JP6900181B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出して記録媒体に記録を行う液体吐出装置に関する。より詳細には、液体収容容器と液体吐出ヘッドとの間でインクを循環させる循環型液体吐出装置に関する。

インクジェット記録装置に代表される、液体収容容器と液体吐出ヘッドとの間でインクを循環させる循環型液体吐出装置が知られている。このような循環型液体吐出装置には、複数の記録素子基板がページ幅に渡って配置された、ライン型（ページワイド型）液体吐出ヘッドを搭載したものがある。

上記のような液体吐出装置において、各吐出口近傍のインクに印加される圧力に、圧力差が発生する場合がある。例えば、商業印刷向けに開発された長尺の液体吐出ヘッドには、多量のインクが供給されるため、印刷Ｄｕｔｙに応じて各吐出口近傍に圧力差が発生しやすくなる。また例えば、循環型液体吐出装置では、循環ポンプが脈動することにより発生する圧力変動が、各吐出口近傍の圧力差に影響を及ぼすことがある。各吐出口近傍に圧力差の影響が生じた状態で印刷を行うと、各吐出口から吐出されるインク滴体積が不均一となり、印刷画像に濃度ムラが発生するなど、画質が劣化してしまう。

一方で、近年、吐出口近傍でのインク増粘による吐出への影響の対策や流路中の泡対策として、液体吐出ヘッド内にインク供給経路とインク回収経路とを設け、供給経路と回収経路に圧力差を生じさせることで吐出口を通過するインク流れを生じさせる形態のヘッドが提案されている。例えば特許文献１に記載の液体吐出装置では、複数の圧力制御機構を用いて、インク供給経路とインク回収経路とを異なる圧力に制御する液体吐出装置が提案されている。特許文献１の液体吐出装置は、インク供給経路とインク回収経路との間で発生する差圧により、液体吐出ヘッド内でインクを循環させつつ、各吐出口近傍のインクに印加される圧力を一定範囲に維持することができる。

米国特許出願公開第２０１３／０１６９７１０号明細書

しかしながら特許文献１の構成では、ヘッドからのインク吐出の影響によって記録素子基板内の循環流量が変動又は停止してしまうという課題がある。例えば、循環流量を吐出流量の最大値よりも低く設定する場合、印字Ｄｕｔｙの増加とともに循環流量が減少または停止してしまうという問題が発生する。

また特許文献１では複数の記録素子基板に対して一組の圧力調整機構を並列接続しているため、例えば、一つの記録素子基板を除いた他の記録素子基板が全て高Ｄｕｔy印字を行う場合、休止している記録素子基板内における循環流量が減少又は停止してしまうという問題が発生する。

記録素子基板内の循環流量を吐出流量の最大値よりも十分大きく設定すれば、上述のような吐出状態による循環流量の変動を相対的に小さくすることができる。しかしながら、特にサーマル方式やシアーモードを用いるピエゾ方式など、吐出に伴う発熱が大きい記録素子を用いたヘッドにおいては、循環流量を大きくするとチップからの排熱量が大きくなってしまい、循環経路に大型の冷却器が必要になるために、印字装置本体のコストアップや冷却電力の増加といった問題が生じる。

本発明の液体吐出装置は、液体を収容する液体収容容器と、液体を循環経路に循環させる循環機構と、前記液体収容容器と流体接続され、複数の吐出口を有する液体吐出ヘッドと、を備える液体吐出装置であって、前記液体吐出ヘッドは、少なくとも一対の共通流路と、前記一対の共通流路のうち一方の共通流路と他方の共通流路とを接続し、前記複数の吐出口と各々連通する複数の個別流路と、を有し、前記一対の共通流路における各々の上流側又は下流側には、互いに異なる制御圧に設定される少なくとも一対の圧力調整機構が接続され、前記圧力調整機構は、少なくとも１つの定流量弁機構を備えることを特徴とする。

本発明によれば、循環型液体吐出装置において、高画質な画像を印刷することができる。

実施形態１における液体吐出装置の概略構成図である。 実施形態１における第１循環形態を示す模式図である。 実施形態１における第２循環形態を示す模式図である。 実施形態１における液体吐出ヘッドへのインクの流入量の違いを示す概略図である。 実施形態１における液体吐出ヘッドを示す斜視図である。 実施形態１における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１における流路部材を示す図である。 図７におけるα部の拡大透視図である。 図８におけるＩＸ−ＩＸの断面を示す図である。 実施形態１における吐出モジュールを示す図である。 実施形態１における記録素子基板を示す図である。 図１１（ａ）におけるＸＩＩ−ＸＩＩの断面を示す斜視図である。 実施形態１における記録素子基板の部分拡大図である。 実施形態１における第１循環形態の圧力調整機構を示す図である。 実施形態１における流抵抗Ｒと弁開度との関係を示す図である。 実施形態１における第２循環形態の圧力調整機構を示す図である。 実施形態１におけるインク充填時の圧力調整機構の断面図である。 変形例１における共通流路の圧力変化を示す遷移図である。 変形例２における共通流路の圧力変化を示す遷移図である。 実施形態１における液体吐出ヘッドの圧力変動を比較した模式図である。 実施形態２における液体吐出装置の概略構成図である。 実施形態２における液体吐出ヘッドを示す斜視図である。 実施形態２における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 実施形態２における流路部材を示す図である。 実施形態２における記録素子基板近傍の拡大透視図である。 図２５におけるＸＸＶＩ−ＸＸＶＩの断面を示す図である。 実施形態２における吐出モジュールを示す図である。 実施形態２における記録素子基板を示す図である。 変形例３における循環形態を示す模式図である。 変形例４における循環形態を示す模式図である。 変形例５における循環形態を示す模式図である。 変形例６における循環形態示す模式図である。 変形例５及び６における定流量弁の構造を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の各実施形態や各変形例について説明する。尚、インク等の液体を吐出する本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置に適用可能である。さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷や半導体基板作製などの用途としても用いることができる。

また、以下に述べる各実施形態や各変形例は、本発明の適切な具体例であるから、技術的に好ましい様々の限定が付けられている。しかし、本発明の思想に沿うものであれば、本適用例および実施形態は、本明細書の適用例、実施形態、その他の具体的方法に限定されるものではない。

（実施形態１）
（液体吐出装置の説明）
図１は、本発明の記録液体（以下「液体」とも記す）を吐出する液体吐出装置、特にはインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置に代表される液体吐出装置（以下、記録装置とも称す）１０００の概略構成を示した図である。液体吐出装置１０００は、記録媒体２を搬送する搬送部１と、記録媒体２の搬送方向と略直交して配置されるライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッド３とを備え、複数の記録媒体２を連続もしくは間欠に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。液体吐出ヘッド３は、循環経路内の圧力（負圧および正圧）を制御する圧力制御ユニット２３０と、液体供給ユニット２２０と、液体供給ユニット２２０へのインクの供給および排出口となる液体接続部１１１と、筺体８０とを備えている。記録媒体２は、カット紙に限らず、連続したロール媒体であってもよい。液体吐出ヘッド３は、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫのインクによるフルカラー記録が可能であり、液体を液体吐出ヘッド３へ供給する供給路である液体供給手段、メインタンクおよびバッファタンク（後述する図２参照）が流体的に接続される。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。液体吐出ヘッド３内における液体経路および電気信号経路については後述する。

液体吐出装置１０００は、インク等の液体を後述するタンクと液体吐出ヘッド３との間で循環させる形態の液体吐出装置である。その循環の形態は、液体吐出ヘッド３の下流側で２つの循環ポンプ（高圧用、低圧用）を可動することで循環させる第１循環形態と、液体吐出ヘッド３の上流側で２つの循環ポンプ（高圧用、低圧用）を可動することで循環させる第２循環形態とがある。以下、この循環の第１循環形態と第２循環形態とについて説明する。

（第１循環形態の説明）
図２は、本実施形態の液体吐出装置１０００に適用される循環経路の第１循環形態を示す模式図である。液体吐出ヘッド３は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２およびバッファタンク１００３等に流体接続されている。なお図２では、説明を簡略化するため、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫのインクの内の１色のインクが流動する経路のみを示しているが、実際には４色分の循環経路が、液体吐出ヘッド３および記録装置本体に設けられる。

第１循環形態では、メインタンク１００６に収容されるインクは、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給され、その後、第２循環ポンプ１００４によって液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３の液体供給ユニット２２０に供給される。なお、本実施形態において、メインタンク１００６およびバッファタンク１００３は、記録液体を収容する液体収容容器に相当する。その後、液体供給ユニット２２０に接続された圧力制御ユニット２３０で異なる２つの圧力（高圧、低圧）に調整されたインクは、高圧側と低圧側の２つの流路に分かれて循環する。なお、本実施形態において、圧力制御ユニット２３０は、異なる２つの負圧を制御する態様について説明するが、後述の変形例においては、圧力制御ユニット２３０が、正圧および負圧を制御する態様について説明する。液体吐出ヘッド３内のインクは、液体吐出ヘッド３の下流にある第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド内を循環し、液体吐出ヘッド３から排出されてバッファタンク１００３に戻る。なお、本実施形態において、第１循環ポンプ１００１、１００２と、第２循環ポンプ１００４と、圧力制御ユニット２３０とは、第１循環形態における循環機構に相当する。

サブタンクであるバッファタンク１００３は、メインタンク１００６と接続され、タンク内部と外部とを連通する不図示の大気連通口を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。バッファタンク１００３とメインタンク１００６との間には、補充ポンプ１００５が設けられている。補充ポンプ１００５は、インクを吐出しての記録や吸引回復等、液体吐出ヘッド３の吐出口からインクを吐出（排出）することによって消費されたインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。

２つの第１循環ポンプ１００１、１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１から液体を引き出してバッファタンク１００３へ流す。第１循環ポンプとしては、定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。具体的にはチューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等が挙げられるが、例えば一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態であってもよい。また、流量センサーを循環経路内に設けて、センサー出力値に基づいて、本体内の制御回路からポンプの回転数を制御して一定流量を確保する形態も好ましく用いることができる。これらの実施形態の詳細は後述する。液体吐出ヘッド３の駆動時には、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２を稼働することによって、それぞれ共通供給流路２１１、共通回収流路２１２内を所定流量のインクが流れる。このようにインクを流すことで、記録時の液体吐出ヘッド３の温度を最適の温度に維持している。液体吐出ヘッド３駆動時の所定流量は、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が記録画質に影響しない程度に維持可能である流量以上に設定することが好ましい。もっとも、あまりに大きな流量に設定すると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧損の影響により、各記録素子基板１０で負圧差が大きくなり画像の濃度ムラが生じてしまう。そのため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながら流量を設定することが好ましい。

圧力制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路に設けられている。この圧力制御ユニット２３０は、単位面積あたりの吐出量の差等によって循環系におけるインクの流量が変動した場合でも、圧力制御ユニット２３０よりも下流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力を予め設定した一定圧力に維持するように動作する。圧力制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構としては、圧力制御ユニット２３０よりも下流の圧力を、所望の制御圧を中心とした一定の範囲以下の変動で制御できるものであれば、どのような圧力調整機構を用いてもよい。一例としては所謂「減圧弁・減圧レギュレータ」と呼ばれる減圧機構を採用することができる。本実施形態における循環流路では、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して圧力制御ユニット２３０の上流側を加圧している。このようにすると、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、液体吐出装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。

第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用するインク循環流量の範囲において、一定圧以上の揚程圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプなどを使用できる。具体的には、ダイヤフラムポンプ等が適用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば圧力制御ユニット２３０に対してある一定の水頭差をもって配置された水頭タンクでも適用可能である。図２に示したように圧力制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、相対的に高圧設定側（図２でＨと記載）、相対的に低圧側（図２でＬと記載）は、それぞれ、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１、共通回収流路２１２に接続されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、各記録素子基板と連通する個別流路２１５（個別供給流路２１３、個別回収流路２１４）が設けられている。共通供給流路２１１には、圧力調整機構Ｈが、共通回収流路２１２には圧力調整機構Ｌが接続されており、２つの共通流路間に差圧が生じている。個別流路２１５は、一対の共通流路のうち一方の共通供給流路２１１と他方の共通回収流路２１２とを接続し、記録素子基板１０の吐出口１３と連通している。かかる構成により、液体の一部が、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収流路２１２へと流れる流れ（図２の矢印）が発生する。

このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内をそれぞれ通過するように液体を流しつつ、一部の液体が各記録素子基板１０内を通過するような流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を共通供給流路２１１および共通回収流路２１２を流れるインクによって記録素子基板１０の外部へ排出することができる。またこのような構成により、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口や圧力室においてもインクの流れを生じさせることができる。これによって、吐出口内で増粘したインクの粘度を低下させることで、インクの増粘を抑制することができる。また、増粘したインクやインク中の異物を共通回収流路２１２へと排出することができる。このため、本実施形態の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な記録が可能となる。

（第２循環形態の説明）
図３は、本実施形態の記録装置に適用される循環経路のうち、上述した第１循環形態とは異なる循環形態である第２循環経路を示す模式図である。前述の第１循環形態との主な相違点は、圧力制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構が共に、圧力制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を、所望の設定圧を中心として一定範囲内の変動で制御する点である。また、第１循環形態との相違点として、第２循環ポンプ１００４が圧力制御ユニット２３０の下流側を減圧する負圧源として作用する点がある。更に、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置され、圧力制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されている点も相違する点である。

第２循環形態では、メインタンク１００６内のインクは、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給される。その後インクは２つの流路に分けられ、液体吐出ヘッド３に設けられた圧力制御ユニット２３０の作用で高圧側と低圧側の２つの流路で循環する。高圧側と低圧側の２つの流路に分けられたインクは、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド３に液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３に供給される。その後、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド内を循環したインクは、圧力制御ユニット２３０を経て、液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３から排出される。排出されたインクは、第２循環ポンプ１００４によってバッファタンク１００３に戻される。なお、本実施形態において、第１循環ポンプ１００１、１００２と、第２循環ポンプ１００４と、圧力制御ユニット２３０とは、第２循環形態における循環機構に相当する。

第２循環形態で圧力制御ユニット２３０は、単位面積あたりの吐出量の変化によって生じる流量の変動があっても、圧力制御ユニット２３０の上流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力変動を予め設定された圧力を中心として一定範囲内に安定させる。圧力制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構としては、圧力制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を、所望の制御圧を中心とした一定範囲以下の変動で制御できるものであれば、どのような圧力調整機構を用いてもよい。一例としては所謂「背圧弁・背圧レギュレータ」と呼ばれる背圧機構を採用することができる。本実施形態の循環流路では、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して圧力制御ユニット２３０の下流側を加圧している。このようにすると液体吐出ヘッド３に対するバッファタンク１００３の水頭圧の影響を抑制できるので、液体吐出装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの選択幅を広げることができる。第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば圧力制御ユニット２３０に対して所定の水頭差をもって配置された水頭タンクであっても適用可能である。第２循環形態は第１循環形態と同様に、圧力制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、高圧設定側（図３で２３０Ｈと記載）、低圧設定側（図３で２３０Ｌと記載）はそれぞれ、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１および共通回収流路２１２に接続されている。２つの負圧調整機構により、共通供給流路２１１の圧力を共通回収流路２１２の圧力より相対的に高くすることで、共通供給流路２１１から個別流路２１５および各記録素子基板１０の内部流路を介して共通回収流路２１２へと流れるインク流れが発生する。

このような第２循環形態では、液体吐出ユニット３００内には第１循環形態と同様のインク流れ状態が得られるが、第１循環形態の場合とは異なる２つの利点がある。１つ目の利点は、圧力制御ユニット２３０に混入するゴミや異物が液体吐出ヘッド３へ流入することを防ぐことである。すなわち、第２循環形態では圧力制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置され、後述のフィルタ２２１が液体吐出ヘッド３の上流側に配置されている。そのため、第１循環ポンプ１００１、１００２および第２循環ポンプ１００４の稼動により、循環経路にインクを循環させる際に、圧力制御ユニット２３０に混入する異物を液体から取り除き、液体吐出ヘッド３に異物が流入することを防ぐことができる。第２循環形態では、圧力調整ユニットは液体吐出ヘッド３の下流側に配置されている。従って、圧力調整機構を構成する弁（バルブ）が開閉することなどにより、万一異物が循環経路に混入したとしても、液体吐出ヘッド３に到達する前に、混入した異物はフィルタ２２１によって取り除かれる。２つ目の利点は、第２循環形態では、バッファタンク１００３から液体吐出ヘッド３へ供給する必要流量の最大値が、第１循環形態の場合よりも少なくて済むことである。その理由は次の通りである。

記録待機時に循環している場合の、共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、および個別流路２１５内の流量の合計を流量Ａとする。流量Ａの値は、記録待機中に液体吐出ヘッド３の温度調整にあたり、液体吐出ユニット３００内の温度差を所望の範囲内にするために必要な最小限の流量として定義される。また液体吐出ユニット３００の全ての吐出口からインクを吐出する場合（全吐出時）の吐出流量を流量Ｆ（１吐出口当りの吐出量×単位時間当たりの吐出周波数×吐出口数）と定義する。

図４は、第１循環形態と第２循環形態とにおける、液体吐出ヘッド３へのインクの流入量の違いを示した概略図である。図４（ａ）は、第１循環形態における待機時を示しており、図４（ｂ）は、第１循環形態における全吐出時を示している。図４（ｃ）から図４（ｆ）は、第２循環流路を示しており、図４（ｃ）、（ｄ）が流量Ｆ＜流量Ａの場合で、図４（ｅ）、（ｆ）が流量Ｆ＞流量Ａの場合であり、それぞれ、待機時と全吐出時の流量を示している。

定量的な送液能力を有する第１循環ポンプ１００１、１００２が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されている第１循環形態の場合（図４（ａ）、（ｂ））、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２の合計設定流量は流量Ａとなる。この流量Ａによって、待機時の液体吐出ユニット３００内の温度管理が可能となる。そして、液体吐出ヘッド３で全吐出が行われる場合、第１循環ポンプ１００１、１００２の合計設定流量は流量Ａのままであるが、液体吐出ヘッド３で吐出によって生じる負圧が作用する。そのため、液体吐出ヘッド３へ供給される最大流量は、合計設定流量の流量Ａに全吐出による消費分（流量Ｆ）が加算される。よって、液体吐出ヘッド３への供給量の最大値は、流量Ｆが流量Ａに加算されるため流量Ａ＋流量Ｆとなる（図４（ｂ））。

ここで、第１循環形態（図２）において、複数の記録素子基板１０のうち、一部の記録素子基板１０が記録待機中であり、その他の記録素子基板１０の全ての吐出口１３からインクを吐出している全吐出中である場合を考える。図２に示されるように、液体吐出ユニット３００の記録素子基板１０のうち、網掛けで示されるものは全吐出中の記録素子基板１０を、白抜きで示されるものは記録待機中の記録素子基板１０であるものとして説明する。このとき、全吐出中の記録素子基板１０には、共通供給流路２１１からのインク供給（白抜き矢印方向）に加えて、共通回収流路２１２から（黒塗り矢印方向）も一定量のインク供給が行われる。一方、記録待機中の記録素子基板１０にも、共通供給流路２１１からのインク供給（白抜き矢印方向）も継続して行われる。液体吐出ユニット３００へのインク流入量が増大するため、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２との間の差圧は多少変動するものの、共通流路の断面積を充分に確保することができれば、その影響は無視することができる。

このように、本実施形態の第１循環形態では、一部の記録素子基板１０が記録待機中に、その他の記録素子基板１０が全吐出中になった場合であっても、記録待機中の記録素子基板１０にもインクが供給されるように構成されている。かかる構成により、液体吐出ヘッド３へのインク供給量も好適に制御することができる。すなわち、記録待機中の記録素子基板１０における個別流路２１５を通過するインクの流量を、当該記録素子基板１０における全ての吐出口１３から吐出されるインクの吐出流量よりも小さくなるように、共通流路の差圧を制御する。共通供給流路２１１と共通回収流路２１２との間の差圧を上記のように制御することにより、液体吐出ヘッド３の吐出口１３からのインク吐出流量の変動にかかわらず、記録待機中の記録素子基板１０に循環させるインク量を抑制することができる。記録待機中の記録素子基板１０に循環させるインク量を抑制することができれば、液体吐出ヘッド３からの排熱を抑制することができ、循環流路内のインクを冷却するための冷却機構なども簡略化することができる。

第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置されている第２循環形態の場合（図４（ｃ）から図４（ｆ））は、記録待機時に必要な液体吐出ヘッド３への供給量は、第１循環形態と同様に流量Ａである。従って、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置されている第２循環形態では、流量Ｆよりも流量Ａが多い場合（図４（ｃ）、（ｄ））には、全吐出時でも液体吐出ヘッド３への供給量は流量Ａで十分である。その際、液体吐出ヘッド３からの排出流量は、流量Ａ−流量Ｆとなる（図４（ｄ））。しかし、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合（図４（ｅ）、（ｆ））には、全吐出時には液体吐出ヘッド３への供給流量を流量Ａとすると流量が足りなくなってしまう。そのため、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合には、液体吐出ヘッド３への供給量を流量Ｆとする必要がある。その際、全吐出が行われると、液体吐出ヘッド３では流量Ｆが消費されるため、液体吐出ヘッド３からの排出流量は、ほとんど排出されない状態となる（図４（ｆ））。なお、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合で、吐出は行うが全吐出ではない場合には、流量Ｆから吐出で消費された分が引かれた量が液体吐出ヘッド３から排出される。

このように、第２循環形態の場合、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２の設定流量の合計値、即ち必要供給流量の最大値は、流量Ａまたは流量Ｆの大きい方の値となる。このため、同一構成の液体吐出ユニット３００を使用する限り、第２循環形態における必要供給量の最大値（流量Ａまたは流量Ｆ）は、第１循環形態における必要供給流量の最大値（流量Ａ＋流量Ｆ）よりも小さくなる。なお、本実施形態の第２循環形態においても、一部の記録素子基板１０が記録待機中に、その他の記録素子基板１０が全吐出中になった場合であっても、記録待機中の記録素子基板１０にもインクが供給されるように構成されている。共通供給流路２１１と共通回収流路２１２との間の差圧を制御することにより、液体吐出ヘッド３の吐出口１３からのインク吐出流量の変動にかかわらず、記録待機中の記録素子基板１０に循環させるインク量を抑制する態様についても第１循環形態と同じである。

第２循環形態の場合、適用可能な循環ポンプの自由度が高まり、例えば構成の簡便な低コストの循環ポンプを使用したり、本体側経路に設置される冷却器（不図示）の負荷を低減したりすることができ、記録装置のコストを低減できるという利点がある。この利点は、流量Ａまたは流量Ｆの値が比較的大きくなるラインヘッドであるほど大きくなり、ラインヘッドの中でも長手方向の長さが長いラインヘッドほど有益である。

しかしながら一方で、第１循環形態の方が、第２循環形態に対して有利になる点もある。すなわち第２循環形態では、記録待機時に液体吐出ユニット３００内を流れる流量が最大であるため、単位面積当たりの吐出量が少ない画像（以下、低Ｄｕｔｙ画像ともいう）であるほど、各吐出口に高い負圧が印加された状態となる。このため、流路幅が狭く高い負圧である場合、ムラの見えやすい低Ｄｕｔｙ画像で吐出口に高い負圧が印加されるため、インクの主滴に伴って吐出される所謂サテライト滴が多く発生して記録品位が低下する虞がある。

一方、第１循環形態の場合、高い負圧が吐出口に印加されるのは単位面積当たりの吐出量が多い画像（以下、高Ｄｕｔｙ画像ともいう）形成時であるため、仮にサテライト滴が発生しても視認されにくく、画像への影響は小さいという利点がある。これら２つの循環形態の選択は、液体吐出ヘッドおよび記録装置本体の仕様（吐出流量Ｆ、最小循環流量Ａ、およびヘッド内流路抵抗）に照らして好ましい選択を採ることができる。

（液体吐出ヘッド構成の説明）
実施形態１に係る液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図５（ａ）および図５（ｂ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド３を示した斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つの記録素子基板１０でシアンＣ／マゼンタＭ／イエローＹ／ブラックＫの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線状に１５個配列（インラインに配置）されるライン型の液体吐出ヘッドである。図５（ａ）に示すように液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０および電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２を備える。信号入力端子９１および電力供給端子９２は、液体吐出装置１０００の制御部と電気的に接続され、それぞれ吐出駆動信号および吐出に必要な電力を記録素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子９１および電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくすることができる。これにより、液体吐出装置１０００に対して液体吐出ヘッド３を組み付ける時または液体吐出ヘッドの交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。図５（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、液体吐出装置１０００の液体供給系と接続される。これによりシアンＣ／マゼンタＭ／イエローＹ／ブラックＫ４色のインクが液体吐出装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが液体吐出装置１０００の回収系へ回収されるようになっている。このように各色のインクは、液体吐出装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。

図６は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットを示した分解斜視図である。液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０および電気配線基板９０が筺体８０に取り付けられている。液体供給ユニット２２０には液体接続部１１１（図３参照）が設けられるとともに、液体供給ユニット２２０の内部には、供給されるインク中の異物を取り除くため、液体接続部１１１の各開口と連通する各色別のフィルタ２２１（図２、図３参照）が設けられる。２つの液体供給ユニット２２０は、それぞれに２色分ずつのフィルタ２２１が設けられている。液体は、フィルタ２２１を通過する際に異物が取り除かれ、それぞれの色に対応して液体供給ユニット２２０上に配置された圧力制御ユニット２３０へ供給される。圧力制御ユニット２３０は、各色の圧力調整弁からなるユニットであり、それぞれの内部に設けられる弁やバネ部材などの働きで液体の流量の変動に伴って生じる液体吐出装置１０００の供給系内（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧損変化を大幅に減衰させる。これによって圧力制御ユニット２３０は、圧力制御ユニットよりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定範囲内で安定化させることが可能である。各色の圧力制御ユニット２３０内には、図２で記述したように各色２つの圧力調整弁が内蔵されている。２つの圧力調整弁は、それぞれ異なる制御圧に設定され、高圧側が液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１（図２参照）、低圧側が共通回収流路２１２（図２参照）と液体供給ユニット２２０を介して連通している。

筐体８０は、液体吐出ユニット支持部８１および電気配線基板支持部８２とから構成され、液体吐出ユニット３００および電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は、電気配線基板９０を支持するためのものであり、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めによって固定されている。液体吐出ユニット支持部８１は、液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置精度を確保する役割を有し、それにより記録物におけるスジやムラを抑制する。そのため液体吐出ユニット支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材質としてはＳＵＳやアルミなどの金属材料、もしくはアルミナなどのセラミックが好適である。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３、８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体は、ジョイントゴムを介して液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。

液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００、流路部材２１０からなり、液体吐出ユニット３００の記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は、図６に示したように長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０および封止材部１１０（後述する図１０参照）が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。

次に、液体吐出ユニット３００に含まれる流路部材２１０の構成について説明する。図６に示したように流路部材２１０は、第１流路部材５０、第２流路部材６０および第３流路部材７０を積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００へと分配する。また流路部材２１０は、吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻すための流路部材である。流路部材２１０は、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めで固定されており、それにより流路部材２１０の反りや変形が抑制されている。

図７（ａ）〜（ｆ）は、第１〜第３流路部材の各流路部材の表面と裏面を示した図である。図７（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図７（ｆ）は、第３流路部材７０の、液体吐出ユニット支持部８１と当接する側の面を示す。第１流路部材５０と第２流路部材６０とは、夫々の流路部材の当接面である図７（ｂ）と図７（ｃ）が対向するように接合し、第２流路部材と第３流路部材とは、夫々の流路部材の当接面である図７（ｄ）と図７（ｅ）が対向するように接合する。第２流路部材６０と第３流路部材７０とを接合することにより、共通流路溝６２と７１とが、流路部材の長手方向に延在する８本の共通流路（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）を形成する。これにより色毎に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２のセットが流路部材２１０内に形成される。共通供給流路２１１から液体吐出ヘッド３にインクが供給されて、液体吐出ヘッド３に供給されたインクは共通回収流路２１２によって回収される。第３流路部材７０の連通口７２（図７（ｆ）参照）は、ジョイントゴム１００の各穴と連通しており、液体供給ユニット２２０（図６参照）と流体的に流通している。第２流路部材６０の共通流路溝６２の底面には、連通口６１（共通供給流路２１１と連通する連通口６１−１、共通回収流路２１２と連通する連通口６１−２）が複数形成されており、第１流路部材５０の個別流路溝５２の一端部と連通している。第１流路部材５０の個別流路溝５２の他端部には連通口５１が形成されており、連通口５１を介して複数の吐出モジュール２００と流体的に連通している。この個別流路溝５２により流路部材の中央側へ流路を集約することが可能となる。

第１〜第３流路部材は、液体に対して耐腐食性を有するとともに、線膨張率の低い材質からなることが好ましい。材質としては例えば、アルミナや、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）を母材としてシリカ微粒子やファイバーなどの無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）を好適に用いることができる。流路部材２１０の形成方法としては、３つの流路部材を積層させて互いに接着してもよいし、材質として樹脂複合樹脂材料を選択した場合には、溶着による接合方法を用いてもよい。

図８は、図７（ａ）のα部を示しており、第１〜第３流路部材を接合して形成される流路部材２１０内の流路を第１の流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される面側から一部を拡大して示した透視図である。共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とは、両端部の流路からそれぞれ交互に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とが配置されている。ここで、流路部材２１０内の各流路の接続関係について説明する。

流路部材２１０には、色毎に液体吐出ヘッド３の長手方向に伸びる共通供給流路２１１（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ）および共通回収流路２１２（２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が設けられている。各色の共通供給流路２１１には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別供給流路（２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄ）が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収流路２１２には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別回収流路（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ）が連通口６１を介して接続されている。このような流路構成により各共通供給流路２１１から個別供給流路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０にインクを集約することができる。また記録素子基板１０から個別回収流路２１４を介して、各共通回収流路２１２にインクを回収することができる。

図９は、図８のＩＸ−ＩＸにおける断面を示した図である。それぞれの個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）は連通口５１を介して、吐出モジュール２００と連通している。図９では個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）のみ図示しているが、別の断面においては図８に示すように個別供給流路２１３と吐出モジュール２００とが連通している。各吐出モジュール２００に含まれる支持部材３０および記録素子基板１０には、第１流路部材５０からのインクを記録素子基板１０に設けられる記録素子１５に供給するための流路が形成されている。更に、支持部材３０および記録素子基板１０には、記録素子１５に供給した液体の１部または全部を第１流路部材５０に回収（環流）するための流路が形成されている。

ここで、各色の共通供給流路２１１は、対応する色の圧力制御ユニット２３０（高圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されており、また共通回収流路２１２は圧力制御ユニット２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されている。この圧力制御ユニット２３０により、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２間に差圧（圧力差）を生じさせるようになっている。このため、図８および図９に示したように、各流路を接続した本実施形態の液体吐出ヘッド内では、各色で共通供給流路２１１〜個別供給流路２１３〜記録素子基板１０〜個別回収流路２１４〜共通回収流路２１２へと順に流れる流れが発生する。

（吐出モジュールの説明）
図１０（ａ）は、１つの吐出モジュール２００を示した斜視図であり、図１０（ｂ）は、その分解図である。吐出モジュール２００の製造方法としては、まず記録素子基板１０およびフレキシブル配線基板４０を、予め液体連通口３１が設けられた支持部材３０上に接着する。その後、記録素子基板１０上の端子１６と、フレキシブル配線基板４０上の端子４１とをワイヤーボンディングによって電気接続し、その後にワイヤーボンディング部（電気接続部）を封止部材１１０で覆って封止する。フレキシブル配線基板４０の記録素子基板１０と反対側の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子９３（図６参照）と電気接続される。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持体であるとともに、記録素子基板１０と流路部材２１０とを流体的に連通させる流路部材であるため、平面度が高く、また十分に高い信頼性をもって記録素子基板と接合できるものが好ましい。材質としては例えばアルミナや樹脂材料が好ましい。

（記録素子基板の構造の説明）
図１１（ａ）は記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面の平面図を示し、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＸＩＢで示した部分の拡大図を示し、図１１（ｃ）は、図１１（ａ）の裏面の平面図を示す。ここで、本実施形態における記録素子基板１０の構成について説明する。図１１（ａ）に示すように、記録素子基板１０の吐出口形成部材１２に、各インク色に対応する４列の吐出口列が形成されている。なお、以後、複数の吐出口１３が配列される吐出口列が延びる方向を「吐出口列方向」と呼称する。図１１（ｂ）に示すように、各吐出口１３に対応した位置には液体を熱エネルギにより発泡させるための発熱素子である記録素子１５が配置されている。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は、記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、端子１６と電気的に接続されている。そして記録素子１５は、液体吐出装置１０００の制御回路から、電気配線基板９０（図６参照）およびフレキシブル配線基板４０（図１０参照）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱して液体を沸騰させる。この沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。図１１（ｂ）に示すように、各吐出口列に沿って、一方の側には液体供給路１８が、他方の側には液体回収路１９が延在している。液体供給路１８および液体回収路１９は記録素子基板１０に設けられた吐出口列方向に伸びた流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して吐出口１３と連通している。

図１１（ｃ）に示すように、記録素子基板１０の、吐出口１３が形成される面の裏面にはシート状のカバープレート２０が積層されており、カバープレート２０には、後述する液体供給路１８および液体回収路１９に連通する開口２１が複数設けられている。本実施形態においては、液体供給路１８の１本に対して３個、液体回収路１９の１本に対して２個の開口２１がカバープレート２０に設けられている。図１１（ｂ）に示すようにカバープレート２０の夫々の開口２１は、図７（ａ）に示した複数の連通口５１と連通している。カバープレート２０は、液体に対して十分な耐食性を有している物が好ましく、また、混色防止の観点から、開口２１の開口形状および開口位置には高い精度が求められる。このためカバープレート２０の材質として、感光性樹脂材料やシリコン板を用い、フォトリソプロセスによって開口２１を設けることが好ましい。このようにカバープレート２０は、開口２１により流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。

図１２は、図１１（ａ）におけるＸＩＩ−ＸＩＩの断面を示す斜視図である。ここで、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。カバープレート２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８および液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。記録素子基板１０は、Ｓｉにより形成される基板１１と感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されており、基板１１の裏面にはカバープレート２０が接合されている。基板１１の一方の面側には、記録素子１５が形成されており（図１１参照）、その裏面側には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８および液体回収路１９を構成する溝が形成されている。基板１１とカバープレート２０とによって形成される液体供給路１８および液体回収路１９は、それぞれ流路部材２１０内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２と接続されており、液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。吐出口１３から液体を吐出して記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口では、この差圧によって基板１１内に設けられた液体供給路１８内の液体が、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収路１９へ流れる（図１２の矢印Ｃ）。この流れによって、記録を休止している吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インク、泡および異物などを液体回収路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２３のインクが増粘するのを抑制することができる。液体回収路１９へ回収された液体は、カバープレート２０の開口２１および支持部材３０の液体連通口３１（図１０ｂ参照）を通じて、流路部材２１０内の連通口５１、個別回収流路２１４、共通回収流路２１２の順に回収される。つまり、記録装置本体から液体吐出ヘッド３へ供給される液体は、下記の順に流動し、供給および回収される。

液体は、まず液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の内部に流入する。そして液体は、ジョイントゴム１００、第３流路部材に設けられた連通口７２および共通流路溝７１、第２流路部材に設けられた共通流路溝６２および連通口６１、第１流路部材に設けられた個別流路溝５２および連通口５１の順に供給される。その後、支持部材３０に設けられた液体連通口３１、カバープレート２０に設けられた開口２１、基板１１に設けられた液体供給路１８および供給口１７ａを順に介して圧力室２３に供給される。圧力室２３に供給された液体のうち、吐出口１３から吐出されなかった液体は、基板１１に設けられた回収口１７ｂおよび液体回収路１９、カバープレート２０に設けられた開口２１、支持部材３０に設けられた液体連通口３１を順に流れる。その後液体は、第１流路部材に設けられた連通口５１および個別流路溝５２、第２流路部材に設けられた連通口６１および共通流路溝６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝７１および連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして液体は、液体供給ユニット２２０に設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へ流動する。

図２に示す第１循環形態の形態においては、液体接続部１１１から流入した液体は、圧力制御ユニット２３０を経由した後にジョイントゴム１００に供給される。また図３に示す第２循環形態の形態においては、圧力室２３から回収された液体は、ジョイントゴム１００を通過した後、圧力制御ユニット２３０を介して液体接続部１１１から液体吐出ヘッドの外部へ流動する。また液体吐出ユニット３００の共通供給流路２１１の一端から流入した全ての液体が、個別供給流路２１３を経由して圧力室２３に供給されるわけではない。つまり、共通供給流路２１１の一端から流入した液体で、個別供給流路２１３に流入することなく、共通供給流路２１１の他端から液体供給ユニット２２０に流動する液体もある。このように、記録素子基板１０を経由することなく流動する経路を備えることで、本実施形態のような微細で流抵抗の大きい流路を備える記録素子基板１０を備える場合であっても、液体の循環流の逆流を抑制することができる。このように、本実施形態の液体吐出ヘッド３では、圧力室２３や吐出口近傍部の液体の増粘を抑制することができるので、吐出のヨレや不吐出を抑制することができ、結果として高画質な記録を行うことができる。

（記録素子基板間の位置関係の説明）
図１３は、隣り合う２つの吐出モジュールにおける、記録素子基板の隣接部を部分的に拡大して示した平面図である。本実施形態では略平行四辺形の記録素子基板を用いている。各記録素子基板１０における吐出口１３が配列される各吐出口列（１４ａ〜１４ｄ）は、記録媒体の搬送方向に対し一定角度傾くように配置されている。そして、記録素子基板１０同士の隣接部における吐出口列は、少なくとも１つの吐出口が記録媒体の搬送方向にオーバーラップするようになっている。図１３では、線Ｄ上の２つの吐出口が互いにオーバーラップする関係にある。このような配置によって、仮に記録素子基板１０の位置が所定位置から多少ずれた場合でも、オーバーラップする吐出口の駆動制御によって、記録画像の黒スジや白抜けを目立たなくすることができる。複数の記録素子基板１０を千鳥配置ではなく、直線状（インライン）に配置した場合も、図１３と同様に液体吐出ヘッド３の記録媒体の搬送方向の長さの増大を抑えつつ記録素子基板１０同士のつなぎ部における黒スジや白抜け対策を行うことができる。なお、本実施形態では記録素子基板の主平面は平行四辺形であるが、これに限るものではなく、例えば長方形、台形、その他形状の記録素子基板を用いた場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。

（圧力制御ユニットの構造の説明）
図１４（ａ）（ｂ）は、第１の循環形態で用いられる圧力制御ユニット２３０の圧力調整機構２３０Ｈ（減圧弁）を示した外観斜視図であり、図１４（ｃ）はその断面図である。低圧設定側の圧力調整機構２３０Ｌも制御圧（バネの初期荷重）が異なるだけで他は同一構成のものが用いられるため、圧力調整機構２３０Ｌの説明を割愛する。図１４における圧力調整機構２３０Ｈの動作原理は、一般に「減圧弁」と呼ばれるものと同様である。

図１４（ｂ）は、圧力調整機構２３０Ｈの内部を見やすくするために可撓性フィルム２３２を不図示にした状態を示している。図１４（ｃ）は図１４（ａ）におけるＸＩＶ−ＸＩＶの断面を示した図である。図１４（ｂ）および（ｃ）に示されるように、圧力調整機構２３０Ｈは、受圧板２３１と、液体吐出ヘッド３が接続される下流側に設けられる第１圧力室２３３と、受圧板２３１と第１圧力室２３３とを流体的にシールする可撓性フィルム２３２とから構成される。本実施形態において、受圧板２３１は、第１圧力室内のインクの増減に応じて変位し、可撓性部材である可撓性フィルム２３２と接合される。また、圧力室２３３の上流側には、第２循環ポンプ１００４が接続される上流側に設けられる第２圧力室２３８と、受圧板２３１とシャフト２３４とによって連結された弁２３５（バルブ）と、弁２３５に嵌合するオリフィス２３６がある。本実施形態のオリフィス２３６は、第１圧力室２３３と第２圧力室２３８との境界に設けられている。シャフト２３４と、弁２３５と、受圧板２３１とは一体となって動く必要があり、接着剤や嵌合穴などで接合されている。また受圧板２３１および弁２３５は付勢部材２３７（バネ）によって、弁２３５が閉塞する方向に付勢されている。

図１４（ｃ）において、弁２３５はオリフィス２３６よりも上流側に設けられており、受圧板２３１が上方に移動するとオリフィス２３６と弁２３５との間のギャップが縮小する。圧力調整機構２３０Ｈの流入口（Ｉｎｌｅｔ）から入ったインクは、弁２３５とオリフィス２３６との間のギャップを通り第１圧力室２３３へと流入し、その圧力を受圧板２３１へと伝達する。その後、インクは、圧力調整機構２３０Ｈの流出口（Ｏｕｔｌｅｔ）から液体吐出ヘッド３へと排出される。

第１圧力室２３３内の圧力は、各部に加わる力の釣り合いを示す下記の関係式から決定される。付勢部材２３７の力を変更することにより、Ｐ１を所望の制御圧に設定することができる。なお、図１４（ｃ）に示される実施形態においては、付勢部材２３７が２つの連成バネで構成されているが、合成バネ力が所望の負圧値を満足することができれば圧力調整機能に支障は無いため、どちらか一方のバネだけを用いる構成でもよい。付勢部材２３７の力を変更するには、定数Ｋを変更するか、動作時における付勢部材２３７の長さを変更する。
Ｐ２＝Ｐ０−（Ｐ１Ｓｖ＋Ｋｘ）／Ｓｄ ・・・（式１）

ここで、各パラメータが示す値は以下の通りである。

Ｓｄ：受圧板面積
Ｓｖ：弁の受圧面積
Ｐ０：大気圧
Ｐ１：オリフィス上流側の圧力
Ｐ２：第１圧力室内の圧力
Ｋ：バネ定数
ｘ：バネ変位
式１において、右辺第２項は常に正の値を取るため、Ｐ２＜Ｐ０となり、Ｐ２は負圧となる。

また弁の流抵抗をＲ、圧力調整機構２３０Ｈ内を通過する流量をＱとすると、次式が成立する。
Ｐ２＝Ｐ１−ＱＲ ・・・（式２）

ここで、弁２３５の流抵抗Ｒと、弁開度とは、例えば図１５のような関係になるように設計する。すなわち、弁２３５の弁開度が増大する（低下する）とともに流抵抗Ｒは低下する（増大する）ように、流抵抗Ｒが可変する。（式１）（式２）が同時に成立するように弁２３５の位置が決まることで、Ｐ２が導出される。

圧力制御ユニット２３０への流量Ｑが増加した場合、圧力調整機構２３０Ｈの上流に接続されている加圧源の圧力は一定であるので、流量が増大したことによる圧力調整機構２３０Ｈからバッファタンク１００３までの間の流抵抗増加分だけ、Ｐ１は減少する。このため弁２３５を開放する力Ｐ１Ｓｖが減少し、（式１）の通りにＰ２が瞬時的に上昇する。

また（式２）からＲ＝（Ｐ１−Ｐ２）／Ｑが導出される。ここでＱ、Ｐ２は増加し、Ｐ１は低下しているので、Ｒは低下することになる。Ｒが低下すると弁開度が増加する。

図１４（ｃ）に示される通り、弁開度が増加すると付勢部材２３７の長さは短くなるため、自由長からの変位であるｘは増加し、付勢部材２３７の作用力ｋｘは大きくなる。このため（式１）からＰ２は瞬時的に減少する。Ｐ２が瞬時的に増加すると、上述とは逆の作用によりＰ２が瞬時的に減少する。この現象が短い期間に間欠して繰り返されることにより、流量Ｑに応じて弁開度が変化しつつ（式１）（式２）を両立する結果、Ｐ２が一定に制御されるので、圧力調整機構２３０Ｈの流出口側（下流側）の圧力は一定に制御される。

図１６（ａ）（ｂ）は、第２の循環形態で用いられる圧力制御ユニット２３０（背圧弁）のを示した外観斜視図であり、図１６（ｃ）はその断面図である。低圧設定側の圧力調整機構２３０Ｌも制御圧（バネの初期荷重）が異なるだけで他は同一構成のものが用いられるため、圧力調整機構２３０Ｌの説明を割愛する。図１６における圧力調整機構２３０Ｈの動作原理は、一般に「背圧弁」と呼ばれるものと同様である。図１６（ｂ）は、圧力調整機構２３０Ｈの内部を見やすくするために受圧板２３１および可撓性フィルム２３２を不図示にした状態を示している。図１６（ｃ）は図１６（ａ）におけるＸＶＩＣ−ＸＶＩＣの断面を示した図である。

図１６（ｃ）に示されるように、図１４の減圧方式の圧力調整機構２３０Ｈとの相違点は、弁２３５が第１圧力室２３３内に配置され、オリフィス２３６の向きもそれに合わせて反転されている点である。さらに、図１６（ｃ）の圧力調整機構２３０Ｈは、受圧板２３１が上方へ移動すると、オリフィス２３６と弁２３５との間のギャップが拡大するようになっている点、圧力調整機構２３０Ｈのインク流入口と流出口とが逆になっている点が図１４の構成と異なる。さらに、受圧板２３１および弁２３５はバネ部材である付勢部材２３７によって、弁２３５を開放する方向に付勢されている点も図１４と相違する。

圧力調整のメカニズムは、上述した（式１）（式２）でＰ１をオリフィス２３６の下流側の圧力とする以外は、図１４で説明した手法で説明することができる。

（インク充填時の説明）
次に、インクジェット記録装置に代表される本実施形態の液体吐出装置１０００にインクを充填する操作について説明する。図１７は、本実施形態におけるインク充填時の圧力調整機構２３０Ｈの構成を示す断面図である。本実施例では、第２の循環形態で用いられる圧力調整機構２３０Ｈを例に説明するが、第１の循環形態で用いられる圧力調整機構２３０Ｈであっても同様に構成することができる。低圧設定側の圧力調整機構２３０Ｌも制御圧（バネの初期荷重）が異なるだけで他は同一構成のものが用いられるため、圧力調整機構２３０Ｌの説明を割愛する。

本実施形態において、液体吐出ヘッド３の共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、および個別流路２１５内にインクを充填する際、まず補充ポンプ１００５を駆動して、所定量のインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。

次いで、図１７に示されるように、拘束板２４１の一端が受圧板２３１に当接し弁２３５が閉鎖するように、ネジ２４２を調整して拘束板２４１の位置を固定する。拘束板２４１の他端はネジ２４２を介して保持部材２４３に連結されている。保持部材２４３は圧力調整機構２３０Ｈ本体に固定されており、拘束板２４１を固定する。拘束板２４１と、ネジ２４２と、保持部材２４３とは、第１循環ポンプ１００１、１００２および第２循環ポンプ１００４からの加圧によって受圧板２３１が受ける圧力に対して、受圧板２３１の変形を小さくさせる剛性を備える。本実施形態では、拘束板２４１の位置固定のために、ネジ２４２を用いたが、その他手動式のレバー機構やモーター等を用いてもよい。

次いで、第１循環ポンプ１００１、１００２および第２循環ポンプ１００４を駆動して循環経路内のインクを加圧することにより、液体吐出ヘッド３の共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、および個別流路２１５内にインクを充填する。循環ポンプ１００１〜１００４が駆動する際、圧力調整機構２３０Ｈの受圧板２３１は、拘束板２４１によって弁２３５を閉鎖されているため、圧力調整機構内の圧力が上昇しても弁２３５は開放されることがない。そのため液体吐出ヘッド３内の流路を加圧状態に維持してインクを充填することができる。液体吐出ヘッド３内の流路にインクが充填された後、ネジ２４２を開放して拘束板２４１を受圧板２３１から離間させる。すると、弁２３５が開となり、インクが圧力制御ユニット２３０（圧力調整機構２３０Ｈ、圧力調整機構Ｌ）およびバッファタンク１００３への循環流路に充填される。

圧力調整機構２３０Ｈに、拘束板２４１、ネジ２４２、保持部材２４３などの強制閉塞機構を用いることにより、インク循環経路に別途バルブなどを設けることなく液体吐出装置１０００内にインクを充填することができる。かかる構成により、液体吐出装置１０００にインクを補充する際に、液体吐出ヘッド内に圧力を印加するための機構を必要とすることがないため、コストアップと装置構造の複雑化とを抑制することができる。

（変形例１）
以下、本実施形態の変形例１を説明する。本変形例では、第１循環形態において、圧力調整機構２３０Ｈの制御圧を正圧にする。記録待機中の吐出口１３における圧力は、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との中間の圧力になる。本変形例では、吐出口１３における圧力を下げ過ぎることなく、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との差圧を大きくすることにより、吐出口１３を通過するインクの流量を増加させることができる。

吐出口１３の圧力を考慮する必要がなければ、圧力調整機構２３０Ｈの制御圧をそのままにしつつ、圧力調整機構２３０Ｌの制御圧を低圧にすることにより、個別流路２１５を通過するインクの流量を増加させることができる。しかしながら、吐出口１３における圧力が低くなると、吐出口１３のメニスカス位置が過度に個別流路２１５内に落ち込むように変位してしまい、吐出口１３から吐出される液滴形成に影響を与えることがある。具体的には、吐出後の液滴のサテライトが多くなったり、微小なサテライトが発生したりする。液滴のサテライトによる画質の低下を招き、微小なサテライトがミスト化することにより液体吐出装置１０００内部が汚染する恐れがある。

本変形例によれば、吐出口１３における圧力が過度に低くなることが無いので、サテライトの発生を防止することができるだけでなく、インクの増粘や泡異物の除去効果を高められる。圧力調整機構２３０Ｈの制御圧を正圧にするには、例えば、上述の（式１）におけるバネ定数とバネ変位との積であるバネ力ｋｘの作用の向きを反転する構成を採用できる。その場合（式１）における右辺第二項は（Ｐ１Ｓｖ−Ｋｘ）／Ｓｄとなるので、Ｐ１Ｓｖ＜Ｋｘの条件下、Ｐ２＞Ｐ０となり、Ｐ２が正圧となる。

図１８は、本変形例における第１循環ポンプ１００１、１００２停止前後の、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内の圧力変化を示した遷移図である。図１８に示されるように、第１循環ポンプ１００１、１００２が停止すると、共通回収流路２１２の圧力は共通供給流路２１１の圧力に近づくように上昇する。これは、第１循環ポンプ１００１、１００２の停止直後には、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との差圧を解消しようとする方向に、インクが個別供給経路２１３、個別回収経路２１４を流れるためである。

本変形例の圧力調整機構２３０Ｈは減圧弁型の圧力調整機構なので、圧力調整機構２３０Ｌは制御圧よりも高い圧力が印加され、この結果圧力調整機構２３０Ｌの弁２３５は閉じることになる。一方、圧力調整機構２３０Ｈは、インクが流れると弁２３５が開いた状態が継続し、第１圧力室２３３の圧力は制御圧に維持される。インクの流れが継続して、圧力調整機構２３０Ｌにおける第１圧力室２３３の圧力が、圧力調整機構２３０Ｈの制御圧まで上昇すると、インクの流れが停止して圧力調整機構２３０Ｈの弁２３５が閉じる。かかる構成により、本変形例では図１８に示されるように、共通回収流路２１２の圧力は共通供給流路２１１の圧力に近づくように上昇して、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との差圧が解消されていく。

なお、本変形例では、第１循環ポンプ１００１、１００２を停止すると、共通供給流路２１１の圧力が上昇している。この現象は減圧弁を用いた圧力制御手法では一般的なものである。すなわち、弁２３５が完全に閉じる間際、バネ力との力の釣合式が崩れた状態で微小な振動などによって弁２３５が閉じるため、停止時に圧力調整機構２３０Ｈの制御圧が若干、加圧源である第２循環ポンプ１００４の影響を受けて上昇するものと推定される。このため本変形例では、第１循環ポンプ１００１、１００２が停止すると、停止前よりも液体吐出ヘッド３内における流路の圧力が高い正圧状態となる。このままでは吐出口１３からインクが漏れてしまうので、本変形例においては吐出口１３外のインク供給経路に、別途負圧源およびバルブを設けて、印刷停止時にその上昇した圧力を解放するような制御システムが別途必要である。

（変形例２）
以下、本実施形態の変形例２を説明する。本変形例では、第２循環形態において、圧力調整機構２３０Ｈの制御圧を正圧にする。記録中および記録待機中におけるインク流れや、吐出口１３における圧力は変形例１と同様であり、吐出口１３の圧力を下げ過ぎることなく、吐出口１３を通過するインクの流量を増加させることができる。本変形例が変形例１と異なる点は、記録終了後に循環ポンプを停止した際の共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内の圧力変化である。

図１９は変形例２における第１循環ポンプ１００１、１００２停止前後の、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内の圧力変化を示した遷移図である。図１９に示されるように、循環ポンプが停止する前は、第１循環ポンプ１００１、１００２による脈動によって圧力値は上下している。第１循環ポンプ１００１、１００２が停止すると、共通供給流路２１１の圧力は共通回収流路２１２の圧力に近づくように低下する。これは、第１循環ポンプ１００１、１００２停止直後には、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との差圧を解消しようとする方向に、インクが個別供給経路２１３、個別回収経路２１４を流れるためである。

本変形例の圧力調整機構２３０Ｈは背圧弁型の圧力調整機構なので、圧力調整機構２３０Ｌは制御圧よりも高い圧力が印加され、この結果圧力調整機構２３０Ｌの弁２３５が開き第１圧力室２３３の圧力は制御圧に維持される。一方、圧力調整機構２３０Ｈは、インクが流れると第１圧力室２３３の圧力が低下するので、弁２３５が閉じることになる。インクの流れが継続して、圧力調整機構２３０Ｈにおける第１圧力室２３３の圧力が、圧力調整機構２３０Ｌの制御圧まで低下すると、インクの流れが停止して圧力調整機構２３０Ｌの弁２３５が閉じる。かかる構成により、本変形例では図１９に示されるように、共通回収流路２１２の圧力は共通供給流路２１１の圧力に近づくように上昇して、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との差圧が解消されていく。

なお、本変形例では、第１循環ポンプ１００１、１００２を停止すると、共通回収流路２１２の圧力が低下している。この現象は背圧弁を用いた圧力制御手法では一般的なものである。すなわち、弁２３５が完全に閉じる間際、バネ力との力の釣合式が崩れた状態で微小な振動などによって弁２３５が閉じるため、停止時に圧力調整機構２３０Ｌの制御圧が若干、負圧源である第２循環ポンプ１００４の作用を受けて低下するものと推定される。このため本変形例では、第１循環ポンプ１００１、１００２が停止すると、停止前よりも液体吐出ヘッド３内における流路の圧力が低い負圧状態となる。よって、記録中および記録待機中では、共通供給流路２１１内が正圧になっていても、液体吐出ヘッド３の吐出口１３からインクが漏れてしまう事態を防ぐことができる。

図２０は、実施形態１、変形例１、変形例２において、液体吐出装置１０００の動作停止後、液体吐出ヘッド３における圧力変動を比較した模式図である。図２０に示されるように、変形例１では、共通回収流路２１２の圧力は共通供給流路２１１の圧力に近づくように上昇して、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との差圧が解消される。一方、変形例２では、共通供給流路２１１の圧力は共通回収流路２１２の圧力に近づくように低下して、共通供給流路２１１の圧力と共通回収流路２１２の圧力との差圧が解消される。特に、変形例２によれば、吐出口１３における圧力を低下させることなくインクが通過する流量を大きくでき、かつ液体吐出装置１０００の動作停止時に、液体吐出ヘッド３内の圧力を自律的に負圧で停止させることができるという利点を有している。

（実施形態２）
以下、図面を参照して本発明の実施形態２による液体吐出装置２０００および液体吐出ヘッド２００３の構成を説明する。なお以降の説明においては、主として実施形態１と異なる部分のみを説明し、実施形態１と同様の部分については説明を省略する。

（液体吐出装置の説明）
図２１は、本実施形態を適用可能な、液体を吐出して記録を行う液体吐出装置２０００を示した図である。本実施形態の液体吐出装置２０００は、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫのインクごとに対応した単色用の液体吐出ヘッド２００３を４つ並列配置させることで記録媒体へフルカラー記録を行う点が実施形態１とは異なる。実施形態１において１色あたりに使用できる吐出口列数が１列だったのに対し、本実施形態においては、１色あたりに使用できる吐出口列数は２０列となっている。このため、記録データを複数の吐出口列に適宜振り分けて記録を行うことで、非常に高速な記録が可能となる。更に、不吐出になる吐出口があったとしても、その吐出口に対して記録媒体の搬送方向に対応する位置にある、他列の吐出口から補間的に吐出を行うことで信頼性が向上し、商業記録などに好適である。実施形態１と同様に、各液体吐出ヘッド２００３に対して、液体吐出装置２０００の供給系、バッファタンク１００３（図２、図３参照）およびメインタンク１００６（図２、図３参照）が流体的に接続されている。また、それぞれの液体吐出ヘッド２００３には、液体吐出ヘッド２００３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続されている。

（循環経路の説明）
実施形態１と同様に、液体吐出装置２０００および液体吐出ヘッド２００３間の液体循環経路としては、実施形態１同様、図２または図３に示した第１および第２循環形態を用いることができる。

（液体吐出ヘッド構造の説明）
図２２（ａ）および（ｂ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２００３を示した斜視図である。ここで、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２００３の構造について説明する。液体吐出ヘッド２００３は、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に直線状に配列される１６個の記録素子基板２０１０を備え、１色の液体で記録が可能なインクジェット式のライン型記録ヘッドである。液体吐出ヘッド２００３は、実施形態１と同様、液体接続部１１１、信号入力端子９１および電力供給端子９２を備える。しかしながら本実施形態の液体吐出ヘッド２００３は、実施形態１に比べて吐出口列が多いため、液体吐出ヘッド２００３の両側に信号入力端子９１および電力供給端子９２が配置されている。これは記録素子基板２０１０に設けられる配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減するためである。

図２３は、液体吐出ヘッド２００３を示した斜視分解図であり、液体吐出ヘッド２００３を構成する各部品またはユニットがその機能毎に分割して示している。各ユニットおよび部材の役割や液体吐出ヘッド内の液体流通の順は、基本的に実施形態１と同様であるが、液体吐出ヘッドの剛性を担保する機能が異なる。実施形態１では主として液体吐出ユニット支持部８１によって液体吐出ヘッド剛性を担保していたが、実施形態２の液体吐出ヘッド２００３では、液体吐出ユニット２３００に含まれる第２流路部材２０６０によって液体吐出ヘッドの剛性を担保している。本実施形態における液体吐出ユニット支持部８１は、第２流路部材２０６０の両端部に接続されており、この液体吐出ユニット２３００は液体吐出装置２０００のキャリッジと機械的に結合されて、液体吐出ヘッド２００３の位置決めを行う。圧力制御ユニット２２３０を備える液体供給ユニット２２２０と、電気配線基板９０は、液体吐出ユニット支持部８１に結合される。２つの液体供給ユニット２２２０内にはそれぞれフィルタ（不図示）が内蔵されている。

２つの圧力制御ユニット２２３０は、それぞれ異なる、相対的に高低の圧力を制御するように設定されている。また、図２２のように、液体吐出ヘッド２００３の両端部にそれぞれ、高圧側と低圧側の圧力制御ユニット２２３０を設置した場合、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に延在する共通供給流路と共通回収流路における液体の流れが互いに対向する。このような構成では、共通供給流路と共通回収流路の間で熱交換が促進されて、２つの共通流路内における温度差が低減される。これによって、共通流路に沿って複数設けられる各記録素子基板２０１０における温度差が少なくなり、温度差による記録ムラが生じにくくなるという利点がある。

次に、液体吐出ユニット２３００の流路部材２２１０の詳細について説明する。図２３に示すように流路部材２２１０は、第１流路部材２０５０と第２流路部材２０６０とを積層したものであり、液体供給ユニット２２２０から供給された液体を各吐出モジュール２２００へと分配する。また流路部材２２１０は、吐出モジュール２２００から環流する液体を液体供給ユニット２２２０へと戻すための流路部材として機能する。流路部材２２１０の第２流路部材２０６０は、内部に共通供給流路および共通回収流路が形成された流路部材であるとともに、液体吐出ヘッド２００３の剛性を主に担うという機能を有する。このため、第２流路部材２０６０の材質としては、液体に対する十分な耐食性と高い機械強度を有するものが好ましい。具体的にはＳＵＳやＴｉ、アルミナなど用いることができる。

図２４（ａ）は、第１流路部材２０５０の、吐出モジュール２２００がマウントされる面を示した図であり、図２４（ｂ）は、その裏面を示しており、第２流路部材２０６０と当接される面を示した図である。実施形態１とは異なり、本実施形態における第１流路部材２０５０は、各吐出モジュール２２００毎に対応した複数の部材を隣接して配列したものである。このように分割した構造を採ることで、複数のモジュールを配列させて、液体吐出ヘッド２００３の長さに対応することができるので、例えばＢ２サイズおよびそれ以上の長さに対応した比較的ロングスケールの液体吐出ヘッドに特に好適に適用することができる。図２４（ａ）に示すように、第１流路部材２０５０の連通口５１は、吐出モジュール２２００と流体的に連通し、図２４（ｂ）に示すように、第１流路部材２０５０の個別連通口５３は、第２流路部材２０６０の連通口６１と流体的に連通する。図２４（ｃ）は、第２流路部材６０の、第１流路部材２０５０と当接される面を示し、図２４（ｄ）は、第２流路部材６０の厚み方向中央部の断面を示し、図２４（ｅ）は、第２流路部材２０６０の、液体供給ユニット２２２０と当接する面を示す図である。第２流路部材２０６０の流路や連通口の機能は、実施形態１の１色分と同様である。第２流路部材２０６０の共通流路溝７１は、その一方が後述する図２５に示す共通供給流路２２１１であり、他方が共通回収流路２２１２であり、夫々、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に沿って設けられており、その一端側から他端側に液体が供給される。本実施形態は実施形態１と異なり、共通供給流路２２１１と共通回収流路２２１２の液体の流れは互いに反対方向となっている。

図２５は、記録素子基板２０１０と流路部材２２１０との液体の接続関係を示した透視図である。流路部材２２１０内には、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に延びる一組の共通供給流路２２１１および共通回収流路２２１２が設けられている。第２流路部材２０６０の連通口６１は、各々の第１流路部材５０の個別連通口５３と位置を合わせて接続され、第２流路部材２０６０の連通口７２から共通供給流路２２１１を介して第１流路部材２０５０の連通口５１へと連通する液体供給経路を形成している。同様に、第２流路部材２０６０の連通口７２から共通回収流路２２１２を介して第１流路部材２０５０の連通口５１へと連通する液体供給経路も形成されている。

図２６は、図２５のＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ線における断面を示した図である。共通供給流路２２１１は、連通口６１、個別連通口５３、連通口５１を介して、吐出モジュール２２００へ接続されている。図２６では不図示であるが、別の断面においては、共通回収流路２２１２が同様の経路で吐出モジュール２２００へ接続されていることは、図２５を参照すれば明らかである。実施形態１と同様に、各吐出モジュール２２００および記録素子基板２０１０には、各吐出口に連通する流路が形成されており、供給した液体の一部または全部が、吐出動作を休止している吐出口を通過して、環流できるようになっている。また実施形態１と同様に、共通供給流路２２１１は、圧力制御ユニット２２３０（高圧側）と、共通回収流路２２１２は圧力制御ユニット２２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２２０を介して接続されている。従ってその差圧によって、共通供給流路２２１１から記録素子基板２０１０の吐出口を通過して共通回収流路２２１２へと流れる流れが発生する。

（吐出モジュールの説明）
図２７（ａ）は、１つの吐出モジュール２２００を示した斜視図であり、図２７（ｂ）は、その分解図である。実施形態１との差異は、記録素子基板２０１０の複数の吐出口列方向に沿った両辺部（記録素子基板２０１０の各長辺部）に複数の端子１６がそれぞれ配置されている点である。これに伴い記録素子基板２０１０と電気接続されるフレキシブル配線基板４０も、１つの記録素子基板２０１０に対して２枚配置されている。これは記録素子基板２０１０に設けられる吐出口列数が２０列あり、実施形態１の８列よりも大幅に増加しているためであり、端子１６から記録素子までの最大距離を短くして記録素子基板２０１０内の配線部で生じる電圧低下や信号遅れを低減するためである。また支持部材２０３０の液体連通口３１は、記録素子基板２０１０に設けられ全吐出口列を跨るように開口している。その他の点は、実施形態１と同様である。

（記録素子基板の構造の説明）
図２８（ａ）は、記録素子基板２０１０の吐出口１３が配される面の模式図であり、図２８（ｃ）は、図２８（ａ）の面の裏面を示す模式図である。図２８（ｂ）は図２８（ｃ）において、記録素子基板２０１０の裏面側に設けられているカバープレート２０２０を除去した場合の記録素子基板２０１０の面を示す模式図である。図２８（ｂ）に示すように、記録素子基板２０１０の裏面には吐出口列方向に沿って、液体供給路１８と液体回収路１９とが交互に設けられている。吐出口列数は、実施形態１よりも大幅に増加しているものの、実施形態１との本質的な差異は、前述のように端子１６が記録素子基板の吐出口列方向に沿った両辺部に配置されていることである。各吐出口列毎に一組の液体供給路１８と液体回収路１９が設けられていること、カバープレート２０２０に、支持部材２０３０の液体連通口３１と連通する開口２１が設けられていることなど、基本的な構成は実施形態１と同様である。

なお、上記実施形態の記載は本発明の範囲を限定するものではない。１例として、本実施形態では発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式について説明したが、ピエゾ方式およびその他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。

本実施形態は、インク等の液体をタンクと液体吐出ヘッドとの間で循環させる形態の液体吐出装置（記録装置）について説明したが、その他の形態であってもよい。その他の形態は、例えばインクを循環せずに、液体吐出ヘッド上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへインクを流すことで、圧力室内のインクを流動させる形態であってもよい。

また本実施形態は、記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ライン型ヘッドを用いる例を説明したが、記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行う、所謂シリアル型の液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えばブラックインクを吐出する記録素子基板およびカラーインクを吐出する記録素子基板を各１つずつ搭載する構成が挙げられるが、これに限るのもではない。つまり、複数個の記録素子基板を吐出口列方向に吐出口がオーバーラップするよう配置した、記録媒体の幅よりも短い短尺の液体吐出ヘッドを作成し、それを記録媒体に対してスキャンさせる形態であってもよい。

（変形例３）
図２９に本実施形態の変形例３について説明する。本変形例では、第２循環形態において、共通供給流路及２１１および共通回収流路２１２の上流側端を共に一つの第一循環ポンプ１００１に接続している。このようにすることで、第一循環ポンプ数を減らすことができるので構成を簡略化し、コストを下げることができ、更には各ユニット間接続部の数も減らせるため漏洩リスクが小さくなり印字装置の耐久信頼性が向上する。共通回収流路２１２の上流端近傍に配置された流抵抗調整部２１６は、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の流量配分を主に決める機能を有する。共通回収流路２１２と共通供給流路２１１の抵抗が同じ場合、共通回収流路２１２の方が共通供給流路２１１よりも低圧であるので、循環ポンプ１００１から供給される記録液体流量は、共通回収流路２１２の方に多く分配される。本変形例では流抵抗調整部２１６で流抵抗を調整することでこの分配量を所望の値に調整できる。この流量配分は共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の分岐部分〜負圧制御ユニットまでの、各々の流抵抗の合計比で決まるので、流抵抗調整部２１６を図２９のように設けずとも、例えば共通回収流路２１２全体の流抵抗を増やす等の構成でも同様のことが可能である。

また第一循環ポンプ１００１及びその下流に配置された流量センサー２１７は、印字装置本体の制御回路（不図示）と電気的に接続されており、制御回路は流量センサー２１７からの出力値に基づいて、第一循環ポンプの回転数を制御している。よって、環境温度の変化によりインクの粘度変化やポンプ自身の耐久劣化などが生じた場合でも、流量の変動が抑制されており、印字装置の信頼性が向上している。

（変形例４）
図３０に本実施形態の変形例４の循環形態を模式的に示す。本変形例では、第１循環形態において、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２の下流端を共に一つの第一循環ポンプ１００１に接続している。このようにすることで、変形例３と同様にコストダウンと耐久信頼性向上という好ましい効果が得られる。

また第一循環ポンプ１００１及びその上流から分岐して配置された温度センサー２１８は、印字装置本体の制御回路（不図示）と電気的に接続されている。これにより制御回路は温度センサー２１８からの出力値に基づいて、記録液体の粘度変化を予め定められた係数によって推定し、第一循環ポンプ１００１の回転数を制御する。変形例３のように流量を直接計測する構成よりも制御流量の精度は低くなるものの、温度センサー２１８は一般的に構造が単純で流量センサーよりも低コストであるので、変形例４は変形例３よりもローコストな循環形態である。

（変形例５）
図３１は本実施形態の変形例５の循環形態を示す模式図である。本変形例では、図２９の変形例３における第一循環ポンプ１００１及び流量センサー２１７の代わりに、定流量弁機構２５０を配置し、更にバッファタンク１００３にエアポンプ１００７の吐出側を接続している。ヘッド駆動時は、エアポンプ１００７によってバッファタンク１００３内を加圧に維持し、記録液体は第二循環ポンプ１００４で液体吐出ユニット３００からバッファタンク１００３へ還流される。一方、液体吐出ユニット３００上流に設けられた定流量弁機構２５０は、バッファタンク１００３内の加圧分を動力として、一定流量の記録液体を液体吐出ユニット３００へ供給する。定流量弁機構２５０は、その上流及び下流の圧力が変動した場合でも、機構内部の弁・バネ機構によって予め設定された流量が流れるように内部抵抗を可変する機能を有する。記録液体の粘度変化に対しては、流量は必ずしも一定にならないものの、構造が簡単であるためコストが低い。またエアポンプ１００７は他色の循環経路のバッファタンクに共通して接続しても良いので、記録装置一台にエアポンプは一台あれば良く、ノズルの吸引回復用としても使用できる。このため、第一循環ポンプ及びセンサーなどの補機を用いた循環形態よりも低コストの印字装置を提供することができる。なおエアポンプ１００７を用いずに、第一循環ポンプを定流量弁機構２５０とバッファタンク１００３間に配置しても、循環機能としては同じことが可能であるが、上記のコスト面でのメリットを考慮すれば本形態の方が好ましい。

（変形例６）
図３２は本実施形態の変形例６の循環形態を示す模式図である。本変形例では、図３０の変形例４における第一循環ポンプ１００１及び温度センサー２１８の代わりに、定流量弁機構２５０を配置し、更にバッファタンク１００３にエアポンプ１００７の吸引側を接続している。ヘッド駆動時は、エアポンプ１００７によってバッファタンク１００３内を高負圧に維持され、記録液体は第二循環ポンプ１００４でバッファタンク１００３から液体吐出ユニット３００へ供給される。一方、液体吐出ユニット３００下流に設けられた定流量弁機構２５０は、バッファタンク１００３内の高負圧を動力として、一定流量を記録液体を液体吐出ユニット３００から回収する。定流量弁機構２５０は、その上流及び下流の圧力が変動した場合でも、内部の弁・バネ機構によって予め設定された流量が流れるように内部抵抗を可変する機能を有する。記録液体の粘度変化に対しては、流量は必ずしも一定にならないものの、構造が簡単であるためコストが低い。またエアポンプ１００７は他色の循環経路のバッファタンクに共通して接続しても良いので、記録装置一台にエアポンプは一台あれば良く、ノズルの吸引回復用としても使用できる。

なお本変形例では低コスト化の利点の他に、もう一つ好ましい効果が得られる。すなわち、ヘッド駆動時は、バッファタンク１００３内は常に負圧状態で循環による流れ場があるため、循環開始と同時におのずと記録液体が脱気されていく。このため循環駆動を行うことで、液体吐出ヘッド内の残留泡が少しずつ消泡していくので、長期使用しても泡による不吐などが生じにくい。このため本変形例の循環形態では、低コスト化のメリットだけでなく、ヘッド駆動の信頼性が向上し、ノズル詰まりの回復頻度を低下させて廃インク量を低減できるという効果をも同時に得ることができる。

（定流量弁機構の説明）
図３３（ａ）〜（ｃ）は、変形例５及び６に係る定量弁機構の構造の一例であり、この構成限らず、その他多様な「定量弁」「flowmatic valve」を備える機構を使用することも可能である。図３３（ａ）は変形例５及び６における定流量弁機構の外観を示し、図３３（ｂ）は、分岐板２５２を外した状態の、図３３（ａ）の下方から見た斜視図である。図３３（ｃ）は図３３（ａ）のＸＸＸＩＩＩＣ−ＸＸＸＩＩＩＣ線における断面図であり、矢印は記録液体の流れを示す。定流量弁機構２５０の流入口２５５から入った記録液体は、分岐板２５２内で絞り部２５４へと向かう流れと第３圧力室２５３へと向かう流れに分岐される。絞り部２５４を通過した記録液体は、第１圧力室内へと導かれ、その後、オリフィス２３６、第２圧力室２３８の順に通過して流出口２５６へ流れる。

第１圧力室２３３〜第２圧力室２３８における、受圧板２３１、付勢部材２３７、弁２３５、オリフィス２３６、可撓性フィルム２３２の配置や材質は、図１６に示した圧力調整ユニット（背圧弁）と同様のものを好ましく用いることができる。また弁２３５の流抵抗Ｒと弁開度の関係も、同様に図１５のような関係になる設計を用いることができる。図３３（ｃ）に示したように、第１圧力室２３３と第３圧力室２５３の差圧変化によって、例えば受圧板２３１が上方へ移動すると、オリフィス２３６と弁２３５との間のギャップが拡大するようになっており、受圧板２３１および弁２３５はバネ部材である付勢部材２３７によって、弁２３５を開放する方向に付勢されている。

絞り部２５４は流入口２５５〜第１圧力室２３３間の流抵抗を可変できるよう、ボディ２５１の雌ネジ部２２５と調整ボルト２２４、シール部材２２６とから成っており、この流抵抗調整によって、定流量弁機構の制御流量を設定或いは可変可能である。なお本実施形態での絞り部２５４は流抵抗を可変可能な構造としているが、所望の流量が固定である場合には別形態も適用可能である。すなわち、所望の流量に対応する固定流抵抗が流入口２５５〜第１圧力室２３３間で得られるならば、絞り部２５４の形状を変更可能である。例えば、絞り部２５４は単純なオリフィスや、或いは流出口２５６〜第１圧力室２３３間の流路全体であっても良い。また記録液体の色や種類によって粘度が異なるような場合には、記録液体種別に設計された流抵抗生成部品を交換可能に挿入するような構成とすることもできる。

第３圧力室２５３は、分岐板２５２内の受圧板２３１及び可撓性フィルム２３２によって第１圧力室２３３と流体的に離隔されて隣接して配置されており、絞り部２５４の上流に位置する分岐板内流路と流体的に連通している。

次に流量制御のメカニズムを説明する。第１圧力室２３３内の圧力は、受圧板２３１に関する力の釣り合いを示す下記の関係式から決定される。
Ｐ１＝Ｐ３−（Ｐ２Ｓｖ＋Ｋｘ）／Ｓｄ ・・・（式３）
ここで、各パラメータが示す値は以下の通りである。
Ｓｄ：受圧板面積
Ｓｖ：弁の受圧面積
Ｐ３：第３圧力室内の圧力
Ｐ１：第１圧力室内の圧力
Ｐ２：第２圧力室内の圧力
Ｋ：付勢部材２３７のバネ定数
ｘ：付勢部材２３７（バネ）の変位
（式３）を変形すると、
Ｐ３−Ｐ１＝（Ｐ２Ｓｖ＋Ｋｘ）／Ｓｄ ・・・（式４）
また弁２３５の流抵抗をＲ、定流量弁機構２５０内を通過する流量をＱとすると、次式が成立する。
Ｐ１＝Ｐ２＋ＱＲ ・・・（式５）
ここで、弁の流抵抗Ｒと、弁開度とは、例えば図１５のような関係になるように設計する。すなわち、弁の弁開度が増大する（低下する）とともに流抵抗Ｒは低下する（弁の開閉度が低下する場合は流抵抗Ｒは増大する）ように、流抵抗Ｒが可変する。（式４）（式５）が同時に成立するように弁２３５の位置が決まることで、Ｐ１が導出される。

Ｐ２が減少した場合、弁２３５を開放する力が弱まるので、受圧板２３１は図３３（ｃ）の上方へと移動するので、付勢部材２３７の長さは短くなり、自由長からの変位であるｘは増加し、付勢部材２３７の作用力ｋｘは増大する。逆にＰ２が増大した場合にはｋｘは減少する。このため（式４）の右辺の（）内ではＰ２の変動に対して常に相殺効果が働く。この相殺効果が十分に発揮されるように、付勢部材２３７のバネ定数Ｋ、受圧板面積Ｓｄ，弁部受圧面積Ｓｖの値を設計することにより、Ｐ３変動に対する（Ｐ３−Ｐ１）変化を十分小さくすることが可能である。

Ｐ３が増大した場合、受圧板２３１は図３３（ｃ）の上方へと移動するので、弁開度が低下するので弁抵抗Ｒは増大し、その結果（式５）から判るようにＰ１は増加する。逆にＰ３が低下した場合には、Ｐ１も低下する。Ｐ３が増大（低下）すると、付勢部材２３７の作用力ｋｘは増大（減少）するので、（式４）からＰ３−Ｐ１は増大（減少）するが、この変動が十分小さくなるように、付勢部材２３７のバネ定数Ｋ、受圧板面積Ｓｄの値を設計することにより、Ｐ３変動に対する（Ｐ３−Ｐ１）変化を十分小さくすることが可能である。

以上説明したように、定流量弁機構２５０では、その上流及び下流の圧力変動に対して、第３圧力室の内圧Ｐ３と第１圧力室内圧Ｐ１の差圧変動が小さく、ほぼ一定になるように設計されている。第３圧力室内には流れが無いことから、Ｐ３はほぼ絞り部２５４の手前の圧力とみなすことができるため、Ｐ３とＰ１の差圧がほぼ一定であることは、絞り部２５４の流抵抗と記録液体の粘度が一定である限り、流量Ｑがほぼ一定に維持されることを意味する。

より具体的な定流量弁機構内の動作は次のように説明できる。例えば、定流量弁機構上流の圧力が瞬時的に低下した場合、絞り部２５４での圧力差が小さくなるので流量Ｑは瞬時的に減少するが、同時に第３圧力室の内圧Ｐ３も低下する。すると、受圧板２３１は図３３（ｃ）の下方に向かって移動して弁開度が大きくなるので弁抵抗Ｒが低くなり、流量Ｑが回復する。また例えば、定流量弁機構の流入口から流入する流量Ｑが瞬時的に増加した場合、絞り部２５４の圧損により第１圧力室の内圧Ｐ１が低下する。すると、受圧板２３１は図３３（ｃ）の上方に向かって移動し弁開度が小さくなるので、弁流抵抗Ｒが瞬時的に増加する。このため定流量弁機構から流出する流量は増加しない。逆の場合には、逆の作用が発生するので、流量Ｑは一定に維持される。

記録液体の粘度は常に一定であるとは限らず、例えば温度変化や循環系内全体からの長期に渡る水分蒸発による濃縮などで変化する。このため、定流量弁機構とはいっても、その粘度変化に応じて実際の流量は多少変化する。実際の設計では、この流量変動が印字物の画質に影響が出ない範囲に収まるように注意することが必要である。

３・・液体吐出ヘッド
１０・・記録素子基板
２１１・・共通供給流路
２１２・・共通回収流路
２１３・・個別供給流路
２１４・・個別回収流路
２２１・・フィルタ
２３０・・圧力制御ユニット
２３０Ｈ・・圧力調整機構
２３０Ｌ・・圧力調整機構
１０００・・液体吐出装置
１００１・・第１循環ポンプ（高圧側）
１００２・・第１循環ポンプ（低圧側）
１００３・・バッファタンク
１００４・・第２循環ポンプ
１００５・・補充ポンプ
１００６・・メインタンク

Claims (15)

1. 液体を収容する液体収容容器と、
   液体を循環経路に循環させる循環機構と、
   前記液体収容容器と流体接続され、複数の吐出口を有する液体吐出ヘッドと、
   を備える液体吐出装置であって、
   前記液体吐出ヘッドは、少なくとも一対の共通流路と、前記一対の共通流路のうち一方の共通流路と他方の共通流路とを接続し、前記複数の吐出口と各々連通する複数の個別流路と、を有し、
   前記一対の共通流路における各々の上流側又は下流側には、互いに異なる制御圧に設定される少なくとも一対の圧力調整機構が接続され、
   前記圧力調整機構は、少なくとも１つの定流量弁機構を備えることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記一対の共通流路の夫々における、前記圧力調整機構が接続された一端側とは反対側の端部側に、前記循環機構が接続されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記循環機構は、少なくとも一つの循環ポンプを備えることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出装置。
4. 前記循環機構は少なくとも一対の循環ポンプを含み、当該一対の循環ポンプは、前記一対の共通流路の夫々における前記反対側の端部側に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
5. 液体の流量を測定する流量センサーまたは液体の温度を測定する温度センサーを備え、
   前記循環機構は、前記流量センサーまたは温度センサーからの情報に基づいて、流量の制御を行う循環ポンプを含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
6. 前記定流量弁機構は、液体を保持する第１圧力室と、第１圧力室の下流側に設けられる第２圧力室と、第１圧力室の上流側に設けられる絞り部と、前記絞り部の上流側に設けられる第３圧力室と、前記第１圧力室と前記第２圧力室との連通部に設けられるオリフィスと、
   前記第１圧力室内に設けられ、前記第１圧力室と前記第２圧力室と間の流抵抗を可変するバルブと、前記オリフィスと前記バルブとの間のギャップを開放する方向へ前記バルブを付勢する付勢部材と、前記第１圧力室と第３圧力室内の記録液体圧力差の増減に応じて変位する受圧板と、前記受圧板と接合され、前記第１圧力室を流体的にシールする可撓性部材と、を含み、
   前記受圧板は前記変位を前記バルブに伝達し、前記バルブは前記変位に基づいて前記オリフィスと前記バルブとの間の前記ギャップを調整し、前記第１圧力室と前記第２圧力室との間の前記流抵抗を可変することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
7. 液体を収容する液体収容容器と、
   液体を循環経路に循環させる循環機構と、
   前記液体収容容器と流体接続され、複数の吐出口を有する液体吐出ヘッドと、
   を備える液体吐出装置であって、
   前記液体吐出ヘッドは、少なくとも一対の共通流路と、前記一対の共通流路のうち一方の共通流路と他方の共通流路とを接続し、前記複数の吐出口と各々連通する複数の個別流路と、を有し、
   前記一対の共通流路における各々の上流側又は下流側には、互いに異なる制御圧に設定される少なくとも一対の圧力調整機構が接続され、
   前記一対の圧力調整機構は、前記一対の圧力調整機構の下流側に接続される前記一対の共通流路の圧力を、前記異なる制御圧に各々調整する一対の減圧型圧力調整弁機構であることを特徴とする液体吐出装置。
8. 前記減圧型圧力調整弁機構は、
   前記液体吐出ヘッドが接続される下流側に設けられる第１圧力室と、
   前記第１圧力室の下流側に設けられる第２圧力室と、前記第１圧力室と前記第２圧力室との連通部に設けられるオリフィスと、前記第２圧力室内に設けられ、前記第１圧力室と前記第２圧力室と間の流抵抗を可変するバルブと、前記オリフィスと前記バルブとの間のギャップを閉塞する方向へ前記バルブを付勢する付勢部材と、前記第２圧力室内の液体の増減に応じて変位する受圧板と、前記受圧板と接合され、前記第２圧力室を流体的にシールする可撓性部材と、を含み、
   前記受圧板は前記変位を前記バルブに伝達し、前記バルブは前記変位に基づいて前記オリフィスと前記バルブとの間の前記ギャップを調整し、前記第１圧力室と前記第２圧力室との間の前記流抵抗を可変することを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
9. 液体を収容する液体収容容器と、
   液体を循環経路に循環させる循環機構と、
   前記液体収容容器と流体接続され、複数の吐出口を有する液体吐出ヘッドと、
   を備える液体吐出装置であって、
   前記液体吐出ヘッドは、少なくとも一対の共通流路と、前記一対の共通流路のうち一方の共通流路と他方の共通流路とを接続し、前記複数の吐出口と各々連通する複数の個別流路と、を有し、
   前記一対の共通流路における各々の上流側又は下流側には、互いに異なる制御圧に設定される少なくとも一対の圧力調整機構が接続され、
   前記一対の圧力調整機構は、前記一対の圧力調整機構の上流側に接続される前記一対の共通流路の圧力を、前記異なる制御圧に各々調整する一対の背圧型圧力調整弁機構であることを特徴とする液体吐出装置。
10. 前記背圧型圧力調整弁機構は、
    前記液体吐出ヘッドが接続される上流側に設けられる第１圧力室と、
    前記第１圧力室の下流側に設けられる第２圧力室と、前記第１圧力室と前記第２圧力室との境界に設けられるオリフィスと、前記第１圧力室内に設けられ、前記第１圧力室と前記第２圧力室と間の流抵抗を可変するバルブと、前記オリフィスと前記バルブとの間のギャップを開放する方向へ前記バルブを付勢する付勢部材と、前記第１圧力室内の液体の増減に応じて変位する受圧板と、前記受圧板と接合され、前記第１圧力室を流体的にシールする可撓性部材と、を含み、
    前記受圧板は前記変位を前記バルブに伝達し、前記バルブは前記変位に基づいて前記オリフィスと前記バルブとの間の前記ギャップを調整し、前記第１圧力室と前記第２圧力室との間の前記流抵抗を可変することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
11. 前記一対の共通流路のうち、前記一方の共通流路は正圧に制御され、前記他方の共通流路は負圧に制御されることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
12. 前記一対の圧力調整機構のうち、一方の圧力調整機構の設定圧が、当該圧力調整機構に接続された前記共通流路の内圧が正圧になるように、かつ、他方の圧力調整機構の設定圧が、当該圧力調整機構に接続された前記共通流路の内圧が負圧になるように設定されていることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
13. 前記液体吐出ヘッドは、さらに、
    吐出口と、液体を吐出するためのエネルギを発生する記録素子と、前記記録素子を内部に備える圧力室と、を備える複数の記録素子基板と、
    前記複数の記録素子基板と連通する前記一対の共通流路と、
    を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
14. 前記一対の共通流路は、前記複数の記録素子基板に前記液体を供給する共通供給流路と、前記複数の記録素子基板から前記液体を回収する共通回収流路とを備えることを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置。
15. 前記複数の個別流路は、前記共通供給流路から前記複数の記録素子基板に前記液体を供給するための個別供給流路と、前記複数の記録素子基板から前記共通回収流路に前記液体を回収するための個別回収流路とを備えることを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出装置。

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