JP6907716B2 - 積層型インダクタ - Google Patents
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磁性体および導体を含む積層型インダクタであって、
前記磁性体はFeおよびNiを含む軟磁性合金粒子を含み、
前記軟磁性合金粒子が、複数の結晶子と、前記結晶子同士の間にある結晶粒界と、からなり、
前記結晶粒界に高抵抗層が存在することを特徴とする。
前記MがCo,Cr,Mn,Ti,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,Al,Zn,S,NおよびOから選択される一種以上であってもよい。
まず、Fe−Ni合金、Fe単体、Ni単体、Co単体、Cr単体、Mn単体およびSi単体のインゴット、チャンク、またはショットを準備した。次にそれらを、表1に示す組成となるよう混合して、水アトマイズ装置内に配置されたルツボに収容した。次いで、不活性雰囲気中、ルツボ外部に設けたワークコイルを用いて、ルツボを高周波誘導により1500℃以上まで加熱し、ルツボ中のインゴット、チャンク又はショットを溶融、混合して融液を得た。
熱処理後の軟磁性合金粉に対し、バインダとしてのアクリル樹脂を添加し造粒粉を作製した。なお、各実施例および比較例の軟磁性合金成分に応じてアクリル樹脂の種類および添加量を適宜決定した。この造粒粉を用いて、外径13mm×内径6mm×高さ3mmであるトロイダル形状となるように、成形圧6ton/cm2で成形した。 次に、大気雰囲気下で、成形体を400℃に保持して脱バインダした後、大気雰囲気下で、脱バインダ後の成形体を焼成温度700℃、焼成時間1時間の条件で焼成し、トロイダル形状の圧粉磁芯を得た。
熱処理後の軟磁性合金粉を、溶媒、バインダ等の添加物と共にスラリー化し、ペーストを作製してグリーンシートを形成した。このグリーンシート上に所定パターンのAg導体(コイル導体)を形成し、積層することにより、2.0mm×1.6mm×1.0mm形状のグリーンの積層インダクタを作製した。
(高抵抗層観察)
結晶粒界に高抵抗層が存在するか否か、および、高抵抗層に含まれる元素の種類は、TEM(日本電子製:JEM−2100F)を用いて圧粉磁芯を切断して得られる断面を観察し、かつ、EDSを用いて元素マッピング分析することで特定した。結果を表1に示す。なお、本実施例では、圧粉磁芯を切断して得られる断面において、少なくとも10個の軟磁性合金粒子を観察した。そして、結晶粒界に高抵抗層が存在する軟磁性合金粒子の個数を数え、結晶粒界に高抵抗層が存在する軟磁性合金粒子の割合が個数ベースで80%以上である場合に、当該軟磁性合金粒子に高抵抗層が存在するとした。
粒子表面に酸化被膜が形成されているか否かについて観察した。
密度はアルキメデス法により測定した。6.00g/cm3以上を良好とした。
各実施例および比較例の圧粉磁芯における比抵抗は、圧粉磁芯の両面にIn−Ga電極を塗布した後、ウルトラハイレジスタンスメーター(ADVANTEST社製:R8340)を用いて測定した。結果を表1に示す。なお、本実施例では比抵抗1.0×103Ωm以上を良好とし、1.0×104Ωm以上をさらに良好とした。
各実施例および比較例の積層型インダクタについて、周波数2MHzでのインダクタンスLおよびQ値を測定した。インダクタンスLおよびQ値の測定にはLCRメーター(HEWLETT PACKARD社製:4285A)を用いた。結果を表1に示す。なお、本実施例ではインダクタンスLが0.70μH以上である場合を良好とし、1.00μH以上である場合をさらに良好とした。また、Q値が40以上である場合を良好とし、50以上である場合をさらに良好とした。
各実施例および比較例の圧粉磁芯について、超微小押し込み硬さ試験機(エリオニクス社製:ENT1100a)を用いてビッカース硬度を測定した。結果を表1に示す。圧粉磁芯の成形容易性の観点から、ビッカース硬度は低いほど好ましい。本実施例では、ビッカース硬度が250HV以下である場合を良好とし、180HV以下である場合をさらに良好とした。ただし、ビッカース硬度は250HV超であってもよい。
2a・・・(軟磁性合金)粒子表面
4・・・結晶子
4a・・・結晶粒界
11・・・積層型インダクタ
12・・・素子
13・・・端子電極
14・・・磁性体
15・・・コイル導体
15a,15b・・・引出電極
Claims (5)
- 磁性体および導体を含む積層型インダクタであって、
前記磁性体はFeおよびNiを含む軟磁性合金粒子を含み、
前記軟磁性合金粒子におけるFeの含有割合が39.5質量%以上61.5質量%以下であり、
前記軟磁性合金粒子が、複数の結晶子と、前記結晶子同士の間にある結晶粒界と、からなり、
前記結晶粒界に高抵抗層が存在することを特徴とする積層型インダクタ。 - 前記軟磁性合金粒子がさらにSiを含む請求項1に記載の積層型インダクタ。
- 前記高抵抗層がSiを含む請求項1または2に記載の積層型インダクタ。
- 前記軟磁性合金粒子がさらにSiおよびMを含み、
前記MがCo,Cr,Mn,Ti,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,Al,Zn,S,NおよびOから選択される一種以上である請求項1〜3のいずれかに記載の積層型インダクタ。 - 前記軟磁性合金粒子がさらにSiおよびCoを含む請求項1〜4のいずれかに記載の積層型インダクタ。
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JP2017107817A JP6907716B2 (ja) | 2017-05-31 | 2017-05-31 | 積層型インダクタ |
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