JP6896978B2 - 発光素子の保護膜蒸着方法 - Google Patents
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims description 241
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title claims description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 48
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 36
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 22
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 12
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilane Chemical compound C[Si](C)(C)[Si](C)(C)C NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 7
- GYTROFMCUJZKNA-UHFFFAOYSA-N triethyl triethoxysilyl silicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)O[Si](OCC)(OCC)OCC GYTROFMCUJZKNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 259
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 12
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 10
- 230000009975 flexible effect Effects 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 6
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VIPCDVWYAADTGR-UHFFFAOYSA-N trimethyl(methylsilyl)silane Chemical compound C[SiH2][Si](C)(C)C VIPCDVWYAADTGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003287 bathing Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- XEJUFRSVJVTIFW-UHFFFAOYSA-N triethyl(triethylsilyl)silane Chemical compound CC[Si](CC)(CC)[Si](CC)(CC)CC XEJUFRSVJVTIFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHUUYVZLXJHWDV-UHFFFAOYSA-N trimethyl(methylsilyloxy)silane Chemical compound C[SiH2]O[Si](C)(C)C UHUUYVZLXJHWDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
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- H—ELECTRICITY
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- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
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- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
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Description
[付記]
<1>
発光素子の保護膜蒸着方法において、
基板の発光素子の上部にシリコン窒化物(SiNx)からなる第1の保護膜を蒸着する段階と、
前記第1の保護膜の上部にシリコン酸化物(SiОx)からなる第2の保護膜を蒸着する段階と、を含み、
前記第1の保護膜の厚さと第2の保護膜の厚さの比率は、0.2〜0.4:1であることを特徴とする発光素子の保護膜蒸着方法。
<2>
前記第1の保護膜と第2の保護膜を含む全厚さは、50〜180nmであることを特徴とする<1>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<3>
前記第1の保護膜の厚さは、10〜40nmであり、前記第2の保護膜の厚さは、40〜140nmであることを特徴とする<2>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<4>
前記第1の保護膜を蒸着する段階において、シラン(SiH 4 )ガスを前駆体ガスとして供給し、NH 3 またはN 2 を反応ガスとして供給し、プラズマ生成のためのRF電力密度は、0.34乃至0.58W/cm 2 の値を有することを特徴とする<1>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<5>
前記第2の保護膜を蒸着する段階において、TMDSO(Tetramethyl−disiloxane)、HEDS(Hexaethyl−disilane)、HCDS(Hexachloro−disilane)、HMDSO(Hexamethyl−disiloxane)、BDEAS(Bisdiethylamino−silane)からなる有機前駆体の群からいずれか一つを選択して供給し、О 2 またはArを反応ガスとして供給し、プラズマ生成のためのRF電力密度は、0.63〜0.87W/cm 2 の値を有することを特徴とする<1>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<6>
前記第2の保護膜の上部にバッファ膜を蒸着する段階をさらに含むことを特徴とする<1>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<7>
前記バッファ膜は、カーボンを含有したシリコン酸化物からなることを特徴とする<6>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<8>
前記バッファ膜を蒸着する段階と、前記第2の保護膜を蒸着する段階は、同一の有機前駆体を用いることを特徴とする<7>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<9>
前記バッファ膜を蒸着する段階と、前記第2の保護膜を蒸着する段階は、連続的に行われることを特徴とする<8>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<10>
前記第2の保護膜を蒸着する段階から前記バッファ膜を蒸着する段階に移る場合、前記有機前駆体の供給量が相対的に増加しながら、前記反応ガスの供給量は相対的に減ることを特徴とする<9>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
<11>
前記第1の保護膜を蒸着する段階と前記第2の保護膜を蒸着する段階を繰り返して、多層保護膜を蒸着することを特徴とする<1>に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
Claims (8)
- 発光素子の保護膜蒸着方法において、
基板の発光素子の上部にシリコン窒化物(SiNx)からなる第1の保護膜を蒸着する段階と、
前記第1の保護膜の上部にシリコン酸化物(SiОx)からなる第2の保護膜を蒸着する段階と、
前記第2の保護膜の上部にバッファ膜を蒸着する段階と、を含み、
前記第1の保護膜の厚さと第2の保護膜の厚さの比率は、0.2〜0.4:1であり、前記バッファ膜は、カーボンを含有したシリコン酸化物からなり、前記バッファ膜を蒸着する段階と、前記第2の保護膜を蒸着する段階は、同一の有機前駆体を用いることを特徴とする発光素子の保護膜蒸着方法。 - 前記第1の保護膜と第2の保護膜を含む全厚さは、50〜180nmであることを特徴とする請求項1に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
- 前記第1の保護膜の厚さは、10〜40nmであり、前記第2の保護膜の厚さは、40〜140nmであることを特徴とする請求項2に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
- 前記第1の保護膜を蒸着する段階において、シラン(SiH4)ガスを前駆体ガスとして供給し、NH3またはN2を反応ガスとして供給し、プラズマ生成のためのRF電力密度は、0.34乃至0.58W/cm2の値を有することを特徴とする請求項1に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
- 前記第2の保護膜を蒸着する段階において、TMDSO(Tetramethyl−disiloxane)、HEDS(Hexaethyl−disilane)、HCDS(Hexachloro−disilane)、HMDSO(Hexamethyl−disiloxane)、BDEAS(Bisdiethylamino−silane)からなる有機前駆体の群からいずれか一つを選択して供給し、О2またはArを反応ガスとして供給し、プラズマ生成のためのRF電力密度は、0.63〜0.87W/cm2の値を有することを特徴とする請求項1に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
- 前記バッファ膜を蒸着する段階と、前記第2の保護膜を蒸着する段階は、連続的に行われることを特徴とする請求項1に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
- 前記第2の保護膜を蒸着する段階から前記バッファ膜を蒸着する段階に移る場合、前記有機前駆体の供給量が相対的に増加しながら、反応ガスの供給量は相対的に減ることを特徴とする請求項6に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
- 前記第1の保護膜を蒸着する段階と前記第2の保護膜を蒸着する段階を繰り返して、多層保護膜を蒸着することを特徴とする請求項1に記載の発光素子の保護膜蒸着方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160027868A KR101809885B1 (ko) | 2016-03-08 | 2016-03-08 | 발광소자의 보호막 증착방법 |
KR10-2016-0027868 | 2016-03-08 | ||
PCT/KR2017/002470 WO2017155289A1 (ko) | 2016-03-08 | 2017-03-07 | 발광소자의 보호막 증착방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019512874A JP2019512874A (ja) | 2019-05-16 |
JP6896978B2 true JP6896978B2 (ja) | 2021-06-30 |
Family
ID=59790743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018545633A Active JP6896978B2 (ja) | 2016-03-08 | 2017-03-07 | 発光素子の保護膜蒸着方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10777777B2 (ja) |
JP (1) | JP6896978B2 (ja) |
KR (1) | KR101809885B1 (ja) |
CN (1) | CN108780851B (ja) |
WO (1) | WO2017155289A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102554830B1 (ko) | 2018-10-04 | 2023-07-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0479194A (ja) * | 1990-07-19 | 1992-03-12 | Toshiba Corp | 薄膜el素子 |
JP2006164543A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Serubakku:Kk | 有機el素子の封止膜、有機el表示パネルおよびその製造方法 |
JP4707403B2 (ja) * | 2005-02-02 | 2011-06-22 | 株式会社アルバック | パルス分割供給によるプラズマ処理方法及び装置並びにプラズマcvd方法 |
US7652305B2 (en) * | 2007-02-23 | 2010-01-26 | Corning Incorporated | Methods and apparatus to improve frit-sealed glass package |
WO2008132671A2 (en) * | 2007-04-27 | 2008-11-06 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Oled-arrangement provided with an encapsulating structure |
JP5532557B2 (ja) * | 2007-07-09 | 2014-06-25 | 大日本印刷株式会社 | ガスバリア性シート、ガスバリア性シートの製造方法、封止体、及び有機elディスプレイ |
JP4626649B2 (ja) | 2007-12-21 | 2011-02-09 | ソニー株式会社 | 有機発光装置の製造方法 |
TWI388078B (zh) * | 2008-01-30 | 2013-03-01 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 電子組件之製造方法及電子組件 |
KR101549262B1 (ko) * | 2009-06-29 | 2015-09-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광소자 및 그 제조방법 |
KR101089715B1 (ko) * | 2009-11-05 | 2011-12-07 | 한국기계연구원 | 다층 박막형 봉지막 및 이의 제조방법 |
JP5577124B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-08-20 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機半導体装置及びその製造方法 |
US20130247971A1 (en) * | 2011-09-20 | 2013-09-26 | Air Products And Chemicals, Inc. | Oxygen Containing Precursors for Photovoltaic Passivation |
KR101862606B1 (ko) * | 2011-10-05 | 2018-07-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 플렉시블 oled 표시장치 |
KR20140008747A (ko) * | 2012-07-11 | 2014-01-22 | 삼성전자주식회사 | 화상형성장치 및 방법 |
JP6125176B2 (ja) * | 2012-08-27 | 2017-05-10 | シャープ株式会社 | 高透過率保護膜作製方法および半導体発光素子の製造方法 |
FR2997770B1 (fr) * | 2012-11-07 | 2015-11-20 | Saint Gobain | Support electroconducteur pour vitrage a diffusion variable par cristaux liquides, et un tel vitrage |
JP6040769B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2016-12-07 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及びその製造方法 |
KR20140087470A (ko) * | 2012-12-31 | 2014-07-09 | 주식회사 테스 | 발광소자의 보호막 증착방법 |
JP6005536B2 (ja) * | 2013-01-25 | 2016-10-12 | 株式会社神戸製鋼所 | アーク蒸発源を備えたプラズマcvd装置 |
JP6335675B2 (ja) * | 2014-06-19 | 2018-05-30 | 株式会社Joled | マスク及び有機発光デバイスの製造方法 |
-
2016
- 2016-03-08 KR KR1020160027868A patent/KR101809885B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-03-07 CN CN201780015710.3A patent/CN108780851B/zh active Active
- 2017-03-07 JP JP2018545633A patent/JP6896978B2/ja active Active
- 2017-03-07 WO PCT/KR2017/002470 patent/WO2017155289A1/ko active Application Filing
-
2018
- 2018-09-07 US US16/124,475 patent/US10777777B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10777777B2 (en) | 2020-09-15 |
CN108780851A (zh) | 2018-11-09 |
US20190019996A1 (en) | 2019-01-17 |
KR101809885B1 (ko) | 2017-12-20 |
KR20170104882A (ko) | 2017-09-18 |
JP2019512874A (ja) | 2019-05-16 |
WO2017155289A1 (ko) | 2017-09-14 |
CN108780851B (zh) | 2020-10-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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