CN102337511B - 屏蔽部件、其构成零件以及具有屏蔽部件的基板载置台 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种即使发生热膨胀也与下部电极之间不产生间隙，并能够防止下部电极的异常放电以及腐蚀的产生的屏蔽部件，以及其构成零件和具有屏蔽部件的基板载置台。本发明的屏蔽部件将包括沿下部电极的矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件并具有在长度方向的一端设置的固定用螺钉孔和在长尺寸状物件的长度方向离开设置的支承用螺钉孔的构成零件，以各环构成零件的长度方向的一端的端面与相邻的其他的环构成零件的长度方向的一端的侧面抵接，另一端的侧面与相邻的其他的环构成零件的不同的另外的环构成零件的一端的侧面抵接的方式进行组合。

Description

屏蔽部件、其构成零件以及具有屏蔽部件的基板载置台

技术领域

本发明涉及适用于在基板处理装置的处理室内载置基板的基板载置台的屏蔽部件、其构成零件以及具有屏蔽部件的基板载置台。

背景技术

在以液晶显示装置(LCD)为首的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)的制造工序中，公知有对以玻璃基板为首的各种基板进行等离子体处理的基板处理装置。

在这种基板处理装置中，具有在处理室(以下称为‘腔室’)内对基板进行支承的基板载置台；和隔着处理间隔与该基板载置台以相对的方式配置的上部电极，向作为下部电极发挥功能的基板载置台施加生成等离子体的高频电力(RF)，并且，向腔室内的处理空间导入处理气体来生成等离子体，使用生成的等离子体对载置在基板载置台的基板载置面的基板进行规定的等离子体处理。

基板载置台的基板载置面呈矩形，在其外周部，为了提高等离子体的聚焦性以及确保RF的绝缘，配置有作为屏蔽部件的屏蔽环。屏蔽环由以氧化铝(Al₂O₃)为首的绝缘性的陶瓷构成，例如通过螺钉被固定至下部电极的基材。由于屏蔽环是将矩形的下部电极的基板载置面的周围包围的矩形的环状体，一体成形较为困难，以及随着近年来产业界的要求，处理基板正在大型化，因此屏蔽环通常由多个构成零件(部件)组合形成。

图12是表示现有的屏蔽环的结构的图。

在图12中，以包围下部电极100的矩形的基板载置面106的周围的方式配置有屏蔽环105。屏蔽环105为俯视时大致呈L字状的四个环构成零件101～104的组合体。各环构成零件101～104在各自L字状的角部的附近和与该角部连设的长尺寸部的顶端部附近的两个位置具有螺钉孔107，各环构成零件101～104通过安装于螺钉孔107的固定螺钉，被固定于构成下部电极100的基板载置面106的周围的凸缘部。

然而，屏蔽环105，根据不同的处理目的，通过来自被加热的下部电极100的传热以及等离子体的连续照射等被加热，产生热膨胀。此时，在相邻的环构成零件相互的抵接面中，由于膨胀对另一方产生压力，由此产生例如螺钉孔107与固定螺钉(省略图示)的间隙量的位移，因此，在屏蔽环105与基板处理面106之间会产生间隙。

另外，基材在由铝等的金属形成的下部电极100与由陶瓷形成的屏蔽环105之间存在热膨胀差，因此在等离子体处理中，在接受等离子体的连续照射的屏蔽环105与下部电极100之间会产生间隙。

并且，屏蔽环105由于加热之后的冷却产生热收缩时，各环构成零件不返回至原来的配置状态，屏蔽环105发生变形，在环构成零件相互之间产生间隙，由此，具有在屏蔽环105和下部电极100之间也产生间隙的问题。

当在屏蔽环105与下部电极100之间产生间隙时，等离子体进入该间隙，例如下部电极100的陶瓷喷镀被削减，成为在下部电极100产生异常放电(电弧放电)或腐蚀的原因。

为了防止这样的屏蔽环105与下部电极100之间的间隙的产生，提案设置有以吸引相邻的环构成零件的方式加力的加力部件的环构成零件、或设置有使各环构成零件朝向下部电极的中心部加压的加力部件的屏蔽环(例如：参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2008-311298号公报

发明内容

然而，对构成屏蔽部件的环构成零件组合施加在特定的方向起作用的作用力的加力部件，未必容易。另一方，为了防止由于热膨胀引起的变形，而将环构成零件固定于下部电极的基材的固定螺钉的紧固力加大时，存在对下部电极基材的紧固时或热膨胀时，环构成零件容易破损的问题。

本发明的课题是提供一种即使发生热膨胀也与下部电极之间不产生间隙并能够防止下部电极的异常放电以及腐蚀的产生的屏蔽部件、其构成零件以及具有屏蔽部件的基板载置台。

为了解决上述课题，本发明的第一方面记载的屏蔽部件的构成零件(部件)，是在对矩形的基板进行等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置上述基板的矩形的载置面的周围的方式设置的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：包括沿上述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件(长形部件)，具有：设置在该长尺寸状物件件的长度方向的一端的固定部；和在上述长尺寸状物件的长度方向与该固定部离开而设置的至少一个引导部。

本发明第二方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第一方面记载的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：一端被作为上述固定部的固定用的螺钉孔固定于上述载置台的基材，另一端通过作为上述至少一个引导部的支承用的螺钉孔可自由移位地被支承，以上述被固定的一端为起点沿上述长尺寸状物件的长度方向能够进行热膨胀或热收缩。

本发明第三方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第二方面记载的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：上述固定用的螺钉孔，在该固定用的螺钉孔的平面上为圆形，上述支承用的螺钉孔，在具有该支承用的螺钉孔的平面上，为在上述长尺寸状物件(长条形部件)的长度方向上较长的椭圆形或两端为半圆的矩形。

本发明第四方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第一至第三方面的任一方面记载的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：上述矩形的载置面的角部分别进行圆弧面的倒角处理，在上述长尺寸状物件的一端的侧面设置有突起部，其具有与上述倒角过的上述载置面的角部抵接的圆弧面。

本发明第五方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第一至第三方面的任一方面记载的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：上述矩形的载置面的角部分别进行平面的倒角处理，在上述长尺寸状物件件的一端的侧面设置有突起部，其具有与上述倒角过的上述载置面的角部抵接的平面。

本发明第六方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第一至第三方面的任一方面记载的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：上述长尺寸状物件的与上述矩形的载置面相对的侧面是没有突起部的平面。

本发明第七方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第一至第六方面的任一方面记载的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：上述长尺寸状物件具有突出部，用于在与其他的长尺寸状物件组合形成屏蔽部件时形成台阶结构的嵌合部。

为了解决上述课题，本发明第八方面记载的屏蔽部件，是在对矩形的基板进行等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置上述基板的矩形的载置面的周围的方式设置的屏蔽部件，其特征在于：包括本发明第一至第三方面的任一方面记载的构成零件的组合体，以上述各构成零件的长度方向的一端的端面与相邻的其他的构成零件的长度方向的一端的侧面抵接，另一端的侧面与上述相邻的其他的其他构成零件不同并相邻的另外的构成零件的长度方向的一端的端面抵接的方式分别组合，上述各构成零件的长度方向的一端通过上述固定部固定于上述载置台的基材，另一端通过上述至少一个引导部可自由移位地被支承，上述各构成零件按照以上述被固定的一端为起点沿上述长尺寸状物件的长度方向能够进行热膨胀或热收缩的方式排列。

本发明第九方面记载的屏蔽部件，为本发明第八方面记载的屏蔽部件，其特征在于：使得在作为上述固定部的固定用的螺钉孔安装的固定螺钉的紧固扭矩大于在作为上述引导部的支承用的螺钉孔安装的支承螺钉的紧固扭矩。

本发明第十方面记载的屏蔽部件，为本发明第八方面或第九方面记载的屏蔽部件，其特征在于：在上述各构成零件的长度方向的一端的端面与上述相邻的其他的构成零件的长度方向的一端的侧面的抵接部，形成有台阶结构的嵌合部，阻止来自垂直方向以及水平方向的等离子体进入上述基板载置面。

本发明第十一方面记载的屏蔽部件，为本发明第十方面记载的屏蔽部件，其特征在于：上述台阶结构的一部分，包括：具有游隙地嵌入在上述各构成零件的一端的端面与上述相邻的其他的构成零件的一端的侧面的抵接部所形成的凹部的嵌套部件。

本发明第十二方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第十一方面记载的屏蔽部件，其特征在于：在上述凹部与上述嵌套部件之间设置有间隙，吸收上述各构成零件沿长度方向的热膨胀或热收缩引起的位移。

本发明第十三方面记载的屏蔽部件，为本发明第十二方面记载的屏蔽部件，其特征在于：上述凹部中的上述嵌套部件的插入口，通过由侧屏蔽部件密封而阻止等离子体进入上述凹部内。

本发明第十四方面记载的屏蔽部件的构成零件，为本发明第八至第十三的任一方面记载的屏蔽部件，其特征在于：上述矩形的载置面的角部分别进行圆弧面的倒角处理，在上述各构成零件的一端的侧面设置有突起部，该突起部具有与上述被倒角过的上述载置面的角部抵接的圆弧面。

本发明第十五方面记载的屏蔽部件，为本发明第八至第十三的任一方面记载的屏蔽部件，其特征在于：上述矩形的载置面的角部分别进行平面的倒角处理，在上述各构成零件的一端的侧面设置有突起部，该突起部具有与上述被倒角过的上述载置面的角部抵接的平面。

本发明第十六方面记载的屏蔽部件，为本发明第八至第十三的任一方面记载的屏蔽部件，其特征在于：上述矩形的载置面的角部分别进行圆弧面的倒角处理，包括对各倒角面与上述各构成零件的一端的端面以及相邻的其他的构成零件的上述一端的侧面的接合部的间隙进行填埋的、具有与上述构成零件独立的圆弧面的间隙嵌合部件。

本发明第十七方面记载的屏蔽部件，为本发明第八至第十三的任一方面记载的屏蔽部件，其特征在于：上述矩形的载置面的角部分别进行平面的倒角处理，包括对各倒角面与上述各构成零件的一端的端面以及相邻的其他的构成零件的上述一端的侧面的接合部的间隙进行填埋的、具有与上述构成零件独立的平面的三角柱状的间隙嵌合部件。

本发明第十八方面记载的屏蔽部件，为本发明第十七方面记载的屏蔽部件，其特征在于：在上述三角柱状的间隙嵌合部件的一端形成有具有圆弧面的凸部，上述凸部，当该三角柱状的间隙嵌合部件嵌合到在上述载置面的各角部形成的平面的倒角面与上述各构成零件的一端的端面以及相邻的其他的构成零件的上述一端的侧面的接合部的间隙时，使得上述载置面的各角部的形状为在外观上与对上述载置面的角部进行圆弧面的倒角时的形状相同的形状。

本发明第十九方面记载的屏蔽部件，为本发明第十八方面记载的屏蔽部件，其特征在于：具有上述圆弧面的凸部的端面，位于与上述载置面相同平面上或者比上述载置面退后。

为了解决上述课题，本发明第二十方面记载的载置台，其特征在于：具有如本发明第八至第十九的任一方面记载的屏蔽部件。

根据本发明，屏蔽部件的构成零件，由沿矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件形成，包括：设置在该长尺寸状物件的长度方向的一端的固定部；和在长尺寸状物件的长度方向与该固定部离开设置的至少一个引导部，因此，将该构成零件以各构成零件的长度方向的一端的端面与相邻的其他的构成零件的长度方向的一端的侧面抵接，另一端的侧面与相邻的其他的构成零件的不同的其他的构成零件的一端的侧面抵接的方式分别进行组合，将在各构成零件中具有与其他构成零件抵接的端面的一侧的长度方向的一端，通过固定部固定于载置台的基材，通过引导部可移位地支承另一端，各构成零件以固定的一端为起点沿长尺寸状物件的长度方向以能够进行热膨胀或热收缩的方式排列。因此，即使屏蔽部件或载置面被加热，也能够防止随着膨胀以及收缩在该屏蔽部件与下部电极之间产生间隙，由此，能够防止等离子体进入屏蔽部件与下部电极之间引起的下部电极的异常放电或腐蚀的产生。另外，通过对载置面的角部实施平面的倒角并插入三角柱状的配合部件，能够防止由于以玻璃基板的定向平面(orientationflat：用于定位的切口)较大的情况或载置玻璃基板的时的位置精度较差的情况等那样由于载置于电极上的基板的定向平面的位置产生的下部电极的腐蚀。

附图说明

图1是表示本发明的具有屏蔽部件适用的基板载置台的基板处理装置的概略结构的截面图。

图2是本发明的第一实施方式涉及的屏蔽环的结构的图，图2(A)是俯视图，图2(B)是沿图2A的Ⅱ-Ⅱ线的截面图。

图3是表示图2的屏蔽环发生热膨胀的状态的示意图。

图4是表示图2的下部电极发生了热膨胀的状态的示意图。

图5是表示作为本发明的第一实施方式的变形例的屏蔽环的结构的俯视图。

图6是表示本发明的第二实施方式涉及的屏蔽环的主要部分的结构的图，图6(A)是主要部分俯视图，图6(B)是主要部分立体图，图6(C)是表示嵌套部件以及载置于嵌套部件的圆弧部件的立体图，图6(D)是用于说明侧屏蔽部件的立体图。

图7是表示本发明的第三实施方式涉及的屏蔽环的主要部分的结构的图，图7(A)是主要部分的俯视图，图7(B)是主要部分的前视图，图7(C)是环构成零件的组装图。

图8是表示本发明的第四实施方式涉及的屏蔽环的结构的图。

图9是表示适用于第四实施方式的间隙嵌合部件的立体图。

图10是表示适用于第四实施方式的第一变形例的间隙嵌合部件的立体图。

图11是表示适用于第四实施方式的第二变形例的屏蔽部件的构成零件的俯视图。

图12是表示现有的屏蔽环的图。

符号说明

10基板处理装置

12基板载置台(基座)

13基材

13a基板载置面

15屏蔽环

18绝缘环

41～44环构成零件

51～54环构成零件

61、62环构成零件

71、72环构成零件

81～84环构成零件

87、88间隙配合部件

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。

图1是表示本发明第一实施方式的具有屏蔽部件适用的基板载置台的基板处理装置的概略结构的截面图。该基板处理装置例如对液晶显示装置(LCD)制造用的玻璃基板进行规定的等离子体处理。

在图1中，基板处理装置10具有收容例如一边是数米的矩形的玻璃基板G(以下单称为‘基板’)的处理室(腔室)11，在该腔室11内部的图中下方配置有载置基板G的载置台(基座)12。基座12例如由表面被铝阳极化处理过的铝或不锈钢等形成的基材13构成，基材13隔着绝缘部件14被支承于腔室11的底部。基材13呈截面凸型，其上部平面形成载置基板G的基板载置部13a。

以包围基板载置面13a的周围的方式设置有作为屏蔽部件的屏蔽环15，屏蔽环15由例如由氧化铝等的绝缘性的陶瓷构成的长尺寸状物件即环构成零件的组合体形成。

基材13的上部内置静电电极板16，作为静电卡盘发挥功能。静电电极板16与直流电源17连接，在向静电电极板16施加正的直流电压时，在载置于基板载置面13a的基板G的静电电极板16一侧的面(以下称为‘里面’)产生负电位，由此在静电电极板16和基板G之间产生电位差，基板G被由该电位差引起的库仑力或约翰逊-拉别克(Johnson-Rahbek)力吸附并保持于基板载置面13a。

在基材13的内部设置有用于对基材13和载置于基板载置面13a的基板G的温度进行调节的温度调节机构(省略图示)。该温度调节机构例如循环供给有冷却水或galden(ガルデン：注册商标)等的制冷剂，被该制冷剂冷却的基材13对基板G进行冷却。

在基材13的周围配置有作为侧密封部件的绝缘环18，其覆盖包含与屏蔽环15和基材13的抵接部的侧面。绝缘环18是绝缘性的陶瓷，例如由氧化铝构成。

在贯通腔室11的底壁、在贯通绝缘部件14和基材13的贯通孔，可升降地插通有升降销21。升降销21在载置于基板载置面13a的基板G的搬入和搬出时动作，在将基板G搬入到腔室11内时或从腔室11搬出时，上升至基座12的上方的搬送位置，在此之外的情况下，以埋设状态收纳于基板载置面13a内。

在基板载置面13a，开口有省略图示的多个传热气体供给孔。多个传热气体供给孔与传热气体供给部连接，从传热气体供给部向基板载置面13a和基板G的里面的间隙供给传热气体例如氦气(He)气体。向基板载置面13a和基板G的里面的间隙供给的氦气气体，将基板G的热有效地传导给基座12。

基座12的基材13经由匹配器24与用于供给高频电力的高频电源23连接。从高频电源23施加有例如13.56MHz的高频电力(RF)，基座12作为下部电极发挥功能。匹配器24降低来自基座12的高频电力的反射并使高频电力对基座12的施加效率最大。

在基板处理装置10中，由腔室11的内侧壁和基座12的侧面形成有侧方排气路26。该侧方排气路26经由排气管27与排气装置28连接。作为排气装置28的TMP(Turbo Molecular Pump：涡轮分子泵)以及DP(Dry Pump：干式泵)和MBP(Mechanical Booster Pump：直空泵)(均省略图示)对腔室内进行抽真空来进行减压。具体而言，DP或MBP将腔室11内从大气压减压至中真空状态(例如1.3×10Pa(0.1Torr)以下)，TMP与DP或MBP协动将腔室11内减压至比中真空状态低的压力的高真空状态(例如1.3×10^-3Pa(1.0×10^-5Torr)以下)。并且，腔室11内的压力由APC阀(省略图示)控制。

在腔室11的顶部部分，以与基座12相对的方式配置有喷淋头30。喷淋头30具有内部空间31，同时，具有向与基座12之间的处理空间S排出处理气体的多个气体孔32。喷淋头30接地，与作为下部电极发挥功能的基座12一起构成一对平行平板电极。

喷淋头30经由气体供给管36与处理气体供给源39连接。在气体供给管36设置有开关阀37和质量流量控制器38。另外，在处理腔室11的侧壁设置有基板搬入搬出口34，该基板搬入搬出口34通过门阀35能够打开和关闭。而且，作为处理对象的基板G，经由该门阀35被搬入和搬出。

在基板处理装置10中，从处理气体供给源39经由处理导入管36供给处理气体。被供给的处理气体经由喷淋头30的内部空间31以及气体孔32被导入腔室11的处理空间S。被导入的处理气体，被从高频电源23经由基座12向处理空间S施加的等离子体生成用的高频电力(RF)激发而成为等离子体。等离子体中的离子被引向基板G，对基板G实施规定的等离子体蚀刻处理。

基板处理装置10的各构成零件的动作，基板处理装置10具备的控制部(省略图示)的CPU按照对应等离子体蚀刻处理的程序进行控制。

图2是本发明的第一实施方式涉及的屏蔽环的结构的图，图2(A)是俯视图，图2(B)是沿图2(A)的Ⅱ-Ⅱ线的截面图。

在图2(A)中，屏蔽环15，以包围作为下部电极发挥功能的基座12(以下称为‘下部电极’)的矩形的基板载置面13a的周围的方式配置，由沿矩形的基板载置面13a的相对的两个短边分别配置的长尺寸状的环构成零件41、42和沿矩形的基板载置面13a的相对的两个长边分别配置的长尺寸状的环构成零件43、44的组合体构成。

环构成零件41～44具有设置在长尺寸状物件的长度方向的一端即固定端的固定用的螺钉孔45；和在长尺寸状物件的长度方向与该固定用的螺钉孔45离开设置的支承用的螺钉孔46。支承用的螺钉孔46至少设置一个，但根据长尺寸状物件的长度也可以设置两个或两个以上。此时，各支承用的螺钉孔46例如能够设置为等间距。

在此，固定用的螺钉孔45作为用于将环构成零件的固定端固定于基材13的固定部发挥功能，在与螺钉孔垂直的截面中游隙较少，并且在平面上的形状形成为圆形。另一方面，支承用的螺钉孔46作为对与固定端相对的另一端即自由端在长尺寸状物件的长度方向上可位移地导向并支承的引导部发挥功能，在与螺钉孔垂直的截面中具有游隙，平面中的形状形成为椭圆形或两端为半圆的矩形。支承用的螺钉孔46中的截面的长径具有即使各环构成零件41～44发生热膨胀、但安装于支承用的螺钉孔46的支承螺钉具有不限制构成零件的热膨胀的程度的长度，长径的长度例如在对被称为第5.5代的FPD用玻璃基板进行处理时，优选7mm～10.5mm，优选随着处理的玻璃基板的尺寸变大，长度变得更长。

优选：安装于固定用的螺钉孔的固定螺钉的紧固扭矩大于安装于支承用的螺钉孔的支承螺钉的紧固扭矩。由此，能够可靠地固定环构成零件41～44的固定端41a～44a，还有能够松动地支承自由端41b～44b来确保其热膨胀时或热收缩时的移动。

固定螺钉的紧固扭矩例如为8×(1±0.05)kgf·cm(0.75～0.8N·m)左右，支承螺钉的紧固扭矩例如比固定螺钉的紧固扭矩小一些，例如为6～8kgf·cm(0.6～0.8N·m)左右。其中，当需要限制由于膨胀的延伸量时，可以将这些扭矩在陶瓷不破损的程度的范围内进一步紧固，由此能够限制屏蔽环的移动。

环构成零件41的固定端41a的端面与相邻的其他的环构成零件43的长度方向的端部43b(自由端)的侧面抵接，作为另一端的移动端41b的侧面配置为：与相邻的其他的环构成零件43不同的相邻的其他的环构成零件44的端部44a(固定端)的端面抵接。环构成零件42和44配置为：各自相对基板载置面13a的中心点C成为环构成零件41和43点对称。

在图2(B)中，下部电极12的基材13呈截面凸状，该截面凸状体的上部平面成为基板载置面13a，台阶部表面成为凸缘部13b。

各环构成零件41～44的固定端41a～44a分别被安装于固定用的螺钉孔45的固定螺钉(省略图示)固定于基材13的凸缘部13b。另外，各环构成零件41～44的自由端41b～44b被贯通支承用的螺钉孔46的支承螺钉(省略图示)相对基材13的凸缘部可位移地支承，由此，各环构成零件41～44被支承为能够以固定端41a～44a为起点沿长尺寸状物件的长度方向进行热膨胀或热收缩。

在此，在各环构成零件41～44的热膨胀或热收缩时的自由端41b～44b的移动方向上不存在相邻的环构成零件，因此，不妨碍自由端的移动。由此，能够防止热膨胀时的相邻的环构成零件彼此的挤压，并防止屏蔽环15产生变形以及热收缩引起的屏蔽环15与基板载置面13a之间产生间隙。

下部电极12的基板载置面13a的角部分别被实施圆弧状的倒角处理。因此，为了填埋该倒角面和屏蔽环15之间的间隙，在各构成零件41～44的固定端41a～44a的侧面设置有具有圆弧面的突起部。由此，能够防止等离子体从倒角面和屏蔽环15之间的间隙进入。另外，将具有圆弧面的突起部设置于固定端一侧，因此能够适当地防止热膨胀或热收缩时的间隙的产生。其中，基板载置面13a的角部并不限定于圆弧形状，也可以是平坦的C面形状，另外，在该情况下，上述突起部呈与其相合的平坦的形状。

图3是表示图2的屏蔽环15发生了热膨胀的状态的图。

在图3中，屏蔽环15的各环构成零件41～44以固定固定端41a～44a的固定螺钉为起点在自由端41b～44b的方向膨胀，自由端41b～44b位移与通过热膨胀延伸的长度相当的尺寸。

图4是表示图2的下部电极12发生了热膨胀的状态的图。

在图4中，屏蔽环15的各构成零件41～44以与基板载置面13a的各边一对一地抵接的方式配置，因此，下部电极12在构成屏蔽环15的各构成零件之间不产生间隙。因此，在下部电极12和屏蔽环15之间不产生间隙。

根据本实施方式，通过安装于固定用的螺钉孔45的固定螺钉将屏蔽环15的一端即固定端41a～44a可靠地固定，通过安装于支持用的螺钉孔46的支承螺钉将另一端即自由端41b～44b沿热膨胀或热收缩方向可位移地支承，并且，以在自由端41b～44b的移动方向上不存在其他的环构成零件的方式组合，因此，屏蔽环15通过等离子体的连续照射被加热，即使发生热膨胀，也不产生内部应力。因此，没有屏蔽环15的变形以及在屏蔽环15与下部电极12之间不产生间隙，由此能够防止等离子体进入间隙引起的下部电极12的异常放电、腐蚀等的产生。

另外，根据本实施方式，通过环构成零件41～44构成屏蔽环15，因此能够使得各环构成零件41～44的形状例如为大致条状的简单形状。因此，能够降低各环构成零件以及屏蔽环的制作成本。

在本实施方式中，环构成零件由绝缘性的陶瓷例如氧化铝(Al₂O₃)、氧化钇、氮化硅、石英等构成。环构成零件41～44的固定用螺钉孔45优选位于距离该环构成零件尽可能近的位置，优选设置为例如30～40mm或其以下。当与固定用螺钉孔45的固定端端面的间隔为300mm以上时，该部分的热膨胀不能无视，在各环构成零件的固定端和与该固定端抵接的其他的环构成零件的接合面产生变形。另外，作为螺钉，使用有不锈钢钉、陶瓷钉、铝钉等。

在本实施方式中，作为使各环构成零件41～44固定或可位移地支承于基材13的凸缘部13b的紧固部件使用了螺钉，但作为使各环构成零件41～44固定或可位移地支承到基材13的凸缘部13b的部件，除了螺钉之外，对于固定部分，例如夹具等的压接或基于各环构成零件与凸缘的嵌入结构的固定等，对于自由变化部分，也可以使用通过各环构成零件侧方的隔板或槽、各环构成零件与边缘等的嵌入式的导轨等能够沿一个方向限制位移的引导部件等

其次，对第一实施方式的变形例进行说明。

图5是表示作为第一实施方式的变形例的屏蔽环的结构的图。

在图5中，该变形例与第一实施方式不同的方面是：将构成屏蔽环15的环构成零件41～44的圆弧状的突起部消除，使其各自为条状的环构成零件51～54，另置有间隙嵌合部件55，具有对下部电极12的矩形的基板载置面13a的四个角部与屏蔽环15的各构成零件相互的抵接部之间的间隙进行填埋的圆弧面。

即使在这样的屏蔽环15中，也与第一实施方式相同，能够消除屏蔽环15与下部电极12的基板载置面13a之间的间隙，能够防止下部电极12的异常放电和腐蚀的产生。

另外，根据本变形例，能够使环构成零件51～54为单纯的条状，因此能够减少材料，同时减少圆弧形状的突起部的破损的问题，并方便使用。另外，具有圆弧面的间隙嵌合部件55接受等离子体的连续照射而产生消耗，但是制造以及交换容易，成本方面也具有利点。

图6是表示本发明的第二实施方式涉及的屏蔽环的主要部分的结构的图，图6(A)是主要部分俯视图，图6(B)是主要部分立体图，图6(C)是表示嵌套部件以及载置于嵌套部件的圆弧部件的立体图，图6(D)是用于说明套侧屏蔽部件的立体图。

在图6中，该屏蔽环60，以环构成零件61以及62和与该环构成零件61以及62各自以基板载置面的中心点为基准点对称配置的省略图示的两个环构成零件为主构成。

该屏蔽环60，在各环构成零件的长度方向的一端即固定端的端面和与该环构成零件相邻的其他的环构成零件的长度方向的一端的侧面的抵接部，形成有阻止来自垂直方向以及水平方向的等离子体进入基板载置面13a的台阶结构的嵌合部。

即，在环构成零件62的固定端62a的端面以及环构成零件61的自由端61b的侧面，分别设置有图中下方削减为四角柱状的台阶部62c以及61c。由此，在环构成零件62的固定端62a的端面以及环构成零件61的自由端61b的侧面的抵接部，形成有由台阶部62c以及台阶部61c形成的凹部64。

在凹部64具有游隙地嵌入有如图6(C)所示那样的嵌套部件65。插入凹部64的嵌套部件65的圆弧面65a，与从环构成零件62和61的抵接部向环构成零件60的内侧突出的，省略图示的下部电极12的被倒角过的矩形的基板载置面13a的倒角面抵接。在嵌套部件65的具有圆弧面65a的部分的上部，另外载置有具有与圆弧面65a相同的圆弧面的间隙嵌合部件66，由此，下部电极12的基板载置面13a和间隙嵌合部件66的上表面以及环构成零件62和61的上表面形成同一平面。此时，在嵌套部件65和凹部64之间，形成有用于吸收环构成零件61的热膨胀或热收缩引起的位移的间隙67。

如图6(D)所示，在具有游隙地嵌入有嵌套部件65的凹部64的入口开口的基座12的侧面，配置有作为侧屏蔽部件的绝缘环68。因此，下部电极12相对基板载置面13a，不仅在垂直方向，也不接受来自水平方向的等离子体照射。

根据本实施方式，环构成零件62的固定端62a的端面与环构成零件61的自由端61b的侧面的抵接部具有阻止等离子体进入的台阶结构，因此，下部电极12不直接接受等离子体照射。因此，能够防止基于等离子体照射的异常放电和腐蚀的产生。

另外，根据本实施方式，间隙嵌合部件66载置于嵌套部件65的圆弧状部分，因此，间隙嵌合部件66和嵌套部件65之间是迷宫式结构，能够阻止该部分的等离子体的进入。

另外，根据本实施方式，通过由嵌套部件构成台阶结构的一部分，环零件相互的抵接部的结构变得比较单纯。因此，制作容易，也减少使用时的破损的问题。

在本实施方式中，嵌套部件65并不固定于环构成零件61、62以及下部电极12的基材13，而以具有游隙地嵌入于在该部件相互间形成的凹部64的状态载置于基材13的凸缘部。因此，在嵌套部件65和环构成零件61之间产生规定的间隙，通过该间隙能够吸收环构成零件61的热膨胀引起的位移，因此能够防止屏蔽环的变形，也由此，能够防止对下部电极12的等离子体的照射，能够防止下部电极12的异常放电和腐蚀的产生。

图7是表示本发明的第三实施方式涉及的屏蔽环的主要部分的结构的图，图7(A)是主要部分俯视图，图7(B)是主要部分前视图，图7(C)是环构成零件的组装图。

在图7中，在该屏蔽环70，在环构成零件的一端的端面和与该环构成零件相邻的其他的环构成零件的长度方向的一端的侧面的抵接部，形成有阻止来自垂直方向以及水平方向的等离子体进入基板载置面13a的台阶结构的嵌合部。

通常，在使单纯的条状的环构成零件组合为四个矩形的屏蔽环中，在抵接的环构成零件相互之间产生细小的间隙，等离子体从该间隙进入并到达下部电极，成为在下部电极中产生异常放电或腐蚀的原因。因此，本实施方式涉及的屏蔽环70具有组织来自垂直方向以及水平方向的等离子体进入各环构成零件的抵接部的台阶结构的嵌合部。

如图7(C)所示，在环构成零件72的固定端72a的端面，以相对基板载置面13a沿垂直方向以及水平方向呈钩状的方式设置有两层的台阶部，环构成零件71的自由端71b设置有具有与该台阶部啮合的钩装的台阶部的突出部。通过这样的台阶部的组合，形成迷宫式结构。

根据本实施方式，在环构成零件相互的抵接部形成有台阶结构的嵌合部，因此，来自垂直方向以及水平方向的等离子体对下部电极12的进入被阻止，由此，能够防止下部电极12的异常放电、腐蚀等的问题的产生。

在本实施方式中，优选：使与环构成零件71和72的抵接部即台阶部的配合部的环构成零件71的热膨胀方向的间隙d1和d2(参照图7(A))等相等，且使其宽度为为了吸收环构成零件71的热膨胀或热收缩引起的位移的足够的宽度，例如1～2mm左右。由此，环构成零件71和72的热膨胀不被阻止，因此，能够防止屏蔽环70和下部电极12之间产生间隙，能够避免下部电极12由于接受等离子体照射产生问题。

在本实施方式中，与环构成零件71和72的抵接部的环构成零件的热膨胀方向呈直角方向的间隙e1和e2(参照图7(A))，为对环构成零件的组装没有阻碍程度的间隙即可。

接着，说明本发明的第四实施方式。

图8是表示本发明的第四实施方式涉及的屏蔽环的结构的图。该屏蔽环提高基板载置台的制作精度且容易防止下部电极的角部四个位置的喷镀面的腐蚀，因此对于四个角部，各自不是圆弧面，以包围在被实施平面的倒角处理的基板载置台13a的周围的方式配置。

在图8中，屏蔽环15，由沿矩形的基板载置面13a的相对的两个短边分别配置的长尺寸状的环构成零件81、82和沿矩形的基板载置面13a的相对的两个长边分别配置的长尺寸状的环构成零件83、84的组合体构成。

环构成零件81～84包括：设置在长尺寸状物件的长度方向的一端即固定端的固定用的螺钉孔85；和与该固定用的螺钉孔85在长尺寸状物件的长度方向离开设置的支承用的螺钉孔86。支承用的螺钉孔86至少设置一个，但根据长尺寸状物件的长度也可以设置两个或两个以上。此时，各支承用的螺钉孔86例如能够设置为等间距。

固定用的螺钉孔85用于将环构成零件的固定端固定于基材13，在与螺钉孔垂直的截面中游隙较少，并且在平面上的形状形成为圆形。另一方面，支承用的螺钉孔86对与固定端相对的另一端即自由端可位移地支承，在与螺钉孔垂直的截面中在长尺寸状物件的长度方向上形成为椭圆形或两端为半圆的矩形。支承用的螺钉孔86中的截面的长径具有即使各环构成零件81～84发生热膨胀、安装于支承用的螺钉孔86的支承螺钉也不限制构成零件的热膨胀的程度的长度，长径的长度例如优选7mm～10.5mm，优选随着处理的玻璃基板的尺寸变大，长度变得更长。

环构成零件81的固定端81a的端面与相邻的其他的环构成零件83的长度方向的端部83b(自由端)的侧面抵接，作为另一端的移动端81b的侧面配置为：与相邻的其他的环构成零件83不同的相邻的其他的环构成零件84的端部84a(固定端)的端面抵接。环构成零件82和84配置为：各自相对基板载置面13a的中心点C成为环构成零件81和83点对称。

各环构成零件81～84的固定端81a～84a分别被安装于固定用的螺钉孔85的固定螺钉(省略图示)固定于图8中配置与纸面的里侧的下部电极的基材(省略图示)的凸缘部。另外，各环构成零件81～84的自由端81b～84b被贯通支承用的螺钉孔86的支承螺钉(省略图示)相对图8中配置与纸面的里侧的下部电极的基材(省略图示)的凸缘部可位移地支承，由此，各环构成零件81～84被支承为能够以固定端81a～84a为起点沿长尺寸状物件的长度方向进行热膨胀或热收缩。

优选：安装于固定用的螺钉孔的固定螺钉的紧固扭矩大于安装于支承用的螺钉孔的支承螺钉的紧固扭矩。由此，能够可靠地固定环构成零件81～84的固定端81a～84a，还有能够松动地支承自由端81b～84b来确保其热膨胀时或热收缩时的移动。

固定螺钉的紧固扭矩例如与第一实施方式一样，例如为8×(1±0.05)kgf·cm(0.75～0.8N·m)左右，支承螺钉的紧固扭矩例如比固定螺钉的紧固扭矩小少许，例如为6～8kgf·cm(0.6～0.8N·m)左右。其中，当需要限制膨胀的延伸量时等中，可以将这些扭矩在陶瓷不破损的程度的范围内进一步紧固，由此能够限制屏蔽环的移动。

通过将各环构成零件81～84如图8所示的方式配置，在各环构成零件81～84的热膨胀或热收缩时的自由端81b～84b的移动方向上不存在相邻的环构成零件，因此，不妨碍自由端的移动。由此，能够防止热膨胀时的相邻的环构成零件彼此的挤压，并防止屏蔽环15的变形的产生以及热收缩引起的屏蔽环15和基板载置面13a之间的间隙的产生。

在本实施方式中，根据尽量消除基板载置面与环构成零件的抵接部的间隙来阻止等离子体进入基板载置面的观点，被构成为：避免难以得到制作精度的圆弧面与圆弧面的抵接部，基板载置面的倒角面以及与该倒角面抵接的构成零件面各自呈平面。

即，如图8所示，矩形的基板载置面13a的角部分别被实施平面的倒角处理，在各倒角面和各构成零件81～84的一端的端面以及相邻的其他的构成零件的一端的端面的接合部即屏蔽环15的角部的间隙，装配有具有与基板载置面的倒角面抵接的平面的三角柱状的间隙嵌合部件87。

另外，即使在本实施方式中，作为用于使各环构成零件81～84固定或可位移地支承于基材13的安装方法，当然并不限定于螺钉，能够使用在第一实施方式的说明中记载的各种方法。

图9是表示适用于第四实施方式的间隙嵌合部件87的立体图。

在图9中，该间隙嵌合部件87，与各构成零件81～84独立地形成。间隙嵌合部件87装配到由各自被实施倒角处理的基板载置面13a的各角部的倒角面与屏蔽环15的角部包围的间隙，将该间隙消除，其高度，例如未与构成基板载置面13a的凸状部的高度(参照图2)相当的高度或比其低少许的高度。

这样的具有间隙嵌合部件87的屏蔽部件，以包围矩形的基板载置面13a的周围的方式配置并形成基板载置台。

根据本实施方式，对基材13的矩形的基板载置面13a的四个角部分别被实施平面的倒角处理，并具有对各倒角面与屏蔽环15的角部的间隙进行填埋的三角柱状的间隙嵌合部件87，因此能够将圆弧面彼此的抵接面消除，使得构成零件的形状单纯化，由此，提高制作精度。另外，能够将圆弧面彼此的抵接面消除，使其为平面彼此的抵接面，因此，能够将部件相互的偏移引起产生的间隙尽可能消除，更加有效地防止等离子体的进入引起的电极面的损伤。

另外，在本实施方式中，作为被处理基板例如适合使用作为用于定位的定向对一个角部进行了倒角的矩形的基板，但是在该情况下，使基板载置于基板载置面13a时，若在基板载置面13a与基板之间产生位置偏移，通常，间隙嵌合部件87的上部平面比基板载置面13a先露出。因此，例如即使在基板载置面13a与基板之间产生位置偏移，也能够避免等离子体进入基板载置面13a的喷镀表面，防止其损伤。另外，对四个角部均实施倒角处理，是为了也能够适用于定向的位置由于基板的处理内容等情况发生了改变的情况。另外，在间隙嵌合部件87发生损伤时，通过仅交换该间隙嵌合部件87，由此能够角容易地应对。另外，在本实施方式中，能够在各构成零件81～84的抵接部形成台阶结构的嵌合部，在形成该嵌合部的情况下，嵌合部的结构与第二实施方式相同，在间隙嵌合部件87的下方设置有与图6的嵌套部件65相同的部件，间隙嵌合部件87载置于基材13。

另外，根据本实施方式，使间隙嵌合部件87为上下对称的三角柱状，在使该间隙嵌合部件87装配于基板载置面13a的平面状的倒角面和屏蔽环15的角部之间的间隙时，不需要考虑上下方向的朝向。因此，制作具有该屏蔽环15的基板载置台比较容易。

在本实施方式中，环构成零件81～84由绝缘性的陶瓷例如氧化铝(Al₂O₃)、氧化钇、氮化硅、石英等构成。环构成零件81～84的固定用螺钉孔85优选位于距离该环构成零件尽可能近的位置，优选设置为例如30～40mm或其以下。当与固定用螺钉孔85的固定端端面的间隔过大时，该部分的热膨胀不能无视，在各环构成零件的固定端和与该固定端抵接的其他的环构成零件的接合面产生变形。

接着，说明第四本实施方式的第一变形例。

图10是表示第四本实施方式的第一变形例中的间隙嵌合部件的立体图。

在图10中，间隙嵌合部件88与图9的间隙嵌合部件87不同的地方是：在间隙嵌合部件88的一端设置具有圆弧面88a的凸部，用于在该间隙嵌合部件88装配到基板载置面13a的形成于各角部的平面的倒角面与屏蔽环15的角部之间的间隙时，使基板载置面13a的各角部的形状为，在外观上与由圆弧面对基板载置面13a的角部进行过倒角时的形状相同的形状。即，在间隙嵌合部件88的一端面，形成有直线88b和圆弧88c包围的面以规定的高度突出的凸部，固定该凸部的高度的面为圆弧面88a。

这种结构的间隙嵌合部件88，被装配到基板载置面13a的形成于各角部的平面的倒角面和屏蔽环15的角部之间的间隙，由此形成基板载置台。

即使在本实施方式的变形例中，也与上述实施方式相同，将圆弧面彼此的接合部消除，使其为平面彼此的接合面，因此，能够将部件相互的偏移引起产生的间隙尽可能消除，更加有效地防止等离子体的进入引起的电极面的损伤。

另外，根据本实施方式的变形例，以基板载置面13a的四个角部的倒角面和在一边包含间隙嵌合部件88的直线88a的矩形平面抵接方式组合，因此，使基板载置面13a的角部的形状呈在外观上与通过圆弧面进行过倒角处理时的形状相同的形状。通过使间隙嵌合部件88为R面，能够防止角部的破损。另外，因为在设置间隙嵌合部件88时，外观上与现有的基板载置面的形状相同，因此具有对于基板的温度控制等，能够在现有装置原样地适用被调整的各种处理条件。

在本实施方式的变形例中，优选：具有圆弧面88a的凸部的端面，位于与基板载置面13a同一平面或比基板载置面13a退后。由此，能够稳定地支持载置于基板载置面13a的基板。

接着，说明第四实施方式的第二变形例。

图11是表示适用于本实施方式的第二变形例的环构成零件的俯视图。

在图11中，在该环构成零件91的固定端91a的侧面设置有突起部91c，用于对被平面倒角处理过的基板载置面13a的角部的倒角面和屏蔽环15的角部之间的间隙进行填埋。

这种结构的环构成零件91如图8所示的方式组合来形成屏蔽环15。

根据本实施方式的变形例，通过环构成零件91的突起部91c，能够填埋倒角面和屏蔽环15的之间的间隙，因此能够有效地防止等离子体从该间隙进入引起的下部电极12的异常放电、腐蚀等的产生。

在上述的各实施方式中，实施等离子体处理的基板不仅仅是液晶显示器(LCD)用的玻璃基板，也可以是以有机电致发光(ElectroLuminescence：EL)显示器、等离子体显示器面板(PDP)等为首的FPD(Flat Panel Display)使用的各种基板。

另外，在上述的各实施方式中，对于使用平行平板电极的电容耦合型的等离子体产生方式进行了说明，但即使是感应结合型等离子体产生方式等其他的等离子体产生方式的装置，只要是具有基板的载置台和屏蔽环或与其相当的部件的装置，就当然能够适用本发明。

Claims (19)

1.一种屏蔽部件的构成零件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的矩形的载置面的周围的方式设置，所述屏蔽部件的构成零件的特征在于：

包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，

具有设置在该长尺寸状物件的长度方向的一端的固定部；和在所述长尺寸状物件的长度方向与该固定部离开设置的至少一个引导部，

一端被作为所述固定部的固定用的螺钉孔固定于所述载置台的基材，另一端通过作为所述至少一个引导部的支承用的螺钉孔可自由移位地被支承，以所述被固定的一端为起点沿所述长尺寸状物件的长度方向能够进行热膨胀或热收缩。

2.如权利要求1所述的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：

所述固定用的螺钉孔，在具有该固定用的螺钉孔的平面上为圆形，所述支承用的螺钉孔，在具有该支承用的螺钉孔的平面上，为在所述长尺寸状物件的长度方向上较长的椭圆形或两端为半圆的矩形。

3.如权利要求1或2所述的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：

所述矩形的载置面的角部分别被实施圆弧面的倒角处理，在所述长尺寸状物件的一端的侧面设置有突起部，所述突起部具有与所述倒角过的所述载置面的角部抵接的圆弧面。

4.如权利要求1或2所述的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：

所述矩形的载置面的角部分别被实施平面的倒角处理，在所述长尺寸状物件的一端的侧面设置有突起部，所述突起部具有与所述倒角过的所述载置面的角部抵接的平面。

5.如权利要求1或2所述的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：

所述长尺寸状物件的与所述矩形的载置面相对的侧面是没有突起部的平面。

6.如权利要求1或2所述的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：

所述长尺寸状物件具有突出部，用于在与其他的长尺寸状物件组合形成屏蔽部件时形成台阶结构的嵌合部。

7.一种屏蔽部件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的矩形的载置面的周围的方式设置，所述屏蔽部件的特征在于：

包括构成零件的组合体，

所述构成零件包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，

具有设置在该长尺寸状物件的长度方向的一端的固定部；和在所述长尺寸状物件的长度方向与该固定部离开设置的至少一个引导部，

以所述各构成零件的长度方向的一端的端面与相邻的其他的构成零件的长度方向的一端的侧面抵接，另一端的侧面与和所述相邻的其他构成零件不同并相邻的另外的构成零件的长度方向的一端的端面抵接的方式分别组合，

所述各构成零件的长度方向的一端通过所述固定部固定于所述载置台的基材，另一端通过所述至少一个引导部可自由移位地被支承，所述各构成零件按照以所述被固定的一端为起点沿所述长尺寸状物件的长度方向能够进行热膨胀或热收缩的方式排列。

8.如权利要求7所述的屏蔽部件，其特征在于：

使得在作为所述固定部的固定用的螺钉孔安装的固定螺钉的紧固扭矩大于在作为所述引导部的支承用的螺钉孔安装的支承螺钉的紧固扭矩。

9.如权利要求7所述的屏蔽部件，其特征在于：

在所述各构成零件的长度方向的一端的端面与所述相邻的其他的构成零件的长度方向的一端的侧面的抵接部，形成有台阶结构的嵌合部，阻止来自垂直方向和水平方向的等离子体进入所述基板载置面。

10.如权利要求9所述的屏蔽部件，其特征在于：

所述台阶结构的一部分包括：具有游隙地嵌入至在所述各构成零件的一端的端面与所述相邻的其他的构成零件的所述一端的侧面的抵接部形成的凹部的嵌套部件。

11.如权利要求10所述的屏蔽部件，其特征在于：

在所述凹部和所述嵌套部件部之间设置有间隙，对所述各构成零件的沿长度方向的热膨胀或热收缩引起的位移进行吸收。

12.如权利要求11所述的屏蔽部件，其特征在于：

所述凹部中的所述嵌套部件的插入口，通过由侧屏蔽部件密闭而阻止等离子体进入所述凹部内。

13.如权利要求7至12中任一项所述的屏蔽部件，其特征在于：

所述矩形的载置面的角部分别被实施圆弧面的倒角处理，在所述各构成零件的一端的侧面设置有突起部，该突起部具有与所述被倒角过的所述载置面的角部抵接的圆弧面。

14.如权利要求7至12中任一项所述的屏蔽部件，其特征在于：

所述矩形的载置面的角部分别被实施平面的倒角处理，在所述各构成零件的一端的侧面设置有突起部，该突起部具有与所述被倒角过的所述载置面的角部抵接的平面。

15.如权利要求7至12中任一项所述的屏蔽部件，其特征在于：

所述矩形的载置面的角部分别被实施圆弧面的倒角处理，包括对各倒角面与所述各构成零件的一端的端面以及相邻的其他的构成零件的所述一端的侧面的接合部的间隙进行填埋的、具有与所述构成零件独立的圆弧面的间隙嵌合部件。

16.如权利要求7至12中任一项所述的屏蔽部件，其特征在于：

所述矩形的载置面的角部被分别实施平面的倒角处理，包括对各倒角面与所述各构成零件的一端的端面以及相邻的其他的构成零件的所述一端的侧面的接合部的间隙进行填埋的、具有与所述构成零件独立的平面的三角柱状的间隙嵌合部件。

17.如权利要求16所述的屏蔽部件，其特征在于：

在所述三角柱状的间隙嵌合部件的一端形成有凸部，所述凸部具有圆弧面，用于在该三角柱状的间隙嵌合部件嵌合至在所述载置面的各角部形成的平面的倒角面与所述各构成零件的一端的端面以及相邻的其他的构成零件的所述一端的侧面的接合部的间隙时，使得所述载置面的各角部的形状为，在外观上与对所述载置面的角部实施圆弧面的倒角处理时的形状相同的形状。

18.如权利要求17所述的屏蔽部件，其特征在于：

具有所述圆弧面的凸部的端面，位于与所述载置面同一平面上或者比所述载置面退后。

19.一种基板载置台，其特征在于：

具有如权利要求7至12中的任一项所述的屏蔽部件。

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