JP2018179824A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018179824A5
JP2018179824A5 JP2017081170A JP2017081170A JP2018179824A5 JP 2018179824 A5 JP2018179824 A5 JP 2018179824A5 JP 2017081170 A JP2017081170 A JP 2017081170A JP 2017081170 A JP2017081170 A JP 2017081170A JP 2018179824 A5 JP2018179824 A5 JP 2018179824A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movement distance
detection unit
distance
predetermined
detected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017081170A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6848640B2 (ja
JP2018179824A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017081170A priority Critical patent/JP6848640B2/ja
Priority claimed from JP2017081170A external-priority patent/JP6848640B2/ja
Priority to US15/938,185 priority patent/US10802044B2/en
Priority to CN201810324335.7A priority patent/CN108732386B/zh
Publication of JP2018179824A publication Critical patent/JP2018179824A/ja
Publication of JP2018179824A5 publication Critical patent/JP2018179824A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6848640B2 publication Critical patent/JP6848640B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

Ｚ方向移動距離検出部１７３は、Ｚ方向の位置が、所定の初期位置Ziから所定撓み位置Zfまで移動する間の移動距離ΔZ=(Zf-Zi)を検出するものである（図２参照）。この移動距離ΔZは、位置変更制御部１７２がＺ方向アクチュエータ１４１に送信する電気信号の履歴に基づいて検出することができる。但し、前述のようにＺ方向の位置が限界位置に達してもなおカンチレバー１２の撓み量が所定値に達しない場合には、Ｚ方向移動距離検出部１７３は、初期位置Ziと当該限界位置との距離を移動距離として検出する。
JP2017081170A 2017-04-17 2017-04-17 走査型プローブ顕微鏡 Active JP6848640B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017081170A JP6848640B2 (ja) 2017-04-17 2017-04-17 走査型プローブ顕微鏡
US15/938,185 US10802044B2 (en) 2017-04-17 2018-03-28 Scanning probe microscope
CN201810324335.7A CN108732386B (zh) 2017-04-17 2018-04-12 扫描型探针显微镜

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017081170A JP6848640B2 (ja) 2017-04-17 2017-04-17 走査型プローブ顕微鏡

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018179824A JP2018179824A (ja) 2018-11-15
JP2018179824A5 true JP2018179824A5 (ja) 2019-09-12
JP6848640B2 JP6848640B2 (ja) 2021-03-24

Family

ID=63790541

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017081170A Active JP6848640B2 (ja) 2017-04-17 2017-04-17 走査型プローブ顕微鏡

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10802044B2 (ja)
JP (1) JP6848640B2 (ja)
CN (1) CN108732386B (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6631739B1 (ja) * 2019-04-04 2020-01-15 株式会社島津製作所 表面分析装置
JP7310717B2 (ja) * 2020-05-27 2023-07-19 株式会社島津製作所 表面分析装置
WO2023079803A1 (ja) * 2021-11-08 2023-05-11 株式会社島津製作所 走査型プローブ顕微鏡

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5237859A (en) * 1989-12-08 1993-08-24 Digital Instruments, Inc. Atomic force microscope
JPH10206433A (ja) * 1997-01-23 1998-08-07 Olympus Optical Co Ltd 走査型プローブ顕微鏡
JP4098921B2 (ja) * 1999-05-19 2008-06-11 日立建機株式会社 走査型プローブ顕微鏡の探針押付け力設定方法
JP4489869B2 (ja) * 1999-06-04 2010-06-23 株式会社島津製作所 走査型プローブ顕微鏡
JP3883790B2 (ja) * 1999-12-08 2007-02-21 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 走査型原子間力顕微鏡
JP2002031589A (ja) * 2000-07-14 2002-01-31 Shimadzu Corp 走査型プローブ顕微鏡
JP2005257420A (ja) 2004-03-11 2005-09-22 Sii Nanotechnology Inc 走査型プローブ顕微鏡
JP2005283433A (ja) 2004-03-30 2005-10-13 Canon Inc 試料と相互作用する探針を有するプローブ、該プローブの製造方法、該プローブを用いた分子間の相互作用の測定方法及び測定装置
JP2007085764A (ja) * 2005-09-20 2007-04-05 Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd 走査型プローブ顕微鏡の探針制御方法
JP2007309919A (ja) * 2006-04-20 2007-11-29 Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd 走査プローブ顕微鏡
JP4873460B2 (ja) * 2006-05-25 2012-02-08 株式会社島津製作所 探針位置制御装置
DE112006004189A5 (de) * 2006-12-28 2009-11-19 Nambition Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung biologischer Systeme sowie Festkörpersysteme
JP2009150696A (ja) * 2007-12-19 2009-07-09 Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd 走査プローブ顕微鏡
US8342867B2 (en) * 2009-12-01 2013-01-01 Raytheon Company Free floating connector engagement and retention system and method for establishing a temporary electrical connection
JP6116579B2 (ja) * 2011-12-12 2017-04-19 ウニヴェルズィテート バーゼル 走査型プローブ顕微鏡制御方法及び走査型プローブ顕微鏡装置
EP2932277B1 (en) * 2012-12-12 2024-04-03 Universität Basel Method and device for controlling a scanning probe microscope
CN104345739A (zh) * 2013-07-25 2015-02-11 中国科学院沈阳自动化研究所 原子力显微镜针尖基底微小距离控制方法
CN106030316B (zh) * 2013-12-07 2019-02-19 布鲁克公司 实时基线确定的力测量
WO2017042946A1 (ja) * 2015-09-11 2017-03-16 株式会社島津製作所 走査型プローブ顕微鏡
JP2017181135A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 株式会社日立ハイテクサイエンス 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ接触検出方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018179824A5 (ja)
WO2014163780A3 (en) Apparatus with adaptive microphone configuration based on surface proximity, surface type and motion
JP2019089165A5 (ja)
WO2016014141A3 (en) Actuator limit controller
JP2014024162A5 (ja)
JP2018526744A5 (ja)
WO2012079012A3 (en) Multiple arm smart material actuator with second stage
ATE516117T1 (de) Robotersystem
JP2011530063A5 (ja)
JP2012512454A5 (ja)
JP2017159426A5 (ja)
EP4306809A3 (en) Systems and methods for chain joint cable routing
RU2015144814A (ru) Узел направленного бесконтактного переключателя
JP2019018340A5 (ja) ロボットシステム、物品の製造方法、制御方法、制御プログラム、および記録媒体
JP2019169189A5 (ja)
WO2017060130A3 (de) Mems-drehratensensor mit magnetischer detektion
JP2020514457A5 (ja)
WO2017188114A3 (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
JP2019212470A5 (ja)
JP2015018795A5 (ja)
JP2017520353A5 (ja)
RU2017111834A (ru) Теплочувствительное исполнительное устройство
WO2015191477A3 (en) Autonomous control of an extendable apparatus
WO2015191143A3 (en) Strain amplification sensor
JP2015144982A5 (ja)