JP6782462B2 - 部品ピックアップ機構 - Google Patents
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Description
部品を保持するハンドと、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する圧電素子を用いて前記ハンドを動かすアクチュエータ部と、
前記アクチュエータ部の前記圧電素子に電圧を与えて駆動させるドライバーと、
前記圧電素子の駆動を制御する制御部と
を具備し、
前記ハンドは、相対的に直線移動して接離する第1部材と第2部材とを有し、
前記アクチュエータ部は、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第1の圧電素子、および前記第1の圧電素子の伸縮変位を所定方向の拡大された直線的変位として出力する第1の変位拡大機構を有し、前記第1の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材を直線的に移動させる第1の圧電アクチュエータを少なくとも備え、
少なくとも前記第1の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることにより部品の保持および開放を行うことを特徴とする部品ピックアップ機構。
前記第1の圧電アクチュエータと対向して設けられ、電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第2の圧電素子、および前記圧電素子の変位を前記第1の変位拡大機構と同方向の拡大された直線的変位として出力する第2の変位拡大機構を有し、前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第2部材を直線的に移動させる第2の圧電アクチュエータと、
前記第1の圧電アクチュエータおよび前記第2の圧電アクチュエータを支持するベース部材とをさらに備え、
前記第1の変位拡大機構の直線的変位および前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることにより部品の保持および開放を行うことを特徴とする上記(1)に記載の部品ピックアップ機構。
部品を保持するハンドと、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する圧電素子を用いて前記ハンドを動かすアクチュエータ部と、
前記アクチュエータ部の前記圧電素子に電圧を与えて駆動させるドライバーと、
前記圧電素子の駆動を制御する制御部と
前記ドライバーから前記圧電素子に流入する電流値を検出する電流値検出手段と
を具備し、
前記制御部は、前記ドライバーから前記圧電素子に連続的に変化する電圧が供給されている際に、前記電流値検出手段により、前記圧電素子に流入する電流値の変化が検出されたときが、前記ハンドが部品に当接した瞬間であるとして前記圧電素子の駆動を制御することを特徴とする部品ピックアップ機構。
部品を保持するハンドと、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する圧電素子を用いて前記ハンドを動かすアクチュエータ部と、
前記アクチュエータ部の前記圧電素子に電圧を与えて駆動させるドライバーと、
前記圧電素子の駆動を制御する制御部と、
前記ドライバーから前記圧電素子に流入する電流値を検出する電流値検出手段と
を具備し、
前記ハンドは、相対的に直線移動して接離する第1部材と第2部材とを有し、
前記アクチュエータ部は、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第1の圧電素子、および前記第1の圧電素子の伸縮変位を所定方向の拡大された直線的変位として出力する第1の変位拡大機構を有し、前記第1の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材を直線的に移動させる第1の圧電アクチュエータを少なくとも備え、
少なくとも前記第1の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることにより部品の保持および開放を行い、
前記制御部は、前記ドライバーから前記第1の圧電素子に連続的に変化する電圧が供給されている際に、前記電流値検出手段により、前記第1の圧電素子に流入する電流値の変化が検出されたときが、前記ハンドの前記第1の部材が部品に当接する瞬間であるとして前記第1の圧電素子の駆動を制御することを特徴とする部品ピックアップ機構。
前記第1の圧電アクチュエータと対向して設けられ、電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第2の圧電素子、および前記圧電素子の変位を前記第1の変位拡大機構と同方向の拡大された直線的変位として出力する第2の変位拡大機構を有し、前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第2部材を直線的に移動させる第2の圧電アクチュエータと、
前記第1の圧電アクチュエータおよび前記第2の圧電アクチュエータを支持するベース部材とをさらに備え、
前記第1の変位拡大機構の直線的変位および前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることにより部品の保持および開放を行い、
前記制御部は、前記ドライバーから前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に連続的に変化する電圧が供給されている際に、前記電流値検出手段により、前記第1の圧電素子または前記第2の圧電素子に流入する電流値の変化が検出されたときが、前記ハンドの前記第1の部材または前記第2の部材が部品に当接する瞬間であるとして前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の駆動を制御することを特徴とする上記(5)に記載の部品ピックアップ機構。
前記第1の変位拡大機構の前記変位伝達部は、前記第1の圧電素子が伸縮変位した際に、前記出力部が前記第1の圧電素子の伸縮方向に直交する方向に直線的に変位することを特徴とする上記(1)または上記(5)に記載の部品ピックアップ機構。
前記第2の変位拡大機構は、前記第2の圧電素子の長さ方向の一端面および他端面にそれぞれ取り付けられた2つの取り付け部と、前記第2の圧電素子の一方側の前記2つの取り付け部の間に設けられ、変位を出力する出力部を有する変位伝達部とを有し、
前記第1の変位拡大機構および前記第2の変位拡大機構の前記変位伝達部は、それぞれ、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子が伸縮変位した際に、前記出力部が前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の伸縮方向に直交する方向に直線的に変位することを特徴とする上記(2)または上記(6)に記載の部品ピックアップ機構。
前記保持力計測部により計測された保持力が、前記制御部に送られて制御に用いられることを特徴とする上記(1)から上記(8)のいずれかに記載の部品ピックアップ機構。
図1は本発明の第1の実施形態に係る部品ピックアップ機構を示す概略構成図、図2は図1の部品ピックアップ機構におけるアクチュエータ部を示す正面図である。なお、図1では、便宜上、アクチュエータ部は底面図として示している。
図6は、本発明の第2の実施形態に係る部品ピックアップ機構を示す概略構成図である。第2の実施形態の部品ピックアップ機構100′は、基本構成は図1および図2に示す第1の実施形態の部品ピックアップ機構100と同様であるが、制御回路構成が異なっている。したがって、図1および図2と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
ξ2=−(Cd/A)・V1+(1/A)・Q1 ・・・(2)
図11は、本発明の第3の実施形態に係る部品ピックアップ機構を示す概略構成図である。第2の実施形態では、アクチュエータ部を第1の実施形態と同様の構成とした上で、電流値検出部90ならびに抵抗器91および92を付加した構成としたが、第3の実施形態の部品ピックアップ機構100″は、アクチュエータ部を一つの圧電素子と変位拡大機構とを備えた構成とした上で、第2の実施形態と同様、電流検出部および抵抗器を付加した構成としている。
以上、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の思想の範囲内で種々の変更が可能である。例えば、変位拡大機構は上記実施形態の構造に限定されるものでなく、ヒンジを適宜組み合わせた種々のタイプの変位拡大機構を用いることができる。
2,2′,2″;アクチュエータ部
3;ドライバー
4;制御部
11;第1部材
12;第2部材
20;第1の圧電アクチュエータ
21;第1の圧電素子
22;第1の変位拡大機構
30;第2の圧電アクチュエータ
31;第2の圧電素子
32;第2の変位拡大機構
40;ベース部材
90;電流値検出部
100,100′,100″;部品ピックアップ機構
Claims (5)
- チップ状の電子部品をピックアップする部品ピックアップ機構であって、
チップ状の電子部品を保持するハンドと、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する圧電素子を用いて前記ハンドを動かすアクチュエータ部と、
前記アクチュエータ部の前記圧電素子に電圧を与えて駆動させるドライバーと、
前記圧電素子の駆動を制御する制御部と
を具備し、
前記ハンドは、相対的に直線移動して接離する第1部材と第2部材とを有し、
前記アクチュエータ部は、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第1の圧電素子、および、前記第1の圧電素子が装着され、前記第1の圧電素子の伸縮変位を所定方向の拡大された直線的変位として出力する第1の変位拡大機構を有し、前記第1の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材を直線的に移動させる第1の圧電アクチュエータを少なくとも備え、
前記第1の変位拡大機構は、前記第1の圧電素子の長さ方向の一端面および他端面がそれぞれ取り付けられる2つの取り付け部と、前記第1の圧電素子の一方側の前記2つの取り付け部の間にこれらを繋ぐように設けられ、変位を出力する出力部を中央に有する変位伝達部とを有し、
前記第1の変位拡大機構の前記変位伝達部は、一方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた一方の中間部材、および他方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた他方の中間部材を有し、前記第1の圧電素子が伸縮変位した際に、前記出力部が前記第1の圧電素子の伸縮方向に直交する方向に直線的に変位し、
少なくとも前記第1の変位拡大機構の直線的変位により前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることによりチップ状の電子部品の保持および開放を行うことを特徴とする部品ピックアップ機構。 - 前記アクチュエータ部は、
前記第1の圧電アクチュエータと対向して設けられ、電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第2の圧電素子、および、前記第2の圧電素子が装着され、前記第2の圧電素子の伸縮変位を前記第1の変位拡大機構と同方向の拡大された直線的変位として出力する第2の変位拡大機構を有し、前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第2部材を直線的に移動させる第2の圧電アクチュエータと、
前記第1の圧電アクチュエータおよび前記第2の圧電アクチュエータを支持するベース部材とをさらに備え、
前記第2の変位拡大機構は、前記第2の圧電素子の長さ方向の一端面および他端面がそれぞれ取り付けられる2つの取り付け部と、前記第2の圧電素子の一方側の前記2つの取り付け部の間にこれらを繋ぐように設けられ、変位を出力する出力部を中央に有する変位伝達部とを有し、
前記第2の変位拡大機構の前記変位伝達部は、一方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた一方の中間部材、および他方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた他方の中間部材を有し、前記第2の圧電素子が伸縮変位した際に、前記出力部が前記第2の圧電素子の伸縮方向に直交する方向に直線的に変位し、
前記第1の変位拡大機構の直線的変位および前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることによりチップ状の電子部品の保持および開放を行うことを特徴とする請求項1に記載の部品ピックアップ機構。 - チップ状の電子部品をピックアップする部品ピックアップ機構であって、
チップ状の電子部品を保持するハンドと、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する圧電素子を用いて前記ハンドを動かすアクチュエータ部と、
前記アクチュエータ部の前記圧電素子に電圧を与えて駆動させるドライバーと、
前記圧電素子の駆動を制御する制御部と、
前記ドライバーから前記圧電素子に流入する電流値を検出する電流値検出手段と
を具備し、
前記ハンドは、相対的に直線移動して接離する第1部材と第2部材とを有し、
前記アクチュエータ部は、
電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第1の圧電素子、および、前記第1の圧電素子が装着され、前記第1の圧電素子の伸縮変位を所定方向の拡大された直線的変位として出力する第1の変位拡大機構を有し、前記第1の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材を直線的に移動させる第1の圧電アクチュエータを少なくとも備え、
前記第1の変位拡大機構は、前記第1の圧電素子の長さ方向の一端面および他端面がそれぞれ取り付けられる2つの取り付け部と、前記第1の圧電素子の一方側の前記2つの取り付け部の間にこれらを繋ぐように設けられ、変位を出力する出力部を中央に有する変位伝達部とを有し、
前記第1の変位拡大機構の前記変位伝達部は、一方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた一方の中間部材、および他方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた他方の中間部材を有し、前記第1の圧電素子が伸縮変位した際に、前記出力部が前記第1の圧電素子の伸縮方向に直交する方向に直線的に変位し、
少なくとも前記第1の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることによりチップ状の電子部品の保持および開放を行い、
前記制御部は、前記電流値検出手段による検出信号を受け取り、前記ドライバーから前記第1の圧電素子に連続的に変化する電圧が供給されている際に、前記電流値検出手段により、前記第1の圧電素子に流入する電流値の変化が検出されたときが、前記ハンドの前記第1の部材がチップ状の電子部品に当接する瞬間であるとして前記第1の圧電素子の駆動を制御することを特徴とする部品ピックアップ機構。 - 前記アクチュエータ部は、
前記第1の圧電アクチュエータと対向して設けられ、電圧が印加されることにより所定方向に伸縮変位する第2の圧電素子、および、前記第2の圧電素子が装着され、前記第2の圧電素子の伸縮変位を前記第1の変位拡大機構と同方向の拡大された直線的変位として出力する第2の変位拡大機構を有し、前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第2部材を直線的に移動させる第2の圧電アクチュエータと、
前記第1の圧電アクチュエータおよび前記第2の圧電アクチュエータを支持するベース部材とをさらに備え、
前記第2の変位拡大機構は、前記第2の圧電素子の長さ方向の一端面および他端面がそれぞれ取り付けられる2つの取り付け部と、前記第2の圧電素子の一方側の前記2つの取り付け部の間にこれらを繋ぐように設けられ、変位を出力する出力部を中央に有する変位伝達部とを有し、
前記第2の変位拡大機構の前記変位伝達部は、一方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた一方の中間部材、および他方の取り付け部と前記変位出力部とにヒンジを介して取り付けられた他方の中間部材を有し、前記第2の圧電素子が伸縮変位した際に、前記出力部が前記第2の圧電素子の伸縮方向に直交する方向に直線的に変位し、
前記第1の変位拡大機構の直線的変位および前記第2の変位拡大機構の直線的変位により、前記第1部材と前記第2部材との間に相対的な直線移動を生じさせて、これらを接離させることによりチップ状の電子部品の保持および開放を行い、
前記制御部は、前記ドライバーから前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に連続的に変化する電圧が供給されている際に、前記電流値検出手段により、前記第1の圧電素子または前記第2の圧電素子に流入する電流値の変化が検出されたときが、前記ハンドの前記第1の部材または前記第2の部材がチップ状の電子部品に当接する瞬間であるとして前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の駆動を制御することを特徴とする請求項3に記載の部品ピックアップ機構。 - 前記ハンドによりチップ状の電子部品を保持したときの保持力を計測する保持力計測部をさらに具備し、
前記保持力計測部により計測された保持力が、前記制御部に送られて制御に用いられることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の部品ピックアップ機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015195576A JP6782462B2 (ja) | 2015-10-01 | 2015-10-01 | 部品ピックアップ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015195576A JP6782462B2 (ja) | 2015-10-01 | 2015-10-01 | 部品ピックアップ機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017070133A JP2017070133A (ja) | 2017-04-06 |
JP6782462B2 true JP6782462B2 (ja) | 2020-11-11 |
Family
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JP2015195576A Active JP6782462B2 (ja) | 2015-10-01 | 2015-10-01 | 部品ピックアップ機構 |
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JP (1) | JP6782462B2 (ja) |
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JP6892650B2 (ja) * | 2017-05-10 | 2021-06-23 | 有限会社メカノトランスフォーマ | 駆動装置 |
JP7217530B2 (ja) | 2017-07-07 | 2023-02-03 | 有限会社メカノトランスフォーマ | 変位拡大機構、研磨装置、アクチュエータ、ディスペンサ、及びエアバルブ |
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2015
- 2015-10-01 JP JP2015195576A patent/JP6782462B2/ja active Active
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