JP6902787B2 - 超音波発生装置、振動板ユニット - Google Patents
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Description
以下、本発明を超音波洗浄装置に具体化した第1実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
以下、本発明を具体化した第2実施形態を図面に基づいて説明する。ここでは、前記第1実施形態と相違する部分を中心に説明する。本実施形態では、共振子の構造が前記第1実施形態とは異なっている。
以下、本発明を具体化した第3実施形態を図面に基づいて説明する。ここでは、前記第1実施形態と相違する部分を中心に説明する。本実施形態では、共振子の構造が前記第1実施形態とは異なっている。
11…処理槽としての洗浄槽
12…振動板ユニット
13,71…振動板
14…被洗浄物
15…放射面
16,72…非放射面
17…超音波発振器
21,73…超音波振動子
31,51,61,74,81,82…共振子
32,52,62…接合面
34,54,64…共振子の接合端
35,55,65…共振子の自由端
A1…共振子の長さ方向における中央部の外径
A2…共振子の接合端における外径
A3…共振子の自由端における外径
O2…接合面の中心
W1…洗浄液
Claims (9)
- 超音波を放射する放射面、及び、前記放射面の反対側に位置する非放射面を有する振動板と、
前記振動板の非放射面における複数箇所に散点的に接合され、前記超音波を照射する複数の超音波振動子と、
前記超音波振動子を連続的に振動させる高周波電力を供給する超音波発振器と、
前記振動板の非放射面において、複数の前記超音波振動子に取り囲まれた位置に接合される共振子と
を備え、
前記超音波振動子は、縦1次振動モードで振動する縦振動型の振動子であり、
前記共振子は、前記超音波振動子と同じ周波数及び縦振動モードで共振する共振子である
ことを特徴とする超音波発生装置。 - 前記共振子は、前記非放射面と面接合する接合面を有し、
前記共振子は、同共振子を取り囲む複数の前記超音波振動子から前記接合面の中心までの距離が互いに等しくなる位置に接合される
ことを特徴とする請求項1に記載の超音波発生装置。 - 前記超音波振動子はボルト締めランジュバン型振動子であり、前記共振子は柱状をなしていることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波発生装置。
- 前記共振子は、接合端から自由端に亘って外径が等しくなっていることを特徴とする請求項3に記載の超音波発生装置。
- 前記共振子は、接合端の外径に比べて自由端の外径が小さくなっていることを特徴とする請求項3に記載の超音波発生装置。
- 前記共振子は、同共振子の長さ方向における中央部の外径が、接合端及び自由端における外径よりも小さく設定されていることを特徴とする請求項3に記載の超音波発生装置。
- 前記共振子の長さは、前記共振子の外径よりも大きいことを特徴とする請求項3乃至6のいずれか1項に記載の超音波発生装置。
- 前記超音波発生装置は、処理槽の底部を構成する前記振動板に接合された前記超音波振動子から前記処理槽内の洗浄液に超音波を照射することにより、被洗浄物の表面を洗浄する超音波洗浄装置であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の超音波発生装置。
- 超音波を放射する放射面、及び、前記放射面の反対側に位置する非放射面を有する振動板と、
前記振動板の非放射面における複数箇所に散点的に接合され、前記超音波を照射する複数の超音波振動子と、
前記振動板の非放射面において、複数の前記超音波振動子に取り囲まれた位置に接合される共振子と
を備え、
前記超音波振動子は、縦1次振動モードで振動する縦振動型の振動子であり、
前記共振子は、前記超音波振動子と同じ周波数及び縦振動モードで共振する共振子である
ことを特徴とする振動板ユニット。
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- 2017-09-28 JP JP2017187364A patent/JP6902787B2/ja active Active
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