JP6838073B2

JP6838073B2 - 噴流装置

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Publication number: JP6838073B2
Application number: JP2018537981A
Authority: JP
Inventors: 広己鈴木; 康博手島
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Priority date: 2016-09-12
Filing date: 2016-09-12
Publication date: 2021-03-03
Anticipated expiration: 2036-09-12
Also published as: JPWO2018047336A1; WO2018047336A1

Description

本発明は、上方に向かって液体を噴流させる噴流装置に関するものである。

上方に向かって液体を噴流させる噴流装置として、例えば、溶融はんだを上方に向かって噴流させ、所定の対象物にはんだを塗布する装置、洗浄液を上方に向かって噴流させ、所定の対象物を洗浄する装置などがある。このような噴流装置には、液体を噴流する噴流ノズルと、その噴流ノズルが着脱可能に装着される装着部とにより構成されている装置があり、噴流対象物の形状，寸方等に応じて、装着部に装着される噴流ノズルが作業者により交換される。下記特許文献には、溶融はんだを噴流する装置において、ノズル径の異なる噴流ノズルが装着部に着脱可能とされ、噴流対象物の形状等に応じて噴流ノズルが交換されることが記載されている。

特開２００１−３４７３６６号公報

上記特許文献に記載の技術によれば、噴流ノズルを交換することで、噴流対象物に適切に液体を噴流することが可能となる。しかしながら、噴流ノズルの交換は、作業者が行うため、装着予定の噴流ノズルと異なる種類の噴流ノズルが装着部に装着される場合、作業者が噴流ノズルの交換を忘れる場合などがある。このような場合には、噴流対象物に応じた噴流ノズルと異なる種類の噴流ノズルが装着部に装着された状態で、噴流対象物に液体が噴流されるため、噴流対象物に適切に液体を噴流することができない虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、装着予定の噴流ノズルの装着部への装着を担保することである。

上記課題を解決するために、本発明に記載の噴流装置は、上方に向かって溶融はんだを噴流させて回路基材の貫通穴に挿入された部品のリードに半田を塗布する噴流装置であって、当該噴流装置が、溶融はんだを噴流する噴流ノズルと、前記噴流ノズルが着脱可能に装着される装着部と、制御装置とを備え、前記制御装置が、前記装着部に装着されている前記噴流ノズルの上方からの視点における撮像データに基づいて該噴流ノズルの外縁を認識し、該噴流ノズルのノズル径を取得する取得部と、前記取得部により取得されたノズル径が、前記部品の一対のリードの間の距離を考慮して演算されたノズル径の範囲内であるか否かを判定する判定部とを有することを特徴とする。

本発明に記載の噴流装置では、装着部に装着されている噴流ノズルの種類を識別可能な識別情報が取得され、その取得された識別情報と、予め設定された識別情報とが同じであるか否かが判定される。これにより、装着部に装着予定の噴流ノズルが装着されているか否かを確認することが可能となり、装着予定の噴流ノズルの装着部への装着を担保することが可能となる。

部品実装機を示す斜視図である。部品装着装置を示す斜視図である。はんだ付け装置を示す斜視図である。はんだ噴流部を示す断面図である。はんだ噴流部を示す斜視図である。制御装置を示すブロック図である。リードに向かって溶融はんだが噴流されている状態を示す概略図である。ノズル径の小さい噴流ノズルによってリードに向かって溶融はんだが噴流されている状態を示す概略図である。リード径の大きい噴流ノズルが装着された状態のはんだ噴流部を示す斜視図である。ノズル径の大きい噴流ノズルによってリードに向かって溶融はんだが噴流されている状態を示す概略図である。

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

＜部品実装機の構成＞
図１に、部品実装機１０を示す。部品実装機１０は、回路基材１２に対する部品の実装作業を実行するための装置である。部品実装機１０は、装置本体２０、基材搬送保持装置２２、部品装着装置２４、マークカメラ２６、パーツカメラ２８、部品供給装置３０、ばら部品供給装置３２、表示装置３４、はんだ付け装置（図３参照）３６、制御装置（図６参照）３８を備えている。なお、回路基材１２として、回路基板、三次元構造の基材等が挙げられ、回路基板として、プリント配線板、プリント回路板等が挙げられる。

装置本体２０は、フレーム部４０と、そのフレーム部４０に上架されたビーム部４２とによって構成されている。基材搬送保持装置２２は、フレーム部４０の前後方向の中央に配設されており、搬送装置５０とクランプ装置５２とを有している。搬送装置５０は、回路基材１２を搬送する装置であり、クランプ装置５２は、回路基材１２を保持する装置である。これにより、基材搬送保持装置２２は、回路基材１２を搬送するとともに、所定の位置において、回路基材１２を固定的に保持する。なお、以下の説明において、回路基材１２の搬送方向をＸ方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ方向と称し、鉛直方向をＺ方向と称する。つまり、部品実装機１０の幅方向は、Ｘ方向であり、前後方向は、Ｙ方向である。

部品装着装置２４は、ビーム部４２に配設されており、２台の作業ヘッド６０，６２と作業ヘッド移動装置６４とを有している。各作業ヘッド６０，６２の下端面には、図２に示すように、吸着ノズル６６が設けられており、その吸着ノズル６６によって部品を吸着保持する。また、作業ヘッド移動装置６４は、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とＺ方向移動装置７２とを有している。そして、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とによって、２台の作業ヘッド６０，６２は、一体的にフレーム部４０上の任意の位置に移動させられる。また、各作業ヘッド６０，６２は、スライダ７４，７６に着脱可能に装着されており、Ｚ方向移動装置７２は、スライダ７４，７６を個別に上下方向に移動させる。つまり、作業ヘッド６０，６２は、Ｚ方向移動装置７２によって、個別に上下方向に移動させられる。

マークカメラ２６は、下方を向いた状態でスライダ７４に取り付けられており、作業ヘッド６０とともに、Ｘ方向，Ｙ方向およびＺ方向に移動させられる。これにより、マークカメラ２６は、フレーム部４０上の任意の位置を撮像する。パーツカメラ２８は、図１に示すように、フレーム部４０上の基材搬送保持装置２２と部品供給装置３０との間に、上を向いた状態で配設されている。これにより、パーツカメラ２８は、作業ヘッド６０，６２の吸着ノズル６６に把持された部品を撮像する。

部品供給装置３０は、フレーム部４０の前後方向での一方側の端部に配設されている。部品供給装置３０は、トレイ型部品供給装置７８とフィーダ型部品供給装置（図６参照）８０とを有している。トレイ型部品供給装置７８は、トレイ上に載置された状態の部品を供給する装置である。フィーダ型部品供給装置８０は、テープフィーダ、スティックフィーダ（図示省略）によって部品を供給する装置である。

ばら部品供給装置３２は、フレーム部４０の前後方向での他方側の端部に配設されている。ばら部品供給装置３２は、ばらばらに散在された状態の複数の部品を整列させて、整列させた状態で部品を供給する装置である。つまり、任意の姿勢の複数の部品を、所定の姿勢に整列させて、所定の姿勢の部品を供給する装置である。また、ばら部品供給装置３２の端部には、表示装置３４が配設されている。表示装置３４には、部品実装機１０による部品の装着作業に関する情報が表示される。

なお、部品供給装置３０および、ばら部品供給装置３２によって供給される部品として、電子回路部品，パワーモジュールの構成部品等が挙げられる。また、電子回路部品には、リードを有する部品，リードを有さない部品等が有る。

はんだ付け装置３６は、搬送装置５０の下方に配設されており、図３に示すように、噴流装置１００と噴流装置移動装置１０２とを有している。噴流装置１００は、はんだ貯留部１０６と、はんだ噴流部１０８とを含む。はんだ貯留部１０６は、概して直方体形状をなし、内部に溶融はんだが貯留されている。はんだ噴流部１０８は、はんだ貯留部１０６の上面に配設されており、図４及び図５に示すように、カバー１１０と、区画筒１１２と、噴流筒１１４とにより構成されている。

カバー１１０は、概して円筒状をなし、それの上端部は、上方に向かうほど径が小さくなるようなテーパ状とされている。また、区画筒１１２の外径は、カバー１１０の内径より小さくされており、カバー１１０の内部に立設されている。なお、区画筒１１２の上端は、カバー１１０の上端より下方に位置している。また、噴流筒１１４の外径は、区画筒１１２の内径より小さくされており、区画筒１１２の内部に立設されている。なお、噴流筒１１４の上端は、カバー１１０の上端より上方に位置しており、カバー１１０の上端から露出している。

このような構造により、噴流装置１００では、ポンプ（図６参照）１１６の作動により、はんだ貯留部１０６から溶融はんだが汲み上げられることで、噴流筒１１４の上端部から上方に向かって、溶融はんだが噴流する。そして、噴流筒１１４の上端部から噴流された溶融はんだが、噴流筒１１４の外周面と区画筒１１２の内周面との間を通って、はんだ貯留部１０６の内部に還流する。

また、噴流装置１００は、ガス供給装置（図６参照）１１８を有しており、ガス供給装置１１８により、カバー１１０の内周面と区画筒１１２の外周面との間に、窒素が供給される。これにより、噴流筒１１４の上端から噴流する溶融はんだに向かって、カバー１１０の上端と区画筒１１２の上端との間から、窒素が噴出されることで、噴流する溶融はんだの酸化が防止される。

また、噴流筒１１４は、支持筒１２０と噴流ノズル１２２とにより構成されており、噴流ノズル１２２が支持筒１２０に着脱可能に装着される。詳しくは、支持筒１２０は、区画筒１１２の内部に立設されており、支持筒１２０の上端部の内周面には、雌ネジが形成されている。一方、噴流ノズル１２２の下端部の外周面には、雄ネジが形成されている。そして、作業者が、噴流ノズル１２２の雄ネジを支持筒１２０の雌ネジに螺合することで、噴流ノズル１２２が支持筒１２０に装着される。また、噴流ノズル１２２の雄ネジの支持筒１２０の雌ネジへの螺合が、作業者により解除されることで、噴流ノズル１２２が支持筒１２０から取り外される。なお、噴流装置１００では、ノズル径の異なる複数の噴流ノズル１２２が用意されており、それらノズル径の異なる複数の噴流ノズル１２２のうちの任意の噴流ノズル１２２を、支持筒１２０に装着することが可能となっている。

噴流装置移動装置１０２は、図３に示すように、スライダ１３０と、Ｘ方向移動装置１３２と、Ｙ方向移動装置１３４と、Ｚ方向移動装置１３６とを有している。スライダ１３０は、概して板状をなし、スライダ１３０の上面には、噴流装置１００が配設されている。また、Ｘ方向移動装置１３２は、搬送装置５０による回路基材１２の搬送方向、つまり、Ｘ方向に、スライダ１３０を移動させ、Ｙ方向移動装置１３４は、スライダ１３０をＹ方向に移動させる。さらに、Ｚ方向移動装置１３６は、スライダ１３０を、Ｚ方向、つまり、上下方向に移動させる。これにより、噴流装置１００は、搬送装置５０の下方において、噴流装置移動装置１０２の作動により、任意の位置に移動する。

また、制御装置３８は、図６に示すように、コントローラ１５２、複数の駆動回路１５４、画像処理装置１５６、制御回路１５８を備えている。複数の駆動回路１５４は、上記搬送装置５０、クランプ装置５２、作業ヘッド６０，６２、作業ヘッド移動装置６４、トレイ型部品供給装置７８、フィーダ型部品供給装置８０、ばら部品供給装置３２、ポンプ１１６、ガス供給装置１１８、噴流装置移動装置１０２に接続されている。コントローラ１５２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１５４に接続されている。これにより、基材搬送保持装置２２、部品装着装置２４等の作動が、コントローラ１５２によって制御される。また、コントローラ１５２は、画像処理装置１５６にも接続されている。画像処理装置１５６は、マークカメラ２６およびパーツカメラ２８によって得られた画像データを処理するものであり、コントローラ１５２は、画像データから各種情報を取得する。さらに、コントローラ１５２は、制御回路１５８を介して、表示装置３４に接続されており、コントローラ１５２によって、表示装置３４に所定の画像が表示される。

＜部品実装機の作動＞
部品実装機１０では、上述した構成によって、基材搬送保持装置２２に保持された回路基材１２に対して部品の装着作業が行われる。部品実装機１０では、種々の部品を回路基材１２に装着することが可能であるが、リードを有する部品（以下、「リード部品」と略して記載する場合がある）を回路基材１２に装着する場合について、以下に説明する。

具体的には、回路基材１２が、作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置５２によって固定的に保持される。次に、マークカメラ２６が、回路基材１２の上方に移動し、回路基材１２を撮像する。これにより、回路基材１２の保持位置等に関する情報が得られる。また、部品供給装置３０若しくは、ばら部品供給装置３２が、所定の供給位置において、リード部品を供給する。そして、作業ヘッド６０，６２の何れかが、部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６６によって部品を保持する。なお、リード部品１４０は、図７に示すように、部品本体部１４２と、部品本体部１４２の底面から延び出す２本のリード１４４とによって構成されている。そして、リード部品１４０は、部品本体部１４２のリード１４４が延び出す側の面と反対側の面において、吸着ノズル６６によって吸着保持される。

続いて、リード部品１４０を保持した作業ヘッド６０，６２が、パーツカメラ２８の上方に移動し、パーツカメラ２８によって、吸着ノズル６６に保持されたリード部品１４０が撮像される。これにより、部品の保持位置等に関する情報が得られる。続いて、リード部品１４０を保持した作業ヘッド６０，６２が、回路基材１２の上方に移動し、回路基材１２の保持位置の誤差，部品の保持位置の誤差等を補正する。そして、吸着ノズル６６により吸着保持されたリード部品１４０のリード１４４が、回路基材１２に形成された貫通穴１４８に挿入される。この際、貫通穴１４８の下方に、噴流装置１００が移動している。そして、貫通穴１４８に挿入されたリード１４４に向かって、溶融はんだが、噴流装置１００の噴流ノズル１２２から噴流される。これにより、貫通穴１４８にリード１４４を挿入した状態のリード部品１４０が、回路基材１２にはんだ付けされる。

＜噴流ノズルの交換＞
上述したように、部品実装機１０では、噴流ノズル１２２から溶融はんだがリード１４４に向かって噴流されることで、リード部品１４０が回路基材１２にはんだ付けされる。この際、図７に示すように、リード部品１４０の１対のリード１４４を同時にはんだ付けすることが好ましい。ただし、リード部品１４０には、図８に示すように、１対のリード１４４の間の距離が比較的長いリード部品１４０が存在する。このようなリード部品１４０にはんだ付けを行う際に、ノズル径の小さい噴流ノズル１２２では、ノズル径より１対のリード１４４の間の距離が長い場合には、１対のリード１４４を同時にはんだ付けすることはできない。このため、１対のリード１４４のうちの一方のリード１４４に対してはんだ付けが実行され（実線）、その後に、噴流装置１００を移動させることで、１対のリード１４４のうちの他方のリード１４４に対してはんだ付けが実行される（点線）。しかしながら、このように、１本のリード１４４毎にはんだ付けが実行されていては、効率が悪い。

このため、１対のリード１４４の間の距離が比較的長いリード部品１４０に対してはんだ付けが実行される際には、ノズル径の大きな噴流ノズル１２２を用いることが好ましい。そこで、図９に示すように、支持筒１２０に、ノズル径の小さな噴流ノズル１２２の代わりに、ノズル径の大きな噴流ノズル１２２を装着する。これにより、ノズル径の大きな噴流ノズル１２２によってはんだ付けを実行することで、図１０に示すように、１対のリード１４４の間の距離が比較的長いリード部品１４０であっても、１対のリード１４４を同時にはんだ付けすることが可能となる。一方で、複数の部品が回路基材１２の比較的狭い領域に装着される場合等には、ノズル径の大きな噴流ノズル１２２を用いると、はんだ付け不要な箇所にはんだが塗布されたり、噴流ノズル１２２が何らかの部材と干渉する等の問題が生じる虞がある。

このようなことに鑑みて、生産対象の回路基材１２毎に、その回路基材１２に装着されるリード部品１４０の１対のリード１４４の間の距離、回路基材１２への装着予定の部品配置などを考慮して、最適なノズル径が予め演算されており、そのノズル径を有する種類の噴流ノズル１２２が予め設定されている。そして、作業者は、その予め設定されている種類の噴流ノズル（以下、「設定ノズル」と記載する場合がある）を支持筒１２０に装着し、部品実装機１０により回路基材１２への部品の装着作業が実行される。これにより、はんだ付け不要な箇所へのはんだの塗布、噴流ノズル１２２の何らかの部材への干渉等の問題を生じることなく、はんだ付けを効率よく実行することが可能となる。

しかしながら、支持筒１２０への噴流ノズル１２２の装着は、作業者が行うため、設定ノズルと異なる噴流ノズル１２２が支持筒１２０に装着される場合、作業者が噴流ノズル１２２の交換を忘れる場合がある。つまり、ヒューマンエラーにより、設定ノズルと異なる種類の噴流ノズル１２２が支持筒１２０に装着された状態で、回路基材１２への装着作業が実行される場合がある。このような場合には、予定されているノズル径と異なるノズル径の噴流ノズル１２２によりはんだ付けが実行されることで、はんだ付け不要な箇所へのはんだの塗布、噴流ノズル１２２の何らかの部材への干渉等の問題が生じる虞があり、そのような問題だけでなく、適切な箇所にはんだを噴流することができず、はんだ付けの不具合等も生じる虞がある。

このようなことに鑑みて、部品実装機１０では、支持筒１２０に装着されている噴流ノズル（以下、「装着ノズル」と記載する場合がある）の撮像により、装着ノズルの適否が判断される。詳しくは、回路基材１２が搬送されていない状態で、マークカメラ２６が、噴流装置１００の上方に移動し、支持筒１２０に装着されている噴流ノズル１２２を撮像する。そして、コントローラ１５２において、撮像された撮像データ、つまり、上方からの視点における噴流ノズル１２２の撮像データに基づいて、噴流ノズル１２２の外縁が認識され、噴流ノズル１２２の外径、つまり、装着ノズルの外径が演算される。一方、コントローラ１５２には、設定ノズルの外径に誤差を考慮したノズル径（以下、「設定ノズル径」と記載する場合がある）が記憶されている。

そして、コントローラ１５２において、演算された装着ノズルの外径が設定ノズル径の範囲内であるか否かが判断される。この際、演算された装着ノズルの外径が設定ノズル径の範囲内である場合には、装着ノズルが設定ノズルであることを示す画面が表示装置３４に表示され、上述した手順に従って、回路基材１２への装着作業が実行される。一方、演算された装着ノズルの外径が設定ノズル径の範囲内でない場合には、回路基材１２への装着作業は実行されず、装着ノズルが設定ノズルでないことを示すとともに、装着ノズルを設定ノズルに交換することを促す画面が表示装置３４に表示される。なお、その画面には、ＯＫボタン（図示省略）が表示されており、作業者は噴流ノズル１２２を交換した後に、そのＯＫボタンを操作する。そして、そのＯＫボタンが操作されると、再度、支持筒１２０に装着されている噴流ノズルの撮像により、装着ノズルの適否が判断され、演算された装着ノズルの外径が設定ノズル径の範囲内である場合に、回路基材１２への装着作業が実行される。これにより、噴流ノズル１２２の装着間違い等のヒューマンエラーの発生を防止し、好適なはんだ付けを担保することが可能となる。なお、上述した装着ノズルの適否の判断は、装着作業の対象となる回路基材１２の種類が変更される毎、所定の枚数の回路基材１２への装着作業が実行される毎、所定の時間毎、工場での生産が開始される毎等、種々のタイミングで実行される。

また、部品実装機１０では、マークカメラ２６により装着ノズルが撮像され、その撮像データに基づいて、装着ノズルの外径が演算されている。これにより、既存の設備を利用して、装着ノズルの適否を判断することが可能となり、新たな設備投資等を抑制することが可能となる。

また、支持筒１２０に装着された噴流ノズル１２２を上方からの視点において撮像した場合には、撮像データに基づいて、噴流ノズル１２２の側面等を認識することはできず、噴流ノズル１２２の上端面、つまり、ノズル口しか認識することができない。噴流ノズル１２２の上端面の表面積は、通常、小さく、その上端面に、噴流ノズル１２２の種類を識別するための識別記号を記すことは困難であり、新たに識別記号を噴流ノズル１２２に記す際に、投資が必要となる。また、識別記号が噴流ノズル１２２の上端面に記された場合であっても、噴流された溶融はんだにより、識別記号が汚れるため、識別記号を認識することが困難である。このようなことに鑑みて、部品実装機１０では、装着ノズルの撮像データに基づいてノズル径が演算され、演算されたノズル径を利用して、装着ノズルの適否が判断されている。これにより、小さな噴流ノズル１２２の上端面に、無理に識別記号を記す必要もなく、既存の噴流ノズル１２２を利用することが可能となり、新たな投資を抑制することが可能となる。また、噴流ノズル１２２のノズル口が汚れている場合であっても、装着ノズルのノズル径の確認により装着ノズルの適否を判断することが可能となる。

なお、制御装置３８のコントローラ１５２は、図６に示すように、取得部１６０と判定部１６２とを有している。取得部１６０は、撮像データに基づいて装着ノズルのノズル径を取得するための機能部である。判定部１６２は、装着ノズルのノズル径と設定ノズル径とに基づいて、装着ノズルの適否を判断するための機能部である。

ちなみに、制御装置３８は、制御装置の一例である。噴流装置１００は、噴流装置の一例である。支持筒１２０は、装着部の一例である。噴流ノズル１２２は、噴流ノズルの一例である。取得部１６０は、取得部の一例である。判定部１６２は、判定部の一例である。噴流ノズル１２２のノズル径は、識別情報の一例である。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、溶融はんだを噴流する噴流装置１００に本発明が適用されているが、種々の液体を噴流する噴流装置に本発明を適用することが可能である。具体的には、例えば、洗浄液を噴流する洗浄装置，溶融樹脂を噴流し、絶縁層を形成するための装置，フラックスを噴流し、フラックスを塗布するための装置等、種々の装置に本発明を適用することが可能である。

また、上記実施例では、噴流ノズル１２２の種類を識別可能な識別情報として、噴流ノズル１２２の外径が採用されているが、噴流ノズル１２２の内径を採用してもよい。また、噴流ノズル１２２のノズル径に限られず、２Ｄコード等の識別記号を採用してもよい。

また、上記実施例では、撮像データに基づいて噴流ノズル１２２のノズル径等の識別情報が取得されているが、種々の手法により識別情報を取得してもよい。例えば、識別情報を記憶する記憶媒体を噴流ノズル１２２に設け、記憶媒体から識別情報を取得してもよい。具体的には、例えば、噴流ノズル１２２が支持筒１２０に装着された際に、支持筒１２０と噴流ノズル１２２とが電気的に接続されるように構成し、記憶媒体から識別情報を取得してもよい。また、センサ等により、記憶媒体から識別情報を取得してもよい。また、ＲＦＩＤ（Radio Frequency IDentificationの略）等を利用して、近距離無線通信によって、記憶媒体から識別情報を取得してもよい。

また、上記実施例では、設定ノズル径がコントローラ１５２に記憶されているが、設定ノズル径に相当するノズル径を、リード部品１４０のリードピッチ，リード径，回路基材１２への装着予定の部品配置などに基づいて演算してもよい。そして、その演算されたノズル径と、認識ノズル径とを用いて、比較判定することで、上記効果と同等の効果を奏することが可能となる。

３８：制御装置１００：噴流装置１２０：支持筒（装着部）１２２：噴流ノズル１６０：取得部１６２：判定部

Claims

上方に向かって溶融はんだを噴流させて回路基材の貫通穴に挿入された部品のリードに半田を塗布する噴流装置であって、
当該噴流装置が、
溶融はんだを噴流する噴流ノズルと、
前記噴流ノズルが着脱可能に装着される装着部と、
制御装置と
を備え、
前記制御装置が、
前記装着部に装着されている前記噴流ノズルの上方からの視点における撮像データに基づいて該噴流ノズルの外縁を認識し、該噴流ノズルのノズル径を取得する取得部と、
前記取得部により取得されたノズル径が、前記部品の一対のリードの間の距離を考慮して演算されたノズル径の範囲内であるか否かを判定する判定部と
を有することを特徴とする噴流装置。