例的子集，但是可以理解，“一些实施例”、“一个或多个实施例”可以是所有可能实施例的相同子集或不同子集，并且可以在不冲突的情况下相互组合。
在以下的描述中，所涉及的术语“第一\第二\第三”仅仅用于分别类似的对象，不代表针对对象的特定排序，可以理解地，“第一\第二\第三”在允许的情况下可以互换特定的顺序或先后次序，以使这里描述的本发明实施例能够以除了在图示或描述的以外的顺序实施。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述本发明实施例的目的，不是旨在限制本发明。
图1示出一种等离子体处理装置示意图，包括一反应腔A，用于对基片进行处理；在反应腔A的顶部设置有一铝制的安装基板1，安装基板1的下方设置一陶瓷制成的气体喷淋头板2，气体喷淋头板2用于将外接的工艺气体引入反应腔A。现有技术中，通过多个在水平方向均匀布置的螺丝，将安装基板1与气体喷淋头板2固定在一起形成装配体。在基片处理过程中，需要对引入反应腔A的工艺气体施加高功率的射频功率以生成等离子体，此步骤会导致气体喷淋头板2和安装基板1均上升到较高温度(大于100℃)，并在等离子体处理完成后又下降到室温。在频繁进行的等离子处理工艺中，安装基板1和气体喷淋头板2的温度会经常性往复波动，由于铝制安装基板1与陶瓷气体喷淋头2的热膨胀系数有较大差值，在温度变化时，一方面会使连接的螺丝松动，导致安装基板1与气体喷淋头板2之间出现缝隙变大或者相对变形的情况，从而使得等离子体处理器中的射频电场分布和热量分布发生变化，造成等离子体处理器的处理效果不均一、不稳定；另一方面，尤其是高温刻蚀工艺，会导致气体喷淋头板2受到过大拉力从而发生龟裂等问题，甚至达到一定温度时安装基板1也可能会被破坏。
如图2所示，本发明提出一种柔性安装连接结构3，其顶端与安装基板1固定，底端与气体喷淋头板2固定，用于替代螺丝将安装基板1与气体喷淋头板2固定在一起，从而解决上述技术问题；其工作原理是：该柔性安装连接结构3设置有热应力释放部31，热应力释放部31为能够产生形变的结构，温度变化时，安装基板1与气体喷淋头板2之间产生的热应力会通过热应力释放部31的形变来消除或减小，从而使安装基板1和气体喷淋头板2始终保持较佳的贴合效果，不会产生缝隙；并且通过形变消除或减小了气体喷淋头板2及安装基板1受到的拉力，而保护其不被破坏。
在一些实施例中，本发明的柔性安装连接结构3为圆柱体，便于加工，且不会因存在棱角而易于产生颗粒污染物。
在一些实施例中，本发明的柔性安装连接结构3为金属材质，优选不锈钢材质。
在一些实施例中，本发明的柔性安装连接结构3为一体结构。
在一些实施例中，本发明的柔性安装连接结构3为分体结构，图2为采用分体结构的柔性安装连接结构3其中一个实施例的组合状态图，其包括：上连接组件32，顶端与安装基板1固定；下连接组件33，底端与气体喷淋头板2固定，设置在上连接组件32下方，并与上连接组件32连接。
热应力释放部31设置于下连接组件33；本实施例中，如附图3a、3b所示，热应力释放部31设置于下连接组件33底端。
在一些实施例中，热应力释放部31包括第一释放部311；第一释放部311包括：设置在柔性安装连接结构3底部的多个瓣状件3111，瓣状件3111可以为直条状，或者为具有弯曲或波浪形轮廓的结构；第一形变槽3112，为设置于下连接组件33底部的沿水平方向开设的槽，各瓣状件3111底部通过第一形变槽3112分隔，第一形变槽3112用于为瓣状件3111提供形变空间。在本实施例中，瓣状件3111为两个，第一形变槽3112为一个。
在一些实施例中，热应力释放部31包括第二释放部312；第二释放部312为设置在各瓣状件3111的内壁面的第二形变槽，各第二形变槽围合构成缓冲孔a，缓冲孔a的底部与第一形变槽3112的顶部连通，缓冲孔a用于提供瓣状件3111的形变空间及提高瓣状件3111的弹性。
在一些实施例中，热应力释放部31包括第三释放部313；第三释放部313为在各瓣状件3111外壁面沿水平方向设置的第三形变槽，用于提供瓣状件3111的形变空间及提高瓣状件3111的弹性。
在同时设置有第二释放部312和第三释放部313的实施例中，可以为瓣状件3111提供更大的形变空间，具有更好的弹性。
在本实施例中，同时设置有第一释放部311、第二释放部312和第三释放部313，其热应力释放能力更佳，具有水平、垂直等全方位的位移、收缩、拉伸、扭转热应力的释放能力，且具有大位移变形量，可有效释放高温热应力，适用于高温刻蚀工艺。
除列举的第一释放部311、第二释放部312和第三释放部313之外，热应力释放部31还可以采用任何可以在高温时产生形变从而释放热应力的结构或者材料，或者各种结构及材料的组合。
本实施例中，上连接组件32与下连接组件33之间的连接关系是通过如下结构实现的：上连接组件32的底端设有开口向下的连接槽322，该连接槽322套设在下连接组件33外部；进一步，还可在上连接组件32的连接槽322内壁及下连接组件33的外壁上设置有适配的螺纹配合结构，上连接组件32螺纹套设在下连接组件33外部。
为了保证常温下气体喷淋头板2上表面与安装基板1下表面之间紧密贴合的安装效果在高温状态下依旧保持，较佳的，上连接组件32与下连接组件33拧紧后，在连接槽322的顶部与下连接组件33的顶部之间设有间隙，作为上连接组件32与下连接组件33之间的形变空间，这样变形后上连接组件32与下连接组件33之间依旧可以保持紧密连接状态，使得安装基板1与气体喷淋头板2之间的连接不脱开也不会过度贴合，即通过该间隙的大小来调整安装基板1与气体喷淋头板2之间的贴合程度，可适应不同的工艺应用条件以及协调部件加工后存在的公差。
本实施例中，上连接组件32与安装基板1之间的连接关系是通过如下结构实现的：上连接组件32的顶部设置有凸出其外壁的第一固定部321；在安装基板1上的对应位置设置有第一固定槽11，第一固定槽11的形状与尺寸与上连接组件32的第一固定部321相适配，第一固定槽11的槽底开设有垂直穿透安装基板1的第一通孔12，第一通孔12的直径与上连接组件32的外径相适配；上连接组件32通过第一固定部321与第一固定槽11的配合，固定在安装基板1中，以阻挡上连接组件32的顶部脱离第一固定槽11。
本实施例中，下连接组件33与气体喷淋头板2之间的连接关系是通过如下结构实现的：热应力释放部31的瓣状件3111的底端设置有凸出瓣状件3111外壁的第二固定部331；在气体喷淋头板2上的对应位置设置有开口向上的第二固定槽21，该第二固定槽21的形状与尺寸与瓣状件3111的第二固定部331相适配，第二固定槽21槽口的直径小于带有第二固定部331的整个瓣状件3111底部的直径，以阻挡瓣状件3111的底部脱离第二固定槽21；在气体喷淋头板2上设置有连通气体喷淋头板2顶面和第二固定槽21的第二通孔22；下连接组件33的底端通过第二固定部331与第二固定槽21的配合，固定插入设置在第二固定槽21内，顶端插入设置在第二通孔22内。
为了保证常温下气体喷淋头板2上表面与安装基板1下表面之间紧密贴合的安装效果在高温状态下依旧保持，较佳的，柔性安装连接结构3安装后，在柔性安装连接结构3侧壁与第一固定槽11侧壁、第一通孔12侧壁、第二通孔22侧壁和第二固定槽21侧壁之间，以及柔性安装连接结构3顶部与第一固定槽11的槽底、柔性安装连接结构3底部与第二固定槽21的槽底之间，均设有间隙，作为柔性安装连接结构3与安装基板1、气体喷淋头板2之间的形变空间，这样为柔性安装连接结构3的变形预留了适当空间，变形后安装基板1与气体喷淋头板2之间依旧可以在柔性安装连接结构3的连接下保持最初彼此接触的状态不脱开也不会过度贴合。
为了实现下连接组件33的底端能够插入设置在第二固定槽21内，本实施例中，下连接组件33采用如下的分体结构设计：两个瓣状件3111的顶端不连接且设置有缺口，在缺口内设置有连接块332，连接块332的形状、尺寸与缺口相适配；优选地，设置缺口为向下的楔形，连接块332为适配的楔形块，采用向下的楔形设计可以方便安装，防止安装时连接块332自缺口掉落至第二固定槽21槽底。
将连接块332安装在缺口内时，需要通过连接定位装置333将连接块332与两侧的瓣状件3111进行固定；本实施例中，连接定位装置333包括：贯通两个瓣状件3111及连接块332的通孔，以及与通孔相适配的销钉；通过将销钉插入通孔实现两个瓣状件3111和连接块332之间的连接及定位。
本发明的柔性安装连接结构3为多个，沿安装基板1的水平方向均匀设置，从而将安装基板1和气体喷淋头板2连接固定。
本实施例中的柔性安装连接结构3的装配方法为：
S1、将各上连接组件32与安装基板1连接：将各上连接组件32的底端自安装基板1的顶部向下插入第一通孔12内，使第一固定部321容纳于第一固定槽11内；
S2、将各下连接组件33与气体喷淋头板2连接：将两个瓣状件3111底端的第二固定部331自气体喷淋头板2的顶部先后插入第二固定槽21内，再将连接块332楔形向下地插入两个瓣状件3111之间的缺口中，使两个瓣状件3111及连接块332的通孔相贯通，将销钉插入贯通的通孔中完成两个瓣状件3111和连接块332的定位；按如上方法完成各下连接组件33与气体喷淋头板2的连接；
S3、将各上连接组件32与各下连接组件33连接：将安装基板1与气体喷淋头板2上下对齐，使各上连接组件32与各下连接组件33一一对准，将其中一个上连接组件32底端的连接槽322螺纹套设在对应的下连接组件33的外部并适度拧紧；按照上述步骤将其他上连接组件32与各下连接组件33连接，然后采用对角紧固法将各上连接组件32与各下连接组件33之间的螺纹拧紧，安装基板1与气体喷淋头板2通过柔性安装连接结构3的连接组合为装配体；
S4、将装配体与等离子体处理器连接。
需要指出的是，本发明的柔性安装连接结构3不局限于应用于等离子体处理器，其可以应用于任何具有不同热膨胀系数的部件之间的连接。
另外，本实施例还提供一种等离子体处理器，包括：一反应腔A、一设置在反应腔A顶部的安装基板1、设置在安装基板下方的气体喷淋头板2，以及多个沿安装基板1的水平方向均匀设置的柔性安装连接结构3，并通过各柔性安装连接结构3将安装基板1与气体喷淋头板2连接固定。
以上所述，仅为本发明的实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和范围之内做出的任何修改、等同替换和改进等，均包含在本发明的保护范围之内。

Claims (20)

1.一种柔性安装连接结构，用于连接具有不同热膨胀系数的第一板体和第二板体，其特征在于，所述柔性安装连接结构设置有热应力释放部，所述热应力释放部为能够产生形变的结构，用于通过形变消除或减小在温度变化时因所述第一板体与第二板体不同的热膨胀系数而产生的热应力，防止所述热应力损坏所述第一板体和第二板体。
2.如权利要求1所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述热应力释放部包括：
第一释放部，包括：
设置在所述柔性安装连接结构底部的多个瓣状件；
第一形变槽，为设置于所述柔性安装连接结构底部的沿水平方向开设的槽，各所述瓣状件底部通过所述第一形变槽分隔，所述第一形变槽用于为所述瓣状件提供形变空间。
3.如权利要求2所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述热应力释放部还包括：
第二释放部，为设置在各所述瓣状件的内壁面的第二形变槽，各所述第二形变槽围合构成缓冲孔，所述缓冲孔的底部与所述第一形变槽的顶部连通，所述缓冲孔用于提供所述瓣状件的形变空间及提高所述瓣状件的弹性。
4.如权利要求2或3所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述热应力释放部还包括：
第三释放部，为在各所述瓣状件外壁面沿水平方向设置的第三形变槽，用于提供所述瓣状件的形变空间及提高所述瓣状件的弹性。
5.如权利要求1所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述柔性安装连接结构为金属材质。
6.如权利要求5所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述柔性安装连接结构为不锈钢材质。
7.如权利要求1所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述柔性安装连接结构为圆柱体。
8.如权利要求2所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述柔性安装连接结构由上连接组件和下连接组件垂直连接构成，其中：
上连接组件与所述第一板体固定；
下连接组件与所述第二板体固定，所述下连接组件设置在所述上连接组件下方，并与所述上连接组件连接。
9.如权利要求8所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述热应力释放部设置于所述下连接组件底端。
10.如权利要求9所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述热应力释放部的瓣状件的底端设置有凸出所述瓣状件外壁的第二固定部；
所述第二板体上对应设置有开口向上的第二固定槽，该第二固定槽的形状与尺寸与所述瓣状件的第二固定部相适配，所述第二固定槽槽口的直径小于带有第二固定部的整个瓣状件底部的直径，以阻挡所述瓣状件的底部脱离所述第二固定槽；
所述下连接组件的底端通过所述第二固定部与第二固定槽的配合，固定插入设置在所述第二固定槽内。
11.如权利要求10所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述瓣状件为两个，所述第一形变槽为一个。
12.如权利要求11所述的柔性安装连接结构，其特征在于，两个所述瓣状件的顶端不连接且设置有缺口，所述下连接组件还包括：
设置在两个瓣状件之间的缺口内的连接块，所述连接块的形状、尺寸与所述缺口相适配；
连接定位装置，用于两个所述瓣状件和连接块之间的连接及定位。
13.如权利要求12所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述缺口为向下的楔形，所述连接块为楔形块。
14.如权利要求13所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述连接定位装置为贯通两个所述瓣状件及连接块的通孔，以及与所述通孔相适配的销钉，通过将销钉插入所述通孔实现两个所述瓣状件和连接块之间的连接及定位。
15.如权利要求8所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述上连接组件的顶部设置有凸出其外壁的第一固定部；
所述第一板体上对应设置有第一固定槽，所述第一固定槽的形状与尺寸与所述上连接组件的第一固定部相适配，所述第一固定槽的槽底开设有垂直穿透所述第一板体的第一通孔，所述第一通孔的直径与所述上连接组件的外径相适配；
所述上连接组件通过所述第一固定部与第一固定槽的配合，固定在所述第一板体中，以阻挡所述上连接组件的顶部脱离所述第一固定槽；
所述上连接组件的底端设有开口向下的连接槽，该连接槽套设在所述下连接组件外部。
16.如权利要求15所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述上连接组件的连接槽内壁及所述下连接组件的外壁上设置有适配的螺纹配合结构。
17.如权利要求16所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述连接槽的高度设有余量，使得所述上连接组件与下连接组件拧紧后在所述下连接组件的顶部与连接槽的顶部之间具有形变空间，用于实现工作温度范围内所述第一板体与第二板体之间的紧密贴合安装。
18.如权利要求1～17任意一项所述的柔性安装连接结构，其特征在于：所述柔性安装连接结构是用于等离子体处理器，并且所述第一板体为所述等离子体处理器中的安装基板，所述第二板体为所述等离子体处理器中的气体喷淋头板。
19.如权利要求18所述的柔性安装连接结构，其特征在于，所述柔性安装连接结构为多个，沿所述安装基板的水平方向均匀设置，用于连接所述安装基板和气体喷淋头板。
20.一种等离子体处理器，包括：反应腔、设置在所述反应腔顶部的安装基板、设置在所述安装基板下方的气体喷淋头板，其特征在于，采用如权利要求19所述的柔性安装连接结构将所述安装基板与气体喷淋头板连接固定。
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