KR20120010165A - 실드 부재, 그 구성 부품 및 실드 부재를 구비한 기판 탑재대 - Google Patents

실드 부재, 그 구성 부품 및 실드 부재를 구비한 기판 탑재대 Download PDF

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KR20120010165A
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Abstract

열 팽창해도 하부 전극과의 사이에 간극이 발생하지 않고, 하부 전극에 있어서의 이상 방전 및 이로전의 발생을 방지할 수 있는 실드 부재를 제공한다.
하부 전극의 직사각형의 탑재면의 한 변을 따라 배치되는 절연성의 긴 형상 물체로 이루어지고, 길이 방향의 한쪽 끝에 마련된 고정용 나사 구멍과 긴 형상 물체의 길이 방향으로 이격되어 마련된 지지용 나사 구멍을 갖는 링 구성 부품을, 각 링 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면이 인접하는 다른 링 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면에 당접하고, 다른쪽 끝의 측면이 인접하는 다른 링 구성 부품과는 다른 별도의 링 구성 부품의 한쪽 끝의 단면에 당접하도록 조합하여, 각 링 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝을 고정용 나사 구멍으로 탑재대의 기재에 고정하고, 다른쪽 끝을 지지용 나사 구멍으로 변위 자유롭게 지지하며, 각 구성 부품이 고정단을 기점으로 해서 긴 형상 물체의 길이 방향으로 열 팽창 또는 열 수축 가능하게 배열하고, 하부 전극의 각 모서리부를 평면으로 면따기하며, 면따기면에 당접하는 평면을 갖는 삼각형상의 끼워맞춤 부재를 배치했다.

Description

실드 부재, 그 구성 부품 및 실드 부재를 구비한 기판 탑재대{SHIELD MEMBER, COMPONENTS THEREOF AND SUBSTRATE MOUNTING TABLE COMPRISING SHIELD MEMBER}
본 발명은 기판 처리 장치의 처리실 내에서 기판을 탑재하는 기판 탑재대에 적용되는 실드 부재, 그 구성 부품 및 실드 부재를 구비한 기판 탑재대에 관한 것이다.
액정 표시 장치(LCD)를 비롯한 FPD(Flat Panel Display)의 제조 공정에 있어서, 유리 기판을 비롯한 각종 기판에 대해 플라즈마 처리를 실시하는 기판 처리 장치가 알려져 있다.
이러한 기판 처리 장치에 있어서는, 처리실(이하, 「챔버」라고 함) 내에서 기판을 지지하는 기판 탑재대와, 상기 기판 탑재대와 처리 공간을 사이에 두고 대향하도록 배치된 상부 전극을 갖고, 하부 전극으로서 기능하는 기판 탑재대에 플라즈마 생성용 고주파 전력(RF)을 인가함과 아울러, 챔버 내의 처리 공간에 처리 가스를 도입하여 플라즈마를 생성시키고, 생성한 플라즈마를 이용해서 기판 탑재대의 기판 탑재면에 탑재된 기판에 대해 소정의 플라즈마 처리가 실시된다.
기판 탑재대의 기판 탑재면은 직사각형을 나타내고 있고, 그 바깥 둘레부에는, 플라즈마의 포커스성의 향상 및 RF의 절연을 확보하기 위해서, 실드 부재로서의 실드 링이 배치되어 있다. 실드 링은 알루미나(A1203)를 비롯한 절연성의 세라믹으로 구성되어 있고, 예컨대 하부 전극의 기재(基材)에 나사에 의해 고정된다. 실드 링은, 직사각형의 하부 전극의 기판 탑재면 주위를 둘러싸는 직사각형의 환상체이기 때문에 일체 성형이 곤란하다는 점 및 최근의 산업계의 요청 등에 따라서 처리 기판이 대형화되고 있다는 점에서, 통상, 복수의 구성 부재의 조합에 의해 형성되어 있다.
도 12는 종래의 실드 링의 구성을 나타내는 도면이다.
도 12에 있어서, 하부 전극(100)의 직사각형의 기판 탑재면(106) 주위를 둘러싸도록 실드 링(105)이 배치되어 있다. 실드 링(105)은, 평면도 상에서 봤을 때 대략 L자 형상의 4개의 링 구성 부품(101~104)의 조합체이다. 각 링 구성 부품(101~104)은 각각 L자 형상의 모서리부 근방과, 상기 모서리부에 이어서 마련된 긴 형상부의 선단부 근방의 2개소에 나사 구멍(107)을 갖고, 각 링 구성 부품(101~104)은, 나사 구멍(107)에 장착된 고정 나사에 의해 하부 전극(100)의 기판 탑재면(106) 주위를 구성하는 플랜지부에 고정되어 있다.
그런데, 실드 링(105)은, 처리 목적에 따라서 가열되는 하부 전극(100)으로부터의 전열(傳熱), 및 플라즈마의 연속 조사 등에 의해서 가열되어, 열 팽창한다. 이 때, 인접하는 링 구성 부품 상호의 당접면에서, 팽창에 의해 다른 쪽을 누르는 힘이 발생하고, 이에 의해서, 예컨대, 나사 구멍(107)과 고정 나사(도시 생략)의 클리어런스만큼 변위하기 때문에, 실드 링(105)과 기판 처리면(106) 사이에 간극이 생기는 경우가 있다.
또한, 기재가 알루미늄 등의 금속으로 이루어지는 하부 전극(100)과 세라믹으로 이루어지는 실드 링(105) 사이에 열 팽창차가 있기 때문에, 플라즈마 처리 중에, 플라즈마의 연속 조사를 받은 실드 링(105)과 하부 전극(100) 사이에 간극이 생기는 경우가 있다.
더욱이, 가열 후의 냉각에 의해서 실드 링(105)이 열 수축하면, 각 링 구성 부품은 원래의 배치 상태로 돌아가지 않고, 실드 링(105)이 변형하여 링 구성 부품상호간에 간극이 생기며, 이에 의해서, 실드 링(105)과 하부 전극(100) 사이에도 간극이 생기는 경우가 있다.
실드 링(105)과 하부 전극(100) 사이에 간극이 생기면, 이 간극에 플라즈마가 진입하여, 예컨대, 하부 전극(100)의 세라믹 용사(溶射)가 깎여져서 하부 전극(100)에 있어서의 이상 방전(아킹) 또는 이로전(erosion)이 발생하는 원인이 된다.
이러한 실드 링(105)과 하부 전극(100) 사이의 간극의 발생을 방지하기 위해서, 인접하는 링 구성 부품을 끌어 붙이도록 가압하는 가압 부재를 마련한 링 구성 부품이나, 각 링 구성 부품을 하부 전극의 중심부를 향해서 가압하는 가압 부재를 마련한 실드 링이 제안되어 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).
특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 제 2008-311298호 공보
그러나 실드 부재를 구성하는 링 구성 부품에 대해 특정 방향으로 작용하는 작용력을 부여하기 위한 가압 부재를 삽입하는 것이 반드시 용이하지는 않다. 한편, 열 팽창에 의한 변형을 방지하기 위해서, 링 구성 부품을 하부 전극의 기재에 고정하는 고정 나사의 체결력을 크게 하면, 하부 전극 기재에의 체결시 또는 열 팽창시에 링 구성 부품이 쉽게 파손된다는 문제가 있다.
본 발명의 과제는, 열 팽창되어도 하부 전극과의 사이에 간극이 발생하지 않고, 하부 전극에 있어서의 이상 방전 및 이로전의 발생을 방지할 수 있는 실드 부재, 그 구성 부품 및 실드 부재를 구비한 기판 탑재대를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 1에 기재된 실드 부재의 구성 부품은, 직사각형의 기판에 플라즈마 처리를 실시하는 기판 처리 장치의 처리실 내에서 상기 기판을 탑재하는 탑재대의 직사각형의 탑재면의 주위를 둘러싸도록 마련된 실드 부재의 구성 부품으로서, 상기 직사각형의 탑재면의 한 변을 따라 배치되는 절연성의 긴 형상 물체로 이루어지고, 상기 긴 형상 물체의 길이 방향의 한쪽 끝에 마련된 고정부와, 상기 고정부와는 상기 긴 형상 물체의 길이 방향으로 이격되어 마련된 적어도 하나의 가이드부를 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 2에 기재된 실드 부재의 구성 부품은, 청구항 1에 기재된 실드 부재의 구성 부품으로서, 상기 고정부로서의 고정용 나사 구멍에 의해서 한쪽 끝이 상기 탑재대의 기재에 고정되고, 다른쪽 끝이 상기 적어도 하나의 가이드부로서의 지지용 나사 구멍에 의해서 변위 자유롭게 지지되며, 상기 고정된 한쪽 끝을 기점으로 해서 상기 긴 형상 물체의 길이 방향을 따라 열 팽창 또는 열 수축 가능한 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 기재된 실드 부재의 구성 부품은, 청구항 2에 기재된 실드 부재의 구성 부품으로서, 상기 고정용 나사 구멍은 상기 고정용 나사 구멍이 있는 평면상에서 정원(正圓) 형상이며, 상기 지지용 나사 구멍은 상기 지지용 나사 구멍이 있는 평면상에서 상기 긴 형상 물체의 길이 방향으로 긴 타원형 혹은 양 끝이 반원인 직사각형인 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 기재된 실드 부재의 구성 부품은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재의 구성 부품으로서, 상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 R면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 긴 형상 물체의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 R면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 5에 기재된 실드 부재의 구성 부품은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재의 구성 부품으로서, 상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 평면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 긴 형상 물체의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 평면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 6에 기재된 실드 부재의 구성 부품은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재의 구성 부품으로서, 상기 긴 형상 물체에 있어서의 상기 직사각형의 탑재면에 대향하는 측면은, 돌기부를 갖지 않는 평면인 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 기재된 실드 부재의 구성 부품은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재의 구성 부품으로서, 상기 긴 형상 물체는, 다른 긴 형상 물체와 조합하여 실드 부재를 형성할 때에 단차 구조의 끼워맞춤부를 형성하기 위한 돌출부를 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 8에 기재된 실드 부재는, 직사각형의 기판에 플라즈마 처리를 실시하는 기판 처리 장치의 처리실 내에서 상기 기판을 탑재하는 탑재대의 직사각형의 탑재면 주위를 둘러싸도록 배치되는 실드 부재로서, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 구성 부품의 조합체로 이루어지고, 상기 각 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면이 인접하는 다른 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면에 당접하고, 다른쪽 끝의 측면이 상기 인접하는 다른 구성 부품과는 다른 인접하는 별도의 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면에 당접하도록 각각 조합되고, 상기 각 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝이 상기 고정부에 의해서 상기 탑재대의 기재에 고정되고, 다른쪽 끝이 상기 적어도 하나의 가이드부에 의해서 변위 자유롭게 지지되며, 상기 각 구성 부품이 상기 고정된 한쪽 끝을 기점으로 해서 상기 긴 형상 물체의 길이 방향을 따라 열 팽창 또는 열 수축 가능하게 배열되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 9에 기재된 실드 부재는, 청구항에 8에 기재된 실드 부재로서, 상기 고정부로서의 고정용 나사 구멍에 장착되는 고정 나사의 조임 토크를, 상기 가이드부로서의 지지용 나사 구멍에 장착되는 지지 나사의 조임 토크보다 크게 한 것을 특징으로 한다.
청구항 10에 기재된 실드 부재는, 청구항 8 또는 9에 기재된 실드 부재로서, 상기 각 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면과, 상기 인접하는 다른 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면의 당접부에, 상기 기판 탑재면에 대해 수직 방향 및 수평 방향에서의 플라즈마의 진입을 저지하는 단차 구조의 끼워맞춤부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 11에 기재된 실드 부재는, 청구항 10에 기재된 실드 부재로서, 상기 단차 구조의 일부는, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면과, 상기 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면과의 당접부에 형성된 오목부에 유격(裕隔)을 갖고 끼워지는 상자 부재로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 12에 기재된 실드 부재는, 청구항 11에 기재된 실드 부재로서, 상기 오목부와 상기 상자 부재 사이에, 상기 각 구성 부품의 길이 방향에 따른 열 팽창 또는 열 수축에 기인하는 변위를 흡수하는 간극이 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 13에 기재된 실드 부재는, 청구항 12에 기재된 실드 부재로서, 상기 오목부에 있어서의 상기 상자 부재의 삽입구는, 사이드 실드 부재로 밀봉함으로써 상기 오목부 내로의 플라즈마의 진입이 저지되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 14에 기재된 실드 부재는, 청구항 8 내지 13 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재이고, 상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 R면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 R면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 15에 기재된 실드 부재는, 청구항 8 내지 13 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재로서, 상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 평면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 평면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 16에 기재된 실드 부재는, 청구항 8 내지 13 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재로서, 상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 R면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 각 면따기 면과, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면 및 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면의 접합부와의 간극을 메우는 상기 구성 부품과는 독립된 R면을 갖는 간극 끼워맞춤 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 17에 기재된 실드 부재는, 청구항 8 내지 13 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재로서, 상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 평면에 의한 면따기 처리가 실시되어 있고, 각 면따기 면과, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면 및 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면의 접합부와의 간극을 메우는 상기 구성 부품과는 독립된 평면을 갖는 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 18에 기재된 실드 부재는, 청구항 17에 기재된 실드 부재로서, 상기 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재의 한쪽 끝에, 상기 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재가 상기 탑재면의 각 모서리부에 형성된 평면에 따른 면따기 면과, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면 및 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면의 접합부와의 간극에 끼워맞춤되었을 때, 상기 탑재면의 각 모서리부의 형상을, 외견상 상기 탑재면의 모서리부를 R면에 따라 면따기했을 때의 형상과 같은 형상으로 하기 위한 R면을 구비한 볼록부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 19에 기재된 실드 부재는, 청구항 18에 기재된 실드 부재로서, 상기 R면을 구비한 볼록부의 단면은, 상기 탑재면과 동일 평면상에 있거나 혹은 상기 탑재면보다 안으로 들어가 있는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 20에 기재된 기판 탑재대는, 청구항 8내지 19 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 실드 부재의 구성 부품이 직사각형의 탑재면의 한 변을 따라 배치되는 절연성의 긴 형상 물체로 이루어지고, 상기 긴 형상 물체의 길이 방향의 한쪽 끝에 마련된 고정부와, 상기 고정부와는 긴 형상 물체의 길이 방향으로 이격되어 마련된 적어도 하나의 가이드부를 갖기 때문에, 이 구성 부품을, 각 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면이 인접하는 다른 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면에 당접하고, 다른쪽 끝의 측면이 인접하는 다른 구성 부품과는 다른 인접하는 별도의 구성 부품의 한쪽 끝의 단면(端面)에 당접하도록 각각 조합하여, 각 구성 부품에 있어서 다른 구성 부품과 당접하는 단면이 있는 측의 길이 방향의 한쪽 끝을 고정부에 의해서 탑재대의 기재에 고정하고, 다른쪽 끝을 가이드부에 의해서 변위 자유롭게 지지함으로써, 각 구성 부품이, 고정된 한쪽 끝을 기점으로 해서 긴 형상 물체의 길이 방향을 따라서 열 팽창 또는 열 수축 가능하게 배열되어 있다. 따라서, 실드 부재 혹은 탑재면이 가열되어도 팽창 및 수축에 따른 상기 실드 부재와 하부 전극 사이에서의 간극의 발생을 방지할 수 있고, 이로써, 실드 부재와 하부 전극 사이에 플라즈마가 진입하는 것에 의한 하부 전극의 이상 방전이나 이로전의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 탑재면의 모서리부에 평면에 따른 면 따기를 실시하여 삼각 기둥 형상의 끼워맞춤 부재를 삽입함으로써 유리 기판의 오리엔테이션 플랫(Orientation flat:위치 맞춤을 위한 절결부)가 큰 경우나 유리 기판을 탑재할 때의 위치 정밀도가 나쁜 경우 등과 같이 전극 상에 탑재되는 기판의 오리엔테이션 플랫의 위치에 따라서 발생하는 하부 전극의 이로전을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실드 부재가 적용되는 기판 탑재대를 구비한 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도,
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 실드 링의 구성을 나타내는 도면으로서, 도 2(a)는 평면도, 도 2(b)는 2(a)의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도,
도 3은 도 2의 실드 링이 열 팽창한 상태를 나타내는 모식도,
도 4는 도 2의 하부 전극이 열 팽창한 상태를 나타내는 모식도,
도 5는 본 발명의 실시예 1의 변형예로서의 실드 링의 구성을 나타내는 평면도,
도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 실드 링의 주요부의 구성을 나타내는 도면으로서, 도 6(a)는 주요부 평면도, 도 6(b)는 주요부 사시도, 도 6(c)는 상자 부재 및 상기 상자 부재에 탑재된 R 부재를 나타내는 사시도, 도 6(d)는 사이드 실드 부재를 설명하기 위한 사시도,
도 7은 본 발명의 실시예 3에 따른 실드 링의 주요부의 구성을 나타내는 도면으로서, 도 7(a)는 주요부 평면도, 도 7(b)는 주요부 정면도, 도 7(c)는 링 구성 부품이 조립도,
도 8은 본 발명의 실시예 4에 따른 실드 링의 구성을 나타내는 평면도,
도 9는 실시예 4에 적용되는 간극 끼워맞춤 부재를 나타내는 사시도,
도 10은 실시예 4의 제 1 변형예에 적용되는 간극 끼워맞춤 부재를 나타내는 사시도,
도 11은 실시예 4의 제 2 변형예에 적용되는 실드 부재의 구성 부품을 나타내는 평면도,
도 12는 종래의 실드 링의 구성을 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 실드 부재가 적용되는 기판 탑재대를 구비한 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다. 이 기판 처리 장치는 예컨대, 액정 표시 장치(LCD) 제조용 유리 기판에 소정의 플라즈마 처리를 실시하는 것이다.
도 1에 있어서, 기판 처리 장치(10)는, 예컨대 한 변이 수 m인 직사각형의 유리 기판(G)(이하, 간단히 「기판」이라고 함)을 수용하는 처리실(챔버)(11)을 갖고, 상기 챔버(11) 내부의, 도면 중 아래쪽에는 기판(G)을 탑재하는 탑재대(서셉터)(12)가 배치되어 있다. 서셉터(12)는 예컨대, 표면이 알루마이트 처리된 알루미늄이나 스테인레스 등으로 이루어지는 기재(13)로 구성되어 있고, 기재(13)는 절연 부재(14)를 거쳐서 챔버(11)의 바닥부에 지지되어 있다. 기재(13)는 단면이 볼록형을 나타내고 있고, 그 상부 평면은 기판(G)을 탑재하는 기판 탑재면(13a)으로 되어 있다.
기판 탑재면(13a) 주위를 둘러싸도록 실드 부재로서의 실드 링(15)이 마련되고 있고, 실드 링(15)은 예컨대, 알루미나 등의 절연성 세라믹으로 구성된 긴 형상 물체인 링 구성 부품의 조합체로 이루어져 있다.
기재(13)의 상부는 정전 전극판(16)을 내장해서, 정전척으로서 기능한다. 정전 전극판(16)에는 직류 전원(17)이 접속되어 있고, 정전 전극판(16)에 양의 직류 전압이 인가되면 기판 탑재면(13a)에 탑재된 기판(G)에 있어서의 정전 전극판(16)측의 면(이하 「이면」이라고 함)에는 음 전위가 발생하고, 이로써 정전 전극판(16) 및 기판(G)의 이면 사이에 전위차가 발생하여, 이 전위차에 기인하는 쿨롱력 또는 존슨-라벡력에 의해, 기판(G)이 기판 탑재면(13a)에 흡착 유지된다.
기재(13)의 내부에는, 기재(13) 및 기판 탑재면(13a)에 탑재된 기판(G)의 온도를 조절하기 위한 온도 조절 기구(도시 생략)가 마련되어 있다. 이 온도 조절 기구에, 예컨대 냉각수나 갈든(등록 상표) 등의 냉매가 순환 공급되고, 상기 냉매에 의해서 냉각된 기재(13)은 기판(G)을 냉각한다.
기재(13) 주위에는, 실드 링(15)과 기재(13)의 당접부를 포함하는 측면을 덮는 사이드 실드 부재로서의 절연 링(18)이 배치되어 있다. 절연 링(18)은 절연성의 세라믹스, 예컨대 알루미나로 구성되어 있다.
챔버(11)의 바닥벽, 절연 부재(14) 및 기재(13)를 관통하는 관통 구멍에, 승강 핀(21)이 승강 가능하게 삽입 관통되어 있다. 승강 핀(21)은 기판 탑재면(13a)에 탑재되는 기판(G)의 반입 및 반출시에 작동하는 것으로, 기판(G)을 챔버(11) 내에 반입할 때 또는 챔버(11)로부터 반출하는 때에는, 서셉터(12)의 상방의 반송 위치까지 상승하고, 그 이외일 때에는 기판 탑재면(13a) 내에 매립 배치된 상태로 수용되어 있다.
기판 탑재면(13a)에는, 도시 생략한 복수의 전열 가스 공급 구멍이 개구되어 있다. 복수의 전열 가스 공급 구멍은 전열 가스 공급부에 접속되고, 전열 가스 공급부로부터 전열 가스로서, 예컨대 헬륨(He) 가스가 기판 탑재면(13a) 및 기판(G)의 이면의 간극으로 공급된다. 기판 탑재면(13a) 및 기판(G)의 이면의 간극으로 공급된 헬륨 가스는 기판(G)의 열을 서셉터(12)에 효과적으로 전달한다.
서셉터(12)의 기재(13)에는, 고주파 전력을 공급하기 위한 고주파 전원(23)이 정합기(24)를 거쳐서 접속되어 있다. 고주파 전원(23)으로부터는, 예컨대 13.56MHz의 고주파 전력(RF)이 인가되고, 서셉터(12)는 하부 전극으로서 기능한다. 정합기(24)는 서셉터(12)로부터의 고주파 전력의 반사를 저감하여 고주파 전력의 서셉터(12)로의 인가 효율을 최대로 한다.
기판 처리 장치(10)에서는, 챔버(11)의 내측벽과 서셉터(12)의 측면에 의해서 측방 배기로(26)가 형성된다. 이 측방 배기로(26)는 배기관(27)을 거쳐서 배기 장치(28)에 접속되어 있다. 배기 장치(28)로서의 TMP(Turbo Molecular Pump) 및 DP(Dry Pump)나 MBP(Mechanical Booster Pump)(모두 도시 생략)는 챔버(11) 내를 진공 흡인하여 감압한다. 구체적으로는, DP 혹은 MBP는 챔버(11) 내를 대기압으로부터 중진공 상태(예컨대, 1.3×10Pa(0.1Torr) 이하)까지 감압하고, TMP는 DP 혹은 MBP와 협동해서 챔버(11) 내를 중진공 상태보다 낮은 압력인 고진공 상태(예컨대, 1.3×10-3Pa(1.0×10-5Torr) 이하)까지 감압한다. 한편, 챔버(11) 내의 압력은 APC 밸브(도시 생략)에 의해서 제어된다.
챔버(11)의 천장 부분에는, 서셉터(12)와 대향하도록 샤워 헤드(30)가 배치되어 있다. 샤워 헤드(30)는 내부 공간(31)을 가짐과 아울러, 서셉터(12)와의 사이의 처리 공간 S에 처리 가스를 토출하는 복수의 가스 구멍(32)을 갖는다. 샤워 헤드(30)는 접지되어 있고, 하부 전극으로서 기능하는 서셉터(12)와 함께 한 쌍의 평행 평판 전극을 구성하고 있다.
샤워 헤드(30)는, 가스 공급관(36)을 거쳐서 처리 가스 공급원(39)에 접속되어 있다. 가스 공급관(36)에는, 개폐 밸브(37) 및 매스 플로우 컨트롤러(38)가 마련되어 있다. 또한 처리 챔버(11)의 측벽에는 기판 반입 반출구(34)가 마련되어 있으며, 이 기판 반입 반출구(34)는 게이트 밸브(35)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 게이트 밸브(35)를 통해서 처리 대상인 기판(G)이 반입 반출된다.
기판 처리 장치(10)에서는, 처리 가스 공급원(39)으로부터 처리 가스 도입관(36)을 통해서 처리 가스가 공급된다. 공급된 처리 가스는, 샤워 헤드(30)의 내부 공간(31) 및 가스 구멍(32)을 통해서 챔버(11)의 처리 공간 S에 도입된다. 도입되는 처리 가스는, 고주파 전원(23)으로부터 서셉터(12)를 통해서 처리 공간 S 에 인가되는 플라즈마 생성용 고주파 전력(RF)에 의해서 여기되어 플라즈마가 된다. 플라즈마 중의 이온은 기판(G) 쪽으로 이끌려져서, 기판(G)에 대해 소정의 플라즈마 에칭 처리를 실시한다.
기판 처리 장치(10)의 각 구성 부품의 동작은, 기판 처리 장치(10)가 구비하는 제어부(도시 생략)의 CPU가 플라즈마 에칭 처리에 대응하는 프로그램에 따라 제어한다.
도 2는, 본 발명의 실시예 1에 따른 실드 링의 구성을 나타내는 도면으로, 도 2(a)는 평면도, 도 2(b)는 도 2(a)의 Ⅱ-Ⅱ 선에 따른 단면도이다.
도 2(a)에 있어서, 실드 링(15)은, 하부 전극으로서 기능하는 서셉터(12)(이하, 「하부 전극」이라고 함)의 직사각형의 기판 탑재면(13a)의 주위를 둘러싸도록 배치되어 있고, 직사각형의 기판 탑재면(13a)의 대향하는 2개의 짧은 변을 따라 각각 배치된 긴 형상의 링 구성 부품(41, 42)과, 대향하는 2개의 긴 변을 따라 각각 배치된 긴 형상의 링 구성 부품(43, 44)의 조합체로 구성되어 있다.
링 구성 부품(41~44)은, 긴 형상 물체의 길이 방향의 한쪽 끝인 고정단에 마련된 고정용 나사 구멍(45)과, 상기 고정용 나사 구멍(45)과는 긴 형상 물체의 길이 방향으로 이격되어 마련된 지지용 나사 구멍(46)을 갖는다. 지지용 나사 구멍(46)은 적어도 하나 마련되지만, 긴 형상 물체의 길이를 따라 2개 또는 그 이상 마련할 수도 있다. 이 때 각 지지용 나사 구멍(46)은, 예컨대 등간격으로 마련할 수도 있다.
여기서, 고정용 나사 구멍(45)은 링 구성 부품의 고정단을 기재(13)에 고정하기 위한 고정부로서 기능하는 것으로, 나사 구멍에 수직인 단면에서 유격(裕隔)이 적고, 평면상에서의 형상이 정원 형상으로 형성된다. 한편, 지지용 나사 구멍(46)은, 고정단에 대향하는 다른쪽 끝인 자유단을 긴 형상 물체의 길이 방향으로 변위 자유롭게 가이드하여 지지하는 가이드부로서 기능하는 것으로, 나사 구멍에 수직인 단면에 있어서 유격이 있고, 평면도 상에서 봤을 때의 형상이 타원형 혹은 양 끝이 반원이 되는 직사각형으로 형성된다. 지지용 나사 구멍(46)에 있어서의 단면의 긴 직경은, 각 구성 부재(41~44)가 열 팽창해도, 지지용 나사 구멍(46)에 장착되는 지지 나사가 구성 부재의 열 팽창을 규제하지 않을 정도의 길이를 갖는 것으로 해서, 긴 직경의 길이는, 예컨대 제 5.5 세대라고 불리는 FPD용 유리 기판을 처리할 때에는, 7mm~10.5mm인 것이 바람직하며, 처리하는 유리 기판의 크기가 커짐에 따라서, 보다 길게 하는 것이 바람직하다.
고정용 나사 구멍에 장착되는 고정 나사의 조임 토크는, 지지용 나사 구멍에 장착되는 지지 나사의 조임 토크보다 크게 하는 것이 바람직하다. 이로써, 링 구성 부품(41~44)의 고정단(41a~44a)을 확실하게 고정하고, 또한 자유단(41b~44b)을 루즈하게 지지하여 열 팽창시 또는 열 수축시의 그 이동을 확보할 수 있다.
고정 나사의 조임 토크는, 예컨대 8×(1±0.05)kgf?cm(0.75~0.8N?m) 정도 이며, 지지 나사의 조임 토크는, 예컨대 고정 나사의 조임 토크보다 약간 작아서, 예컨대 6~8kgf?cm(0.6~0.8N?m) 정도이다. 단, 팽창에 의한 연장량을 제한할 필요가 있는 경우 등에 있어서는, 이들 토크를, 세라믹이 파손되지 않을 정도의 범위 내에서 보다 강하게 조여서, 실드 링의 이동을 제약하는 것도 가능하다.
링 구성 부품(41)의 고정단(41a)의 단면은, 인접하는 다른 링 구성 부품(43)의 길이 방향의 단부(43b)(자유단)의 측면에 당접하고, 다른쪽 끝인 이동단(41b)의 측면이 인접하는 다른 링 구성 부품(43)과는 다른 인접하는 별도의 링 구성 부품(44)의 단부(44a)(고정단)의 단면에 당접하도록 배치되어 있다. 링 구성 부품(42, 44)은 각각 기판 탑재면(13a)의 중심점 C에 대해 링 구성 부품(41, 43)과 점대칭이 되도록 배치되어 있다.
도 2(b)에 있어서, 하부 전극(12)의 기재(13)는 단면 볼록 형상을 나타내고 있고, 상기 단면 볼록 형상체의 상부 평면이 기판 탑재면(13a)이 되고, 단차부 표면이 플랜지부(13b)가 된다.
각 링 구성 부품(41~44)의 고정단(41a~44a)은 각각 고정용 나사 구멍(45)에 장착된 고정 나사(도시 생략)에 의해서 기재(13)의 플랜지부(13b)에 고정되어 있다. 또한, 각 링 구성 부품(41~44)은, 지지용 나사 구멍(46)을 관통하는 지지 나사(도시 생략)에 의해서 자유단(41b~44b)이, 기재(13)의 플랜지부에 대해 변위 자유롭게 지지되며, 이로써 각 링 구성 부품(41~44)은 고정단(41a~44a)을 기점으로 해서 긴 형상 물체의 길이 방향을 따라서 열 팽창 또는 열 수축 가능하게 지지되어 있다.
여기서, 각 링 구성 부품(41~44)의 열 팽창 또는 열 수축시에 있어서의 자유단(41b~44b)의 이동 방향에는 인접하는 링 구성 부품이 존재하지 않기 때문에, 자유단의 이동이 방해되는 일은 없다. 이로써, 열 팽창시에서의 인접하는 링 구성 부품끼리 서로 미는 것을 방지하여, 실드 링(15)의 변형의 발생 및 열 수축에 의한 실드 링(15)과 기판 탑재면(13a) 사이에서의 간극의 발생을 방지할 수 있다.
하부 전극(12)의 기판 탑재면(13a)의 모서리부는 각각 R형상으로 면따기 처리되어 있다. 따라서, 이 면따기 면과 실드 링(15) 사이의 간극을 메우기 위해서, 각 구성 부품(41~44)의 고정단(41a~44a)의 측면에 R면을 갖는 돌기부가 마련되어 있다. 이로써, 면따기 면과 실드 링(15) 사이의 간극으로부터 플라즈마가 진입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, R면을 갖는 돌기부를 고정단 측에 마련했기 때문에, 열 팽창 또는 열 수축시에서의 간극의 발생을 적합하게 방지할 수 있다. 한편, 기판 탑재면(13a)의 모서리부는 R형상으로 한정되지 않고, 평탄한 C면 형상이어도 되며, 또한, 이 경우에는 상기 돌기부는 이에 맞춘 평탄한 형상이 된다.
도 3은 도 2의 실드 링(15)이 열 팽창한 상태를 나타내는 모식도이다.
도 3에 있어서, 실드 링(15)의 각 구성 부재(41~44)는, 고정단(41a~44a)을 고정하는 고정 나사를 기점으로 해서 자유단(41b~44b) 방향으로 팽창하고 있으며, 자유단(41b~44b)은, 열 팽창에 의해서 연장된 길이에 상당하는 치수만큼 변위하고 있다.
도 4는 도 2의 하부 전극(12)이 열 팽창한 상태를 나타내는 모식도이다.
도 4에 있어서, 실드 링(15)의 각 구성 부재(41~44)가 기판 탑재면(13a)의 각 변에 일대일로 당접하도록 배치되어 있기 때문에, 하부 전극(12)은 실드 링(15)을 구성하는 각 구성 부재 사이에 간극을 생기게 하지 않는다. 따라서, 하부 전극(12)과 실드 링(15) 사이에서의 간극은 발생하지 않는다.
본 실시예에 의하면, 실드 링(15)의 한쪽 끝인 고정단(41a~44a)을 고정용 나사 구멍(45)에 장착되는 고정 나사에 의해 확실하게 고정하고, 다른쪽 끝인 자유단(41b~44b)을 지지용 나사 구멍(46)에 장착되는 지지 나사에 의해서 열 팽창 또는 열 수축 방향으로 변위 가능하게 지지됨과 아울러, 자유단(41b~44b)의 이동 방향으로 다른 링 구성 부품이 존재하지 않도록 조합시켰기 때문에, 실드 링(15)이 플라즈마의 연속 조사에 의해서 가열되어 열 팽창하더라도 내부 응력이 발생하는 일이 없다. 따라서, 실드 링(15)의 변형 및 실드 링(15)과 하부 전극(12) 사이에 간극을 생기는 일이 없고, 간극에 플라즈마가 진입하는 것에 의한 하부 전극(12)에 있어서의 이상 방전, 이로전 등의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 실드 링(15)을 링 구성 부품(41~44)의 조합체로 구성했기 때문에, 각 링 구성 부품(41~44)의 형상을, 예컨대 대략 조붓한 형상의 간이 형상으로 할 수 있다. 따라서, 각 링 구성 부품 및 실드 링의 제작 비용을 삭감할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 링 구성 부품은 절연성의 세라믹, 예컨대 알루미나(A12O3), 이트리아, 질화 실리콘, 석영 등으로 구성된다. 링 구성 부품(41~44)에 있어서의 고정용 나사 구멍(45)은, 상기 링 구성 부품의 고정단으로부터 극력 가까운 위치에 있는 것이 바람직하고, 예컨대, 30~40mm 혹은 그 이하로 마련되는 것이 바람직하다. 고정용 나사 구멍(45)의 고정단 단면과의 간격을 300mm 이상으로 하면, 그 부분의 열 팽창을 무시할 수 없게 되어서, 각 링 구성 부품의 고정단과, 상기 고정단에 당접하는 다른 링 구성 부품과의 접합면에 비틀림이 발생한다. 또한, 나사로서는, 스테인레스 나사, 세라믹 나사, 알루미늄 나사 등이 이용된다.
본 실시예에 있어서, 각 링 구성 부품(41~44)을 기재(13)의 플랜지부(13b)에 고정 또는 변위 자유롭게 지지시키는 조임 부재로서 나사를 적용했지만, 각 링 구성 부품(41~44)을 기재(13)의 플랜지부(13b)에 고정 또는 지지시키는 조임 부재로서는, 나사 외에, 고정 부분에 대해서는, 예컨대 클램프 등에 의한 압접이나, 각 링 구성 부재와 플랜지의 끼워넣기 구조에 의한 고정 등, 변이 자유로운 부분에 대해서는 각 링 구성 부재 측방의 칸막이나 홈, 각 링 구성 부재와 플랜지와의 끼워넣기식의 레일 등에 의해 한 방향으로 변위를 제한할 수 있는 가이드 부재 등을 이용해도 된다.
다음으로 실시예 1의 변형예에 대해서 설명한다.
도 5는 실시예 1의 변형예로서의 실드 링의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5에 있어서, 이 변형예가 실시예 1과 다른 점은, 실드 링(15)을 구성하는 링 구성 부품(41~44)에 있어서의 R 형상의 돌기부를 없애고, 각각 조붓한 형상의 링 구성 부품(51~54)으로 하고, 하부 전극(12)의 직사각형의 기판 탑재면(13a)의 4개의 모서리부와, 실드 링(15)의 각 구성 부재 상호의 당접부와의 사이의 간극을 메우는 R면을 갖는 간극 끼워 맞춤 부재(55)를 별체로서 마련한 것이다.
이러한 실드 링(15)에 있어서도, 실시예 1과 마찬가지로 실드 링(15)과 하부 전극(12)의 기판 탑재면(13a) 사이의 간극을 없애서, 하부 전극(12)에 있어서의 이상 방전이나 이로전의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 본 변형예에 의하면, 링 구성 부품(51~54)을 단순한 조붓한 형상으로 할 수 있기 때문에, 재료를 적게 취할 수 있음과 아울러, R 형상의 돌기부의 파손의 염려가 적고 취급이 용이하다. 또한, R면을 갖는 간극 끼워맞춤 부재(55)는 플라즈마의 연속 조사를 받아 소모되지만, 제조 및 교환이 용이하고, 비용적으로도 메리트가 있다.
도 6은, 본 발명의 실시예 2에 따른 실드 링의 주요부의 구성을 나타내는 설명도로, 도 6(a)는 주요부 평면도, 도 6(b)는 주요부 사시도, 도 6(c)는 상자 부재 및 그 상자 부재에 탑재된 R 부재를 나타내는 사시도, 도 6(d)는 사이드 실드 부재를 설명하기 위한 사시도이다.
도 6에 있어서, 이 실드 링(60)은 링 구성 부품(61, 62)과, 그 링 구성 부품(61, 62)에 각각 기판 탑재면의 중심점을 기준으로 점대칭 배치된, 도시 생략한 2개의 링 구성 부품으로 주로 구성되어 있다.
이 실드 링(60)은 각 링 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝인 고정단의 단면과, 상기 링 구성 부품에 인접하는 다른 링 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면과의 당접부에, 기판 탑재면(13a)에 대해 수직 방향 및 수평 방향에서의 플라즈마의 진입을 저지하는 단차 구조의 끼워맞춤부를 형성한 것이다.
즉, 링 구성 부품(62)의 고정단(62a)의 단면, 및 링 구성 부품(61)의 자유단(61b)의 측면에는, 각각 도면 중 아래쪽이 사각기둥 형상으로 깍여진 단차부(62c, 61c)가 마련되어 있다. 이로써, 링 구성 부품(62)의 고정단(62a)의 단면과 링 구성 부품(61)의 자유단(61b)의 측면과의 당접부에는, 단차부(62c)와 단차부(61c)로 형성되는 오목부(64)가 형성된다.
오목부(64)에는, 도 6(c)에 나타낸 바와 같은 상자 부재(65)가 유격을 갖고 끼워맞춤되는 형상으로 삽입된다. 오목부(64)에 삽입된 상자 부재(65)에 있어서의 R면(65a)은 링 구성 부품(62, 61)과의 당접부로부터 실드 링(60)의 안쪽에 돌출하여 도시 생략한 하부 전극(12)의 면따기된 직사각형의 기판 탑재면(13a)의 면따기면에 당접한다. 상자 부재(65)의 R면(65a)를 갖는 부분의 상부에는, R면(65a)과 같은 R면을 갖는 간극 끼워맞춤 부재(66)가 별체로서 탑재되고, 이로써 하부 전극(12)의 기판 탑재면(13a)과, 간극 끼워맞춤 부재(66)의 상면 및 링 구성 부품(62, 61)의 상면이 동일 평면을 형성하게 된다. 이 때, 상자 부재(65)와 오목부(64) 사이에는, 링 구성 부품(61)의 열 팽창 또는 열 수축에 의한 변위를 흡수하기 위한 간극(67)이 형성된다.
상자 부재(65)가 유격을 갖고 끼워맞춤되는 형상으로 삽입된 오목부(64)의 입구가 개구하는 서셉터(12)의 측면에는, 도 6(d)에 나타낸 바와 같이, 사이드 실드 부재로서의 절연 링(68)이 배치된다. 따라서, 하부 전극(12)은 기판 탑재면(13a)에 대해 수직 방향뿐만 아니라, 수평 방향으로부터도 플라즈마 조사를 받는 일이 없다.
본 실시예에 의하면, 링 구성 부품(62)의 고정단(62a)의 단면과, 링 구성 부품(61)의 자유단(61b)의 측면의 당접부는, 플라즈마의 진입을 저지하는 단차 구조를 갖고 있기 때문에, 하부 전극(12)이 직접 플라즈마의 조사를 받는 일은 없다. 따라서, 플라즈마의 조사에 근거하는 이상 방전이나 이로전의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 간극 끼워맞춤 부재(66)가 상자 부재(65)의 R형상 부분에 탑재되어 있기 때문에, 간극 끼워맞춤 부재(66)와 상자 부재(65) 사이가 라비린스(labyrinth) 구조가 되어, 그 부분에 있어서의 플라즈마의 진입을 저지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 단차 구조의 일부를 상자 부재로 구성함으로써, 링 부재 상호의 당접부의 구조가 비교적 단순한 것으로 된다. 따라서, 제작이 용이하고, 취급시의 파손의 염려도 적어진다.
본 실시예에 있어서, 상자 부재(65)는 링 구성 부품(61, 62) 및 하부 전극(12)의 기재(13)에 고정되지 않고, 상기 부재 상호간에 형성되는 오목부(64)에 유격을 갖고 끼워진 상태로 기재(13)의 플랜지부에 탑재된다. 따라서, 상자 부재(65)와 링 구성 부품(61)의 사이에는, 소정의 간극이 발생하고, 이 간극에 의해서 링 구성 부품(61)의 열 팽창에 의한 변위를 흡수할 수 있으므로, 실드 링의 변형을 방지할 수 있고, 이로써도 하부 전극(12)로의 플라즈마의 조사를 방지해서 하부 전극(12)에 있어서의 이상 방전이나 이로전의 발생을 방지할 수 있다.
도 7은, 본 발명의 실시예 3에 따른 실드 링의 주요부의 구성을 나타내는 도면으로, 도 7(a)는 주요부 평면도, 도 7(b)는 주요부 정면도, 도 7(c)는 링 구성 부품이 조립도이다.
도 7에 있어서, 이 실드 링(70)은 링 구성 부품의 한쪽 끝의 단면과, 상기 링 구성 부품에 인접하는 다른 링 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면과의 당접부에, 기판 탑재면(13a)에 대해 수직 방향 및 수평 방향으로부터의 플라즈마의 진입을 저지하는 단차 구조의 끼워맞춤부를 마련한 것이다.
통상, 단순한 조붓한 형상의 링 구성 부품을 4개 직사각형으로 조합한 실드 링에서는, 당접하는 링 구성 부품 상호간에 약간의 간극이 생기고, 이 간극으로부터 플라즈마가 진입하여 하부 전극까지 도달하며, 하부 전극에 있어서 이상 방전 또는 이로전이 발생하는 원인이 된다. 따라서, 본 실시예에 따른 실드 링(70)은 각 링 구성 부품의 당접부에 수직 방향 및 수평 방향에서의 플라즈마의 진입을 저지하는 단차 구조의 끼워맞춤부를 갖는다.
링 구성 부품(72)의 고정단(72a)의 단면에는, 도 7(c)에 나타낸 바와 같이, 기판 탑재면(13a)에 대해 수직 및 수평 방향으로 갈고리 형상이 되도록 2단의 단차부가 마련되어 있고, 링 구성 부품(71)의 자유단(71b)에는, 이 단차부에 맞물리는 갈고리 형상의 단차부를 갖는 돌출부가 마련되어 있다. 이러한 단차부의 조합에 의해 라비린스 구조가 형성된다.
본 실시예에 의하면, 링 구성 부품 상호의 당접부에 단차 구조의 끼워맞춤부를 형성했기 때문에, 하부 전극(12)에의 수직 방향 및 수평 방향으로부터의 플라즈마의 진입이 저지되고, 이로써 하부 전극(12)에 있어서의 이상 방전, 이로전 등의 트러블의 발생을 회피할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 링 구성 부품(71, 72)의 당접부, 즉 단차부의 끼워맞춤부에서의 링 구성 부품(71)의 열 팽창 방향의 간극(d1, d2)(도 7(a) 참조)이 같아지도록 하고, 또한 그 폭을, 링 구성 부품(71)의 열 팽창 또는 열 수축에 기인하는 변위를 흡수하는 데 충분한 폭, 예컨대 1~2mm 정도로 하는 것이 바람직하다. 이로써, 링 구성 부품(71, 72)에 있어서의 열 팽창이 저해되는 일이 없기 때문에, 실드 링(70)과 하부 전극(12) 사이에서의 간극의 발생을 방지하여, 하부 전극(12)이 플라즈마 조사를 받는 것에 의한 트러블의 발생을 회피할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 링 구성 부품(71, 72)의 당접부에서의 링 구성 부품의 열 팽창 방향에 대해 직각 방향의 간극(e1, e2)(도 7(a) 참조)은, 링 구성 부품의 조립에 지장이 없는 정도의 간극이면 된다.
다음으로 본 발명에 있어서의 실시예 4에 대해서 설명한다.
도 8은 본 발명의 실시예 4에 따른 실드 링의 구성을 나타내는 도면이다. 이 실드 링은 기판 탑재대의 제작 정밀도를 높이고, 또한 하부 전극의 모서리부 4개소의 용사면의 이로전을 방지하기 쉽게 하기 위해서, 4개의 모서리부에 대해서 각각 R면이 아니라, 평면에 의한 면따기 처리가 실시된 기판 탑재면(13a)의 주위를 둘러싸도록 배치된 것이다.
도 8에 있어서, 실드 링(15)은 직사각형의 기판 탑재면(13a)의 대향하는 2개의 짧은 변을 따라서 각각 배치된 긴 형상의 링 구조 부품(81, 82)과, 대향하는 2개의 긴 변을 따라 각각 배치된 긴 형상의 링 구성 부품(83, 84)의 조합체로 구성되어 있다.
링 구성 부품(81~84)은, 긴 형상 물체의 길이 방향의 한쪽 끝인 고정단에 마련된 고정용 나사 구멍(85)과, 상기 고정용 나사 구멍(85)과는 긴 형상 물체의 길이 방향으로 이격되어 마련된 지지용 나사 구멍(86)을 갖는다. 지지용 나사 구멍(86)은 적어도 하나 마련되지만, 긴 형상 물체의 길이를 따라 2개 또는 그 이상마련할 수도 있다. 이 때 각 지지용 나사 구멍(86)은, 예컨대 등간격으로 마련하는 것이 바람직하다.
고정용 나사 구멍(85)은 링 구성 부품의 고정단을 기재(13)에 고정하기 위한 것으로, 나사 구멍에 수직인 단면에서 유격이 적고, 평면상에서의 형상이 정원 형상으로 형성된다. 한편, 지지용 나사 구멍(86)은 고정단에 대향하는 다른쪽 끝인 자유단을 변위 자유롭게 지지하는 것으로, 나사 구멍에 수직인 단면에 있어서 긴 형상 물체의 길이 방향으로 긴 타원형 혹은 양 끝이 반원이 되는 직사각형으로 형성된다. 지지용 나사 구멍(86)에 있어서의 단면의 긴 직경은, 각 구성 부재(81~84)가 열 팽창되어도, 지지용 나사 구멍(86)에 장착되는 지지 나사가 구성 부재의 열 팽창을 규제하지 않을 정도의 길이를 갖는 것으로 하고, 긴 직경의 길이는, 예컨대, 7mm~10.5mm인 것이 바람직하며, 처리하는 유리 기판의 크기가 커짐에 따라서 길어지는 것이 바람직하다.
링 구성 부품(81)의 고정단(81a)의 단면은 인접하는 다른 링 구성 부품(83)의 길이 방향의 단부(83b)(자유단)의 측면에 당접하고, 다른쪽 끝인 이동단(81b)의 측면이, 인접하는 다른 링 구성 부품(83)과는 다른 인접하는 별도의 링 구성 부품(84)의 단부(84a)(고정단)의 단면에 당접하도록 배치되어 있다. 링 구성 부품(82, 84)은 각각 기판 탑재면(13a)의 중심점 C에 대해서 링 구성 부품(81, 83)과 점대칭이 되도록 배치되어 있다.
각 링 구성 부품(81~84)의 고정단(81a~84a)은 각각 고정용 나사 구멍(85)에 장착된 고정 나사(도시 생략)에 의해서 도 8 중, 도면의 종이면의 안쪽에 배치된 하부 전극의 기재(도시 생략)의 플랜지부에 고정되어 있다. 또한, 각 링 구성 부품(81~84)은 지지용 나사 구멍(86)을 관통하는 지지 나사(도시 생략)에 의해서 자유단(81b~84b)가, 도 8 중, 도면의 종이면의 안쪽에 배치된 하부 전극의 기재(도시생략)의 플랜지부에 대해 변위 자유롭게 지지되고, 이로써 각 링 구성 부품(81~84)은 고정단(81a~84a)을 기점으로 해서 긴 형상 물체의 길이 방향을 따라서 열 팽창 또는 열 수축 가능하게 지지되어 있다.
고정용 나사 구멍에 장착되는 고정 나사의 조임 토크는, 지지용 나사 구멍에 장착되는 지지 나사의 조임 토크보다 크게 하는 것이 바람직하다. 이로써, 링 구성 부품(81~84)의 고정단(81a~84a)을 확실하게 고정하고, 또한 자유단(81b~84b)을루즈하게 지지하여 열 팽창시 또는 열 수축시의 그 이동을 확보할 수 있다.
고정 나사의 조임 토크는, 예컨대 실시예 1과 같이 예컨대 8×(1±0.05)kgf?cm(0.75~0.8N?m) 정도이며, 지지 나사의 조임 토크는, 예컨대 고정 나사의 조임 토크보다 약간 작아서, 예컨대 6~8kgf?cm(0.6~0.8N?m) 정도이다. 단, 팽창에 의한 연장량을 제한해야 하는 경우 등에 있어서는, 이들 토크를 세라믹이 파손되지 않을 정도의 범위 내에서 보다 강하게 조여서, 실드 링의 이동을 제약하는 것도 가능하다.
각 링 구성 부품(81~84)을 도 8에 나타낸 바와 같이 배치함으로써, 각 링 구성 부품(81~84)의 열 팽창 또는 열 수축시의 자유단(81b~84b)의 이동 방향으로는 인접하는 링 구성 부품이 존재하지 않기 때문에, 자유단의 이동이 방해받는 일은 없다. 이로써, 열 팽창시에 있어서의 인접하는 링 구성 부품끼리 서로 미는 것을 방지하여, 실드 링(15)의 변형의 발생 및 열 수축에 의한 실드 링(15)과 기판 탑재면(13a) 사이에서의 간극의 발생을 방지할 수 있다.
본 실시예에 있어서는, 기판 탑재면과 링 구성 부재의 당접부의 간극을 극력 없애서 기판 탑재면에의 플라즈마의 진입을 저지하는 관점에서, 제작 정밀도를 달성하기 어려운 R면과 R면과의 당접부를 피하여, 기판 탑재면의 면따기면 및 상기 면따기면에 당접하는 구성 부재면이 각각 평면이 되도록 구성되어 있다.
즉, 도 8에 나타낸 바와 같이, 직사각형의 기판 탑재면(13a)의 모서리부는 각각 평면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 각 면따기 면과, 각 구성 부품(81~84)의 한쪽 끝의 단면 및 인접하는 다른 구성 부품의 한쪽 끝의 측면의 접합부인 실드 링(15)의 모서리부와의 간극에, 기판 탑재면의 면따기 면과 당접하는 평면을 갖는 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재(87)가 끼워맞춤되어 있다.
한편, 본 실시예에 있어서도, 각 링 구성 부품(81~84)을 기재(13)에 고정 또는 변위 자유롭게 지지시키기 위한 부착 방법으로서, 나사로 한정되지 않는 것은 당연하고, 실시예 1의 설명에 있어서 기재한 각종 방법을 사용할 수 있다.
도 9는, 실시예 4에 적용되는 간극 끼워맞춤 부재(87)를 나타내는 사시도이다.
도 9에 있어서, 이 간극 끼워맞춤 부재(87)는, 각 구성 부품(81~84)과는 독립적으로 형성된 것이다. 간극 끼워맞춤 부재(87)는, 각각 면따기 처리가 실시된 기판 탑재면(13a)의 각 모서리부의 면따기면과, 실드 링(15)의 모서리부로 둘러싸인 간극에 끼워맞춤되어서 그 간극을 없애는 것으로, 그 높이는, 예컨대 기판 탑재면(13a)을 구성하는 볼록 형상부의 높이(도 2 참조)에 상당하는 높이, 또는 그보다 약간 낮은 높이다.
이러한 간극 끼워맞춤 부재(87)를 구비한 실드 부재는, 직사각형의 기판 탑재면(13a) 주위를 둘러싸도록 배치되어 기판 탑재대를 형성한다.
본 실시예에 의하면, 기재(13)의 직사각형의 기판 탑재면(13a)의 4개의 모서리부에 대해서, 각각 평면에 의한 면따기 처리를 실시하여, 각 면따기 면과, 실드 링(15)의 모서리부와의 간극을 메우는 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재(87)를 구비하고 있기 때문에, R면끼리의 당접면을 없애서 구성 부재의 형상을 단순화시킬 수 있고, 이로써 제작 정밀도가 향상된다. 또한, R면끼리의 접합부를 없애서 평면끼리의 접합면으로 할 수 있기 때문에, 부재 상호의 어긋남에 기인하여 발생하는 간극을 극력 없애서 플라즈마의 진입에 의한 전극면의 손상을 보다 유효하게 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 있어서는, 피처리 기판으로서, 예컨대 하나의 모서리부를 위치맞춤을 위한 오리엔테이션 플랫으로서 면따기한 직사각형의 기판이 적합하게 사용되지만, 이 경우에 있어서, 기판 탑재면(13a) 상에 기판을 탑재시킬 때, 기판 탑재면(13a)와 기판과의 사이에 위치 어긋남이 생기면, 통상 기판 탑재면(13a)보다 먼저 간극 끼워맞춤 부재(87)의 상부 평면이 노출된다. 따라서, 예컨대, 기판 탑재면(13a)과 기판 사이에 위치 어긋남이 생겨도, 기판 탑재면(13a)의 용사 표면에의 플라즈마의 진입만은 회피하여 그 손상을 방지할 수 있다. 또한, 4개의 모서리부 중 어느 하나를 면따기로 하고 있지만, 기판의 처리 내용 등의 형편에 따라서 오리엔테이션 플랫의 위치가 변경된 경우에도 적용 가능하게 하기 위해서다. 한편, 간극 끼워맞춤 부재(87)가 손상되었을 때는, 그 간극 끼워맞춤 부재(87)만을 교환함으로써 용이하게 대처할 수 있다. 또한, 본 실시예에 있어서, 각 구성 부품(81~84)의 당접부에 단차 구조의 끼워맞춤부를 형성할 수 있고, 이 끼워맞춤부를 형성하는 경우에는, 끼워맞춤부의 구조는 실시예 2의 형태와 마찬가지의 것이며, 간극 끼워맞춤 부재(87)의 아래에는 도 6의 상자 부재(65)와 같은 부재가 마련되는 것으로 하며, 간극 끼워맞춤 부재(87)는 기재(13)에 탑재되는 것으로 한다.
또한, 본 실시예에 의하면, 간극 끼워맞춤 부재(87)를 상하 대칭의 삼각 기둥 형상으로 했기 때문에, 상기 간극 끼워맞춤 부재(87)를 기판 탑재면(13a)의 평면 형상의 면따기면과 실드 링(15)의 모서리부의 사이의 간극에 끼워맞춤시킬 때, 상하 방향의 방향을 고려할 필요가 없다. 따라서, 상기 실드 링(15)을 갖는 기판 탑재대의 제작이 비교적 용이하게 된다.
본 실시예에 있어서, 링 구성 부품(81~84)은, 절연성의 세라믹, 예컨대 알루미나(A12O3), 이트리아, 질화 실리콘, 석영 등으로 구성된다. 링 구성 부품(81~84)에 있어서의 고정용 나사 구멍(85)은, 상기 링 구성 부품의 고정단으로부터 극력 가까운 위치에 있는 것이 바람직하고, 예컨대, 30~40mm 혹은 그 이하로 마련되는 것이 바람직하다. 고정용 나사 구멍(85)의 고정단 단면과의 간격이 지나치게 넓으면, 그 부분의 열 팽창을 무시할 수 없게 되어, 각 링 구성 부품의 고정단과, 상기 고정단에 당접하는 다른 링 구성 부품과의 접합면에 비틀림이 발생할 우려가 있다.
다음으로 본 실시예 4의 제 1 변형예에 대해서 설명한다.
도 10은, 본 실시예 4의 제 1 변형예에 있어서의 간극 끼워맞춤 부재를 나타내는 사시도이다.
도 10에 있어서, 간극 끼워맞춤 부재(88)가 도 9의 간극 끼워맞춤 부재(87)와 다른 점은, 간극 끼워맞춤 부재(88)의 한쪽 끝에, 그 간극 끼워맞춤 부재(88)가 기판 탑재면(13a)의 각 모서리부에 형성된 평면에 의한 면따기면과 실드 링(15)의 모서리부와의 간극에 끼워맞춤되었을 때, 기판 탑재면(13a)의 각 모서리부의 형상을, 외견상 기판 탑재면(13a)의 모서리부를 R면을 따라서 면따기했을 때의 형상과 같은 형상으로 하기 위한 R면(88a)을 구비한 볼록부를 형성했다는 점이다. 즉, 간극 끼워맞춤 부재(88)의 한쪽 단면에는, 직선(88b)과 원호(88c)로 둘러싸인 면이 소정의 높이로 돌출한 볼록부가 형성되어 있고, 이 볼록부의 높이를 규정하는 면이 R면(88a)으로 되어 있다.
이러한 구성의 간극 끼워맞춤 부재(88)는, 기판 탑재면(13a)의 각 모서리부에 형성된 평면에 따른 면따기면과 실드 링(15)의 모서리부의 간극에 끼워맞춤되어, 기판 탑재대를 형성한다.
본 실시예의 변형예에 있어서도, 상기 실시예와 마찬가지로 R면끼리의 접합부를 없애서 평면끼리의 접합면으로 할 수 있기 때문에, 부재 상호의 어긋남에 기인해서 발생하는 간극을 극력 없애서 상기 간극으로부터 플라즈마가 진입하는 것에 의한 전극면의 손상을 유효하게 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예의 변형예에 의하면, 기판 탑재면(13a)의 4개의 모서리부에서의 면따기면과, 간극 끼워맞춤 부재(88)에 있어서의 직선(88a)을, 한 변을 포함하는 직사각형 평면이 당접하도록 조합되기 때문에, 기판 탑재면(13a)의 모서리부의 형상을 외견상 R면을 따라서 면따기 처리를 행한 경우의 형상과 같은 형상이 된다. 간극 끼워맞춤 부재(88)의 모서리부를 R면으로 함으로써, 모서리부의 파손을 막을 수 있다. 또한, 간극 끼워맞춤 부재(88)를 마련했을 때에, 종래의 기판 탑재면의 형상과 외견상 동일하게 되기 때문에, 기판의 온도 제어 등에 대해서 종래의 장치로 조정되던 각종 처리 조건을 그대로 적용 가능하다는 이점도 있다.
본 실시예의 변형예에 있어서, R면(88a)을 구비한 볼록부의 단면은, 기판 탑재면(13a)과 동일 평면 상에 있거나 혹은 기판 탑재면(13a)보다 안으로 들어가 있는 것이 바람직하다. 이로써, 기판 탑재면(13a)에 탑재한 기판을 안정되게 지지할 수 있다.
다음으로 실시예 4의 제 2 변형예에 대해서 설명한다.
도 11은, 본 실시예에 있어서의 제 2 변형예에 적용되는 링 구성 부품을 나타내는 평면도이다.
도 11에 있어서, 이 링 구성 부품(91)의 고정단(91a)의 측면에는, 평면을 따라서 면따기 처리된 기판 탑재면(13a)의 모서리부에서의 면따기면과 실드 링(15)의 모서리부 사이의 간극을 메우기 위한 돌기부(91c)가 마련되어 있다.
이러한 구성의 링 구성 부품(91)이 도 8과 같이 조합되어 실드 링(15)을 형성한다.
본 실시예의 변형예에 의하면, 링 구성 부품(91)의 돌기부(91c)에서, 면따기면과 실드 링(15)의 사이의 간극을 메울 수 있기 때문에, 상기 간극으로부터 플라즈마가 진입하는 것에 의한 하부 전극(12)에 있어서의 이상 방전, 이로전 등의 발생을 유효하게 방지할 수 있다.
상술한 각 실시예에 있어서, 플라즈마 처리가 실시되는 기판은, 액정 디스플레이(LCD)용 유리 기판뿐만 아니라, 전기 발광(Electro Luminescence;EL) 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등을 비롯하는 FPD(Flat Panel Display)에 이용하는 각종 기판이어도 된다.
또한, 상술한 실시예에서는, 평행 평판 전극에 의한 용량 결합형의 플라즈마 발생 방식을 이용한 장치에 대해서 설명했지만, 유도 결합형 플라즈마 발생 방식 등 다른 플라즈마 발생 방식에 의한 장치여도, 기판의 탑재대와 실드 링 또는 그에 상당하는 부재를 갖는 장치라면 본원 발명을 적용할 수 있는 것은 당연하다.
10 : 기판 처리 장치 12 : 탑재대(서셉터)
13 : 기재 13a : 기판 탑재면
15 : 실드 링 18 : 절연 링
41~44 : 링 구성 부품 51~54 : 링 구성 부품
61, 62 : 링 구성 부품 71, 72 : 링 구성 부품
81~84 : 링 구성 부품 87, 88 : 간극 끼워맞춤 부재

Claims (20)

  1. 직사각형의 기판에 플라즈마 처리를 실시하는 기판 처리 장치의 처리실 내에서 상기 기판을 탑재하는 탑재대의 직사각형의 탑재면의 주위를 둘러싸도록 마련된 실드 부재의 구성 부품으로서,
    상기 직사각형의 탑재면의 한 변을 따라서 배치되는 절연성의 긴 형상 물체로 이루어지고,
    상기 긴 형상 물체의 길이 방향의 한쪽 끝에 마련된 고정부와, 상기 고정부와는 상기 긴 형상 물체의 길이 방향으로 이격되어 마련된 적어도 하나의 가이드부를 갖는 것
    을 특징으로 하는 실드 부재의 구성 부품.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부로서의 고정용 나사 구멍에 의해서 한쪽 끝이 상기 탑재대의 기재에 고정되고, 다른쪽 끝이 상기 적어도 하나의 가이드부로서의 지지용 나사 구멍에 의해서 변위 자유롭게 지지되며, 상기 고정된 한쪽 끝을 기점으로 해서 상기 긴 형상 물체의 길이 방향을 따라 열 팽창 또는 열 수축 가능한 것을 특징으로 하는 실드 부재의 구성 부품.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정용 나사 구멍은, 상기 고정용 나사 구멍이 있는 평면상에서 정원(正圓) 형상이며, 상기 지지용 나사 구멍은 상기 지지용 나사 구멍이 있는 평면상에서 상기 긴 형상 물체의 길이 방향으로 긴 타원형 혹은 양 끝이 반원인 직사각형인 것을 특징으로 하는 실드 부재의 구성 부품.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 R면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 긴 형상 물체의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 R면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재의 구성 부품.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 평면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 긴 형상 물체의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 평면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재의 구성 부품.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 긴 형상 물체에 있어서의 상기 직사각형의 탑재면에 대향하는 측면은, 돌기부를 갖지 않는 평면인 것을 특징으로 하는 실드 부재의 구성 부품.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 긴 형상 물체는, 다른 긴 형상 물체와 조합해서 실드 부재를 형성할 때에 단차 구조의 끼워맞춤부를 형성하기 위한 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 실드 부재의 구성 부품.
  8. 직사각형의 기판에 플라즈마 처리를 실시하는 기판 처리 장치의 처리실 내에서 상기 기판을 탑재하는 탑재대의 직사각형의 탑재면 주위를 둘러싸도록 배치되는 실드 부재로서,
    청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 구성 부품의 조합체로 이루어지고,
    상기 각 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면이 인접하는 다른 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면에 당접하고, 다른쪽 끝의 측면이 상기 인접하는 다른 구성 부품과는 다른 인접하는 별도의 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면에 당접하도록 각각 조합되며,
    상기 각 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝이 상기 고정부에 의해서 상기 탑재대의 기재에 고정되고, 다른 쪽 끝이 상기 적어도 하나의 가이드부에 의해서 변위 자유롭게 지지되며, 상기 각 구성 부품이 상기 고정된 한쪽 끝을 기점으로 해서 상기 긴 형상 물체의 길이 방향을 따라 열 팽창 또는 열 수축 가능하게 배열되어 있는 것
    을 특징으로 하는 실드 부재.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 고정부로서의 고정용 나사 구멍에 장착되는 고정 나사의 조임 토크를, 상기 가이드부로서의 지지용 나사 구멍에 장착되는 지지 나사의 조임 토크보다 크게 한 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 각 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 단면과, 상기 인접하는 다른 구성 부품의 길이 방향의 한쪽 끝의 측면의 당접부에, 상기 기판 탑재면에 대해 수직 방향 및 수평 방향으로부터의 플라즈마의 진입을 저지하는 단차 구조의 끼워맞춤부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 단차 구조의 일부는, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면과, 상기 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면과의 당접부에 형성된 오목부에 유격(裕隔)을 갖고 끼워지는 상자 부재로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 오목부와 상기 상자 부재 사이에, 상기 각 구성 부품의 길이 방향에 따른 열 팽창 또는 열 수축에 기인한 변위를 흡수하는 간극이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 오목부에 있어서의 상기 상자 부재의 삽입구는, 사이드 실드 부재로 밀봉함으로써 상기 오목부 내로의 플라즈마의 진입이 저지되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.

  14. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 R면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 R면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  15. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 평면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 측면에 상기 면따기된 상기 탑재면의 모서리부에 당접하는 평면을 갖는 돌기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  16. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 R면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 각 면따기면과, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면 및 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면의 접합부의 간극을 메우는 상기 구성 부품과는 독립된 R면을 갖는 간극 끼워맞춤 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  17. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 직사각형의 탑재면의 모서리부는 각각 평면에 따른 면따기 처리가 실시되어 있고, 각 면따기 면과, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면 및 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면의 접합부의 간극을 메우는 상기 구성 부품과는 독립된 평면을 갖는 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재의 한쪽 끝에, 상기 삼각 기둥 형상의 간극 끼워맞춤 부재가 상기 탑재면의 각 모서리부에 형성된 평면에 따른 면따기면과, 상기 각 구성 부품의 한쪽 끝의 단면 및 인접하는 다른 구성 부품의 상기 한쪽 끝의 측면의 접합부의 간극에 끼워맞춤되었을 때, 상기 탑재면의 각 모서리부의 형상을, 외견상 상기 탑재면의 모서리부를 R면에 따라 면따기했을 때의 형상과 같은 형상으로 하기 위한 R면을 구비한 볼록부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 R면을 구비한 볼록부의 단면은, 상기 탑재면과 동일 평면 상에 있거나 또는 상기 탑재면보다 안으로 들어가 있는 것을 특징으로 하는 실드 부재.
  20. 청구항 8 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 기재된 실드 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 탑재대.
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