JP6864413B2 - Gsrセンサ素子 - Google Patents
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Description
つまり、立上がりパルス検波を採用すると直線性に難点があり、立下りパルス検波を採用すると感度、消費電力の点で難点があり、素子のASICの小型化が難しかった。
また、素子のサイズを小さくすると感度が低下するので大幅な小型化は困難であった。
以上の問題の解決が求められていた。
ここで、GSRセンサとは超高速スピン回転効果(GHz Spin Rotation effect)を基礎にした超高感度マイクロ磁気センサをいう。
しかし、GSRセンサ素子の出力電圧はパルス電流によって誘起される電圧(以下、誘導電圧という。)と外部磁界の磁界強度に比例して出力する電圧(以下、磁界電圧という。)の2つの電圧からなっている。しかも厄介なことに磁界によって磁性ワイヤの抵抗が変化し、ワイヤ電圧の変化および誘導電圧に影響を及ぼす。
立下りパルス検波では、磁界電圧のピーク時間tmと誘導電圧のピーク時間tiが離れており、時間tmでは誘導電圧は十分減衰している(図7)。
一方、立上がりパルス検波では、tmとtiが近くて時間tmでは誘導電圧はかなりの大きさを持っており、その磁界による変動は無視できない(図8)。GSR素子の出力電圧から誘起電圧を取り除き、そして立上がりパルス検波方式のGSRセンサを実現することが本発明の課題である。
一つは磁性ワイヤより深い溝の中に2本の磁性ワイヤを配置するタイプにて下コイルは凹形状で、上コイルは平面形状である。二つめは磁性ワイヤの直径の半分程度の浅い溝に2本の磁性ワイヤを配置するタイプにて下コイルは凹形状で、上コイルは凸形状である。三つめは平面の上にШ形ガイドを形成し、その中に1本ずつ計2本の磁性ワイヤを配置するタイプで、下コイルは平面形状で、上コイルは凸形状である。
いずれの種類の構造においても2本の磁性ワイヤの間には分離壁を設けている。
磁性ワイヤの端部は、絶縁性材料から磁性ワイヤの金属部分が露出され、ワイヤ電極と電気的接合する配線が施された。
立上がりパルス検波の出力電圧は、立ち下がり検波の出力電圧の2.5倍となる。しかも2本の磁性ワイヤからなるので5倍の出力電圧を得ることができる。このことは、コイルの巻き数Nを1/5とすることができることから素子のコイル長さを1/5と短くなり、素子の小型化することができることを意味している。
図1の右側に図示したワイヤ入力電極26(+)側の磁性ワイヤ21の上部は、ワイヤ端子23およびワイヤ連結部21Aを介してワイヤ入力電極26(+)と接続され(図2Bの右部分)ている。
磁性ワイヤ21の下部は、ワイヤ接合部21Bおよびワイヤ間連結部23を介して左側に図示したワイヤ接合部22Bを介してワイヤ出力電極27(−)側の磁性ワイヤ22の下部にて接続されている(図2C)。
磁性ワイヤ22の上部は、ワイヤ端子25を介してワイヤ出力電極27(−)と接続されている(図2Bの左部分)。
下コイル31は溝11内および基板10の上に凹形状に形成され、上コイル32は一対の磁性ワイヤ21および22の上部から側部に絶縁性材料4を介し、さらに基板10の上にかけて形成されている。
下コイル31の端部と上コイル32の端部は、基板10の上でジョイント部33を形成して接続されている。
なお、一対の磁性ワイヤ2(21および22)の間は絶縁性壁41で絶縁され、磁性ワイヤ2とコイル3の間は絶縁性材料4で絶縁されている。
電流が流れることによって、一つのコイル内に絶縁材料を介して電流の向きが反対方向となり、誘導電圧を相殺することができる
電極配線基板10は、Si基板にSiN被膜を施しているものを使用する。磁性ワイヤ2は、直径1〜20μm、長さ0.07〜1.0mmのガラス絶縁被膜付のアモルファスワイヤを使用する。
先ず素子1は、その幅を0.25mmとし、その中央部に幅20〜60μm、深さ2〜20μmの溝11を形成する。
下コイル31と上コイル32の端部は基板平面上にてたすき掛け的に接合するジョイント部33を形成してコイルピッチ2〜10μmのコイル3とする。コイル端子34はコイル出力電極35(+)に接続され、コイル端子35はコイルグランド電極37(−)に接続される。
そして、他の2つの端部には金属蒸着(21Bおよび22B)を行なうとともに2つの端部を結ぶ連結部23を金属蒸着で形成する。
このようにして、ワイヤ入力電極26(+)からワイヤグランド電極27(−)までパルス電流の通電用の配線とする。
感度は50〜2000mV/Gにて同じ磁性ワイヤの長さからなるGSRセンサ素子の役5倍である。
パルス消費電力は、0.3mW(0.15mA)である。
電子回路5は、パルス発信器51と前記GSRセンサ素子1とバッファー回路53を有する信号処理回路52とからなる。 信号は、1GHzに相当する100mAの強さのパルス信号で、立上がり時間0.5nsec、パルス幅1nsec、立下がり時間0.5nsecのパルス電流を入力する。
パルス信号はアモルファスワイヤ2に入力され、そのパルス印加中に電磁コイル3には外部磁界に比例した電圧が発生し、立上がりパルス検波を行なう。
センサ出力は正弦波出力特性を示し、arcsin変換することで±90Gの範囲で直線性を示す。非直線性は0.3%である。感度は210mV/Gである。
磁界の強さ90 Oeにおけるセンサ出力電圧は、比較例1のMIセンサは0.1V、比較例2のGSRセンサは0.3Vに対して本発明のGSRセンサは1.5Vと非常に優れた感度が得られてる。
2:磁性ワイヤ、21:一対の磁性ワイヤの一つ、22:一対の磁性ワイヤの他の一つ、
21A:ワイヤ端子とワイヤ入力電極(+)との連結部、
22A:ワイヤ端子とワイヤ出力電極(−)との連結部、
21B:ワイヤ接合部、22B:ワイヤ接合部、
23:磁性ワイヤの端子、24:ワイヤ間連結部、25:磁性ワイヤの端子
26:ワイヤ入力電極(+)、27:ワイヤ出力電極(−)
3:コイル、31:下コイル、32:上コイル、33:ジョイント部
4:絶縁性材料、41:絶縁壁
5: 電子回路
51:パルス発振器 52:信号処理回路 53:バッファー回路 54:検波タイミング調整回路、55:電子スイッチ、56:サンプルホールド回路、57:増幅器
Claims (7)
- 電極配線基板上に、感磁体である磁性ワイヤとその周りに巻きつけたコイルおよびそれらの端部に外部の集積回路と連結するための4つの端子を形成したGSRセンサ素子において、
前記コイル内に絶縁材料を介して電流の向きが反対方向からなる一対の前記磁性ワイヤを設置し、
前記コイルは、コイル下部とコイル上部および両者を連結するジョイント部とからなり、
前記一対の磁性ワイヤは、前記コイル内の絶縁性壁により分離されていることを特徴とするGSRセンサ素子。 - 請求項1において、
前記磁性ワイヤは、複数の対からなることを特徴とするGSRセンサ素子。 - 請求項1において、
前記磁性ワイヤは、磁性ワイヤの外周が絶縁材料で被覆されていることを特徴とするGSRセンサ素子。 - 請求項1において、
前記一対の磁性ワイヤは前記コイル下部にコイル下部配線を施して絶縁性材料を塗布した前記基板の溝に埋設されて接着機能およびレジスト機能を有する絶縁性樹脂で固定し、
前記一対の磁性ワイヤは上部を前記絶縁性樹脂で覆われ、前記コイル上部にコイル上部配線を行い、前記ジョイント部は前記コイル下部配線の端部と前記コイル上部配線の端部を電気的接合してコイルを形成していることを特徴とするGSRセンサ素子。 - コイルは、凹形状のコイル下部と平坦形状のコイル上部および両者を連結するジョイント部からなり、一対の磁性ワイヤは前記コイル下部にコイル下部配線を施し、絶縁性材料を埋設した基板の溝に介挿され、前記溝上面には前記コイル上部にコイル上部配線を行い、前記ジョイント部は前記コイル下部配線の端部と前記コイル上部配線の端部を電気的接合して前記コイルを形成していることを特徴とするGSRセンサ素子。
- コイルは、平坦形状のコイル下部と凸形状のコイル上部および両者を連結するジョイント部からなり、一対の磁性ワイヤは基板の平坦面に施した前記コイル下部に施したコイル下部配線の上面に絶縁性樹脂で固定し、前記一対の磁性ワイヤの側面部および上部は前記絶縁性樹脂により覆われ、前記コイル上部にコイル上部配線を行い、前記ジョイント部は前記コイル下部配線の端部と前記コイル上部配線の端部を電気的接合して前記コイルを形成していることを特徴とするGSRセンサ素子。
- 電極配線基板上に、感磁体である磁性ワイヤとその周りに巻きつけたコイルおよびそれらの端部に外部の集積回路と連結するための4つの端子を形成したGSRセンサ素子において、
前記コイル内に絶縁材料を介して電流の向きが反対方向からなる一対の前記磁性ワイヤを配設し、
前記コイルは、コイル下部配線とコイル上部配線および両者を連結するジョイント部とからなり、
前記一対の磁性ワイヤは第1の磁性ワイヤと第2の磁性ワイヤとからなり、前記第1の磁性ワイヤと前記第2の磁性ワイヤは平行に配置され、前記電流の向きに応じた前記第1の磁性ワイヤの第1端部と第2端部、前記第2の磁性ワイ ヤの第1端部と第2端部とを有し、前記第1の磁性ワイヤの前記第1端部と前記第2の磁性ワイヤの前記第2端部とは前記4つの端子の第1及び第2の端子にそれぞれ接続され、前記第1の磁性ワイヤの前記第2端部と前記第2の磁性ワイヤの前記第1端部とが相互に接続され、前記第1の磁性ワイヤと前記第2の磁性ワイヤの間は前記コイル内の絶縁性壁により分離されて、
前記コイルは前記第1の磁性ワイヤと前記第2の磁性ワイヤ、及び前記絶縁隔壁とを内包するように巻回されていることを特徴とするGSRセンサ素子。
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