JP6861423B2 - フルオロエラストマー組成物及びその成形品 - Google Patents
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Description
一般式(1):CX1 2=CX1−Rf 1CHR1X2
(式中、X1は、水素原子、フッ素原子又はCH3、Rf 1は、フルオロアルキレン基、パーフルオロアルキレン基、フルオロ(ポリ)オキシアルキレン基又はパーフルオロ(ポリ)オキシアルキレン基、R1は、水素原子又はCH3、X2は、ヨウ素原子又は臭素原子である)で表されるフルオロモノマー、
一般式(2):CX1 2=CX1−Rf 1X2
(式中、X1は、水素原子、フッ素原子又はCH3、Rf 1は、フルオロアルキレン基、パーフルオロアルキレン基、フルオロ(ポリ)オキシアルキレン基又はパーフルオロ(ポリ)オキシアルキレン基、X2は、ヨウ素原子又は臭素原子である)で表されるフルオロモノマー、
一般式(3):CF2=CFO(CF2CF(CF3)O)m(CF2)n−X3
(式中、mは0〜5の整数、nは1〜3の整数、X3は、シアノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、ヨウ素原子、臭素原子、又は、−CH2Iである)で表されるフルオロモノマー、及び、
一般式(4):CH2=CFCF2O(CF(CF3)CF2O)m(CF(CF3))n−X4
(式中、mは0〜5の整数、nは1〜3の整数、X4は、シアノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、ヨウ素原子、臭素原子、又は、−CH2OHである)で表されるフルオロモノマー、及び、
一般式(5):CR2R3=CR4−Z−CR5=CR6R7
(式中、R2〜R7は、同一又は異なって、水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基である。Zは、直鎖又は分岐状で酸素原子を有していてもよい、炭素数1〜18のアルキレン基、炭素数3〜18のシクロアルキレン基、少なくとも部分的にフッ素化している炭素数1〜10のアルキレン基若しくはオキシアルキレン基、又は、
−(Q)p−CF2O−(CF2CF2O)m(CF2O)n−CF2−(Q)p−
(式中、Qはアルキレン基またはオキシアルキレン基である。pは0または1である。m/nが0.2〜5である。)で表され、分子量が500〜10000である(パー)フルオロポリオキシアルキレン基である。)で表されるモノマー
からなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。
一般式(11)〜(27):
CY11 2=CY11(CF2)n−CN (11)
(式中、Y11は水素原子またはフッ素原子、nは1〜8の整数)
CF2=CFCF2Rf 12−CN (12)
(式中、Rf 12は、−(OCF2)n−又は−(OCF(CF3))n−、nは0〜5の整数)
CF2=CFCF2(OCF(CF3)CF2)m(OCH2CF2CF2)nOCH2CF2−CN (13)
(式中、mは0〜5の整数、nは0〜5の整数)
CF2=CFCF2(OCH2CF2CF2)m(OCF(CF3)CF2)nOCF(CF3)−CN (14)
(式中、mは0〜5の整数、nは0〜5の整数)
CF2=CF(OCF2CF(CF3))mO(CF2)n−CN (15)
(式中、mは0〜5の整数、nは1〜8の整数)
CF2=CF(OCF2CF(CF3))m−CN (16)
(式中、mは1〜5の整数)
CF2=CFOCF2(CF(CF3)OCF2)nCF(−CN)CF3 (17)
(式中、nは1〜4の整数)
CF2=CFO(CF2)nOCF(CF3)−CN (18)
(式中、nは2〜5の整数)
CF2=CFO(CF2)n−(C6H4)−CN (19)
(式中、nは1〜6の整数)
CF2=CF(OCF2CF(CF3))nOCF2CF(CF3)−CN (20)
(式中、nは1〜2の整数)
CH2=CFCF2O(CF(CF3)CF2O)nCF(CF3)−CN (21)
(式中、nは0〜5の整数)、
CF2=CFO(CF2CF(CF3)O)m(CF2)n−CN (22)
(式中、mは0〜5の整数、nは1〜3の整数)
CH2=CFCF2OCF(CF3)OCF(CF3)−CN (23)
CH2=CFCF2OCH2CF2−CN (24)
CF2=CFO(CF2CF(CF3)O)mCF2CF(CF3)−CN (25)
(式中、mは0以上の整数)
CF2=CFOCF(CF3)CF2O(CF2)n−CN (26)
(式中、nは1以上の整数)
CF2=CFOCF2OCF2CF(CF3)OCF2−CN (27)
で表されるモノマーなどがあげられ、これらをそれぞれ単独で、または任意に組み合わせて用いることができる。
一般式(38):CF2=CF−ORf38
(式中、Rf38は、炭素数1〜8のパーフルオロアルキル基を表す。)で表されるフルオロモノマー、
一般式(39):CF2=CFOCF2ORf39
(式中、Rf39は炭素数1〜6の直鎖又は分岐状パーフルオロアルキル基、炭素数5〜6の環式パーフルオロアルキル基、1〜3個の酸素原子を含む炭素数2〜6の直鎖又は分岐状パーフルオロオキシアルキル基である)で表されるフルオロモノマー、及び、
一般式(40):CF2=CFO(CF2CF(Y40)O)m(CF2)nF
(式中、Y40はフッ素原子又はトリフルオロメチル基を表す。mは1〜4の整数である。nは1〜4の整数である。)で表されるフルオロモノマー
からなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましく、一般式(38)で表されるフルオロモノマーがより好ましい。
本発明のフルオロエラストマー成形品は、特に高度なクリーンさが要求される半導体製造装置、特に高密度プラズマ照射が行なわれる半導体製造装置のシール材として好適に使用できる。上記シール材としては、O−リング、角−リング、ガスケット、パッキン、オイルシール、ベアリングシール、リップシール等が挙げられる。
そのほか、半導体製造装置に使用される各種のポリマー製品、例えばダイヤフラム、チューブ、ホース、各種ゴムロール、ベルト等としても使用できる。また、コーティング用材料、ライニング用材料としても使用できる。
ドライエッチング装置
プラズマエッチング装置
反応性イオンエッチング装置
反応性イオンビームエッチング装置
スパッタエッチング装置
イオンビームエッチング装置
ウェットエッチング装置
アッシング装置
(2)洗浄装置
乾式エッチング洗浄装置
UV/O3洗浄装置
イオンビーム洗浄装置
レーザービーム洗浄装置
プラズマ洗浄装置
ガスエッチング洗浄装置
抽出洗浄装置
ソックスレー抽出洗浄装置
高温高圧抽出洗浄装置
マイクロウェーブ抽出洗浄装置
超臨界抽出洗浄装置
(3)露光装置
ステッパー
コータ・デベロッパー
(4)研磨装置
CMP装置
(5)成膜装置
CVD装置
スパッタリング装置
(6)拡散・イオン注入装置
酸化拡散装置
イオン注入装置
多層カーボンナノチューブ(MWCNT、昭和電工社製、VGCF−H)1.5gを濃硫酸60mlに加えて1時間撹拌した後、過マンガン酸カリウム7.5gを加えて1時間撹拌した。この分散液を55℃に昇温して1時間撹拌し、さらに70℃に昇温して30分撹拌した後、室温に冷却した。不溶性の二酸化マンガンの沈殿を予防するための過酸化水素水30mlを含む氷水400mlにこの分散液を加えた後、孔サイズが0.45μmのポリテトラフルオロエチレン製ろ紙を用いて吸引ろ過を行った。得られた固体を150mlの水に分散させて超音波処理を30分間行った。固体を凝集させるためにこの分散液に0.5mol/lの塩酸100mlを加えた後、孔サイズが0.45μmのポリテトラフルオロエチレン製ろ紙を用いて吸引ろ過を行った。得られた固体をエタノール200mlに分散させて超音波処理を30分間行った。この分散液にヘキサン200mlを加えた後、孔サイズが0.45μmのポリテトラフルオロエチレン製ろ紙を用いて吸引ろ過を行った。得られた固体を真空オーブン中で60℃に昇温して24時間乾燥させて酸化グラフェン(GO)を得た。
長さ(L)=1,000〜2,000nm
幅(W)=470nm(最大値)、240nm(平均値)
厚み(T)=10nm(同じ方法による文献値(Kosynkin, Dmitry V., et al. Nature 458.7240 (2009): 872−876.))
比表面積=440m2/g
L/W=4〜8(平均値)
L/T=100〜200
実施例1〜3及び比較例1〜4のフィラー分散エラストマーシートから打抜刃を用いて作製したJIS7号形のダンベル状試験片に対して、引張試験機を用いて引張速度50mm/minの条件で引張試験を行った。得られた応力−ひずみ曲線から引張弾性率(MPa)、破断強度(MPa)、破断伸びを求めた。
Claims (7)
- 架橋性基含有モノマー単位を含むフルオロエラストマー、及び、細長いシート状のグラフェンを含み、前記グラフェンの最大長さ(L)に対する幅方向の長さ(W)の比(L/W)が2〜105であり、前記グラフェンの最大長さ(L)に対する厚み(T)の比(L/T)が1×101〜1×107であり、前記架橋性基が、シアノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、及び、酸ハライド基からなる群より選択される少なくとも1種であり、前記グラフェンが、酸化グラフェンであることを特徴とするフルオロエラストマー組成物。
- 前記フルオロエラストマーが、パーフルオロエラストマーである請求項1記載のフルオロエラストマー組成物。
- 前記フルオロエラストマー及び前記グラフェンの合計量に対して0.1〜20質量%の前記グラフェンを含む請求項1又は2記載のフルオロエラストマー組成物。
- 更に、トリアジン環を生じさせる触媒を含み、前記架橋性基がシアノ基である請求項1、2又は3記載のフルオロエラストマー組成物。
- 更に、架橋剤を含む請求項1、2又は3記載のフルオロエラストマー組成物。
- 前記架橋剤は、オキサゾール架橋剤、イミダゾール架橋剤及びチアゾール架橋剤からなる群より選択される少なくとも1種である請求項5記載のフルオロエラストマー組成物。
- 請求項1、2、3、4、5又は6記載のフルオロエラストマー組成物からなることを特徴とするフルオロエラストマー成形品。
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