JP6848640B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
a) 前記固定端と前記試料表面を近づけ及び遠ざける方向であるZ方向、並びに該Z方向に垂直なX方向及びY方向に、該固定端と該試料表面の位置を相対的に変化させる位置変更手段と、
b) 前記カンチレバーの撓み量を測定する撓み量測定手段と、
c) 前記固定端を、所定の初期位置から、前記試料表面に前記探針先端が接触して前記撓み量が所定値になるまで、該試料表面に対して相対的に移動させる間のZ方向の移動距離を検出するZ方向移動距離検出手段と、
d) 前記移動距離が所定の下限値を下回ったときに前記初期位置を前記試料表面からより離れた位置に変更し、前記移動距離が所定の上限値を上回ったときに前記初期位置を前記試料表面により近い位置に変更する初期位置変更手段と
を備える。
11、91…探針
12、92…カンチレバー
121、921…カンチレバーの可動端
122、922…カンチレバーの固定端
13、93…固定部(支持具)
14、94…試料台
141…Z方向アクチュエータ
142…X−Y方向アクチュエータ
15、95…レーザ光源
16、96…受光器
17…制御部
171…撓み量算出部
172…位置変更制御部
173…Z方向移動距離検出部
174…初期位置変更部
18…記録部
Claims (3)
- 一端を固定端とし他端を可動端としたカンチレバーの該可動端に設けられた探針の先端を試料表面に近づけて接触させた後に、該探針先端を該試料表面から離脱させる過程における該カンチレバーの撓み量を測定するフォースカーブ測定を行うものであって、
a) 前記固定端と前記試料表面を近づけ及び遠ざける方向であるZ方向、並びに該Z方向に垂直なX方向及びY方向に、該固定端と該試料表面の位置を相対的に変化させる位置変更手段と、
b) 前記カンチレバーの撓み量を測定する撓み量測定手段と、
c) 前記固定端を、所定の初期位置から、前記試料表面に前記探針先端が接触して前記撓み量が所定値になるまで、該試料表面に対して相対的に移動させる間のZ方向の移動距離を検出するZ方向移動距離検出手段と、
d) 前記移動距離が所定の下限値を下回ったときに前記初期位置を前記試料表面からより離れた位置に変更し、前記移動距離が所定の上限値を上回ったときに前記初期位置を前記試料表面により近い位置に変更する初期位置変更手段と
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記下限値及び前記上限値が同じ値であることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記位置変更手段が前記固定端と前記試料表面を近づけるようにZ方向の位置を移動させる際に、前記撓み量が所定値になる前に該位置が所定の限界位置に達したときに、前記Z方向移動距離検出手段が前記初期位置と前記限界位置の距離を前記Z方向の移動距離として検出することを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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