JP6845877B2 - ワーク保持部回転ユニット及び真空処理装置 - Google Patents
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Description
また、固定円盤70と被回転駆動部62とは、機械的な機構を含まない介在物を介して接触してもよい。この場合、回転部である固定円盤70とワーク保持部60の一部である被回転駆動部62とは、機械的な機構を介在することなく、接触することになる。
第一回転軸(回転軸20)を中心として公転可能、かつターゲット6(スパッタリングターゲット)に対して傾斜した第二回転軸(ワーク保持部60)を中心として自転可能となるようにワークWを保持するワーク保持工程S1と、
前記第一回転軸を中心とする公転、及び前記第二回転軸を中心とする自転を行いながら、前記ターゲット6を用いて、前記ワークWに対して成膜を行う成膜工程S4と、
を含むものである。
回転軸20と、
前記回転軸20の側方に配置されたターゲット6(スパッタリングターゲット)と、
前記回転軸20を中心として回転可能な回転ホイール40(回転部)と、
ワークWを保持可能であり、前記回転軸20を中心とする円周上に並ぶように配置され、前記ターゲット6に対して傾斜した軸線を中心として回転可能となるように前記回転ホイール40に設けられた複数のワーク保持部60と、
前記回転軸20を中心とする円盤状に形成されると共に、複数の前記ワーク保持部60と接触するように配置され、前記回転ホイール40の回転に伴って前記ワーク保持部60を回転させる固定円盤70(回転駆動部)と、
を具備するものである。
回転軸20と、
前記回転軸20を中心として回転可能な回転ホイール40(回転部)と、
ワークWを保持可能であり、前記回転軸20を中心とする円周上に並ぶように配置され、前記回転軸20の軸線に対して傾斜した軸線を中心として回転可能となるように、前記回転ホイール40に設けられた複数のワーク保持部60と、
前記回転軸20を中心とする円盤状に形成されると共に、複数の前記ワーク保持部60と接触するように配置され、前記回転ホイール40の回転に伴って前記ワーク保持部60を回転させる固定円盤70(回転駆動部)と、
を具備するものである。
前記回転ホイール40は、前記回転軸20と一体的に回転可能となるように前記回転軸20に設けられ、
前記固定円盤70は、前記回転軸20に対して相対的に回転可能に設けられ、
前記固定円盤70の回転を規制する規制部80をさらに具備するものである。
前記ワークWを保持すると共に、前記回転ホイール40に回転可能に支持される回転支持部61と、
前記回転支持部61に固定され、前記固定円盤70と接触するように配置される被回転駆動部62と、
を具備するものである。
前記被回転駆動部62は、前記回転ホイール40の上方において前記回転支持部61に設けられるものである。
また、本実施形態に係る固定円盤70は、回転駆動部の実施の一形態である。
また、本実施形態に係るターゲット6は、スパッタリングターゲットの実施の一形態である。
また、本実施形態に係るモータ4は、動力源の実施の一形態である。
また、本実施形態に係る回転軸20及びワーク保持部60は、第一回転軸及び第二回転軸の実施の一形態である。
また、本実施形態に係るスパッタリング装置1は、真空処理装置の実施の一形態である。
4 モータ
6 ターゲット
20 回転軸
40 回転ホイール
60 ワーク保持部
61 回転支持部
62 被回転駆動部
70 固定円盤
80 規制部
Claims (8)
- 回転軸と、
前記回転軸を中心として回転可能な回転部と、
ワークを保持可能であり、前記回転軸を中心とする円周上に並ぶように配置され、前記回転軸の軸線に対して傾斜した軸線を中心として回転可能となるように、前記回転部に設けられた複数のワーク保持部と、
前記回転軸を中心とする円盤状に形成されると共に、複数の前記ワーク保持部と接触するように配置され、前記回転部の回転に伴って前記ワーク保持部を回転させる回転駆動部と、
を具備し、
前記ワーク保持部は、
前記ワークの一端側が、前記回転部の一回転を通じて前記回転軸を中心とする径方向外側を向くように前記ワークの他端側を保持する、
ワーク保持部回転ユニット。 - 前記回転部、前記回転部に設けられる前記ワーク保持部、及び前記ワーク保持部を回転させる前記回転駆動部は、前記回転軸の軸線方向に沿って複数設けられる、
請求項1に記載のワーク保持部回転ユニット。 - 前記ワーク保持部は、
前記ワークを保持すると共に、前記回転部に回転可能に支持される回転支持部と、
前記回転支持部に固定され、前記回転駆動部と接触するように配置される被回転駆動部と、
を具備する、
請求項1または請求項2に記載のワーク保持部回転ユニット。 - 回転軸と、
前記回転軸を中心として回転可能な回転部と、
ワークを保持可能であり、前記回転軸を中心とする円周上に並ぶように配置され、前記回転軸の軸線に対して傾斜した軸線を中心として回転可能となるように、前記回転部に設けられた複数のワーク保持部と、
前記回転軸を中心とする円盤状に形成されると共に、複数の前記ワーク保持部と接触するように配置され、前記回転部の回転に伴って前記ワーク保持部を回転させる回転駆動部と、
を具備し、
前記ワーク保持部は、
前記ワークを保持すると共に、前記回転部に回転可能に支持される回転支持部と、
前記回転支持部に固定され、前記回転駆動部と接触するように配置される被回転駆動部と、
を具備し、
前記回転部、前記回転部に設けられる前記ワーク保持部、及び前記ワーク保持部を回転させる前記回転駆動部は、前記回転軸の軸線方向に沿って複数設けられ、
前記回転部のそれぞれに1つ設けられた前記回転駆動部は、前記回転部に設けられるそれぞれの前記被回転駆動部の前記回転軸側に接触するように配置される、
ワーク保持部回転ユニット。 - 前記回転支持部は、軸受部材を介して前記回転部に回転可能に支持される、
請求項3または請求項4に記載のワーク保持部回転ユニット。 - 前記回転支持部は、下部が前記回転部に挿通されると共に、上部が前記回転部から上方に向かって突出するように配置され、
前記被回転駆動部は、前記回転部の上方において前記回転支持部に設けられる、
請求項3から請求項5までのいずれか一項に記載のワーク保持部回転ユニット。 - 前記回転軸は、動力源からの動力を用いて回転可能となるように形成され、
前記回転部は、前記回転軸と一体的に回転可能となるように前記回転軸に設けられ、
前記回転駆動部は、前記回転軸に対して相対的に回転可能に設けられ、
前記回転駆動部の回転を規制する規制部をさらに具備する、
請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載のワーク保持部回転ユニット。 - 請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載のワーク保持部回転ユニットを具備する真空処理装置。
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