JP5397704B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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- 被検面に投影パタンを投影する投影手段と、前記被検面に投影された前記投影パタンの像を形成する結像光学系と、前記投影パタンの像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって取得された画像の各々の位置における合焦状態を検出する合焦検出手段を有し、前記被検面の形状を測定する形状測定装置において、
前記撮像手段の撮像面と共役な位置を前記被検面に対して前記結像光学系の光軸方向に沿って変更する共役位置変更手段と、
前記被検面に対して前記共役な位置を変えたときに前記撮像手段によって取得された複数の画像に基づいて、前記投影パタンの位置の変化を検出する演算手段と、
前記演算手段によって検出された投影パタンの位置の変化に基づいて、前記合焦検出手段で検出された合焦状態の検出誤差を評価する評価手段と
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 前記投影パタンは、周期性を有するパタンである
ことを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記投影手段は、前記投影パタンとして、同一投影位置で明るさが異なる3つ以上の正弦波状のパタンを投影する
ことを特徴とする請求項2の形状測定装置。 - 前記演算手段は、前記共役な面を前記光軸方向に沿って変化したときの前記投影パタンの像の位置の変化から、前記被検面の法線を推定する
ことを特徴とする請求項1から3のうちのいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記演算手段は、前記被検面の法線方向が予め定められた所定の範囲内となるか否かを判定し、法線方向が所定の範囲外となると判定された場合、前記結像光学系と前記被検面との方向を変えた状態での再測定を使用者に促す
ことを特徴とする請求項4の形状測定装置。 - 前記結像光学系は、その瞳位置、または前記瞳位置と共役な位置に前記結像光学系の光路の半分を遮蔽する開口領域の異なる絞りを備え、
前記撮像手段は、前記撮像面と共役な位置が同じ位置で、前記絞りによる遮蔽される領域が異なる状態で、2つの画像を取得し、
前記合焦検出手段は、前記2つの画像から得られる投影パタンの位置変化の有無に基づいて、前記被検面と前記撮像手段の撮像面との合焦状態を検出する
ことを特徴とする請求項1から3のうちのいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 撮像した画像を構成する空間周波数成分ごとに展開し、
展開された空間周波数に対し、予め設定された前記被検面の表面状態に応じた空間周波数を前記投影パタンの空間周波数成分に対し加減算して得られる空間周波数の間以外の周波数成分をカットし、
前記周波数成分をカットすることで得られた周波数応答を空間座標に再展開する
空間周波数選択手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項2又は3の形状測定装置。 - 投影した投影パタンによる被検面からの反射光の結像した像を撮像して得られる画像を基に合焦位置を求めることで、被検物の形状を測定する形状測定装置において、
前記画像を構成する空間周波数成分ごとに展開する展開手段と、
展開された空間周波数に対し、予め設定された前記被検面の表面状態に応じた空間周波数を前記投影パタンの空間周波数成分に対し加減算して得られる空間周波数の間以外の周波数成分をカットするフィルタと、
前記周波数成分をカットすることで得られた周波数応答を空間座標に再展開する再展開手段と
を備えることを特徴とする形状測定装置。
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