JP6892650B2 - 駆動装置 - Google Patents
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Description
同じ方向に伸縮変位するように並列に配置され、それぞれ対応する位置に第1の端部および第2の端部を有する第1の圧電素子および第2の圧電素子と、
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の変位を拡大し、拡大された変位を出力する変位拡大機構と、
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加して、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子を伸縮駆動させる駆動部と
を備え、
前記変位拡大機構は、
中央に凹部を有するU字状をなし、その底部に前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の前記第1の端部を固定する固定部材と、
前記固定部材の前記凹部を挟んで一方側の側部および前記第1の圧電素子の前記第2の端部に、前記第1の圧電素子の伸縮により前記第1の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第1のアームと、
前記固定部材の前記凹部を挟んで他方側の側部および前記第2の圧電素子の前記第2の端部に、前記第2の圧電素子の伸縮により前記第2の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第2のアームと
を有し、
前記第1のアームと前記第2のアームの先端部に前記作用子が接続され、
前記駆動部は、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子が互いに反対方向に所定の量で繰り返し変位するように前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加し、これにより前記第1のアームと前記第2のアームが同方向にほぼ同一量の変位で揺動して、前記作用子に拡大された繰り返し変位が与えられることを特徴とする駆動装置。
前記第2の圧電素子の前記第2の端部には、第2のキャップ部材が取り付けられ、前記第2のアームは、前記第2のキャップ部材と前記ヒンジにより連結されていることを特徴とする(1)から(4)のいずれかに記載の駆動装置。
図3に示すように、測定装置のターンテーブル90は、回転可能に設けられ、周方向に沿って電子部品80を収納する複数の収納溝91を有している。そして、ターンテーブル90を回転させつつ、駆動装置1により作用子としての測定プローブ60を高速で繰り返し変位(上下動)させることにより、複数の収納溝91に収納された電子部品80の電気特性等を順次測定する。すなわち、ターンテーブル90を回転させて収納溝91に収納された電子部品80が測定プローブ60の直上の測定位置に達した際に、測定プローブ60を上方に変位させて測定プローブ60の先端を電子部品80の下面に設けられた電極81に接触させ、電子部品80の電気特性を測定し、測定後、測定プローブ60を下方に変位させて退避させる。そして、次の電子部品80が測定位置に到達した時点で再び同様の動作を行い、これら動作を高速で繰り返す。
3;第2の圧電素子
4;第1の与圧機構
5;第2の与圧機構
10;変位拡大機構
11;固定部材
11a;第1の側部
11b;第2の側部
11c;底部
11d;凹部
12,13;キャップ部材
14,15,17,18,21,22;ヒンジ
16;第1のアーム
19;第2のアーム
23;連結部材
24;凹部
30;駆動部
60;測定プローブ
70;アンプ
71;入力端子
72;出力端子
73;最大電圧出力端子
74,75;配線
80;電子部品
81;電極
90,110,150;ターンテーブル
91,111,151;収納溝
100;吸着ノズル
120,160;基盤
121,161;貫通孔
170;キャリアテープ
171;キャビティ
Claims (9)
- チップ状の電子部品を処理する電子部品処理装置において電子部品の処理に用いる作用子を駆動する駆動装置であって、
同じ方向に伸縮変位するように並列に配置され、それぞれ対応する位置に第1の端部および第2の端部を有する第1の圧電素子および第2の圧電素子と、
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の変位を拡大し、拡大された変位を出力する変位拡大機構と、
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加して、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子を伸縮駆動させる駆動部と
を備え、
前記変位拡大機構は、
中央に凹部を有するU字状をなし、その底部に前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の前記第1の端部を固定する固定部材と、
前記固定部材の前記凹部を挟んで一方側の側部および前記第1の圧電素子の前記第2の端部に、前記第1の圧電素子の伸縮により前記第1の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第1のアームと、
前記固定部材の前記凹部を挟んで他方側の側部および前記第2の圧電素子の前記第2の端部に、前記第2の圧電素子の伸縮により前記第2の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第2のアームと
を有し、
前記第1のアームと前記第2のアームの先端部に前記作用子が接続され、
前記駆動部は、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子が互いに反対方向に所定の量で繰り返し変位するように前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加し、これにより前記第1のアームと前記第2のアームが同方向にほぼ同一量の変位で揺動して、前記作用子に拡大された繰り返し変位が与えられることを特徴とする駆動装置。 - 前記駆動部は、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の第1の端子に、前記駆動部の出力電圧を印加し、前記第1の圧電素子の第2の端子に前記駆動部の最小電圧を印加し、前記第2の圧電素子の第2の端子に前記駆動部の最大電圧を印加する駆動回路を有することを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記第1のアームは、それぞれ可撓性を有するヒンジを介して前記固定部材の前記一方側の側部および前記第1の圧電素子の前記第2の端部に接続され、前記第2のアームはそれぞれ可撓性を有するヒンジを介して前記固定部材の前記他方側の側部および前記第2の圧電素子の前記第2の端部に接続されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の駆動装置。
- 前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に対して、それぞれ伸縮方向に圧縮力を与える第1の与圧機構および第2の与圧機構をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記第1の圧電素子の前記第2の端部には、第1のキャップ部材が取り付けられ、前記第1のアームは、前記第1のキャップ部材と前記ヒンジにより連結され、
前記第2の圧電素子の前記第2の端部には、第2のキャップ部材が取り付けられ、前記第2のアームは、前記第2のキャップ部材と前記ヒンジにより連結されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の駆動装置。 - 前記第1のキャップ部材および前記第2のキャップ部材は、それぞれ可撓性を有するヒンジを介して連結部材により連結されていることを特徴とする請求項5に記載の駆動装置。
- 前記電子部品処理装置は、電子部品の特性の測定を行うための測定装置であり、前記作用子は、前記電子部品に接触されて特性を測定するための測定プローブであることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記電子部品処理装置は、電子部品の特性の測定を行うための測定装置であり、前記作用子は、前記電子部品を吸着するための吸着ノズルであり、前記吸着ノズルに吸着された電子部品が特性を測定するための測定プローブに接触されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記電子部品処理装置は、電子部品をテーピングする際に電子部品をキャリアテープに挿入する挿入装置であり、前記作用子は、前記電子部品を吸着するための吸着ノズルであり、前記吸着ノズルに吸着された電子部品が前記キャリアテープに挿入されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の駆動装置。
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