JP6896150B1 - 波面計測装置及び波面計測方法 - Google Patents
波面計測装置及び波面計測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6896150B1 JP6896150B1 JP2020506387A JP2020506387A JP6896150B1 JP 6896150 B1 JP6896150 B1 JP 6896150B1 JP 2020506387 A JP2020506387 A JP 2020506387A JP 2020506387 A JP2020506387 A JP 2020506387A JP 6896150 B1 JP6896150 B1 JP 6896150B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- images
- light
- relative position
- wavefront
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 26
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 167
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 54
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 26
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 80
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 26
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 21
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 17
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 238000005314 correlation function Methods 0.000 description 5
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 5
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000007476 Maximum Likelihood Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Surgery (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
しかし、光を出射する光源が、点光源から出射される光よりも広がりのある光を出射する光源であれば、イメージセンサにより受光された複数の被検光におけるそれぞれの像の形状が異方的になることがある。イメージセンサにより受光された複数の被検光におけるそれぞれの像の形状が異方的である場合、光の波面が平面波であっても、複数の被検光におけるそれぞれの像の重心位置と、撮像中心位置とがずれることがあり、位置ずれの大きさは、被検光の像の形状に依存する。したがって、光の局所的な波面の傾き以外の要因で、複数の被検光におけるそれぞれの像の重心位置が、撮像中心位置からずれるため、当該波面計測装置のコンピュータが、複数の被検光におけるそれぞれの像の重心位置を算出しても、波面を算出することができないことがあるという課題があった。
図1は、実施の形態1に係る波面計測装置を示す構成図である。
図2は、実施の形態1に係る波面計測装置における波面計測部10のハードウェアを示すハードウェア構成図である。
図1において、光源1は、光を被検体2に向けて出射する。図1に示す波面計測装置では、光源1が波面計測装置の外部に設けられている。しかし、これは一例に過ぎず、光源1が波面計測装置の内部に設けられていてもよい。
被検体2は、光源1から出射された光を透過させる物体、又は、光源1から出射された光を反射させる物体である。被検体2としては、レンズ又は鏡等が考えられる。
リレー光学系3は、被検体2を透過してきた光の瞳、又は、被検体2により反射された光の瞳を、後述する波面分割部6に転写する光学系である。
複数の波長選択部5−1〜5−Nのうち、互いに隣り合う位置に配置される波長選択部5は、互いに異なる波長成分を選択する。また、複数の波長選択部5−1〜5−Nのうち、互いに同一の波長成分を選択する2つ以上の波長選択部5は、飛び飛びに配置されている。
複数の波長選択部5−1〜5−Nは、複数の組に分けられている。
複数の波長選択部5−1〜5−Nのうち、同じ組に属している2つ以上の波長選択部5は、互いに同一の波長成分を選択する。
複数の波長選択部5−1〜5−Nのうち、或る組に属している2つ以上の波長選択部5は、他の組に属している2つ以上の波長選択部5と異なる波長成分を選択する。
波長選択部5−n(n=1,・・・,N)は、例えば、カラーフィルタによって実現される。
波長選択部5−nは、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、いずれか1つの波長成分を選択する。
波長選択部5−nは、選択した波長成分を有する光を、波面分割部6の後述するレンズ6−nに与える。
波面分割部6は、波長選択部5−1〜5−Nにより選択された波長成分を有する光を空間的に複数の光に分割するものである。レンズ6−1〜6−Nは、波長選択部5−1〜5−Nにより選択された波長成分を有する光を、後述する受光部8における撮像面8aの互いに異なる位置に集光する。
複数のレンズ6−1〜6−Nは、例えば、図5に示すように、格子状に配置されている。しかし、複数のレンズ6−1〜6−Nの配置は、格子状の配置に限るものではなく、例えば、ハニカム状の配置であってもよい。
なお、レンズアレイに含まれている複数のレンズの間の領域は、波長選択部5−1〜5−Nにより選択された波長成分を有する光を透過さないように、黒色に塗られている。しかし、複数のレンズの間の領域は、波長選択部5−1〜5−Nにより選択された波長成分を有する光を透過させなければよく、当該光を吸収、又は、当該光を散乱させるような色が塗られていてもよいし、当該光を吸収、又は、当該光を散乱させるような加工が施されていてもよい。
制御回路7は、撮像の露光条件を示す制御信号を受光部8に出力するほか、受光部8により形成された複数の像61のうち、2つ以上の読み出し対象の像61の読み出しを指示する制御信号を、後述する読み出し部9に出力する。
受光部8の撮像面8aは、波面分割部6と対向しており、複数のレンズ6−1〜6−Nによって、複数の光が集光される。
受光部8は、複数のレンズ6−1〜6−Nによって、撮像面8aに集光されたそれぞれの光を受光して、それぞれの光の像61を形成する。
受光部8は、形成したそれぞれの像61を示す電気信号を読み出し部9に出力する。
撮像面8aに配置されている画素8a−m(m=1,・・・,M)のサイズ8bは、1つのレンズ6−n(n=1,・・・,N)により光が集光される領域6a−nのサイズ6bよりも十分に小さい(図10を参照)。図10については後述する。
撮像面8aには、1つのレンズ6−n(n=1,・・・,N)に対して、例えば、(16×16)〜(100×100)の画素8a−mが、例えば、格子状に配置されている。1つのレンズ6−n(n=1,・・・,N)に対して、(16×16)〜(100×100)の画素8a−mが配置されている場合、撮像面8aに配置される画素8a−mの個数は、16×16×N〜100×100×Nである。図10では、N=16、M=256である。
撮像面8aにおける領域6a−1〜6a−Nのそれぞれに配置されている画素8a−m(m=1,・・・,M)は、制御回路7から出力された制御信号が示す露光条件に従って、レンズ6−nによって集光された光を撮像し、撮像した光を電気信号に変換する。
図1に示す波面計測装置では、読み出し部9が波面計測部10の外部に設けられている。しかし、これは一例に過ぎず、読み出し部9が波面計測部10の内部に設けられていてもよい。
相対位置演算部11は、例えば、図2に示す相対位置演算回路21によって実現される。
相対位置演算部11は、読み出し部9から出力された電気信号を取得する。
相対位置演算部11は、取得した電気信号に基づいて、読み出し部9により読み出された2つ以上の像61の間の相関を演算することによって、2つ以上の像61の相対位置を演算する。
相対位置演算部11は、演算した2つ以上の像61の相対位置を波面算出部12に出力する。
波面算出部12は、相対位置演算部11により演算された相対位置から、被検体2を透過してきた光、又は、被検体2により反射された光の波面を算出する。
波面算出部12は、算出した波面を外部に出力する。
ここで、相対位置演算回路21及び波面算出回路22のそれぞれは、例えば、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、FPGA(Field−Programmable Gate Array)、又は、これらを組み合わせたものが該当する。
ソフトウェア又はファームウェアは、プログラムとして、コンピュータのメモリに格納される。コンピュータは、プログラムを実行するハードウェアを意味し、例えば、CPU(Central Processing Unit)、中央処理装置、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、プロセッサ、あるいは、DSP(Digital Signal Processor)が該当する。
図3は、波面計測部10が、ソフトウェア又はファームウェア等によって実現される場合のコンピュータのハードウェア構成図である。
波面計測部10が、ソフトウェア又はファームウェア等によって実現される場合、相対位置演算部11及び波面算出部12の処理手順をコンピュータに実行させるためのプログラムがメモリ31に格納される。そして、コンピュータのプロセッサ32がメモリ31に格納されているプログラムを実行する。
レンズ等の光学部品、又は、人間の瞳等は、光が透過する。光学部品の中を光が透過、又は、人間の瞳の中を光が透過することによって、光の位相の空間分布が変化する。また、鏡等の光学部品は、光を反射させる。光学部品が光を反射させることによって、光の位相の空間分布が変化する。光は、電磁波であるため、位相の空間分布は、光の波面に相当する。
光の波面を計測する波面計測装置として、例えば、シャック・ハルトマン方式の波面センサが知られている。
図1に示す波面計測装置は、シャック・ハルトマン方式の波面センサと同様に、複数のレンズ6−1〜6−Nを含んでいるレンズアレイによって実現される波面分割部6と、受光部8とを備えている。
図1に示す波面計測装置は、シャック・ハルトマン方式の波面センサに含まれている従来の波面計測部と異なる波面計測部10を備えており、波面計測部10は、相対位置演算部11と、波面算出部12とを備えている。
図4は、被検体2を透過してきた光等の波面が平面波である例を示しており、図5は、被検体2を透過してきた光等が、球面波である例を示している。
図6は、光源1が、点光源から出射される光よりも広がりのある光を出射する光源であるときに、受光部8により形成される複数の像61と、被検体2を透過してきた光、又は、被検体2により反射された光の波面とを示す説明図である。図6は、被検体2を透過してきた光等が、球面波である例を示している。
図4〜図6において、x方向は、レンズ6−n(n=1,・・・,N)における2つの並び方向及び画素8a−m(m=1,・・・,M)における2つの並び方向のうち、図中、横方向の並び方向と対応している。y方向は、レンズ6−n(n=1,・・・,N)における2つの並び方向及び画素8a−m(m=1,・・・,M)における2つの並び方向のうち、図中、縦方向の並び方向と対応している。
図7において、81は、リレー光学系3を通ってきた光の波長の範囲を示している。
波長の範囲81は、波長λ0〜λ5の範囲である。
波長81aは、波長の範囲81に含まれており、中心波長がλ1である。
波長81bは、波長の範囲81に含まれており、中心波長がλ2である。
波長81cは、波長の範囲81に含まれており、中心波長がλ3である。
波長81dは、波長の範囲81に含まれており、中心波長がλ4である。
λ0<λ1<λ2<λ3<λ4<λ5である。
波長選択部5−1〜5−Nのそれぞれは、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、波長81aの成分、波長81bの成分、波長81cの成分、又は、波長81dの成分を選択する。
図8では、波長選択部5−1〜5−16が、選択する波長成分によって、4つの組に分かれており、波長選択部5−1,5−3,5−9,5−11は、同じ組に属している。当該組は、便宜上、組(1)であるとする。
また、波長選択部5−2,5−4,5−10,5−12は、同じ組に属している。当該組は、便宜上、組(2)であるとする。
波長選択部5−5,5−7,5−13,5−15は、同じ組に属している。当該組は、便宜上、組(3)であるとする。
また、波長選択部5−6,5−8,5−14,5−16は、同じ組に属している。当該組は、便宜上、組(4)であるとする。
波長選択部5−2,5−4,5−10,5−12は、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、互いに同一の波長成分として、波長81bの成分を選択している。
波長選択部5−5,5−7,5−13,5−15は、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、互いに同一の波長成分として、波長81cの成分を選択している。
波長選択部5−6,5−8,5−14,5−16は、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、互いに同一の波長成分として、波長81dの成分を選択している。
光源1は、光を被検体2に向けて出射する。
被検体2は、レンズ等の光学部品であれば、光源1から出射された光を透過させる。
被検体2は、鏡等の光学部品であれば、光源1から出射された光を反射させる。
リレー光学系3は、被検体2を透過してきた光の瞳、又は、被検体2により反射された光の瞳を波面分割部6に転写する。
波長選択部5−2,5−4,5−10,5−12は、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、波長81bの成分を選択し、波長81bの成分を有する光を波面分割部6のレンズ6−2,6−4,6−10,6−12に出力する。
波長選択部5−5,5−7,5−13,5−15は、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、波長81cの成分を選択し、波長81cの成分を有する光を波面分割部6のレンズ6−5,6−7,6−13,6−15に出力する。
波長選択部5−6,5−8,5−14,5−16は、リレー光学系3を通ってきた光に含まれている複数の波長成分のうち、波長81dの成分を選択し、波長81dの成分を有する光を波面分割部6のレンズ6−6,6−8,6−14,6−16に出力する。
即ち、波面分割部6のレンズ6−1〜6−Nは、図4〜図6に示すように、波長選択部5−1〜5−Nにより選択された波長成分を有する光を、受光部8における撮像面8aの互いに異なる位置に集光する。
受光部8は、撮像面8aに集光されたそれぞれの光を受光して、それぞれの光の像61を形成する。
即ち、撮像面8aの領域6a−n(n=1,・・・,N)に配置されている画素8a−m(m=1,・・・,M)は、制御回路7から出力された制御信号が示す露光条件に従って、レンズ6−nによって集光された光を撮像し、撮像した光を電気信号に変換する。
読み出し部9は、受光部8により形成された複数の像61の中から、制御回路7から出力された制御信号が示す2つ以上の読み出し対象の像61を示す電気信号の読み出しをそれぞれ行う。
読み出し部9は、読み出した2つ以上の像61を示す電気信号を波面計測部10の相対位置演算部11に出力する。読み出し部9により読み出された2つ以上の像61の配列は、“Hartmanngram”と呼ばれる。
相対位置演算部11は、読み出し部9から出力されたそれぞれの電気信号を取得する(図9のステップST1)。
相対位置演算部11は、取得した電気信号に基づいて、読み出し部9により読み出された2つ以上の像61の間の相関を演算することによって、2つ以上の像61の相対位置を演算する(図9のステップST2)。
相対位置演算部11は、演算した2つ以上の像61の相対位置を波面算出部12に出力する。
相対位置演算部11による相対位置の演算処理の詳細については、後述する。
光源1が点光源であれば、受光部8により形成される像61の形状が等方的である。被検体2を透過してきた光等の波面が平面波であれば、図4に示すように、レンズ6−n(n=1,・・・,N)によって集光される光の位置は、撮像面8a上の位置のうち、レンズ6−nの中心位置に対応する位置(以下、「撮像中心位置」と称する)と概ね一致する。撮像中心位置は、x方向の撮像中心線と、y方向の撮像中心線とが交差する位置である。図4は、x方向の撮像中心線を1本だけ表しているが、レンズ6−nがy方向に例えばK(Kは、2以上の整数)個配置されていれば、K本の撮像中心線がある。また、図4は、y方向の撮像中心線を1本だけ表しているが、レンズ6−nがx方向に例えばL(Lは、2以上の整数)個配置されていれば、L本の撮像中心線がある。なお、図4〜図6では、K=10、L=10である。
光源1が点光源であっても、被検体2を透過してきた光等の波面が、平面波以外の球面波等である場合、図5に示すように、レンズ6−nによって集光される光の位置は、撮像中心位置からずれる。
光源1が、点光源から出射される光よりも広がりのある光を出射する光源である場合も、被検体2を透過してきた光等の波面が、平面波以外の球面波等であれば、図6に示すように、レンズ6−nによって集光される光の位置は、撮像中心位置からずれる。
レンズ6−nによって集光される光の位置ずれと、波面分割部6に入射される光の局所的な波面の傾きとの間に相関がある。したがって、光の位置ずれが求まれば、例えば、以下の非特許文献1に開示されている波面の算出方法を用いて、光の波面を求めることができる。レンズ6−1〜6−Nによって集光されるそれぞれの光の位置ずれは、受光部8により形成される複数の像61の相対位置から求めることができる。
[非特許文献1]
国立天文台報 vol.2 No.2 “シャック・ハルトマン鏡面測定装置のデータ処理”
図10は、N=16、M=256の例を示しており、16個のレンズ4−1〜4−16が格子状に配置されている。また、1つのレンズ6−nに対応している256個の画素8a−1〜6a−256が格子状に配置されている。
6bは、領域6a−n(n=1,・・・,16)のサイズである。図10に示すサイズ6bは、領域6a−nのx方向のサイズを示している。領域6a−nのy方向のサイズは、領域6a−nのx方向のサイズ6bと同じである。
8bは、画素8a−m(m=1,・・・,M)のサイズである。図10に示すサイズ8bは、画素8a−mのx方向のサイズを示している。画素8a−mのy方向のサイズは、画素8a−mのx方向のサイズ8bと同じである。図10では、サイズ8bは、サイズ6bの16分の1である。
図11Aにおいて、横軸は、図10に示す画素8a−1〜8a−256のx方向の並び方向に対応している。縦軸は、光の強度である。
光強度分布41は、レンズ6−7により集光された光の強度分布である。光強度分布41は、受光部8の画素8a−1〜8a−256によって、像61が形成される前の光の強度分布であるため、連続的な強度分布になっている。42は、ノイズ成分である。
図11Bは、受光部8により形成された複数の像61のうち、レンズ6−7により集光された光の像61の強度分布を示す説明図である。
図11Bにおいて、横軸は、図10に示す画素8a−1〜8a−256のx方向の並び方向に対応している。縦軸は、像61の強度である。
受光部8が光の像61を形成することで、図11Aに示す連続的な光強度分布41は、画素8a−1〜8a−256におけるそれぞれのサイズ8bに対応する離散的な点像強度分布43に変換される。43aは、点像強度分布43の分布幅であり、図11Bでは、点像強度分布43の分布幅43aが、サイズ8b×3である。44は、ノイズ成分である。
45は、光強度分布41がx方向に広がったときに、点像強度分布43の分布幅43aが、x方向に広がることが可能な範囲(以下、「広がり可能範囲」と称する)である。
一方、点像強度分布43の分布幅43aが大き過ぎて、分布幅43aがサイズ6bに近くなると、点像強度分布43に係る画素の数が多くなり、広がり可能範囲45が相対的に狭くなる。広がり可能範囲45が相対的に狭くなることによって、測定可能な波面の傾斜の幅が減少する。
したがって、点像強度分布43の分布幅43aは、サイズ8bよりも大きく、かつ、サイズ6bよりも十分に小さいことが望ましい。
読み出し部9によって、1つおきの画素8a−mにより形成された像61が読み出されることで、図11Bに示す点像強度分布43は、2つの点像強度分布43’に変換される。
点像強度分布43の分布幅43aが数画素程度の場合、1つおきの画素によって読み出されると、そもそも数画素程度にしか広がっていない点像強度分布43を間引いているので、重心演算では、サイズ8bより細かい単位であるサブピクセル単位で位置を求めることができない。しかしながら、相関演算では、2つの点像強度分布43’を含む点像強度分布の分布幅43a’がサイズ8bよりも広いため、1つおきの画素に間引いても、分布幅43a’の裾部分の相関をつかって、サブピクセル精度で位置を求めることができる。分布幅43a’の裾部分は、図中、2つの点像強度分布43’である。
ただし、図12では、図10と異なり、光源1が、点光源から出射される光よりも広がりのある光を出射している。
図12は、図10と同様に、N=16、M=256の例を示しており、16個のレンズ4−1〜4−16が格子状に配置されている。また、1つのレンズ6−nに対応している256個の画素8a−1〜6a−256が格子状に配置されている。
像61−7’は、レンズ6−7により集光された光の像61の一部であり、像61−7’は、自動車の形状を表している。
図13Aにおいて、横軸は、図12に示す画素8a−1〜8a−256のx方向の並び方向に対応している。縦軸は、光の強度である。
光強度分布51は、レンズ6−7により集光された光の一部の強度分布である。光強度分布51は、受光部8の画素8a−1〜8a−256によって、像61−7’が形成される前の光の強度分布であるため、連続的な強度分布になっている。
図13Bは、像61−7’の強度分布を示す説明図である。
受光部8が像61−7’を形成することで、図13Aに示す連続的な光強度分布51は、画素8a−1〜8a−256におけるそれぞれのサイズ8bに対応する離散的な広がり像強度分布52に変換される。52aは、広がり像強度分布52の分布幅であり、図13Bでは、広がり像強度分布52の分布幅52aが、サイズ6b×12である。
したがって、光源1が、点光源から出射される光よりも広がりのある光を出射する光源である場合、光源1が点光源である場合よりも、広がり可能範囲45が相対的に狭くなることがある。広がり可能範囲45が相対的に狭くなることによって、測定可能な波面の傾斜の幅が減少する。
読み出し部9によって、1つおきの画素8a−mにより形成された像61が読み出されることで、図13Bに示す広がり像強度分布52は、広がり像強度分布52’に変換される。
広がり像強度分布52の分布幅52aがサイズ8bよりも広い場合、1つおきの画素によって読み出されても、広がり像強度分布52のパターンの特徴が残っているため、1つおきの画素の相関を使って、サブピクセル精度で位置を求めることができる。
ここでは、説明の便宜上、図14に示すように、光源1が、点光源から出射される光よりも広がりのある光を出射する光源であるものとする。
図14は、受光部8により形成された16個の像61−1〜61−16の相対位置を示す説明図である。図14では、受光部8により形成された複数の像61を区別するために、像61−1〜61−16のように表記している。
図14では、像61−1〜61−16の形状が、例えば、回転対称のような対称性がない、自動車の形状である。
図14において、●は、像61−1〜61−16の相対位置を示している。
読み出し部9は、読み出した像61−1〜61−16を示す電気信号を波面計測部10の相対位置演算部11に出力する。
受光部8により形成された16個の像61−1〜61−16は、互いに相似な形状の像であるため、像61−1〜61−16のパターンマッチング処理によって、像61−1〜61−16の相対位置を求めることが可能である。
16個の像61−1〜61−16のうち、例えば、像61−1の位置が、相対位置の基準位置であるとすれば、相対位置演算部11が、像61−1と、像61−j(j=2,・・・,16)とのパターンマッチング処理を実施することによって、像61−1〜61−16の相対位置を求めることができる。
図14では、像61−7の位置が、相対位置の基準位置であるとして、像61−7に対する像61−8の相対位置を求めている。
以下、像61−7に対する像61−8の相対位置の演算処理を例示する。
像61−7は、受光部8により形成された像61−1〜61−16のうち、レンズ6−7により集光された光の像である。像61−8は、受光部8により形成された像61−1〜61−16のうち、レンズ6−8により集光された光の像である。
また、相対位置演算部11は、読み出し部9から出力された複数の電気信号のうち、領域6a−8に含まれている画素8a−m(m=1,・・・,256)から出力された電気信号Ii(x,y)を取得する。電気信号Ii(x,y)は、画素8a−mにより撮像された光の強度を示している。(x,y)は、領域6a−8内の画素8a−mの座標を示している。また、(x,y)は、図中、領域6a−8内の左上隅に存在する画素を起点としており、x=1,2,・・・,16、y=1,2,・・・,16である。
次に、相対位置演算部11は、以下の式(1)に示すように、像61−8をx方向に変位δxだけシフトし、像61−8をy方向に変位δyだけシフトしたときの残差の和ESSD(δx,δy)を算出する。
相対位置演算部11は、例えば、最尤法を用いて、残差の和ESSD(δx,δy)が最小となる変位δx及び変位δyのそれぞれを求める。
相対位置演算部11は、残差の和ESSD(δx,δy)が最小となる変位δxを、像61−7に対する像61−8のx方向の相対位置として、波面算出部12に出力する。また、相対位置演算部11は、残差の和ESSD(δx,δy)が最小となる変位δyを、像61−7に対する像61−8のy方向の相対位置として、波面算出部12に出力する。
しかし、これは一例に過ぎず、相対位置演算部11が、以下の式(2)に示すように、像61−8をx方向に変位δxだけシフトし、像61−8をy方向に変位δyだけシフトしたときの相互相関関数ECC(δx,δy)を算出する。そして、相対位置演算部11が、像61−7に対する像61−8のx方向の相対位置として、相互相関関数ECC(δx,δy)が最大となる変位δxを求め、像61−7に対する像61−8のy方向の相対位置として、相互相関関数ECC(δx,δy)が最大となる変位δyを求めるようにしてもよい。
まず、相対位置演算部11は、Ii(x,y)を以下の式(3)に示すようにフーリエ変換し、IRef(x,y)を以下の式(4)に示すようにフーリエ変換する。
式(3)及び式(4)において、F[]は、フーリエ変換を示す記号であり、u,vは、周波数領域での変数である。
次に、相対位置演算部11は、以下の式(5)に示すように、Ii(u,v)とIRef(u,v)との積で表される相互パワースペクトルP(u,v)を算出する。
相互パワースペクトルP(u,v)は、Wiener−Khinchinの定理より、以下の式(6)のように表される。
相対位置演算部11は、相互パワースペクトルP(u,v)を逆フーリエ変換することで、相互相関関数ECC(δx,δy)を算出する。
複数の像61の相対位置を演算する方法は、残差の和ESSD(δx,δy)が最小となる変位δx,δyを求める方法に限るものではない。
相対位置演算部11は、例えば、SSD(Sum of Squared Difference)法、SAD(Sum of Absolute Difference)法、相互相関法(Cross Correlation)、正規化相互相関(NCC:Normalized Cross Correlation)法、零平均正規化相互相関(ZNCC:Zero means Normalized Cross Correlation)法、又は、位相限定相関(POC:Phase−Only Correlation)法を用いて、複数の像61の相対位置を演算するようにしてもよい。
制御回路7は、組(1)〜(4)のうち、例えば、組(1)に属している波長選択部5−1,5−3,5−9,5−11により選択された波長の成分81aを有する光の像61−1,61−3,61−9,61−11の読み出しを指示する制御信号を読み出し部9に出力する。
読み出し部9は、制御回路7から出力された制御信号に従って、受光部8により形成された像61−1〜6−16のうち、像61−1,61−3,61−9,61−11を示す電気信号のそれぞれを読み出し、それぞれの電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、取得した電気信号に基づいて、像61−1,61−3,61−9,61−11の間の相関を演算することによって、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置(図15を参照)を演算する。
図15は、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置等を示す説明図である。図15では、N=16である。
相対位置演算部11は、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置を波面算出部12に出力する。
相対位置演算部11が、像61−1,61−3,61−9,61−11の間の相関を演算する場合の広がり可能範囲が、受光部8により形成された像61−1〜6−16の全てを用いて、像61−1〜6−16の間の相関を演算する場合の広がり可能範囲45と比べて、概ね2倍になるため、波面の測定ダイナミックレンジが概ね2倍になる。
しかし、これは一例に過ぎず、制御回路7が、例えば、組(2)に属している波長選択部5−2,5−4,5−10,5−12により選択された波長の成分81bを有する光の像61−2,61−4,61−10,61−12の読み出しを指示する制御信号を読み出し部9に出力するようにしてもよい。
この場合、読み出し部9は、制御回路7から出力された制御信号に従って、受光部8により形成された像61−1〜6−16のうち、像61−2,61−4,61−10,61−12を示す電気信号をそれぞれ読み出し、それぞれの電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、像61−2,61−4,61−10,61−12の間の相関を演算することによって、像61−2,61−4,61−10,61−12の相対位置(図15を参照)を演算する。
この場合、読み出し部9は、制御回路7から出力された制御信号に従って、受光部8により形成された像61−1〜6−16のうち、像61−3,61−7,61−11,61−15を示す電気信号をそれぞれ読み出し、それぞれの電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、像61−3,61−7,61−11,61−15の間の相関を演算することによって、像61−3,61−7,61−11,61−15の相対位置(図15を参照)を演算する。
この場合、読み出し部9は、制御回路7から出力された制御信号に従って、受光部8により形成された像61−1〜6−16のうち、像61−4,61−8,61−12,61−16を示す電気信号をそれぞれ読み出し、それぞれの電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、像61−4,61−8,61−12,61−16の間の相関を演算することによって、像61−4,61−8,61−12,61−16の相対位置(図15を参照)を演算する。
以下、波面算出部12による波面の算出処理を具体的に説明する。
波面算出部12は、内部メモリに格納されている位置ずれと、相対位置演算部11により算出された複数の像61の相対位置とに基づいて、受光部8により形成された複数の像61におけるそれぞれの位置と、複数の像61におけるそれぞれの撮像中心位置との位置ずれを算出する。
このとき、像61−1と像61−nとの相対位置がδ1−nであるとすると、像61−nの位置と、像61−nの撮像中心位置との位置ずれLgnは、以下の式(7)のように表される。
Lgn=δ1−n+Lg1 (7)
波面算出部12は、複数の像61におけるそれぞれの位置ずれから、被検体2を透過してきた光、又は、被検体2により反射された光の波面を算出する。
複数の像61におけるそれぞれの位置ずれから波面を算出する処理自体は、公知であり、例えば、非特許文献1に記載されている“シャック・ハルトマン鏡面測定装置のデータ処理”を用いれば、複数の像61におけるそれぞれの位置ずれから、波面を算出することができる。
波面算出部12は、算出した波面を外部に出力する。
光源1が点光源であっても、レンズ6−nによって集光される光の位置ずれと、波面分割部6に入射される光の局所的な波面の傾きとの間に相関があるため、相対位置演算部11が、複数の点像の相対位置を演算し、波面算出部12が、複数の点像の相対位置から波面を算出するようにしてもよい。
実施の形態2では、読み出し部13が、G個の読み出し処理部14−1〜14−Gを備えている波面計測装置について説明する。Gは、2以上の整数である。
図16において、図1と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。
図16に示す波面計測装置では、複数の波長選択部5−1〜5−Nが、G個の組に分けられている。
読み出し部13は、組(1)〜(G)の組のうち、いずれか1つの組(g)(g=1,・・・,G)に属している2つ以上の波長選択部5により選択された波長成分の像61を示す電気信号をそれぞれ読み出し、読み出したそれぞれの電気信号を相対位置演算部11に出力するG個の読み出し処理部14−1〜14−Gを備えている。
複数の波長選択部5−1〜5−Nが、例えば、4つに分けられていれば、読み出し部13は、組(1)に対応する読み出し処理部14−1と、組(2)に対応する読み出し処理部14−2と、組(3)に対応する読み出し処理部14−3と、組(4)に対応する読み出し処理部14−4とを備えている。
図16に示す波面計測装置では、読み出し部13が波面計測部10の外部に設けられている。しかし、これは一例に過ぎず、読み出し部13が波面計測部10の内部に設けられていてもよい。
読み出し処理部14−gは、取得した制御信号が、組(g)に属している波長選択部5により選択された波長成分の像61を示す電気信号の読み出しを指示していれば、受光部8により形成された複数の像61の中から、組(g)に属している2つ以上の波長選択部5により選択された波長成分の像61を示す電気信号の読み出しをそれぞれ行う。
読み出し処理部14−gは、読み出した2つ以上の像61を示す電気信号を相対位置演算部11に出力する。
読み出し部13以外は、図1に示す波面計測装置と同様であるため、ここでは、主に、読み出し部13の動作について説明する。以下、N=16、G=4であるものとする。
また、制御回路7は、組(2)に属している波長選択部5−2,5−4,5−10,5−12により選択された波長の成分81bを有する光の像61−2,61−4,61−10,61−12の読み出しを指示する制御信号を読み出し処理部14−2に出力する。
また、制御回路7は、組(3)に属している波長選択部5−3,5−7,5−11,5−15により選択された波長の成分81cを有する光の像61−3,61−7,61−11,61−15の読み出しを指示する制御信号を読み出し処理部14−3に出力する。
さらに、制御回路7は、組(4)に属している波長選択部5−4,5−8,5−12,5−16により選択された波長の成分81dを有する光の像61−4,61−8,61−12,61−16の読み出しを指示する制御信号を読み出し処理部14−4に出力する。
制御回路7が読み出し処理部14−1〜14−4のそれぞれに制御信号を出力するタイミングは、同時であってもよいし、別々であってもよい。
読み出し処理部14−1は、像61−1,61−3,61−9,61−11を示す電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、読み出し処理部14−1から像61−1,61−3,61−9,61−11を示す電気信号を受けると、当該電気信号に基づいて、像61−1,61−3,61−9,61−11の間の相関を演算することによって、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置を演算する。
読み出し処理部14−2は、像61−2,61−4,61−10,61−12を示す電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、読み出し処理部14−2から像61−2,61−4,61−10,61−12を示す電気信号を受けると、当該電気信号に基づいて、像61−2,61−4,61−10,61−12の間の相関を演算することによって、像61−2,61−4,61−10,61−12の相対位置を演算する。
読み出し処理部14−3は、像61−3,61−7,61−11,61−15を示す電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、読み出し処理部14−3から像61−3,61−7,61−11,61−15を示す電気信号を受けると、当該電気信号に基づいて、像61−3,61−7,61−11,61−15の間の相関を演算することによって、像61−3,61−7,61−11,61−15の相対位置を演算する。
読み出し処理部14−4は、像61−4,61−8,61−12,61−16を示す電気信号を相対位置演算部11に出力する。
相対位置演算部11は、読み出し処理部14−4から像61−4,61−8,61−12,61−16を示す電気信号を受けると、当該電気信号に基づいて、像61−4,61−8,61−12,61−16の間の相関を演算することによって、像61−4,61−8,61−12,61−16の相対位置を演算する。
実施の形態1,2の波面計測装置では、波長選択部5−1〜5−Nと、波面分割部6のレンズ6−1〜6−Nとが別々に設置されている。
しかし、これは一例に過ぎず、例えば、図17に示すように、レンズ6−1〜6−Nのそれぞれが、複数の波長選択部5−1〜5−Nのうち、いずれか1つの波長選択部5を備えている波面計測装置であってもよい。
図17は、波長選択部5−n(n=1,・・・,N)を含んでいるレンズ6−nの配置と、波長選択部5−1〜5−Nにより選択される波長成分とを示す説明図である。図17では、N=16である。
レンズ6−nが波長選択部5−nを含んでいる波面計測装置でも、図1及び図16に示す波面計測装置と同様に動作する。
レンズ6−nが波長選択部5−nを含んでいる波面計測装置では、図1及び図16に示す波面計測装置よりも構成の簡略化を図ることができる。
実施の形態4では、相対位置演算部11が、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置と、像61−2,61−4,61−10,61−12の相対位置と、像61−5,61−7,61−13,61−15の相対位置と、像61−6,61−8,61−14,61−16の相対位置とから、受光部8により形成された像61−1〜6−16の相対位置を演算する波面計測装置について説明する。
図19は、実施の形態4に係る波面計測装置における波面計測部10のハードウェアを示すハードウェア構成図である。
図18及び図19において、図1、図2及び図16と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。
相対位置演算部15は、例えば、図19に示す相対位置演算回路23によって実現される。
相対位置演算部15は、複数の読み出し処理部14−1〜14−Gのうち、いずれかの読み出し処理部14により2つ以上の像61が読み出される毎に、読み出された2つ以上の像61の相対位置を演算する。
相対位置演算部15は、演算した全ての2つ以上の像61の相対位置から、受光部8により形成された全ての像61の相対位置を演算する。
相対位置演算部15は、演算した全ての像61の相対位置を波面算出部12に出力する。
図18に示す波面計測装置は、相対位置演算部15を図1に示す波面計測装置に適用したものである。しかし、これは一例に過ぎず、相対位置演算部15を図16に示す波面計測装置に適用したものであってもよい。
ここで、相対位置演算回路23及び波面算出回路22のそれぞれは、例えば、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ASIC、FPGA、又は、これらを組み合わせたものが該当する。
波面計測部10が、ソフトウェア又はファームウェア等によって実現される場合、相対位置演算部15及び波面算出部12の処理手順をコンピュータに実行させるためのプログラムが、図3に示すメモリ31に格納される。そして、図3に示すプロセッサ32がメモリ31に格納されているプログラムを実行する。
相対位置演算部15は、図1及び図16に示す相対位置演算部11と同様の方法で、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置と、像61−2,61−4,61−10,61−12の相対位置と、像61−5,61−7,61−13,61−15の相対位置と、像61−6,61−8,61−14,61−16の相対位置とを演算する。
相対位置演算部15は、図20に示すように、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置と、像61−2,61−4,61−10,61−12の相対位置と、像61−5,61−7,61−13,61−15の相対位置と、像61−6,61−8,61−14,61−16の相対位置とを足し合わせる。
相対位置の基準位置が、撮像中心位置がずれている場合、相対位置演算部15は、演算した複数の相対位置を補正し、補正後の複数の相対位置の足し合わせを行うようにする。
複数の相対位置の補正方法は、公知の技術であるため、詳細な説明を省略するが、例えば、相対位置演算部15は、像61−1,61−3,61−9,61−11の相対位置と、像61−1,61−3,61−9,61−11におけるそれぞれの撮像中心位置との位置ずれを求める。
また、相対位置演算部15は、像61−2,61−4,61−10,61−12の相対位置と、像61−2,61−4,61−10,61−12におけるそれぞれの撮像中心位置との位置ずれを求める。
相対位置演算部15は、像61−5,61−7,61−13,61−15の相対位置と、像61−5,61−7,61−13,61−15におけるそれぞれの撮像中心位置との位置ずれを求める。
また、相対位置演算部15は、像61−6,61−8,61−14,61−16の相対位置と、像61−6,61−8,61−14,61−16におけるそれぞれの撮像中心位置との位置ずれを求める。
相対位置演算部15は、像61−1〜61−16におけるそれぞれの位置ずれを、補正後の相対位置として、足し合わせる。
相対位置演算部15が相対位置を足し合わせることにより、像61−1〜61−16の相対位置が得られるため、図19に示す波面計測装置は、図1及び図16に示す波面計測装置と同様の波面空間分解能が得られる。
Claims (12)
- 被検体を透過してきた光、又は、前記被検体により反射された光が、複数のレンズのそれぞれによって集光されたのち、受光部によって、前記複数のレンズにより集光されたそれぞれの光の像が形成されると、
前記受光部により形成された複数の像の中から、2つ以上の像を読み出す読み出し部と、
前記読み出し部により読み出された2つ以上の像の間の相関を演算することによって、前記2つ以上の像の相対位置を演算する相対位置演算部と、
前記相対位置演算部により演算された相対位置から、前記被検体を透過してきた光、又は、前記被検体により反射された光の波面を算出する波面算出部とを備え、
前記像は、前記受光部により受光された光の領域内部に形成された像であって、それぞれの像のサイズが、前記受光部の撮像面に配置されている画素のサイズよりも大きく、
前記読み出し部は、前記2つ以上の像を読み出す際に、読み出す像に対する間引きを行い、
前記相対位置演算部は、前記読み出し部により、間引きが行われた2つ以上の像の間の相関を演算することを特徴とする波面計測装置。 - 前記読み出し部は、前記読み出す像に対する間引きを行う際に、前記受光部の撮像面における1つおきの画素により形成された像を読み出すことを特徴とする請求項1に記載の波面計測装置。
- 前記被検体を透過してきた光、又は、前記被検体により反射された光を集光する複数のレンズと、
前記複数のレンズにより集光されたそれぞれの光を受光して、それぞれの光の像を形成する受光部とを備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の波面計測装置。 - 前記被検体を透過してきた光、又は、前記被検体により反射された光に含まれている複数の波長成分のうち、それぞれがいずれか1つの波長成分を選択し、それぞれが選択した波長成分を、前記複数のレンズのうちの隣り合うレンズで異なるように、それぞれが1つのレンズに与える複数の波長選択部を備えたことを特徴とする請求項3記載の波面計測装置。
- 前記複数のレンズのそれぞれは、前記複数の波長選択部のうちのいずれか1つの波長選択部を備えていることを特徴とする請求項4記載の波面計測装置。
- 前記複数の波長選択部のうち、互いに隣り合う位置に配置される波長選択部は、互いに異なる波長成分を選択し、
前記複数の波長選択部のうち、互いに同一の波長成分を選択する2つ以上の波長選択部は、飛び飛びに配置されていることを特徴とする請求項4記載の波面計測装置。 - 前記複数の波長選択部は、複数の組に分けられており、
前記複数の波長選択部のうち、同じ組に属している2つ以上の波長選択部は、互いに同一の波長成分を選択し、
前記複数の波長選択部のうち、或る組に属している2つ以上の波長選択部は、他の組に属している2つ以上の波長選択部と異なる波長成分を選択することを特徴とする請求項6記載の波面計測装置。 - 前記読み出し部は、前記複数の組のうち、いずれか1つの組を選択し、選択した組に属している2つ以上の波長選択部により選択された波長成分の像をそれぞれ読み出し、読み出した2つ以上の像を前記相対位置演算部に出力することを特徴とする請求項7記載の波面計測装置。
- 前記読み出し部は、前記複数の組のうち、いずれか1つの組に属している2つ以上の波長選択部により選択された波長成分の像をそれぞれ読み出し、読み出した2つ以上の像を前記相対位置演算部に出力する複数の読み出し処理部を備えていることを特徴とする請求項7記載の波面計測装置。
- 前記相対位置演算部は、前記複数の読み出し処理部のうち、いずれかの読み出し処理部により2つ以上の像が読み出される毎に、読み出された2つ以上の像の相対位置を演算し、演算した全ての2つ以上の像の相対位置から、前記受光部により形成された全ての像の相対位置を演算することを特徴とする請求項9記載の波面計測装置。
- 被検体を透過してきた光、又は、前記被検体により反射された光が、複数のレンズのそれぞれによって集光されたのち、受光部によって、前記複数のレンズにより集光されたそれぞれの光の像が形成されると、
読み出し部が、前記受光部により形成された複数の像の中から、2つ以上の像を読み出し、
相対位置演算部が、前記読み出し部により読み出された2つ以上の像の間の相関を演算することによって、前記2つ以上の像の相対位置を演算し、
波面算出部が、前記相対位置演算部により演算された相対位置から、前記被検体を透過してきた光、又は、前記被検体により反射された光の波面を算出するものであり、
前記像は、前記受光部により受光された光の領域内部に形成された像であって、それぞれの像のサイズが、前記受光部の撮像面に配置されている画素のサイズよりも大きく、
前記読み出し部は、前記2つ以上の像を読み出す際に、読み出す像に対する間引きを行い、
前記相対位置演算部は、前記読み出し部により、間引きが行われた2つ以上の像の間の相関を演算することを特徴とする波面計測方法。 - 前記読み出し部は、前記読み出す像に対する間引きを行う際に、前記受光部の撮像面における1つおきの画素により形成された像を読み出すことを特徴とする請求項11に記載の波面計測方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/036116 WO2021049007A1 (ja) | 2019-09-13 | 2019-09-13 | 波面計測装置及び波面計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6896150B1 true JP6896150B1 (ja) | 2021-06-30 |
JPWO2021049007A1 JPWO2021049007A1 (ja) | 2021-09-30 |
Family
ID=74865741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020506387A Active JP6896150B1 (ja) | 2019-09-13 | 2019-09-13 | 波面計測装置及び波面計測方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6896150B1 (ja) |
WO (1) | WO2021049007A1 (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0933396A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Topcon Corp | レンズメーター |
JP2002365578A (ja) * | 2001-06-08 | 2002-12-18 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系ビーム測定装置及び走査光学系ビーム測定方法 |
US20030048413A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-13 | Ross Denwood F. | Ophthalmic wavefront measuring devices |
JP2009258046A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-11-05 | Fujikoden Corp | 偏芯量測定方法、偏芯量測定装置、および偏芯調整装置 |
JP2009288076A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Nikon Corp | 収差測定装置 |
WO2012008031A1 (ja) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | キヤノン株式会社 | 被検面の形状を計測する計測方法、計測装置及び光学素子の製造方法 |
JP2012047506A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Nikon Corp | 波面収差測定装置 |
JP2014037987A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-27 | Canon Inc | シャック・ハルトマンセンサとそれを利用した波面計測方法 |
WO2017104510A1 (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光ビーム照射装置 |
JP6509456B1 (ja) * | 2018-05-18 | 2019-05-08 | 三菱電機株式会社 | 波面計測装置、波面計測方法及び移動体観測装置、移動体観測方法 |
-
2019
- 2019-09-13 JP JP2020506387A patent/JP6896150B1/ja active Active
- 2019-09-13 WO PCT/JP2019/036116 patent/WO2021049007A1/ja active Application Filing
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0933396A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Topcon Corp | レンズメーター |
JP2002365578A (ja) * | 2001-06-08 | 2002-12-18 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系ビーム測定装置及び走査光学系ビーム測定方法 |
US20030048413A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-13 | Ross Denwood F. | Ophthalmic wavefront measuring devices |
JP2009258046A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-11-05 | Fujikoden Corp | 偏芯量測定方法、偏芯量測定装置、および偏芯調整装置 |
JP2009288076A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Nikon Corp | 収差測定装置 |
WO2012008031A1 (ja) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | キヤノン株式会社 | 被検面の形状を計測する計測方法、計測装置及び光学素子の製造方法 |
JP2012047506A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Nikon Corp | 波面収差測定装置 |
JP2014037987A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-27 | Canon Inc | シャック・ハルトマンセンサとそれを利用した波面計測方法 |
WO2017104510A1 (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光ビーム照射装置 |
JP6509456B1 (ja) * | 2018-05-18 | 2019-05-08 | 三菱電機株式会社 | 波面計測装置、波面計測方法及び移動体観測装置、移動体観測方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2021049007A1 (ja) | 2021-09-30 |
WO2021049007A1 (ja) | 2021-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6202927B2 (ja) | 距離検出装置、撮像装置、プログラム、記録媒体および距離検出方法 | |
US10976656B2 (en) | Defect inspection device and defect inspection method | |
US20100289941A1 (en) | Image pickup apparatus and optical-axis control method | |
JP2010539469A (ja) | 周期パターン照明及びtdiによる結像測定システム | |
JPWO2012176556A1 (ja) | 対応点探索装置、および距離測定装置 | |
Pistellato et al. | Deep demosaicing for polarimetric filter array cameras | |
JP5397704B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP2023115356A (ja) | 計測装置、撮像装置、制御方法及びプログラム | |
JP6700818B2 (ja) | 画像処理装置、撮像装置、および画像処理方法 | |
US8334908B2 (en) | Method and apparatus for high dynamic range image measurement | |
JP3661865B2 (ja) | 球面形状測定解析方法 | |
JP6896150B1 (ja) | 波面計測装置及び波面計測方法 | |
JP6555990B2 (ja) | 距離計測装置、撮像装置、および距離計測方法 | |
JP2017049412A (ja) | 撮像装置、合焦位置検出装置、合焦位置検出方法及び合焦位置検出用コンピュータプログラム | |
US9794468B2 (en) | Image sensor, image capturing apparatus, focus detection apparatus, image processing apparatus, and control method of image capturing apparatus using pupil division in different directions | |
JP6833104B1 (ja) | 波面計測装置及び波面計測方法 | |
US20220113131A1 (en) | Measurement apparatus, image capturing apparatus, measurement system, control method, and storage medium | |
CN115209000A (zh) | 用于遥感成像动态相差估计方法及系统 | |
WO2009107365A1 (ja) | 複眼測距装置の検査方法及び検査装置並びにそれに用いるチャート | |
US11199394B2 (en) | Apparatus for three-dimensional shape measurement | |
CN115208999A (zh) | 基于光场相机阵列的成像方法及系统 | |
CN108303035A (zh) | 一种空间相移干涉仪 | |
JP2013254114A5 (ja) | 焦点検出装置、撮像装置、制御方法、プログラム及び記録媒体 | |
JP2024053483A (ja) | 撮像システム、撮像方法およびプログラム | |
US20240046488A1 (en) | Image processing device, imaging device, image processing method, and storage medium |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200205 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200205 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200205 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200414 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200604 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20200604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210511 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210608 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6896150 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |