JP6856170B2 - センサ装置 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2003−42870号公報
特許文献2 特開平8−145715号公報
特許文献3 特開2006−84201号公報
特許文献4 国際公開第2013/100156号
図1は、本実施形態に係るセンサ装置1を示す。センサ装置1は、物理量の大きさを検知して出力信号を出力するものであり、本実施形態においては一例として圧力の大きさを検知する。また、本実施形態においてセンサ装置1は、温度が閾値(閾値温度とも称する。一例として100℃)を超える場合に温度特性を切り換える。センサ装置1は、センス回路2、増幅回路3、温度センサ4、記憶部5、感度設定部6、オフセット設定部7および切換部8を備える。
センス回路2は、検知された物理量(本実施形態では一例として圧力)の大きさに応じたセンス信号を出力する。本実施形態では一例として、センス回路2は、4つのピエゾ抵抗21〜24を含むホイートストンブリッジ20を有する。ピエゾ抵抗21〜24は薄膜状のダイヤフラム(図示せず)上に配置されてよく、一例として円形のダイヤフラムの外周に沿って等間隔に配置されてよい。ピエゾ抵抗21〜24は、ダイヤフラムの変形に応じて抵抗値を変化させ、ホイートストンブリッジ20の出力に電位差を生じさせてよい。センス回路2は、供給される電流(ブリッジ電流とも称する)に応じて感度が調整可能でよい。本実施形態では一例として、ブリッジ電流が大きくなるほど、センス回路2の感度が高くなってよい。センス回路2は、検知した圧力の大きさに応じた電位差を示す正負のセンス信号を増幅回路3に出力してよい。
増幅回路3は、センス信号を増幅する。例えば、増幅回路3はセンス信号の電位差を増幅してよい。増幅回路3による増幅率は固定値でよく、一例として300倍でよい。増幅回路3は、オフセットを調整するためのオフセット電圧入力端子30を有してよく、入力されるオフセット電圧に応じてオフセットを調整してよい。本実施形態では一例として、オフセット電圧が大きくなるほど、増幅回路3のオフセットが大きくなってよい。増幅回路3は、増幅したセンス信号を出力信号として外部に出力してよい。
温度センサ4は、センス回路2の温度を温度測定値として測定する。温度センサ4は、測定結果を感度設定部6、オフセット設定部7および切換部8に供給してよい。本実施形態では一例として、温度センサ4は、温度測定値に応じた電流を供給してよい。
記憶部5は、感度設定部6および/またはオフセット設定部7の設定内容を決定する1または複数の設定パラメータを記憶する。例えば、記憶部5は感度設定部6およびオフセット設定部7のそれぞれについて少なくとも1つの設定パラメータを記憶してよい。本実施形態では一例として、記憶部5は、感度設定部6に対して後述の2つの設定パラメータ(m1),(m2)を記憶し、オフセット設定部7に対して後述の2つの設定パラメータ(n1),(n2)を記憶してよい。各設定パラメータの値はセンサ装置1の製造時などに予め設定されてよい。これに代えて、記憶部5は、各設定パラメータについて複数の値を記憶してよく、いずれの値を使用するかユーザにより設定可能でよい。記憶部5はEPROM(Erasable Programmable Read Only Memory)でよいが、他の記憶装置でもよい。
感度設定部6は、センス回路2に供給されるブリッジ電流の基準電流を設定する。基準電流は基準として用いられる電流であり、本実施形態では一例として温度測定値が後述の閾値温度以下の場合にセンス回路2に供給される。感度設定部6は、基準電流を設定する基準感度設定部60および/または温特感度設定部61を有してよい。感度設定部6が基準感度設定部60および温特感度設定部61の両方を有する場合には、基準感度設定部60および温特感度設定部61は協働して基準電流を設定してよい。
オフセット設定部7は、増幅回路3のオフセット電圧入力端子30に供給される基準電圧を設定する。基準電圧は基準として用いられる電圧であり、本実施形態では一例として温度測定値が後述の閾値温度以下の場合にセンス回路2に供給される。オフセット設定部7は、基準電圧を設定する基準オフセット設定部70および/または温特オフセット設定部71を有してよい。オフセット設定部7が基準オフセット設定部70および温特オフセット設定部71の両方を有する場合には、基準オフセット設定部70および温特オフセット設定部71は協働して基準電圧を設定してよい。
切換部8は、温度測定値が閾値温度を超えるか否かに応じて、センス回路2の感度および増幅回路3のオフセットの少なくとも一方を非連続に切り換える。非連続に切り換えるとは、温度変化に対して感度,オフセットが非連続に変化するよう切り換えることでよい。閾値温度は、センサ装置1の製造時などに予め設定されてもよいし、ユーザにより設定可能でもよい。閾値温度は記憶部5に記憶されてよい。切換部8は、感度切換部80およびオフセット切換部81を有してよい。
図2は、オフセット設定部7およびオフセット切換部81を示す。本実施形態では一例として、オフセット設定部7の基準オフセット設定部70および温特オフセット設定部71はオフセット電圧入力端子30に供給されるオフセット電圧の基準電圧を設定し、オフセット切換部81は、温度測定値が閾値温度T1を超えるか否かに応じて、オフセット電圧を基準電圧から変化させる。
基準オフセット設定部70は、電源700と、電源700およびオフセット電圧入力端子30の間に並列に接続された複数の電流供給部701(本実施形態では一例として4つの電流供給部701(0)〜701(3))と、オフセット電圧入力端子30および基準電位(本実施形態ではグランド電位)の間に接続された抵抗Rcとを有し、電流供給部701から供給される電流に応じた電圧を抵抗Rcで生じさせオフセット電圧入力端子30に供給する。電源700は、電流供給部701から供給される電流がオフセット電圧入力端子30、ひいてはグランドの側に流れるよう正電圧を出力する。
温特オフセット設定部71は、電源700およびオフセット電圧入力端子30の間に並列に接続された複数の電流供給部711(本実施形態では一例として3つの電流供給部711(0)〜711(2))を有し、電流供給部711から供給される電流に応じた電圧を抵抗Rcで生じさせオフセット電圧入力端子30に供給する。
オフセット切換部81は、オフセット電圧入力端子30とグランドとの間に接続された可変抵抗810と、温度測定値および閾値温度T1を比較するコンパレータ811とを有する。
図3は、感度設定部6および感度切換部80を示す。本実施形態では一例として、感度設定部6の基準感度設定部60および温特感度設定部61はセンス回路2のブリッジ電流の基準電流を設定し、感度切換部80は、温度測定値が閾値温度T1を超えるか否かに応じてブリッジ電流を基準電流から変化させる。
基準感度設定部60は、電源600と、電源600およびセンス回路2の間に並列に接続された複数の電流供給部601(本実施形態では一例として4つの電流供給部601(0)〜601(3))とを有し、電流供給部601から供給される電流をセンス回路2に供給する。電源600は、電流供給部601から供給される電流がセンス回路2の側に流れるよう正電圧を出力する。
温特感度設定部61は、電源600およびセンス回路2の間に並列に接続された複数の電流供給部611(本実施形態では一例として3つの電流供給部611(0)〜611(2))を有し、電流供給部611から供給される電流をセンス回路2に供給する。
感度切換部80は、センス回路2に接続された電流源800と、電流源800およびセンス回路2の間に流れる電流を遮断するスイッチ801と、温度測定値および閾値温度T1を比較するコンパレータ802とを有する。
[4−1.オフセットの設定]
図4は、オフセット設定部7によるオフセット設定の一例を示す。図中、横軸は温度を示し、縦軸は温度特性による出力信号の誤差を示す。また、使用温度範囲は、センサ装置1が使用され得る温度範囲であり、測定誤差を規格の上限,下限の内側に収めるべき温度範囲である。一例として、使用温度範囲は5〜150℃でよい。
図5は、感度設定部6による感度設定の一例を示す。図中、横軸は温度を示し、縦軸は温度特性による出力信号の誤差を示す。
図6は、切換部8による感度およびオフセットの切り換えの一例を示す。図中、横軸は温度を示し、縦軸は温度特性による出力信号の誤差を示す。本実施形態では一例として、切換部8は、温度測定値が閾値温度T1を超える場合に、ブリッジ電流を基準電流から変化させることでセンス回路2の感度を非連続に切り換え、オフセット電圧を基準電圧から変化させることで増幅回路3のオフセットを非連続に切り換える。これにより、閾値温度T1を境にセンサ装置1の温度特性が切り換わる結果、図4、図5と比較して使用温度範囲の全域にわたる誤差の値域が狭まり、誤差の規格上限,規格下限に対するマージンが大きくなる。
図7は、変形例に係るオフセット切換部82を示す。切換部8は、上記実施形態におけるオフセット切換部81に代えてオフセット切換部82を有してよい。
図8は、オフセット切換部82によるオフセットの切り換えの一例を示す。図中、横軸は温度を示し、縦軸は温度特性による出力信号の誤差を示す。本変形例では一例として、オフセット切換部8は、温度測定値が閾値温度T1,T2を超える場合に、オフセット電圧を基準電圧から段階的に変化させることで増幅回路3のオフセットを非連続かつ段階的に切り換える。これにより、閾値温度T1,T2を境にセンサ装置1の温度特性が切り換わる結果、図6と比較して使用温度範囲の全域にわたる誤差の値域がさらに狭まり、誤差の規格上限,規格下限に対するマージンがいっそう大きくなる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
また、センス回路2は物理量として圧力の大きさを検知することとして説明したが、加速度など他の物理量を検知してもよい。
Claims (17)
- 検知された物理量の大きさに応じたセンス信号を出力するセンス回路と、
前記センス信号を増幅する増幅回路と、
温度測定値が閾値を超えるか否かに応じて、前記センス回路の感度および前記増幅回路のオフセットの少なくとも一方を非連続に切り換える切換部と、
前記センス回路に供給される基準電流を設定する感度設定部と、
を備え、
前記センス回路は、供給される電流に応じて前記感度が調整可能であり、
前記切換部は、前記センス回路に供給される電流を切り換える感度切換部を有し、
前記感度切換部は、前記温度測定値が前記閾値を超えるか否かに応じて、前記センス回路に供給される電流を前記基準電流から変化させ、
前記感度設定部は、固定の設定パラメータに従って前記基準電流を設定する温特感度設定部を有し、
前記温特感度設定部は、前記温度測定値に応じて前記基準電流を連続的に変動させるセンサ装置。 - 検知された物理量の大きさに応じたセンス信号を出力するセンス回路と、
前記センス信号を増幅する増幅回路と、
温度測定値が閾値を超えるか否かに応じて、前記センス回路の感度および前記増幅回路のオフセットの少なくとも一方を非連続に切り換える切換部と、
前記センス回路に供給される電流を設定する感度設定部と、
を備え、
前記センス回路は、供給される電流に応じて前記感度が調整可能であり、
前記切換部は、前記センス回路に供給される電流を切り換える感度切換部を有し、
前記感度設定部は、固定の設定パラメータに従って前記電流を設定し、温度変化に応じて連続的に変動させる温特感度設定部を有するセンサ装置。 - 供給される電流に応じて感度が調整可能であり、検知された物理量の大きさに応じたセンス信号を出力するセンス回路と、
前記センス信号を増幅する増幅回路と、
温度測定値が閾値を超えるか否かに応じて、前記センス回路の前記感度および前記増幅回路のオフセットの少なくとも一方を非連続に切り換える切換部と、
前記電流を設定する感度設定部と、
を備え、
前記切換部は、前記センス回路に供給される電流を切り換える感度切換部を有し、
前記感度設定部は、
固定の設定パラメータに従って、前記電流の一部を温度変化によらず一定に供給する第1の感度設定部と、
固定の設定パラメータに従って、前記電流の他の一部を温度変化に応じて連続的に変動させて供給する第2の感度設定部と、
を有するセンサ装置。 - 検知された物理量の大きさに応じたセンス信号を出力するセンス回路と、
前記センス信号を増幅する増幅回路と、
前記センス回路の感度および前記増幅回路のオフセットの少なくとも一方の基準を、温度変化に応じて連続的に変化させる設定部と、
温度測定値が閾値を超えるか否かに応じて、前記感度および前記オフセットの前記少なくとも一方を前記基準から非連続に切り換える切換部と
を備えるセンサ装置。 - 前記増幅回路は、前記オフセットを調整するためのオフセット電圧入力端子を有し、
前記切換部は、前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を切り換えるオフセット切換部を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載のセンサ装置。 - 検知された物理量の大きさに応じたセンス信号を出力するセンス回路と、
オフセットを調整するためのオフセット電圧入力端子を有し、前記センス信号を増幅する増幅回路と、
温度測定値が閾値を超えるか否かに応じて、前記センス回路の感度および前記増幅回路の前記オフセットの少なくとも一方を非連続に切り換える切換部と、
前記オフセット電圧入力端子に供給される基準電圧を設定するオフセット設定部と、
を備え、
前記切換部は、前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を切り換えるオフセット切換部を有し、
前記オフセット切換部は、前記温度測定値が前記閾値を超えるか否かに応じて、前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を前記基準電圧から変化させ、
前記オフセット設定部は、固定の設定パラメータに従って前記基準電圧を設定する温特オフセット設定部を有し、
前記温特オフセット設定部は、前記温度測定値に応じて前記基準電圧を連続的に変動させるセンサ装置。 - 検知された物理量の大きさに応じたセンス信号を出力するセンス回路と、
オフセットを調整するためのオフセット電圧入力端子を有し、前記センス信号を増幅する増幅回路と、
温度測定値が閾値を超えるか否かに応じて、前記センス回路の感度および前記増幅回路の前記オフセットの少なくとも一方を非連続に切り換える切換部と、
前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を設定するオフセット設定部と、
を備え、
前記切換部は、前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を切り換えるオフセット切換部を有し、
前記オフセット設定部は、固定の設定パラメータに従って前記電圧を設定し、温度変化に応じて連続的に変動させる温特オフセット設定部を有するセンサ装置。 - 検知された物理量の大きさに応じたセンス信号を出力するセンス回路と、
オフセットを調整するためのオフセット電圧入力端子を有し、前記センス信号を増幅する増幅回路と、
温度測定値が閾値を超えるか否かに応じて、前記センス回路の感度および前記増幅回路の前記オフセットの少なくとも一方を非連続に切り換える切換部と、
前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を設定するオフセット設定部と、
を備え、
前記切換部は、前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を切り換えるオフセット切換部を有し、
前記オフセット設定部は、
固定の設定パラメータに従って、前記電圧の一部を温度変化によらず一定に供給する第1のオフセット設定部と、
固定の設定パラメータに従って、前記電圧の他の一部を温度変化に応じて連続的に変動させて供給する第2のオフセット設定部と、
を有するセンサ装置。 - 前記センス回路は、供給される電流に応じて前記感度が調整可能であり、
前記切換部は、前記センス回路に供給される電流を切り換える感度切換部を有する、請求項4から8のいずれか一項に記載のセンサ装置。 - 前記感度切換部は、
前記センス回路に接続された電流源と、
前記温度測定値および前記閾値を比較するコンパレータと、
前記コンパレータによる比較結果に応じて前記電流源と前記センス回路との間に流れる電流を遮断するスイッチと
を有する、請求項1から3、および9のいずれか一項に記載のセンサ装置。 - 前記感度切換部は、前記温度測定値が前記閾値を超えない場合よりも、前記温度測定値が前記閾値を超える場合に、前記センス回路に供給される電流を小さくする、請求項1から3、9および10のいずれか一項に記載のセンサ装置。
- 前記オフセット切換部は、
前記オフセット電圧入力端子と基準電位との間に接続された可変抵抗と、
前記温度測定値および前記閾値を比較するコンパレータと
を有し、
前記コンパレータによる比較結果に応じて前記可変抵抗の抵抗値を切り換える、請求項5から8のいずれか一項に記載のセンサ装置。 - 前記可変抵抗は、
前記オフセット電圧入力端子と前記基準電位との間に並列に接続された複数の抵抗と、
前記複数の抵抗の何れかに流れる電流を遮断するスイッチとを有する、請求項12に記載のセンサ装置。 - 前記オフセット切換部は、前記温度測定値が前記閾値を超えない場合よりも、前記温度測定値が前記閾値を超える場合に、前記可変抵抗の抵抗値を小さくする、請求項12または13に記載のセンサ装置。
- 前記オフセット切換部は、前記温度測定値が前記閾値を超えない場合よりも、前記温度測定値が前記閾値を超える場合に、前記オフセット電圧入力端子に供給される電圧を小さくする、請求項5から8、および、12から14のいずれか一項に記載のセンサ装置。
- 前記切換部は、前記温度測定値が複数の閾値の何れを超えるかに応じて、前記感度および前記オフセットの少なくとも一方を段階的に切り換える、請求項1から15のいずれか一項に記載のセンサ装置。
- 前記センス回路の温度を前記温度測定値として測定する温度センサをさらに備える、請求項1から16のいずれか一項に記載のセンサ装置。
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