JP6891862B2 - 圧力温度センサ - Google Patents

Description

本発明は、測定媒体の圧力及び温度を検出する圧力温度センサに関する。

従来より、測定媒体の圧力及び温度を検出するセンサが、例えば特許文献１で提案されている。センサは、管状ポートから突出したディフューザを含む。ディフューザは、管状ポートの長手方向に沿って延びる４枚の羽を含む。４枚の羽は、長手方向に沿った軸を中心とした周方向に等角度に配置される。つまり、周方向において、隣同士の羽のなす角度は９０°である。測定媒体は、ディフューザの羽の羽面に沿って管状ポート内に引き込まれる。

米国特許出願公開第２００９／０１７８４８７号明細書

しかしながら、上記従来の技術では、ディフューザの各羽が測定媒体の流れ方向に対してどの角度で取り付けられるかは、センサが取付対象に取り付けられるまでわからない。

例えば、測定媒体の流れ方向に対して羽が４５°傾いた状態でセンサが取付対象に固定された場合、測定媒体が隣同士の２枚の羽によって構成された角部に集まりやすくなる。このため、測定媒体が羽の羽面に沿って管状ポートの内部に引き込まれやすくなる。この場合、測定媒体の引き込み量は最大化する。

これに対し、測定媒体の流れ方向に対して２枚の羽が９０°傾いた状態では、２枚の羽が測定媒体の流れに正対する。このため、羽の羽面に衝突した測定媒体の一部は管状ポート側に引き込まれるが、他はディフューザを迂回する経路を取る。したがって、測定媒体の引き込み量が減少してしまう。その結果、センサの温度検出精度が低下してしまうという問題がある。

また、２枚の羽の羽面が測定媒体の流れを遮ってしまうので、ディフューザにおいて測定媒体の流れの前後に圧力差が生じてしまう。その結果、測定媒体に圧力損失が生じてしまうという問題がある。

このように、従来のセンサは羽が４枚であることから、測定媒体の流れに対する各羽の向きによって管状ポートの内部への測定媒体の引き込み量にばらつきが生じてしまう。もちろん、羽が３枚の場合も上記と同様の問題が生じる。

本発明は上記点に鑑み、羽が測定媒体の流れ方向に対してどの角度で取り付けられたとしても、測定媒体の引き込み量を確保しつつ、測定媒体の圧力損失の低減を図ることができる圧力温度センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、圧力温度センサは、測定媒体の圧力を検出する圧力検出部（１５２）と、測定媒体の温度を検出する温度検出部（１５２）と、を有するセンサ部（１５０）を含む。

圧力温度センサは、管部（１１３）を有し、センサ部が管部の内部に位置するようにセンサ部を保持し、管部が取付対象である配管（２００）に固定される保持部（１１０、１２０、１３０）を含む。

圧力温度センサは、センサ部よりも配管の内部側に位置するように保持部に設けられ、管部が配管に固定されることで配管の内部に配置される導入部（１７０）を含む。

導入部は、センサ部に対する導入部の突出方向に沿った羽面（１７４）を有する複数の羽（１７５）を含む。複数の羽は、突出方向に垂直な垂直面において放射状に配置されると共に、隣同士の羽の羽面の成す角が全て鋭角である。

これによると、各羽が測定媒体の流れ方向に対してどの角度で取り付けられたとしても、隣同士の羽の鋭角部分のいずれかが測定媒体の流れ方向に向けられる。このため、隣同士の羽の鋭角部分から羽面に沿って管部の内部に測定媒体を引き込むことができる。したがって、測定媒体の引き込み量を確保することができる。

また、各羽が測定媒体の流れ方向に対してどの角度で取り付けられたとしても、測定媒体の流れ方向に垂直な面への羽面の投影面積が、４枚以下の羽の場合よりも小さくなる。すなわち、羽が４枚以下の場合よりも、測定媒体の流れが羽面によって妨げられにくくなるので、測定媒体の流れにおいて導入部の前後に圧力差が生じにくくなる。したがって、測定媒体の圧力損失の低減を図ることができる。

なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

第１実施形態に係る圧力温度センサの断面図である。 図１のII−II断面図である。 導入部の上流側及び下流側に生じる圧力領域を示した断面図である。 羽の枚数と圧力損失との関係を示した図である。 比較例として、羽が４枚の場合の測定媒体の流れを示した断面図である。 比較例として、羽が４枚の場合に導入部の上流側及び下流側に生じる圧力領域を示した断面図である。 変形例として、ハウジングと導入部とを一体化した断面図である。 変形例として、羽を１２枚としたときの断面図である。 変形例として、導入部に設けられた貫通孔を示した断面図である。 変形例として、テーパ状の側面を持つ底部を示した側面図である。 変形例として、半球状の底部を示した側面図である。 第２実施形態に係る導入部の側面図である。 第２実施形態に係る導入部の変形例を示した側面図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
以下、第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る圧力温度センサは、測定媒体の圧力及び温度の両方を検出可能に構成されたものである。圧力温度センサは配管に固定され、配管内の測定媒体の圧力及び温度を検出する。測定媒体は、例えば、自動車で用いられる冷媒である。測定媒体は、他に、エンジンオイルやトランスミッションオイル等の潤滑油、ガス等がある。

図１に示されるように、圧力温度センサ１００は、ハウジング１１０、センサボディ１２０、ポッティング部１３０、モールド樹脂部１４０、センサチップ１５０、及び導入部１７０を備えている。

ハウジング１１０は、ＳＵＳ等の金属材料が切削等により加工された中空形状のケースである。ハウジング１１０は、一端側に突出部１１１を有し、他端側に開口部１１２を有している。突出部１１１は管部１１３を有する。管部１１３は開口部１１２に連通している。管部１１３の外周面には、取付対象である配管２００にネジ結合可能な雄ネジ部１１４が形成されている。

ハウジング１１０の開口部１１２は周壁１１５に囲まれることで構成されている。ハウジング１１０は、管部１１３の一部が取付対象である配管２００の肉厚部２０１に設けられた貫通ネジ穴２０２に固定される。これにより、管部１１３の開口端部１１３ａが配管２００の内部に位置することになる。

なお、圧力温度センサ１００を配管２００に固定する方法は、上記のネジ締結に限られない。例えば、フランジ止めやサークリップ等の方法を採用しても良い。

センサボディ１２０は、圧力温度センサ１００と外部装置とを電気的に接続するためのコネクタを構成する部品である。センサボディ１２０は、例えばＰＰＳ等の樹脂材料で形成されている。センサボディ１２０は、一端側がハウジング１１０の開口部１１２に固定される固定部１２１として形成され、他端側がコネクタ部１２２として形成されている。固定部１２１はコネクタ部１２２側に凹んだ凹部１２３を有している。

また、センサボディ１２０は、ターミナル１２４がインサート成形されている。ターミナル１２４の一端側は固定部１２１に封止され、他端側はコネクタ部１２２の内側に露出するようにセンサボディ１２０にインサート成形されている。ターミナル１２４の一端側は、モールド樹脂部１４０の一部が凹部１２３に収容されることでモールド樹脂部１４０の電気的部品に接続される。

そして、センサボディ１２０は、固定部１２１がＯリング１２５を介してハウジング１１０の開口部１１２に嵌め込まれた状態で、ハウジング１１０の周壁１１５の端部が当該固定部１２１を押さえるようかしめ固定されている。

ポッティング部１３０は、センサボディ１２０の凹部１２３とモールド樹脂部１４０との隙間に充填されたシール用の部品である。ポッティング部１３０は、例えばエポキシ樹脂等の樹脂材料で形成されている。ポッティング部１３０は、測定媒体であるオイルからモールド樹脂部１４０の一部やターミナル１２４の接合部等をシール及び保護する役割を果たす。

モールド樹脂部１４０は、センサチップ１５０を保持する部品である。モールド樹脂部１４０は、一端部１４１と、一端部１４１とは反対側の他端部１４２と、を有する柱状に構成されている。モールド樹脂部１４０は、一端部１４１側にセンサチップ１５０を封止している。

また、モールド樹脂部１４０は、リードフレーム１４３の一部及び回路チップ１６０を封止している。リードフレーム１４３は、センサチップ１５０及び回路チップ１６０が実装されるベースとなる部品である。リードフレーム１４３の一端側にはセンサチップ１５０が実装され、他端側には回路チップ１６０が実装されている。

リードフレーム１４３の他端側の先端部分は、モールド樹脂部１４０の他端部１４２から露出していると共に、ターミナル１２４の一端側に接続されている。なお、リードフレーム１４３は、複数に分割されていても良い。この場合、ボンディングワイヤによって電気的接続を行えば良い。リードフレーム１４３とターミナル１２４ともボンディングワイヤで接続されていても良い。

回路チップ１６０は、メモリ等の半導体集積回路が形成されたＩＣチップである。回路チップ１６０は、半導体基板等を用いて形成されている。回路チップ１６０は、センサチップ１５０への電源として定電流の供給や、センサチップ１５０から圧力信号及び温度信号を入力し、予め設定された信号処理値に基づいて各信号の信号処理を行う。信号処理値とは、各信号の信号値を増幅や演算等するための調整値である。回路チップ１６０は、図示しないボンディングワイヤによってリードフレーム１４３を介してセンサチップ１５０と電気的に接続されている。

センサチップ１５０は、測定媒体の温度を検出する電子部品である。センサチップ１５０は、例えば銀ペースト等でリードフレーム１４３に実装されている。センサチップ１５０は、複数の層が積層されて構成された板状の基板を有して構成されている。複数の層は、ウェハレベルパッケージとして複数のウェハが積層され、半導体プロセス等で加工された後、センサチップ１５０毎にダイシングカットされる。

センサチップ１５０は、薄肉状のダイヤフラム１５１を有する。ダイヤフラム１５１には複数のピエゾ抵抗素子１５２が形成されている。各ピエゾ抵抗素子１５２は、半導体層に対するイオン注入により形成された拡散抵抗である。各ピエゾ抵抗素子１５２はダイヤフラム１５１の上に形成された薄膜抵抗として構成されていても良い。なお、センサチップ１５０には、各ピエゾ抵抗素子１５２に接続された図示しない配線部やパッド等も形成されている。

各ピエゾ抵抗素子１５２は、測定媒体の圧力が印加されたダイヤフラム１５１の歪みに応じて抵抗値が変化する抵抗素子である。また、各ピエゾ抵抗素子１５２は測定媒体の温度に応じて抵抗値が変化する素子である。各ピエゾ抵抗素子１５２は、ホイートストンブリッジ回路を構成するように電気的に接続されている。ホイートストンブリッジ回路は、回路チップ１６０から定電流の電源が供給される。これにより、各ピエゾ抵抗素子１５２のピエゾ抵抗効果を利用して、ダイヤフラム１５１の歪みや温度に応じた電圧をセンサ信号として検出することができる。

具体的には、センサチップ１５０は、ダイヤフラム１５１の歪みに応じた複数のピエゾ抵抗素子１５２の抵抗変化をホイートストンブリッジ回路の中点電圧の変化として検出し、当該中点電圧を圧力信号として出力する。一方、センサチップ１５０は、測定媒体から受ける熱に応じた複数のピエゾ抵抗素子１５２の抵抗変化をホイートストンブリッジ回路のブリッジ電圧として検出し、当該ブリッジ電圧を温度信号として出力する。

したがって、本実施形態では、各ピエゾ抵抗素子１５２は、圧力検出部及び温度検出部の両方の機能を有する。センサチップ１５０は、圧力検出部及び温度検出部に対応した部分が露出するように、モールド樹脂部１４０の一端部１４１側に封止されている。

そして、モールド樹脂部１４０は、センサチップ１５０の圧力検出部及び温度検出部が管部１１３の内部に位置するように、センサボディ１２０及びポッティング部１３０に保持される。

導入部１７０は、突出部１１１の突出方向において、モールド樹脂部１４０の隣に位置するように管部１１３に設けられた部品である。言い換えると、導入部１７０はセンサチップ１５０よりも配管２００の内部側に位置するように管部１１３に設けられている。突出部１１１の突出方向は、モールド樹脂部１４０あるいはセンサチップ１５０と導入部１７０との配置方向と同じである。導入部１７０は、管部１１３が配管２００に固定されることで配管２００の内部に配置される。導入部１７０は、一部が管部１１３の開口端部１１３ａから突出している。図１及び図２に示されるように、導入部１７０は、羽部１７１、底部１７２、及び腕部１７３を有する。

羽部１７１は、平面状の羽面１７４を有する複数の羽１７５を有する。羽面１７４は、突出方向に沿った面である。突出方向に沿った面とは、突出方向に平行な面だけでなく、突出方向に対して傾斜した面も含む。羽部１７１は、測定媒体を羽面１７４に沿わせてセンサチップ１５０側に導く流路１７６を構成する。

図２に示されるように、複数の羽１７５は、羽面１７４が突出方向に垂直な垂直方向の垂直面において放射状に配置されている。本実施形態では、６枚の羽１７５が６０°の間隔を持って等角度で配置されている。また、隣同士の羽１７５の羽面１７４の成す角が全て鋭角である。

底部１７２は、複数の羽１７５のうち突出方向においてモールド樹脂部１４０側とは反対側を固定する。底部１７２は、各羽１７５を固定する固定面１７７を有する。

腕部１７３は、管部１１３の内部に導入部１７０を保持するための部分である。腕部１７３の一端は、羽部１７１に一体化されている。腕部１７３の他端は、センサボディ１２０に達するまで引き延ばされていると共に、引っ掛け構造が形成されている。引っ掛け構造は、例えばスナップフィットである。そして、図１に示されるように、腕部１７３の他端は、管部１１３の内部に形成された段差部１１６に引っ掛けられる。これにより、導入部１７０は、底部１７２側が管部１１３から突出するように、管部１１３の内部に保持されている。以上が、圧力温度センサ１００の全体構成である。

次に、隣同士の羽１７５の羽面１７４の成す角が全て鋭角であることの作用効果について説明する。まず、図２に示されるように、隣同士の羽１７５の成す羽面１７４の角が鋭角になっているので、羽１７５が測定媒体の流れ方向に対してどの角度で取り付けられたとしても、必ずいずれかの鋭角部分が測定媒体の流れ方向に向けられる。このため、測定媒体の流れ方向に向けられる鋭角部分に測定媒体が集められる。そして、鋭角部分に集められた測定媒体が羽１７５の羽面１７４に沿ってセンサチップ１５０側に引き込まれる。これにより、センサチップ１５０の検出部近傍で測定媒体の流速が向上するので、温度検出精度及び温度応答性が向上する。

また、図３に示されるように、測定媒体の流れ方向に垂直な面１７８への羽面１７４の投影面積は、羽面１７４が測定媒体の流れ方向に対して垂直に向けられる場合よりも小さくなる。このため、導入部１７０のうち測定媒体の流れ方向の上流側に掛かる高圧領域と、下流側に掛かる低圧領域とが、羽面１７４が測定媒体の流れ方向に対して垂直に向けられる場合よりも小さくなる。つまり、導入部１７０の上流側と下流側との圧力差が小さくなる。これにより、測定媒体の圧力損失が低減される。なお、図３は断面図であるので、面１７８は２次元である線として表現されている。

発明者らは、羽１７５の枚数を変化させたときの配管２００内の測定媒体の圧力損失を調べた。羽１７５の羽面１７４が測定媒体の流れ方向に対してランダムに向けられるように、各枚数について複数の圧力温度センサ１００を用意した。

図４に示されるように、羽１７５が４数の場合、測定媒体の圧力損失の最大値と最小値との差が大きくなった。すなわち、測定媒体の圧力損失のばらつきが大きくなった。これは、測定媒体の流れ方向に対する羽１７５の羽面１７４の向きにばらつきがあることを示している。羽１７５が６数、８数、１０枚の場合は、羽１７５が４数の場合よりも測定媒体の圧力損失が小さくなった。また、測定媒体の圧力損失のばらつきも小さくなった。この結果から、羽１７５を８枚や１０枚としても良い。

上述のように、隣同士の羽１７５の成す角が鋭角になるためには、５枚以上の羽１７５が必要である。導入部１７０は、少なくとも、５枚以上の羽１７５を有していれば測定媒体の圧力損失が小さくなると共に、圧力損失のばらつきも小さくなる。図４の結果からも、羽１７５が４枚から６枚に増えたことで測定媒体の圧力損失が小さくなっているので、導入部１７０が５枚以上の羽１７５を備えることで測定媒体の圧力損失を低減できると言える。

比較例として、羽１７５が４枚の場合、図５に示されるように、隣同士の羽１７５の成す角が直角あるいは鈍角になる。そして、例えば、測定媒体の流れ方向に対して羽１７５の羽面１７４が垂直に配置される場合、羽１７５の羽面１７４に衝突した測定媒体が導入部１７０の周囲の流れによって導入部１７０の外側に逃げてしまう。すなわち、測定媒体が導入部１７０を迂回してしまう。このため、測定媒体の引き込み量を確保しにくい。また、図６に示されるように、測定媒体の流れ方向に垂直な面１７８ａへの羽面１７４の投影面積が最大になるので、羽面１７４の全体が測定媒体の流れを遮ることになる。このため、導入部１７０の上流側と下流側とに大きな圧力差が発生する。よって、測定媒体の圧力損失が大きくなってしまう。

これに対し、本実施形態では、各羽１７５が測定媒体の流れ方向に対してどの角度で取り付けられたとしても、いずれかの隣同士の羽１７５の鋭角部分が測定媒体の流れ方向に向けられる。このため、隣同士の羽１７５の鋭角部分から羽面１７４に沿って管部１１３の内部に測定媒体を引き込むことができる。したがって、測定媒体の引き込み量を確保することができる。

また、測定媒体の流れ方向に垂直な面への羽面１７４の投影面積が、４枚以下の羽１７５の場合よりも小さくなるので、羽１７５が４枚以下の場合よりも測定媒体の流れが導入部１７０によって妨げられにくくなる。このため、測定媒体の流れにおいて導入部１７０の前後に圧力差を生じにくくすることができる。したがって、測定媒体の圧力損失の低減を図ることができる。

なお、本実施形態の記載と特許請求の範囲の記載との対応関係については、センサチップ１５０が特許請求の範囲の「センサ部」に対応し、ピエゾ抵抗素子１５２が特許請求の範囲の「圧力検出部」及び「温度検出部」に対応する。また、ハウジング１１０、センサボディ１２０、及びポッティング部１３０が特許請求の範囲の「保持部」に対応する。

変形例として、導入部１７０は底部１７２を備えていなくても良い。また、垂直方向において、各羽１７５のうち底部１７２の中心部側の一端部が互いに離間することにより各羽１７５が結合されていなくても良い。つまり、導入部１７０は、各羽１７５が接合されていないことによる空間部に対応する孔部を備えていても良い。孔部は、垂直方向に沿って測定媒体を通過させる流路を構成する。これにより、測定媒体が孔部を通過するので、測定媒体の圧力損失をさらに低減できる。

変形例として、垂直方向における導入部１７０の平面形状は円形ではなく、四角形等の多角形でも良い。底部１７２の平面形状も同じである。

変形例として、図７に示されるように、導入部１７０は、ハウジング１１０に一体化されていても良い。例えば、導入部１７０は、管部１１３の一部として形成されている。これによると、部品点数を削減することができる。また、導入部１７０は、ハウジング１１０と同じ材料で構成されていても良い。

変形例として、図８に示されるように、羽１７５は１２枚設けられていても良い。羽１７５の枚数を増やすことで導入部１７０を擬似的に円柱形状に近づけることができる。これにより、測定媒体が導入部１７０の上流側から下流側に向かってスムーズに流れるので、測定媒体の圧力損失の低減効果を高めることができる。

変形例として、図９に示されるように、導入部１７０は、各羽１７５の接合部に突出方向に沿って形成された貫通孔１７９を有していても良い。これによると、導入部１７０の外と管部１１３の内部との圧力差によって、貫通孔１７９を介して管部１１３の内部に測定媒体を引き込むことができる。

変形例として、図１０に示されるように、底部１７２の側面１７２ａはテーパ状に形成されていても良い。この場合、側面１７２ａの全体がテーパ面になっていても良いし、側面１７２ａの一部がテーパ面になっていても良い。また、図１１に示されるように、底部１７２は半球状に形成されていても良い。これにより、底部１７２のテーパ面や半球面に沿って測定媒体の流れがスムーズになるので、測定媒体の圧力損失を低減することができる。

（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分について説明する。図１２に示されるように、導入部１７０は平面状のテーパ面１８０を有する。羽１７５の羽面１７４と底部１７２の固定面１７７とは、テーパ面１８０で接続されている。これにより、隣同士の羽１７５によって構成される鋭角部分に進入する測定媒体をテーパ面１８０に沿わせてセンサチップ１５０側に移動させやすくすることができる。

変形例として、図１３に示されるように、導入部１７０は、湾曲面１８１を有していても良い。湾曲面１８１は、羽１７５の羽面１７４と底部１７２固定面１７７との接続角部側に凹んだ曲面である。

（他の実施形態）
上記各実施形態で示された圧力温度センサ１００の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、各羽１７５は周方向に等角度に配置されずに、周方向に不等角度で配置されても良い。

複数のピエゾ抵抗素子１５２が圧力と温度の両方を検出するように構成されているが、圧力を検出するピエゾ抵抗素子１５２と温度を検出するピエゾ抵抗素子１５２とは別々に構成されていても良い。また、圧力を検出する手段として、容量式圧力検出素子を採用しても良い。さらに、温度を検出する手段として、サーミスタや熱電対を採用しても良い。本実施形態の記載と特許請求の範囲の記載との対応関係については、容量式圧力検出素子が特許請求の範囲の「圧力検出部」に対応し、サーミスタや熱電対が特許請求の範囲の「温度検出部」に対応する。つまり、圧力検出部と温度検出部とがセンサチップ１５０に別々に設けられていても良い。

回路チップ１６０とセンサチップ１５０との電気接続部品はリードフレーム１４３に限られない。例えば、回路チップ１６０及びセンサチップ１５０はプリント基板に実装されていても構わない。

圧力温度センサ１００は、モールド樹脂部１４０を含まない構成でも良い。この場合、センサ部を構成する圧力検出部や温度検出部はハウジング１１０、センサボディ１２０、ポッティング部１３０等の部品によって保持される。

１１０ ハウジング（保持部）
１１３ 管部
１２０ センサボディ（保持部）
１３０ ポッティング部（保持部）
１４０ モールド樹脂部
１５０ センサチップ、
１５２ ピエゾ抵抗素子（圧力検出部、温度検出部）
１７０ 導入部
１７４ 羽面
１７５ 羽

Claims (9)

1. 測定媒体の圧力を検出する圧力検出部（１５２）と、前記測定媒体の温度を検出する温度検出部（１５２）と、を有するセンサ部（１５０）と、
   管部（１１３）を有し、前記センサ部が前記管部の内部に位置するように前記センサ部を保持し、前記管部が取付対象である配管（２００）に固定される保持部（１１０、１２０、１３０）と、
   前記センサ部よりも前記配管の内部側に位置するように前記保持部に設けられ、前記管部が前記配管に固定されることで前記配管の内部に配置される導入部（１７０）と、
   を含み、
   前記導入部は、前記センサ部に対する前記導入部の突出方向に沿った羽面（１７４）を有する複数の羽（１７５）を含み、
   前記複数の羽は、前記突出方向に垂直な垂直面において放射状に配置されると共に、隣同士の羽の羽面の成す角が全て鋭角である圧力温度センサ。
2. 前記複数の羽は、５枚以上の羽である請求項１に記載の圧力温度センサ。
3. 前記複数の羽は、６枚の羽である請求項１に記載の圧力温度センサ。
4. 前記複数の羽は、８枚の羽である請求項１に記載の圧力温度センサ。
5. 前記導入部は、前記複数の羽のうち前記突出方向において前記センサ部側とは反対側を固定する底部（１７２）を含む請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力温度センサ。
6. 前記底部は、前記複数の羽を固定する固定面（１７７）を有し、
   前記羽面と前記固定面とは、平面状のテーパ面（１８０）で接続されている、あるいは、前記羽面と前記固定面との接続角部側に凹んだ湾曲面（１８１）で接続されている請求項５に記載の圧力温度センサ。
7. 前記導入部は、前記保持部の一部である請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力温度センサ。
8. 前記センサ部のうち前記圧力検出部及び前記温度検出部に対応する部分が露出するように、前記センサ部を固定したモールド樹脂部（１４０）を含み、
   前記圧力検出部は、前記測定媒体の圧力に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子（１５２）を含み、
   前記温度検出部は、前記測定媒体の温度に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子（１５２）を含む請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力温度センサ。
9. 前記測定媒体は、ガスである請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力温度センサ。

Images