KR20230107904A - Gsr 센서 소자 - Google Patents

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KR20230107904A
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magnetic
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wire
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KR1020237023043A
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요시노부 혼쿠라
에이키 기쿠치
가즈에 구도
준이치 다나베
신페이 혼쿠라
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아사히 인텍크 가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

[과제] GSR 센서 소자에 있어서, 상승 펄스 검파의 tm과 ti가 가까워 시간 tm에서는 유도 전압은 상당한 크기를 가지고 있어, 그 자계에 의한 변동은 무시할 수 없다. 출력 전압으로부터 유기 전압을 제거하여, 상승 펄스 검파 방식의 GSR 센서를 실현한다. [해결 수단] 유도 전압이 자성 와이어에 흐르는 전류의 방향에 대해서 양음이 반대로 된다는 지견에 기초하여, 하나의 코일 내에 양음이 반대 방향인 전류가 흐르는 2개의 자성 와이어를 설치함으로써 유도 전류가 상쇄되어 자계에 비례하는 전압을 검출할 수 있다.

Description

GSR 센서 소자{GSR SENSOR ELEMENT}
본 발명은 하나의 코일 내에 1개의 자성 와이어만 가지는 GSR 센서 소자에 대해서, 전류의 방향이 반대 방향으로 되는 한쌍의 자성 와이어를 하나의 코일 내에 설치하여 고감도화 및 저소비 전력화를 가능하게 하기 위한 기술에 관한 것이다.
카테터(catheter) 치료는 널리 보급되어 있지만, X선 피폭이나 조영제의 과도한 투하나 의사의 숙련도가 많고적음이 문제가 되고 있다. 그것을 해결하는 방책으로서, 자기 센서를 카테터에 내장하여 카테터 선단의 위치나 방위를 측정하고, 그 값을 사용한 리모트 컨트롤식의 카테터 치료의 확립이 요망되고 있다.
그러나, 특허문헌 1에 개시되어 있는 GSR 센서에서는, 직선성, 감도, 소형 사이즈 및 소비 전력면에서 충분하지 않았다.
즉, 상승 펄스 검파를 채용하면 직선성에 난점이 있고, 하강 펄스 검파를 채용하면 감도, 소비 전력면에서 난점이 있어, 소자의 ASIC의 소형화가 어려웠다.
또한, 소자의 사이즈를 작게 하면 감도가 저하되므로 대폭적인 소형화는 곤란했다. 이상의 문제의 해결이 요구되고 있었다.
본 발명은 상승 펄스 검파의 채용에도 불구하고, 뛰어난 직선성을 확보하여, 감도 및 소비 전력을 개선하는 것이다. 또한, 감도를 큰폭으로 개선함으로써 소자의 소형화를 가능하게 한다. 소비 전력을 저감시킴으로써 ASIC 내의 콘덴서 용량을 큰폭으로 작게 하여 ASIC의 소형화도 가능하게 된다.
일본 특허 제5839527호
GSR 센서에 있어서, 하나의 코일 내에 자성 와이어를 2개 설치하면 감도는 2배로 증가하고, 상승 펄스 검파를 채용하면 펄스 소비 전력을 0.4mW로부터 0.04mW로 1/10로 저감시킬 수 있는 것은, 종래부터 알려져 있다.
여기서, GSR 센서란 초고속 스핀 회전 효과(GHz Spin Rotation effect)를 기초로 한 초고감도 마이크로 자기 센서를 말한다.
그러나, GSR 센서 소자의 출력 전압은 펄스 전류에 의해서 유기되는 전압(이하, 유도 전압이라고 함.)과 외부 자계의 자계 강도에 비례하여 출력하는 전압(이하, 자계 전압이라고 함.)의 2개의 전압으로 되어 있다. 게다가 성가시게 자계에 의해서 자성 와이어의 저항이 변화하여, 와이어 전압의 변화 및 유도 전압에 영향을 미친다.
하강 펄스 검파에서는, 자계 전압의 피크 시간 tm과 유도 전압의 피크 시간 ti가 떨어져 있고, 시간 tm에서는 유도 전압은 충분히 감쇠하고 있다(도 7).
한편, 상승 펄스 검파에서는, tm과 ti가 가까워 시간 tm에서는 유도 전압은 상당한 크기를 가지고 있어, 그 자계에 의한 변동은 무시할 수 없다(도 8). GSR 소자의 출력 전압으로부터 유기 전압을 제거하여, 상승 펄스 검파 방식의 GSR 센서를 실현하는 것이 본 발명의 과제이다.
본 발명자는, 상기의 기술 과제를 열심히 검토한 결과, 유도 전압이 자성 와이어에 흐르는 전류의 방향에 대해서 양음이 반대로 되는 것을 확인했다. 그 다음에, 하나의 코일 내에 양음의 반대 방향의 전류가 흐르는 2개의 자성 와이어를 설치하면, 유도 전압은 상쇄되어 자계에 비례하는 전압만을 검출할 수 있다고 하는 본 발명의 기술적 사상에 이르렀다.
1개의 자성 와이어의 GSR 센서 소자의 대표적인 사이즈의 코일은, 홈 폭이 20㎛, 코일 폭이 40㎛이다. 2개의 자성 와이어의 GSR 센서 소자는, 그 홈 폭을 40㎛로 하고, 중앙에 분리벽을 마련하여 2개의 자성 와이어를 배치하고, 코일 폭을 50㎛로 한다. GSR 센서 소자의 사이즈로서는, 1개의 자성 와이어와 2개의 자성 와이어는 거의 같다.
소자의 구조로서 3 종류의 구조가 있다.
하나는 자성 와이어보다 깊은 홈 내에 2개의 자성 와이어를 배치하는 타입으로 아래 코일은 오목 형상이고, 위 코일은 평면 형상이다. 두 번째는 자성 와이어의 직경의 절반 정도의 얕은 홈에 2개의 자성 와이어를 배치하는 타입으로 아래 코일은 오목 형상이고, 위 코일은 볼록 형상이다.
세 번째는 평면 상에 산(山)형 가이드를 형성하고, 그 안에 1개씩 합계 2개의 자성 와이어를 배치하는 타입으로, 아래 코일은 평면 형상이고, 위 코일은 볼록 형상이다.
어느 종류의 구조에 있어서도 2개의 자성 와이어 사이에는 분리벽을 마련하고 있다.
아래 코일과 위 코일은 반피치 어긋나게 배치되고, 양자의 평면 기판 상의 접합면으로 전기적 접속시켜 나선 모양의 코일을 형성한다. 두 개의 코일 단부는, 각각 두 개의 코일 전극과 접속된다.
자성 와이어와 코일 간의 절연은, 절연성 재료로 피복한 자성 와이어를 채용하는 방법 및 홈 내에 매설한 절연성 레지스트내에 자성 와이어를 삽입하는 방법, 또한 양자를 조합한 절연 방법이 있다. 절연을 확실히 하기 위해서는 절연 피복한 자성 와이어를 이용하는 것이 바람직하다.
자성 와이어의 단부는, 절연성 재료로부터 자성 와이어의 금속 부분이 노출되어, 와이어 전극과 전기적 접합시키는 배선이 실시되었다.
2개의 자성 와이어를 이용하는 GSR 센서 소자의 출력은, 자계에 비례하는 자계 전압뿐이므로 상승 펄스 검파를 채용해도, 뛰어난 직선성을 유지할 수 있다.
상승 펄스 검파의 출력 전압은, 하강 검파의 출력 전압의 2.5배가 된다. 게다가 2개의 자성 와이어로 이루어지므로 5배의 출력 전압을 얻을 수 있다. 이것은, 코일의 권수 N을 1/5로 할 수 있기 때문에 소자의 코일 길이가 1/5로 짧아져, 소자가 소형화될 수 있는 것을 의미하고 있다.
또한, 펄스 전류의 펄스 폭을 상승 검파가 필요로 하는 충분히 긴 펄스 폭, 예를 들면 10ns로부터 1ns 이하로 할 수 있다. 이것에 의해 펄스 전류의 소비 전력을 1/10 이하로 할 수 있다.
GSR 센서용 ASIC는 펄스 전류 발신을 위한 전력 축적용의 콘덴서를 내장하고 있다. 그 크기는 ASIC의 50%를 차지하고 있다. 그 콘덴서 사이즈를 1/10로 할 수 있으면, ASIC의 사이즈를 거의 반감시킬 수 있다.
하나의 코일 내에 2개의 자성 와이어를 배치하는 GSR 센서 소자에 의해, 코일 전압 중 유도 전압 성분을 없애, 상승 펄스 검파의 출력 전압의 자계 의존성의 직선성을 개선하는 것과 동시에 감도(단위 자계의 강도 1G당 출력 전압)를 5배로 증가시키고, 또한, 펄스 전류의 소비 전력을 1/10 이하로 감소시킬 수 있다. 이것에 의해, 동일 출력 전압의 조건하에서는 소자 사이즈, ASIC 사이즈의 소형화가 가능하게 된다.
도 1은 실시 형태 및 실시예의 GSR 센서 소자를 나타내는 정면의 개념도이다.
도 2a는 실시 형태의 GSR 센서 소자를 나타내는 도 1의 A1-A2선에 따른 단면도이다.
도 2b는 실시 형태의 GSR 센서 소자를 나타내는 도 1의 A3-A4선에 따른 단면도이다.
도 2c는 실시 형태의 GSR 센서 소자를 나타내는 도 1의 A5-A6선에 따른 단면도이다.
도 3은 실시 형태의 GSR 센서 소자의 다른 타입(오목 형상)의 단면도이다.
도 4는 실시 형태의 GSR 센서 소자의 다른 타입(볼록 형상)의 단면도이다.
도 5는 실시예에 있어서의 GSR 센서의 전자 회로를 나타내는 블록 회로도이다.
도 6은 실시예의 GSR 센서 및 비교예에 있어서의 자기 센서의 외부 자장 대 출력 전압의 특성도이다.
도 7은 하강 펄스 검파에 있어서의 자계 전압과 유도 전압의 시간적 변화의 추이 도면이다.
도 8은 상승 펄스 검파에 있어서의 자계 전압과 유도 전압의 시간적 변화의 추이 도면이다.
본 실시 형태의 GSR 센서 소자(1)는, 도 1, 도 2a, 도 2b 및 도 2c에 도시되는 바와 같이, 전극 배선 기판(10) 상에 감자체(感磁體)인 Co합금의 절연 피막붙임 자성 와이어(2)(21 및 22), 자성 와이어(2)의 둘레에 감은 코일(3)(31 및 32), 4개의 단자(23 및 25 그리고 34 및 36)로 이루어진다.
자성 와이어(2)는 기판 중앙부의 홈(11) 내에 절연성벽(41)에 의해 분리되는 2개의 자성 와이어(21 및 22)가 배치되어 있다.
도 1의 우측에 도시한 와이어 입력 전극(26)(+)측의 자성 와이어(21)의 상부는, 와이어 단자(23) 및 와이어 연결부(21A)를 통해서 와이어 입력 전극(26)(+)과 접속되어(도 2b의 오른쪽 부분) 있다.
자성 와이어(21)의 하부는, 와이어 접합부(21B) 및 와이어간 연결부(23)를 통하고 좌측에 도시한 와이어 접합부(22B)를 통해서 와이어 출력 전극(27)(-)측의 자성 와이어(22)의 하부에 접속되어 있다(도 2c).
자성 와이어(22)의 상부는, 와이어 단자(25)를 통해서 와이어 출력 전극(27)(-)과 접속되어 있다(도 2b의 왼쪽 부분).
다음으로, 코일(3)은 도 2a에 나타내는 바와 같이 아래 코일(31), 위 코일(32) 및 양자의 코일을 접합시키는 조인트부(33)로 이루어진다.
아래 코일(31)은 홈(11) 내 및 기판(10) 상에 오목 형상으로 형성되고, 위 코일(32)은 한쌍의 자성 와이어(21 및 22)의 상부로부터 측부에 절연성 재료(4)를 개재하여, 또한 기판(10) 상에 걸쳐 형성되어 있다.
아래 코일(31)의 단부와 위 코일(32)의 단부는, 기판(10) 상에서 조인트부(33)를 형성하여 접속되어 있다.
또한, 한쌍의 자성 와이어(2)(21 및 22)의 사이는 절연성벽(41)으로 절연되고, 자성 와이어(2)와 코일(3)의 사이는 절연성 재료(4)로 절연되어 있다.
따라서, 우측의 자성 와이어(21)는 하방향으로 전류가 흐르고, 좌측의 자성 와이어(22)는 상방향으로 전류가 흐름으로써, 하나의 코일 내에 절연 재료를 사이에 두고 전류의 방향이 반대 방향으로 되어, 유도 전압을 상쇄할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 2개의 자성 와이어로 이루어진 한쌍의 자성 와이어를 하나의 코일 내에 절연성 재료를 사이에 두고 전류의 방향이 반대 방향으로 되도록 설치하고 있지만, 하나의 코일 내에 복수의 쌍으로 이루어진 자성 와이어를 설치해도 된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 자성 와이어는 절연성 재료인 유리를 피복한 자성 와이어를 사용하고 있지만, 절연성 재료를 피복하지 않은 자성 와이어를 사용해도 된다.
소자의 구조로서 본 실시 형태에서는, 도 2a에 나타내는 바와 같이 자성 와이어(2)의 직경의 절반 정도가 얕은 홈(11)에 2개의 자성 와이어(21 및 22)를 배치하는 타입으로 아래 코일(31)은 오목 형상이고, 위 코일(32)은 볼록 형상이다.
다른 구조로서는, 도 3에 나타내는 바와 같이 자성 와이어(2)보다 깊은 홈(11) 내에 2개의 자성 와이어(21 및 22)를 배치하는 타입으로 아래 코일(31)은 오목 형상이고, 위 코일(32)은 평면 형상이다. 또한, 도 4에 나타내는 바와 같이 세 번째는 평면 위에 산형 가이드를 형성하고, 그 안에 1개씩 합계 2개의 자성 와이어(21 및 22)를 배치하는 타입으로, 아래 코일(31)은 평면 형상이고, 위 코일(32)은 볼록 형상이다.
어느 종류의 구조에 있어서도 2개의 자성 와이어(21 및 22) 간에는 분리벽을 마련하고 있다. 아래 코일(31)의 단부와 위 코일(32)의 단부를 접합시키는 조인트부(33)를 마련하여 코일(3)을 형성한다.
다음으로, GSR 센서 소자의 제조 방법을 설명한다.
전극 배선 기판(10)은 Si기판에 SiN 피막을 실시하고 있는 것을 사용한다. 자성 와이어(2)는 직경 1~20㎛, 길이 0.07~1.0mm의 유리 절연 피막붙임의 어모퍼스 와이어를 사용한다.
먼저 소자(1)는 그 폭을 0.25mm로 하고, 그 중앙부에 폭 20~60㎛, 깊이 2~20㎛의 홈(11)을 형성한다.
다음으로 홈(11)을 따라서 아래 코일(31)과 기판면 상에 전극 배선을 행한다. 그 후, 홈(11)의 중앙부에 절연성 분리벽(41)을 형성하여 2개의 홈 형상으로 하고, 거기에 2개의 자성 와이어(21 및 22)를 각각 배치한다. 그 후, 기판 전면에 절연성 레지스트를 도포한다. 2개의 자성 와이어(21 및 22)의 상부는 얇게 도포한다. 거기에 위 코일(32)을 포토리소(photolitho) 기술로 형성한다.
아래 코일(31)과 위 코일(32)의 단부는 기판 평면상에서 교차하는 방식으로 접합시키는 조인트부(33)를 형성하여 코일 피치 2~10㎛의 코일(3)로 한다. 코일 단자(34)는 코일 출력 전극(35)(+)에 접속되고, 코일 단자(35)는 코일 그라운드 전극(37)(-)에 접속된다.
2개의 자성 와이어의 4개의 단부에 대해서는, 절연 피막의 유리를 제거하고, 2개의 단부 중 하나에는 금속 증착에 의해 와이어 단자(23) 및 접속부(21A)를 형성하고, 와이어 입력 전극(26)(+)까지의 전기적 접속을 행하는 것과 함께 다른 하나에는 금속 증착에 의해 와이어 단자(25) 및 접속부(22A)를 형성하고, 와이어 그라운드 전극(27)(-)까지의 전기적 접속을 행한다.
그리고, 다른 2개의 단부에는 금속 증착(21B 및 22B)을 행하는 것과 함께 2개의 단부를 연결하는 연결부(23)를 금속 증착으로 형성한다.
이와 같이 하여, 와이어 입력 전극(26)(+)으로부터 와이어 그라운드 전극(27)(-)까지 펄스 전류의 통전용의 배선으로 한다.
본 실시 형태에 의해, 출력 전압은 자장 H에 대해서 정현파 출력 특성을 나타내고, 측정 레인지는 ±3~90G로 직선성은 0.3% 이하로 매우 양호하다.
감도는 50~2000mV/G로 같은 자성 와이어의 길이로 이루어진 GSR 센서 소자의 약 5배이다.
펄스 소비 전력은 0.3mW(0.15mA)이다.
실시예
이하, 본 발명의 실시예의 GSR 센서 소자에 대해서, 도 1, 도 5 및 도 6을 이용하여 이하에 설명한다.
기판(10)은 Si기판으로 이루어지고 SiN에 의해 절연 피막되어 있고, 그 크기는 길이 0.2mm, 폭 0.2mm, 높이 0.2mm이다. 자성 와이어(2)는 CoFeSiB계 합금을 사용하는 직경 10㎛로 유리 피복된 어모퍼스 와이어로, 길이 0.20mm이다.
기판(10)의 홈(11)의 폭은 40㎛, 깊이는 6㎛이다. 홈(11) 내의 절연성 레지스트에 의한 분리벽(41)의 크기는, 폭 2㎛, 높이 6㎛이다.
코일(3)은 폭 50㎛, 높이 14㎛로 평균 내경(높이와 폭으로 형성되는 코일내 단면적과 동일하게 되는 원의 직경)은 26㎛, 코일 피치는 5㎛, 코일 권수는 28회이다.
다음으로, GSR 센서 소자(1)의 특성을 도 5에 나타내는 MI센서용의 전자 회로를 이용하여 평가했다.
전자 회로(5)는 펄스 발신기(51)와 상기 GSR 센서 소자(1)와 버퍼 회로(53)를 가지는 신호 처리 회로(52)로 이루어진다. 신호는 1GHz에 상당하는 100mA의 강도의 펄스 신호로, 상승 시간 0.5nsec, 펄스 폭 1nsec, 하강 시간 0.5nsec의 펄스 전류를 입력한다.
펄스 신호는 어모퍼스 와이어(2)에 입력되고, 그 펄스 인가 중에 전자 코일(3)에는 외부 자계에 비례한 전압이 발생하여, 상승 펄스 검파를 행한다.
신호 처리 회로(52)는, 코일(3)에 발생한 그 전압을, 버퍼 회로(53)에 입력하고, 그것으로부터의 출력은 전자 스위치(55)를 통해서 샘플 홀드 회로(56)에 입력된다. 전자 스위치(55)의 개폐의 타이밍은, 검파 타이밍 조정 회로(54)로 상승 펄스 신호에 적절한 타이밍에서 검파하도록 조정하고, 그때의 전압을 샘플 홀드한다. 그 후 그 전압을 증폭기(57)에서 소정의 전압으로 증폭시킨다.
상기 전자 회로로부터의 센서 출력을 도 6에 나타낸다. 도 6의 가로축은 외부 자장의 크기, 세로축은 센서 출력 전압이다.
센서 출력은 정현파 출력 특성을 나타내고, arcsin 변환함으로써 ±90G의 범위에서 직선성을 나타낸다. 비직선성은 0.3%이다. 감도는 210mV/G이다.
비교예 1로서 시판 제품 AMI306에 사용되고 있는 MI소자(길이 0.6mm, 폭 0.3mm), 및 비교예 2로서 자동차용 GSR 센서 소자(길이 0.15mm, 폭 0.20mm)를 동일한 전자 회로로 측정 평가했다. 그 결과를 도 6의 비교예 1 및 2로 나타낸다.
자계의 강도 90 Oe에 있어서의 센서 출력 전압은, 비교예 1의 MI센서는 0.1V, 비교예 2의 GSR 센서는 0.3V인 것에 대해서 본 발명의 GSR 센서는 1.5V로 매우 뛰어난 감도가 얻어지고 있다.
이상과 같이, 본 발명의 GSR 센서 소자는 매우 소형이고 고감도이다. 따라서, 본 소자로 이루어진 GSR 센서는 매우 고감도, 소형 및 저소비 전력이기 때문에 카테터에 내장할 수 있고, 또한 스마트폰 등의 폭넓은 분야에도 적응이 가능하게 된다.
1: GSR 센서 소자판, 10: 기판, 11: 기판 상의 홈
2: 자성 와이어, 21: 한쌍의 자성 와이어 중 하나, 22: 한쌍의 자성 와이어 중 다른 하나,
21A: 와이어 단자와 와이어 입력 전극(+)의 연결부,
22A: 와이어 단자와 와이어 출력 전극(-)의 연결부,
21B: 와이어 접합부, 22B: 와이어 접합부,
23: 자성 와이어의 단자, 24: 와이어간 연결부, 25: 자성 와이어의 단자
26: 와이어 입력 전극(+), 27: 와이어 출력 전극(-)
3: 코일, 31: 아래 코일, 32: 위 코일, 33: 조인트부
4: 절연성 재료, 41: 절연벽
5: 전자 회로
51: 펄스 발진기, 52: 신호 처리 회로, 53: 버퍼 회로, 54: 검파 타이밍 조정 회로, 55: 전자 스위치, 56: 샘플 홀드 회로, 57: 증폭기

Claims (6)

  1. 전극 배선 기판과,
    상기 전극 배선 기판 상에 나란히 배치된 한 쌍의 자성 와이어와,
    상기 한 쌍의 자성 와이어의 양쪽을 권회하는 코일과,
    한 쌍의 제1 전극과,
    한 쌍의 제2 전극과,
    상기 한 쌍의 자성 와이어 사이에 배치된 절연성벽,
    을 가지고,
    상기 한 쌍의 자성 와이어는 자성체로 형성되고, 상기 한 쌍의 자성 와이어는 제1 자성 와이어와 제2 자성 와이어로 구성되고, 상기 제1 자성 와이어의 제1 단부는 상기 제1 전극을 구성하는 제1 전극에 접속되고, 상기 제1 자성 와이어의 제2 단부와 상기 제2 자성 와이어이 제3 단부는 상호 접속되고, 상기 제2 자성 와이어의 제4 단부는 상기 제1 전극을 구성하는 제2 전극에 접속됨으로써 상기 한 쌍의 자성 와이어의 각각에는 대향하는 방향으로 전류가 흐르도록 되고,
    상기 코일의 제1 단부는 상기 제2 전극의 제3 전극에 접속되고, 제2 단부는 상기 제2 전극의 제4 전극에 접속되고, 상기 전극 배선 기판에 접하여 형성되는 코일 하부와 상기 전극 배선 기판으로부터 분리되어 형성되는 코일 상부와, 상기 코일 상부와 상기 코일 하부를 전기적으로 접속하는 코일 접속부로 이루어지고, 상기 한 쌍의 자성 와이어와 상기 절연성벽을 내포하여 복수회 권회되도록 형성되어 있고,
    상기 코일과 상기 한 쌍의 자성 와이어가 절연되도록 제1 절연 재료가 배치되고,
    상기 코일 상부는 상기 자성 와이어의 위에서 측부에 걸쳐서 배치된 상기 제1 절연 재료를 통하여 배치되는 것을 특징으로 하는, GSR 센서 소자.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 자성 와이어는 추가로 1 또는 복수의 쌍의 자성 와이어를 가져서 이루어지는 것을 특징으로 하는, GSR 센서 소자.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 자성 와이어는, 자성 와이어의 바깥 둘레가 제2 절연 재료로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는, GSR 센서 소자.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 한 쌍의 자성 와이어는 상기 코일 하부에 코일 하부 배선을 실시하여 상기 제1 절연 재료인 절연성 수지를 도포한 상기 기판의 홈에 매설되어 접착 기능 및 레지스트 기능을 가지는 상기 절연성 수지로 고정하고,
    상기 한 쌍의 자성 와이어는 상부가 상기 절연성 수지로 덮이고, 상기 코일 상부에 코일 상부 배선을 행하고, 상기 조인트부는 상기 코일 하부 배선의 단부와 상기 코일 상부 배선의 단부를 전기적 접합시켜 코일을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 GSR 센서 소자.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 코일은 오목 형상의 코일 하부와 평탄 형상의 코일 상부 및 양자를 연결하는 조인트부로 이루어지고, 한 쌍의 자성 와이어는 상기 코일 하부에 코일 하부 배선을 실시하고, 상기 제1 절연 재료인 절연성 재료를 매설한 기판의 홈에 삽입되고, 상기 홈 상면에는 상기 코일 상부에 코일 상부 배선을 행하고, 상기 조인트부는 상기 코일 하부 배선의 단부와 상기 코일 상부 배선의 단부를 전기적 접합시켜 상기 코일을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 GSR 센서 소자.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 코일은 평탄 형상의 코일 하부와 볼록 형상의 코일 상부 및 양자를 연결하는 조인트부로 이루어지고, 한 쌍의 자성 와이어는 기판의 평탄면에 실시한 상기 코일 하부에 실시한 코일 하부 배선의 상면에 상기 제1 절연 재료인 절연성 수지로 고정하고, 상기 한 쌍의 자성 와이어의 측면부 및 상부는 상기 절연성 수지에 의해 덮이고, 상기 코일 상부에 코일 상부 배선을 행하고, 상기 조인트부는 상기 코일 하부 배선의 단부와 상기 코일 상부 배선의 단부를 전기적 접합시켜 상기 코일을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 GSR 센서 소자.
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