JP6845832B2 - ターゲット材料の供給および回収のための方法ならびに装置 - Google Patents
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Description
ターゲット材料送出システムは、ターゲット材料リザーバと、ターゲット材料リザーバと流体連通する第1部分を有する導管と、導管の第2部分と流体連通するノズルと、ノズルおよび第2部分を、ノズルおよび第2部分内のターゲット材料の溶融温度よりも低くない第1温度に維持することが可能なように配置されたヒータと、を備え、導管は、第1部分の温度が第1温度を実質的に下回る周囲温度である時、第2部分を第1温度に維持することが可能となるように温度差を維持することができるよう適合されている、EUV光源ターゲット材料取扱システムが提供される。導管はフリーズ弁を含み得る。また導管は、ステンレス鋼などの低い熱伝導性を有する材料から作成されてよい。導管は、導管を十分に長くすることによって、温度差を維持することができるように適合されてよい。導管は、第1部分と第2部分との間に断熱材から作成されたセクションを含んでよい。
Claims (10)
- EUV光源の照射領域にターゲット材料を送出するターゲット材料送出システムと、前記ターゲット材料送出システムにターゲット材料を供給するターゲット材料供給システムと、ターゲット材料移送システムと、を備えるEUV光源ターゲット材料取扱システムであって、
前記ターゲット材料送出システムは、ターゲット材料リザーバと、前記ターゲット材料リザーバと流体連通するノズルと、前記ノズルを、前記ノズル内のターゲット材料を液状に保つのに十分な温度を上回る温度に維持することが可能なヒータと、を有し、
前記ターゲット材料供給システムは、ターゲット材料を保有する貯蔵庫を有し、
前記ターゲット材料移送システムは、前記ターゲット材料リザーバと前記貯蔵庫との間に配置されかつ前記貯蔵庫から前記ターゲット材料リザーバに前記ターゲット材料を移送するための経路を有するとともに、前記経路が開閉可能であるように構成されており、
前記ターゲット材料移送システムは、前記ターゲット材料送出システムが前記貯蔵庫から独立して移動されることを可能にするために前記貯蔵庫と前記ターゲット材料リザーバとの間に可撓性のある線をさらに有し、前記線は、前記貯蔵庫と前記ターゲット材料リザーバとを接続し、前記ターゲット材料を前記貯蔵庫から前記ターゲット材料リザーバへと供給するためのものであり、
前記ターゲット材料送出システムは、前記ターゲット材料リザーバの近傍の第1部分及び前記ノズルの近傍の第2部分を有する導管を有し、
前記導管は、断熱材から作成されているセクションを前記第1部分と前記第2部分との間に有する、EUV光源ターゲット材料取扱システム。 - 前記ターゲット材料移送システムは、前記貯蔵庫から前記ターゲット材料リザーバに前記ターゲット材料を移送するための経路を選択的に確立しかつ前記ターゲット材料リザーバから前記貯蔵庫を選択的に隔離する弁を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記貯蔵庫は、一定量の固体形態のターゲット材料を受容し、
前記ターゲット材料取扱システムは、前記貯蔵庫内の固形ターゲット材料が液体ターゲット材料となるようにするヒータを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記ターゲット材料移送システムは、前記貯蔵庫と前記ターゲット材料リザーバとの間に、前記ターゲット材料の加熱溶融による搬送と前記ターゲット材料の冷却固化による非搬送とを行う機構をさらに含む、請求項1に記載のシステム。
- EUV光源の照射領域にターゲット材料を送出するターゲット材料送出システムと、前記ターゲット材料送出システムにターゲット材料を供給するターゲット材料供給システムと、ターゲット材料移送システムと、を備えるEUV光源ターゲット材料取扱システムであって、
前記ターゲット材料送出システムは、ターゲット材料リザーバと、前記ターゲット材料リザーバと流体連通するノズルと、前記ノズルを、前記ノズル内のターゲット材料を液状に保つのに十分な温度を上回る温度に維持することが可能なヒータと、を有し、
前記ターゲット材料供給システムは、ターゲット材料を保有する第1貯蔵庫および第2貯蔵庫を有し、
前記ターゲット材料移送システムは、前記ターゲット材料リザーバと前記第1貯蔵庫および前記第2貯蔵庫との間に配置され前記第1貯蔵庫および前記第2貯蔵庫から前記ターゲット材料リザーバに前記ターゲット材料を移送するための経路を有するとともに、前記経路が開閉可能であるように構成されており、
前記ターゲット材料移送システムは、前記ターゲット材料送出システムが前記第1貯蔵庫および前記第2貯蔵庫から独立して移動されることを可能にするために前記第1貯蔵庫および前記第2貯蔵庫と前記ターゲット材料リザーバとの間に可撓性のある線をさらに有し、前記線は、前記貯蔵庫と前記ターゲット材料リザーバとを接続し、前記ターゲット材料を前記貯蔵庫から前記ターゲット材料リザーバへと供給するためのものであり、
前記ターゲット材料送出システムは、前記ターゲット材料リザーバの近傍の第1部分及び前記ノズルの近傍の第2部分を有する導管を有し、
前記導管は、断熱材から作成されているセクションを前記第1部分と前記第2部分との間に有する、EUV光源ターゲット材料取扱システム。 - 前記ターゲット材料移送システムは、前記第1貯蔵庫から前記ターゲット材料リザーバに前記ターゲット材料を移送するための経路を選択的に確立しかつ前記ターゲット材料リザーバから前記第1貯蔵庫を選択的に隔離する弁を有する、請求項5に記載のシステム。
- 前記第1貯蔵庫は、一定量の固体形態のターゲット材料を受容し、
前記ターゲット材料取扱システムは、前記第1貯蔵庫内の固形ターゲット材料が液体ターゲット材料となるようにするヒータを含む、請求項5に記載のシステム。 - 前記第2貯蔵庫は、一定量の固体形態のターゲット材料を受容し、
前記ターゲット材料取扱システムは、前記第2貯蔵庫内の固形ターゲット材料が液体ターゲット材料となるようにするヒータを含む、請求項5に記載のシステム。 - 前記第1貯蔵庫および前記第2貯蔵庫は、一定量の固体形態のターゲット材料をそれぞれ受容し、
前記ターゲット材料取扱システムは、前記第1貯蔵庫内の固形ターゲット材料が液体ターゲット材料となるようにする第1ヒータと、前記第2貯蔵庫内の固形ターゲット材料が液体ターゲット材料となるようにする第2ヒータと、を含む、請求項5に記載のシステム。 - 前記ターゲット材料取扱システムは、前記第1貯蔵庫が前記ターゲット材料リザーバと流体連通し前記第2貯蔵庫が前記ターゲット材料リザーバと流体連通しない第1の状態と、前記第1貯蔵庫が前記ターゲット材料リザーバと流体連通せず前記第2貯蔵庫が前記ターゲット材料リザーバと流体連通する第2の状態と、を有する、請求項9に記載のシステム。
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