JP6836135B2 - 液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット式記録装置などの液体噴射装置に関し、特に、ノズルに連通する空部の一部を区画する振動部を変形させることで当該空部内の液体に圧力変動を生じさせることによりノズルから液体を噴射させる液体噴射装置に関するものである。

液体噴射装置は、液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドのノズルから各種の液体を噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズルから液体状のインクをインク滴として噴射させて記録を行うインクジェット式記録装置（プリンター）等の画像記録装置を挙げることができる。また、この他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタに用いられる色材、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイに用いられる有機材料、電極形成に用いられる電極材等、様々な種類の液体の噴射に液体噴射装置が用いられている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

例えば、上記の液体噴射装置では、液体の増粘による目詰まりや流路内に存在する異物や気泡等の要因により液体噴射ヘッドのノズルから液体が正常に噴射されない場合、つまり、ノズルから噴射される液体の量や速度が本来目標とする値から変わってしまったり、最悪の場合にはノズルから液体が全く噴射されなかったりする場合があるため、全てのノズルから液体が正常に噴射されるか否かを検査する技術が提案されている。例えば、特許文献１には、圧電素子を駆動したときのキャビティ（空部あるいは圧力室）内の液体の残留振動に基づいてインクの噴射異常を検査する技術が開示されている。

特開２０１４−１７７１２７号公報

上記液体噴射ヘッドでは、ノズルが形成された基板やキャビティが形成された基板等の複数の構成部材が接着剤等により接合されて構成されている。このため、製造ばらつきによりキャビティと圧電素子の位置関係や各部の寸法が目標値と異なったり、基板間を接合している接着剤がキャビティにはみ出して当該キャビティを区画する可撓面に付着したりすることにより、圧電素子およびこれに対応する可撓面からなる振動部の振動周期が、設計上の目標値（リファレンス値）と異なる場合があった。その結果、検査精度が低下するおそれがあった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子を駆動させることで生じる残留振動に基づいて噴射異常を検査する構成において噴射異常の検出精度を向上させることが可能な液体噴射装置を提供することにある。

本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の空部が形成された基板と、前記基板における前記空部の一部を区画する可撓面と、前記空部に対応して前記可撓面を挟んで反対側に設けられた圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドと、
前記圧電素子を駆動したときに生じる振動による当該圧電素子の起電力に基づいて前記空部に連通するノズルからの液体の噴射について検査を行う検査機構と、
を備える液体噴射装置であって、
複数の前記空部に対応した複数の圧電素子のうちの検査対象の第１圧電素子に印加する第１駆動信号と、前記第１圧電素子とは異なる第２圧電素子に印加する第２駆動信号を発生する信号発生回路を備え、
前記第２駆動信号は、少なくとも前記第１駆動信号により前記第１圧電素子およびこれに対応する前記可撓面からなる第１振動部が駆動されたときの振動に基づき前記検査機構により検査が行われる検出期間において、前記第２圧電素子およびこれに対応する前記可撓面からなる第２振動部を変形させた状態を維持することを特徴とする。

本発明によれば、検出期間において第２振動部を変形させた状態とすることにより第１振動部の可撓面に付与される張力を変化させることができるので、第１振動部の振動周期を変化させることができる。したがって、例えば製造ばらつき等により、第１振動部の固有の振動周期が設計上の目標値（リファレンス振動周期）から異なる場合に、目標値に近づくように第２振動部により調整（補正）することが可能となる。これにより、噴射異常の検出精度を向上させることが可能となる。

また、上記構成において、前記第２駆動信号は、前記検出期間において一定の調整電圧に維持される構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、検出期間において第１振動部が振動している期間において第２振動部は振動することなく一定の形状が維持されるので、第１振動部の振動に第２振動部の振動が重畳して悪影響を及ぼすことが抑制される。

また、上記構成において、前記液体噴射ヘッドの温度を検出する温度検出機構を備え、
前記温度検出機構により検出される温度に応じて前記調整電圧が変化する構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、温度の変化に応じて第１振動部の振動周期がリファレンス振動周期から変化する場合においても、リファレンス振動周期に近づくように第２振動部により調整することが可能となる。

さらに、上記構成において、前記第２駆動信号は、異なる複数の調整電圧を有する構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、より適した調整電圧を容易に選択することが可能となる。

また、上記構成において、前記第２駆動信号は、前記検出期間の前に前記第１駆動信号により前記第１振動部が振動される振動発生期間において前記第２振動部を振動させて前記第１振動部の振動を増幅させる波形要素を発生する構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、第１振動部の振動を増幅させることができるので、噴射異常の検出精度をより向上させることが可能となる。

そして、上記構成において、前記第１振動部と前記第２振動部とは、前記空部を区画する壁を１つ隔てて互いに隣接している構成を採用することが望ましい。

これによれば、第２振動部の変形による第１振動部の可撓面に付与される張力をより効率よく変化させることができる。

液体噴射装置の一形態であるプリンターの構成を説明する斜視図である。 液体噴射ヘッドの一形態である記録ヘッドの構成を説明する断面図である。 プリンターの電気的な構成の一例を示すブロック図である。 駆動信号の構成を説明する波形図である。 検査処理について説明する記録ヘッドの模式図である。 検査処理について説明する記録ヘッドの模式図である。 検査処理について説明する記録ヘッドの模式図である。 第２の実施形態における駆動信号の構成を説明する波形図である。 第３の実施形態における駆動信号の構成を説明する波形図である。 第４の実施形態における検査処理について説明する模式図である。 第５の実施形態における検査処理について説明する模式図である。 第６の実施形態における検査処理について説明する模式図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット記録ヘッド（以下、記録ヘッド２）を搭載したインクジェット式記録装置（以下、プリンター１）を例に挙げて説明する。

図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、記録ヘッド２を搭載すると共に、インク（液体の一種）を貯留した液体供給源の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４と、記録動作時の記録ヘッド２の下方に配設されたプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６（記録媒体あるいは液体着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構７と、主走査方向に交差（直交）する副走査方向に記録紙６を搬送する紙送り機構８と、を備えている。

キャリッジ４は、主走査方向に沿って設けられたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、当該ガイドロッド９に沿って主走査方向に往復移動するように構成されている。そして、プリンター１は、キャリッジ４における移動範囲の一端側（図中右側）に設けられた記録ヘッド２の待機位置であるホームポジションから反対側の他端側へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、他端側からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙６上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能に構成されている。なお、インクカートリッジ３がキャリッジ４ではなくプリンター１の本体側に配置され、このインクカートリッジ３内のインクがインク供給チューブを通じて記録ヘッド２側に供給される構成を採用することもできる。

図２は、記録ヘッド２の構成の一例を示す断面図である。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド２は、複数の基板、具体的には、ノズルプレート１１、連通基板１３、および、アクチュエーター基板１２が、この順で積層されて互いに接着剤により接合されてユニット化されている。また、アクチュエーター基板１２は、圧力室形成基板１４（本発明における基板の一種）、振動板１５、および圧電素子１６等が積層されて構成されている。このアクチュエーター基板１２に、圧電素子１６を覆い保護する封止板１７が積層され、これらの積層体がケース１８に取り付けられて記録ヘッド２が構成されている。

ケース１８は、合成樹脂製の箱体状部材である。このケース１８の下面側には、当該下面からケース１８の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ収容空部１９が形成されており、上記積層体の連通板１３が下面に接合されると、当該積層体におけるアクチュエーター基板１２（圧力室形成基板１４、振動板１５、圧電素子１６、および封止板１７）が、収容空部１９内に収容される。また、ケース１８には、インク導入路２０が形成されている。上記インクカートリッジ３側からのインクは、インク導入路２０を通じて後述する共通液室２６に導入される。

本実施形態における圧力室形成基板１４は、シリコン単結晶基板（以下、単にシリコン基板とも言う。）から作製されている。この圧力室形成基板１４には、本発明における空部の一種である圧力室２１となる圧力室空部が複数形成されている。この圧力室形成基板１４における圧力室空部の一方（上面側）の開口部は、振動板１５によって封止される。また、圧力室形成基板１４における振動板１５とは反対側の面には、連通基板１３が接合され、当該連通基板１３によって圧力室空部の他方の開口部が封止される。これにより、圧力室２１が区画形成される。ここで、圧力室２１の上部開口が振動板１５により封止された部分は、圧電素子１６（能動部）の駆動により変位する可撓面２２である。なお、圧力室形成基板１４と可撓面２２が一体である構成を採用することもできる。すなわち、圧力室形成基板１４の下面側からエッチング処理が施されて、上面側に板厚の薄い薄肉部分を残して圧力室空部が形成され、この薄肉部分が可撓面２２として機能する構成を採用することもできる。

本実施形態における圧力室２１は、ノズル２４の並設方向、すなわちノズル列方向（第１の方向）に交差する方向（第２の方向）に長尺な空部である。この圧力室２１の第２の方向の一端部は、連通基板１３のノズル連通口２３を介してノズル２４と連通する。また、圧力室２１の第２の方向の他端部は、連通基板１３の個別連通口２７を介して共通液室２６と連通する。そして、圧力室２１は、ノズル２４毎に対応してノズル列方向（第１の方向）に沿って隔壁２５（図５等参照）により隔てられて複数並設されている。

連通基板１３は、圧力室形成基板１４と同様にシリコン基板から作製された板材である。この連通基板１３には、圧力室形成基板１４の複数の圧力室２１に共通に設けられる共通液室２６（リザーバーあるいはマニホールドとも呼ばれる）となる空部が、異方性エッチングによって形成されている。この共通液室２６は、各圧力室２１の並設方向（即ち第１の方向）に沿って長尺な空部である。この共通液室２６は、上述したように各圧力室２１とそれぞれ個別連通口２７を介して連通している。

ノズルプレート１１は、複数のノズル２４が列状に開設された板材である。本実施形態では、ドット形成密度に対応したピッチでノズル２４が複数列設されてノズル列が構成されている。本実施形態におけるノズルプレート１１は、シリコン基板から作製され、当該基板に対してドライエッチングにより円筒形状のノズル２４が形成されている。そして、各ノズル２４にそれぞれ対応して、上記の共通液室２６から個別連通口２７、圧力室２１、およびノズル連通口２３を通ってノズル２４に至るまでのインク流路が形成されている。

圧力室２１とは反対側となる振動板１５の外側表面には、圧力室２１毎に対応して圧電素子１６が配設される。例示した圧電素子１６は、所謂撓み振動モードの圧電素子であり、図示しない駆動電極と共通電極とによって圧電体層を挟んで構成されている。そして、圧電素子１６の駆動電極に駆動信号（駆動パルス）が印加されると、駆動電極と共通電極との間には電圧差に応じた電場が発生する。この電場は圧電体層に付与され、圧電体層が付与された電場の強さに応じて変形する。即ち、駆動電極の電圧を高くする程、圧電体層の幅方向（ノズル列方向）の中央部が圧力室２１の内側（ノズルプレート１１に近づく側）に撓み、圧力室２１の容積を減少させるように振動板１５の可撓面２２を変形させる。一方、駆動電極の電圧を低くする程（０に近づける程）、圧電体層の短尺方向の中央部がノズルプレート１１から離れる側に撓み、圧力室２１の容積を増加させるように振動板１５を変形させる。

図３は、プリンター１の電気的な構成を示すブロック図である。本実施形態におけるプリンター１は、プリンターコントローラー３１とプリントエンジン３２とを備えている。プリンターコントローラー３１は、コンピューターや携帯電話機等の外部装置からの印刷データ等が入力される外部インタフェース（外部Ｉ／Ｆ）３３と、各種制御のための制御プログラム等や各種データ等を記憶した記憶部３４と、記憶部３４に記憶されている制御プログラムに従って各部の統括的な制御を行うＣＰＵ３５と、記録ヘッド２へ供給する駆動信号を発生する駆動信号発生回路３６（本発明における信号発生回路の一種）と、を備えている。また、プリントエンジン３２は、記録ヘッド２、キャリッジ移動機構７、紙送り機構８、振動検出回路３８、および温度センサー４０（本発明における温度検出機構に相当）等を有している。

駆動信号発生回路３６は、圧電素子１６の駆動電極に印加するための駆動信号ＣＯＭを出力するとともに、圧電素子１６の共通電極に印加するための共通直流電圧ＶＢＳを出力する。この駆動信号発生回路３６は、圧電素子１６毎に設けられたパルス選択スイッチ３７を介して圧電素子１６の駆動電極に電気的に接続されている。また、駆動信号発生回路３６は、同一ノズル列に属する各圧電素子１６に対して共通に設けられたスイッチ３９および当該スイッチ３９と並列に接続されている振動検出回路３８を介して圧電素子１６の共通電極に電気的に接続されている。

記録ヘッド２のヘッドコントローラー３０は、プリンターコントローラー３１から送られてくる階調データＳＩに基づいてインクの噴射制御を行う。本実施形態では、２ビットで構成された階調データＳＩがクロック信号に同期して送信され、ヘッドコントローラー３０の図示しないシフトレジスターおよびラッチ回路に順次入力される。そして、ラッチされた階調データＳＩは図示しないデコーダーへ出力される。このデコーダーは、記録データの上位ビット群及び下位ビット群に基づいて、駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを選択するためのパルス階調データを生成する。

また、ヘッドコントローラー３０には、駆動信号発生回路３６からの駆動信号ＣＯＭが供給される。この駆動信号ＣＯＭは、ヘッドコントローラー３０のパルス選択スイッチ３７に入力される。このパルス選択スイッチ３７の出力側には、圧電素子１６の駆動電極が接続されている。そして、このパルス選択スイッチ３７は、上記のパルス階調データに基づき駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを圧電素子１６の駆動電極へ選択的に印加する。また、このパルス選択スイッチ３７は、後述する検査処理を行う場合に、駆動信号発生回路３６と圧電素子１６との間の接続状態または切断状態を切り替える切替機構としても機能する。

圧電素子１６の共通電極側には、スイッチ３９と平行に接続された振動検出回路３８が設けられている。スイッチ３９は、ＣＰＵ３５から出力される切替信号ＣＳに応じて切替制御され、後述する検出期間においてオフに切り替えられ、それ以外においてはオンとされる。振動検出回路３８は、図示しない検出抵抗やＡ／Ｄ変換器等を備え、検査用駆動パルスＰｄ（図４参照）によって圧電素子１６が駆動されたときの圧力室内のインクに生じる振動（検出期間における残留振動）に基づく圧電素子１６の起電力信号を検出信号としてプリンターコントローラー３１側に出力するように構成されている。プリンターコントローラー３１のＣＰＵ３５は、振動検出回路３８から出力される起電力信号に基づきノズル２４からのインクの噴射について異常の有無を検査する。したがって、振動検出回路３８およびＣＰＵ３５は、本発明における検査機構として機能し、圧電素子１６を振動センサーとして用いて圧力室内のインクの振動を検出することにより、ノズル２４からのインクの噴射について検査を行う。

本発明に係るプリンター１は、インクの増粘による噴射異常等を検出するべく記録ヘッド２の検査処理を行うように構成されている。検査実行条件としては、プリンター１の使用時間（例えば、ノズル２４からインクを噴射する動作をしている時間の積算値）、噴射回数（例えば、全ノズルの噴射回数の和あるは平均値の積算値）、または、記録媒体の総印刷枚数等が、予め定められた判定値を超えたことを条件とすることができる。また、プリンタードライバー等を通じてユーザーにより検査処理の実行が指示された場合を検査実行条件とすることもできる。検査実行条件が成立した場合、プリンターコントローラー３１は、検査処理に移行し、記録ヘッド２の全ノズル２４の中から検査対象ノズルを選択して、当該検査対象ノズルに対応する圧電素子１６に対して例えば図４に示す検査用駆動パルスＰｄを印加したときに当該圧電素子１６に生じる起電力に基づいて検査処理を行う。検査対象ノズルに関し、例えば、ノズル列の一方の端に位置するノズルから他方の端に向かって順次選択されてもよいし、例えば、増粘による噴射異常が疑われるノズル２４をユーザーが指定することで選択されてもよい。

上記検査用駆動パルスとしては、圧力室２１内のインクに圧力変化を与えることが可能なものであれば種々の波形のものを採用することができるが、本実施形態においては、図４に示す検査用駆動パルスＰｄが使用される。また、本実施形態においては、検査対象のノズル２４に対応する検査対象の圧電素子１６（本発明における第１圧電素子に相当）に検査用駆動信号ＣＯＭ１（本発明における第１駆動信号の一種）が供給されて当該圧電素子１６により検査が行われる際に、当該検査対象の圧電素子１６とは異なる他の圧電素子１６（本発明における第２圧電素子に相当）に調整用駆動信号ＣＯＭ２（本発明における第２駆動信号の一種）が供給されることにより、検査対象の圧電素子１６およびこれに対応する可撓面２２（以下、検査対象振動部と称する）の振動周期を調整することができるように構成されている。

図４は、検査用駆動信号ＣＯＭ１および調整用駆動信号ＣＯＭ２の構成を説明する波形図であり、上段が検査用駆動信号ＣＯＭ１であり、下段が調整用駆動信号ＣＯＭ２である。本実施形態における検査用駆動信号ＣＯＭ１は、第１期間Ｔ１、第２期間Ｔ２、および第３期間Ｔ３の合計３つの期間に分けられており、第２期間Ｔ２に検査用駆動パルスＰｄを発生する。これらの期間Ｔ１〜Ｔ３のうち第１期間Ｔ１および第３期間Ｔ３においては、基準電圧ＶＢ（待機電圧）で一定となっている。第２期間Ｔ２における検査用駆動パルスＰｄの始端および終端は、この基準電圧ＶＢに揃えられている。この基準電圧ＶＢは、圧力室２１の膨張もしくは収縮の起点となる容積に対応する電圧である。後述するように、この基準電圧ＶＢが圧電素子１６に印加されると、当該圧電素子１６およびこれに対応する可撓面２２は、圧力室２１の内側（ノズルプレート１１に近づく側）に撓んだ状態となる。第２期間Ｔ２は、圧力室２１内のインクに圧力振動を生じさせる振動発生期間であり、第３期間Ｔ３は、第２期間Ｔ２で発生されたインクの圧力振動（残留振動）が振動検出回路３８によって検出される検出期間である。第２期間Ｔ２で発生される検査用駆動パルスＰｄは、予備膨張要素ｐ１と、膨張ホールド要素ｐ２と、収縮要素ｐ３と、収縮ホールド要素ｐ４と、復帰要素ｐ５と、からなる。予備膨張要素ｐ１は、基準電圧ＶＢから当該基準電位ＶＢよりも低い膨張電圧ＶＬまで電圧が接地電圧ＧＮＤ側に変化する波形要素である。膨張ホールド要素ｐ２は、予備膨張要素ｐ１の終端電圧である膨張電圧ＶＬを一定時間維持する波形要素である。収縮要素ｐ３は、膨張電圧ＶＬから基準電圧ＶＢを超えて収縮電圧ＶＨまで電圧がプラス側に変化する波形要素である。収縮ホールド要素ｐ４は、収縮電圧ＶＨを所定時間維持する波形要素である。復帰要素ｐ５は、収縮電圧ＶＨから基準電圧ＶＢまで電圧が復帰する波形要素である。この検査用駆動パルスＰｄの始端（予備膨張要素ｐ１の始端）の電圧と終端（復帰要素ｐ５の終端）の電圧は、ともに基準電圧ＶＢに揃えられている。なお、検査用駆動パルスＰｄとしては、印刷用の駆動パルスを流用することもできるし、検査処理に専用のものを使用することもできる。

上記のように構成された検査用駆動パルスＰｄが検査対象振動部の圧電素子１６に印加されると、まず、予備膨張要素ｐ１によって検査対象振動部は、ノズルプレート１１から離隔する側に撓み、これに伴って圧力室２１が基準電圧ＶＢに対応する基準容積から膨張電圧ＶＬに対応する膨張容積まで膨張する。この圧力室２１の膨張状態は、膨張ホールド要素ｐ２によって一定時間維持される。膨張ホールド要素ｐ２によるホールドの後、収縮要素ｐ３により検査対象振動部が圧力室２１の内側（ノズルプレート１１に近接する側）に撓む。これに伴い、圧力室２１は膨張容積から収縮電圧ＶＨに対応する収縮容積まで急激に収縮される。これにより、圧力室２１内のインクが加圧されて、当該インクに圧力振動が生じる。続いて、復帰要素ｐ５が印加されることにより、検査対象振動部が基準電圧ＶＢに対応する定常位置まで戻る。これに伴い、圧力室２１は、収縮容積から基準電圧ＶＢに対応する基準容積まで膨張して復帰する。なお、本実施形態における検査用駆動パルスＰｄによって検査対象振動部が駆動された際、ノズル２４からインクが噴射されてもよいし、あるいは噴射されなくてもよい。

これに対し、調整用駆動信号ＣＯＭ２は、調整電圧Ｖａｄで一定な駆動信号である。すなわち、期間Ｔ１〜Ｔ３の全範囲に亘って調整電圧Ｖａｄで一定となっている。本実施形態において調整電圧Ｖａｄは、上記検査用駆動信号ＣＯＭ１の膨張電圧ＶＬに揃えられているが、調整の度合に応じて膨張電圧ＶＬとは異なる値を採ることもできる。この調整用駆動信号ＣＯＭ２は、少なくとも検査対象振動部の検出期間（期間Ｔ３）において一定の電圧（調整電圧Ｖａｄ）を、後述する調整用振動部に継続して印加することにより当該調整用振動部を変形させた状態を一定に維持する信号である。なお、調整用駆動信号ＣＯＭ２は、調整電圧Ｖａｄのみから構成されるものには限られず、後述するように、電圧が変化する要素を有してもよい。

ここで、検査用駆動信号ＣＯＭ１の検査用駆動パルスＰｄによって期間Ｔ２において検査対象振動部が駆動された後、期間Ｔ３において当該検査対象振動部の圧電素子１６には一定の基準電圧ＶＢが継続して印加されるが、圧力室２１内のインクに生じた圧力振動（残留振動）によって検査対象振動部が振動する。これにより、検査対象振動部の圧電素子１６には当該振動に基づく起電力が生じる。振動検出回路３８は、この圧電素子１６の起電力信号Ｓｃ（検出信号）を得る。ノズル２４からインクが噴射されない所謂ドット抜けの場合や、ノズル２４からインクが噴射されるとしても正常なノズル２４と比較してインクの量や飛翔速度が極端に低下している場合などの異常時には、上記の検出信号の周期成分や振幅成分が、予め取得されている正常時の振動周期（以下、リファレンス振動周期）や振幅と比較して異なる。この起電力信号Ｓｃに基づく噴射異常の検出は従来から周知であるため詳細な説明は省略するが、この検出方法によりインクの増粘や気泡による噴射異常を検出することが可能である。

ところで、上記リファレンス振動周期は、プリンター１の工場出荷前の検査の段階において所定の条件（温度や湿度等）の下で取得される値である。しかしながら、本実施形態における記録ヘッド２は、複数の基板が接着剤等により接合されて構成されているため、例えば、製造ばらつきや接着剤の流路（圧力室２１）へのはみ出し等に起因して、ノズル２４によっては対応する振動部の振動周期がリファレンス振動周期と異なり、その結果、各ノズル２４の間で振動周期がばらつく場合がある。そこで、本発明に係るプリンター１では、検査対象振動部の圧電素子１６を駆動する際に、調整用駆動信号ＣＯＭ２（第２駆動信号）により調整用振動部の変形度合（撓み量・撓みの大きさ）が調整されることにより、検査対象振動部の振動周期がリファレンス振動周期に合わせられた状態で検査が行われるように構成されている。なお、各圧電素子１６のリファレンス振動周期からの差分は、工場出荷前の検査の段階において予め取得され、例えば、記憶部３４に記憶されている。そして、検査対象振動部として駆動される際には、記憶部３４に記憶されている差分に基づき、調整用駆動信号ＣＯＭ２の調整電圧Ｖａｄが設定される。

図５から図７は、検査処理について説明する記録ヘッド２の模式図であり、ノズル列方向の断面図である。ここで、各図において示されている隣接する３つの圧電素子１６ａ〜１６ｃのうち、中央に位置する圧電素子１６ａが、検査対象圧電素子（本発明における第１圧電素子に相当）であり、当該検査対象圧電素子とこれに対応する可撓面２２が、検査対象振動部（本発明における第１振動部に相当）である。また、この圧電素子１６ａに対して両側の隔壁２５を１枚挟んでそれぞれ隣り合う圧電素子１６ｂおよび１６ｃが、検査対象振動部の振動周期等を調整する調整用圧電素子（本発明における第２圧電素子に相当）であり、当該調整用圧電素子とこれに対応する可撓面２２が、調整用振動部（本発明における第２振動部に相当）である。

図５に示されるように、上記第１期間Ｔ１では、検査対象振動部である圧電素子１６ａに検査用駆動信号ＣＯＭ１の基準電圧ＶＢが印加され、圧電素子１６ｂ，１６ｃには調整用駆動信号ＣＯＭ２の調整電圧Ｖａｄが印加される。この第１期間Ｔ１において検査対象振動部である圧電素子１６ａは、基準電圧ＶＢに対応して圧力室２１の内側（ノズルプレート１１に近づく側）に撓んだ状態となっている。これに対し、調整電圧Ｖａｄが印加されている調整用振動部（圧電素子１６ｂ，１６ｃおよびそれぞれの可撓面２２）の幅方向中央部は、ノズルプレート１１から離れる側に撓み（図６中、白抜きの矢印の方向）、圧力室２１の上部開口面と平行に近い状態（平行よりもやや圧力室２１の内側に撓んだ状態）となる。このように、調整用駆動信号ＣＯＭ２の調整電圧Ｖａｄが圧電素子１６ｂ，１６ｃに継続的に印加されて、調整用振動部の撓み量が調整される。この調整用振動部が撓むことにより、検査対象振動部に対応する可撓面２２が両側（両隣の圧力室２１ｂ，２１ｃ側）から引張され、当該可撓面２２に対して張力（テンション）が付与される。これらの調整用振動部の撓み量が調整されることにより、テンションの大きさが変化する。

すなわち、検査対象振動部の可撓面２２に付与されるテンションが大きくなることにより、検査対象振動部の可撓面２２の硬さ（コンプライアンスＣ〔ｍｍ／Ｎ〕）が、単独で駆動された場合の検査対象振動部の可撓面２２の本来の硬さよりも硬くなる。逆に、検査対象振動部の可撓面２２に付与されるテンションが小さくなることにより、検査対象振動部の可撓面２２の硬さが、単独で駆動された場合の検査対象振動部の可撓面２２の本来の硬さよりも柔らかくなる。検査対象振動部の振動周期は、コンプライアンスＣに応じて変化する。つまり、検査対象振動部の可撓面２２の硬さの変化により、検査対象振動部の振動周期が変化する。例えば、調整用振動部の圧電素子１６に印加される調整電圧Ｖａｄが接地電圧（ＧＮＤ）であるときに検査対象振動部の可撓面２２に付与されるテンションが最も小さくなると仮定した場合、調整電圧Ｖａｄをより高くするほど、可撓面２２に付与されるテンションが大きくなってコンプライアンスＣが小さくなるので、検査対象振動部の振動周期がより短くなる。また、調整用駆動信号ＣＯＭ２の調整電圧Ｖａｄを接地電圧（ＧＮＤ）により近づけるほど、可撓面２２に付与されるテンションが小さくなってコンプライアンスＣが大きくなるので、検査対象振動部の振動周期がより長くなる。したがって、製造ばらつき等により、各圧電素子１６およびそれぞれ対応する可撓面２２からなる振動部が持つ固有の振動周期が、上記リファレンス振動周期から異なる場合に、当該リファレンス振動周期に近づくように調整用振動部により調整（補正）することが可能となる。本実施形態においては、検査対象振動部と調整用振動部とは、隔壁２５を１つ隔てて互いに隣接しているので、調整用振動部の変形による検査対象振動部の可撓面２２に付与される張力をより効率よく調整することができる。

図６に示されるように、振動発生期間である第２期間Ｔ２においては、検査対象振動部の圧電素子１６ａに検査用駆動信号ＣＯＭ１の検査用駆動パルスＰｄが印加され、調整用振動部の圧電素子１６ｂ，１６ｃには調整用駆動信号ＣＯＭ２の調整電圧Ｖａｄが引き続き印加される。そして、検査用駆動パルスＰｄに応じて検査対象振動部が振動することにより、当該検査対象振動部に対応する圧力室２１ａ内のインクに圧力振動が生じる。次に、検出期間である第３期間Ｔ３において、検査対象振動部の圧電素子１６ａには一定の基準電圧ＶＢが継続して印加され、調整用振動部の圧電素子１６ｂ，１６ｃには一定の調整電圧Ｖａｄが継続的に印加される。そして、図７に示されるように、検査対象振動部に対応する圧力室２１ａ内のインクに生じた圧力振動（残留振動）によって検査対象振動部が自由振動する。これにより、検査対象振動部の圧電素子１６には当該振動に基づく起電力が生じる。この第３期間Ｔ３において、振動検出回路３８は、この検査対象振動部の圧電素子１６ａの起電力信号Ｓｃ（検出信号）を得る。そして、ＣＰＵ３５は、振動検出回路３８からの起電力信号Ｓｃとリファレンス振動周期との間で周期成分、振幅成分等を比較することにより、検査対象のノズル２４における噴射の異常の有無を判定する。このように、本発明に係るプリンター１においては、検査対象振動部の振動周期が上記リファレンス振動周期に揃えられた状態で検査が行われるので、検査精度を向上させることが可能となる。また、本実施形態においては、検出期間において検査対象振動部が振動している期間において調整用振動部は振動することなく一定の形状が維持されるので、検査対象振動部の振動に調整用振動部の振動が重畳して悪影響を及ぼすことが抑制される。

ところで、環境温度（プリンター１の周辺（内部）の温度、特に、ノズル２４近傍の温度）が変動するとインクの粘度が変化するが、このインク粘度に応じて検査時のインクの振動周期も変動するため、温度センサー４０により検出される環境温度に応じて検査用駆動信号ＣＯＭ１が補正される。より具体的には、リファレンス振動周期が取得されたときの温度（例えば、２５℃）を基準温度として、この基準温度のときに検査用駆動信号ＣＯＭ１について基準電圧ＶＢが設定される構成において、基準温度よりも高い温度（例えば、４０℃）となったときには、図４に示されるように、基準電圧ＶＢよりも低い基準電圧ＶＢ１に補正される。また、基準温度よりも低い温度（例えば、１５℃）となったときには、基準温度のときの基準電圧ＶＢよりも高い基準電圧ＶＢ２に補正される。このように温度に応じて検査用駆動パルスＰｄの始端および終端の電圧である基準電圧ＶＢの値が変化すると、検査対象振動部の変形の度合（特に検査期間である第３期間Ｔ３における変形の度合）も変化するため、基準温度において当該検査対象振動部の振動周期がリファレンス振動周期に揃っていたとしても、温度の変化によってリファレンス振動周期から変わってしまう。このため、各圧電素子１６のリファレンス振動周期からの差分が温度毎に取得されて記憶部３４に記憶され、検査対象振動部として駆動される際には、温度センサー４０により温度が取得されて当該温度に対応した記憶部３４に記憶されている差分に基づき、調整用駆動信号ＣＯＭ２の調整電圧Ｖａｄが設定される。これにより、環境温度が変化した場合においても、検査対象振動部の固有の振動周期が、上記リファレンス振動周期に揃えられた状態で検査が行われるので、検査精度を向上させることが可能となる。

本実施形態においては、基準電圧ＶＢよりも調整電圧Ｖａｄが低く設定されることで検査対象振動部に付与されるテンションが調整される構成を例示したが、これには限られず、基準電圧ＶＢよりも調整電圧Ｖａｄを高くすることで検査対象振動部に付与されるテンションを調整する構成を採用することも可能である。すなわち、この場合、調整電圧Ｖａｄをより高くするほど、調整用振動部の幅方向中央部が圧力室２１の内側（ノズルプレート１１に近づく側）により大きく撓む。これにより、検査対象振動部により大きいテンションが付与される。

また、調整用振動部に関し、必ずしもインクの噴射に用いられる構成でなくてもよい。すなわち、少なくとも圧電素子１６、可撓面２２、および圧力室２１を備えていればよく、圧力室２１がノズル２４と連通していない所謂ダミー圧力室でもよい。また、ダミー圧力室の寸法は、インクの噴射に用いられる圧力室２１の寸法と同じでなくてもよい。さらに、ダミー圧力室内はインクで満たされていなくてもよく空気が入っていてもよい。また、上記第１の実施形態では、ノズル２４が列状に配置され、これに応じて圧力室２１も列状に並設された構成を例示したが、これには限られず、例えば、圧力室およびこれに対応する振動部がマトリクス状に配置された構成においても本発明を適用することができる。そして、このように配置された振動部のうち、検査対象振動部に対してテンションを付与することが可能な位置関係にある振動部であれば、調整用振動部として機能することができる。

図８は、第２の実施形態における検査用駆動信号ＣＯＭ１ａおよび調整用駆動信号ＣＯＭ２ａ〜２ｃの構成を説明する波形図である。同図において最上段に示される検査用駆動信号ＣＯＭ１ａは、第１期間Ｔ１、第２期間Ｔ２、第３期間Ｔ３、および第４期間の合計４つの期間に分けられており、第２期間Ｔ２に検査用駆動パルスＰｄ′を発生する。第１期間Ｔ１、第３期間Ｔ３、および第４期間Ｔ４においては、基準電圧ＶＢで一定となっている。これらの期間Ｔ１〜Ｔ４のうち、第２期間Ｔ２が、圧力室２１内のインクに圧力振動を生じさせる振動発生期間であり、第４期間Ｔ４は、第２期間Ｔ２で発生されたインクの圧力振動を検出する検出期間である。第２期間Ｔ２で発生される検査用駆動パルスＰｄ′は、基準電圧ＶＢから当該基準電圧ＶＢよりも低い膨張電圧ＶＬまで変化した後、基準電圧ＶＢまで戻る逆台形波である。

調整用駆動信号ＣＯＭ２ａは、第１期間Ｔ１において基準電圧ＶＢからこの基準電圧ＶＢよりも低い調整電圧Ｖａｄ（本実施形態においては膨張電圧ＶＬ）まで変化し、第２期間Ｔ２から第４期間Ｔ４までに亘って当該調整電圧Ｖａｄを維持した後、調整電圧Ｖａｄから基準電圧ＶＢまで変化する逆台形波の調整パルスＰａ１を有する駆動信号である。すなわち、上記第１の実施形態における調整電圧Ｖａｄで一定な調整用駆動信号ＣＯＭ２と比較して、電圧が変化する要素を有している点で異なっている。なお、基準電圧ＶＢから調整電圧Ｖａｄまで変化する波形要素については、例示したタイミングで発生されるものには限られず、例えば、破線で示されるように、検出期間である第４期間Ｔ４よりも前に発生される構成であればよい。そして、検査用駆動信号ＣＯＭ１ａにより検査対象振動部が駆動される際に、検出期間である第４期間Ｔ４において調整用振動部の圧電素子１６には一定の調整電圧Ｖａｄが継続的に印加される。この構成においても、上記第１の実施形態と同様に、検査対象振動部の固有の振動周期を調整することが可能となる。なお、調整電位Ｖａｄは、膨張電圧ＶＬと異なっていてもよい。

調整用駆動信号ＣＯＭ２ｂは、第２期間Ｔ２に基準電圧ＶＢから調整電圧Ｖａｄ（膨張電圧ＶＬ）まで変化した後、調整電圧Ｖａｄから基準電圧ＶＢまで戻る検査用駆動パルスＰｄ′と同一形状の前段パルスＰａ２ａと、第３期間Ｔ３において基準電圧ＶＢから調整電圧Ｖａｄまで再度変化し、第４期間Ｔ４において調整電圧Ｖａｄを一定に維持した後、調整電圧Ｖａｄから基準電圧ＶＢまで戻る逆台形波の後段パルスＰａ２ｂと、を有する駆動信号である。この調整用駆動信号ＣＯＭ２ｂは、検査対象振動部に検査用駆動信号ＣＯＭ１の検査用駆動パルスＰｄ′が印加されるタイミングで当該検査用駆動パルスＰｄ′と同一波形の前段パルスＰａ２ａが調整用振動部に印加されることで、検査対象振動部の振動の振幅を増幅させることもできる。つまり、検査対象振動部と調整用振動部とが同じように駆動されてそれぞれの振動が共振することにより検査対象振動部における振動の振幅が増幅される。これにより、検知精度をより向上させることもできる。この際、同時に駆動される振動部の数が多いほど、検査対象振動部の振動時に当該検査対象振動部に対応する圧力室２１を区画している隔壁２５が撓みにくくなるので、検査対象振動部の振動をより増幅させることができる。また、検出期間である第４期間Ｔ４においては、調整用振動部の圧電素子１６には一定の調整電圧Ｖａｄが継続的に印加される。この構成においても、上記第１の実施形態と同様に、検査対象振動部の振動周期が上記リファレンス振動周期に揃うように調整することができる。

調整用駆動信号ＣＯＭ２ｃは、第１期間Ｔ１で基準電圧ＶＢから第１調整電圧Ｖａｄ１まで変化した後、第２期間Ｔ２で第１調整電圧Ｖａｄ１を維持し、第３期間で第１調整電圧Ｖａｄ１から当該第１調整電圧Ｖａｄ１よりも少し高い第２調整電圧Ｖａｄ２（Ｖａｄ１＜Ｖａｄ２＜ＶＢ）まで変化し、第４期間で第２調整電圧Ｖａｄ２を維持した後、第２調整電圧Ｖａｄ２から基準電圧ＶＢまで戻る調整パルスＰａ３を有する駆動信号である。すなわち、この調整用駆動信号ＣＯＭ２ｃは、異なる２つの調整電圧Ｖａｄ１，Ｖａｄ２を有している点で、他の調整用駆動信号と異なっている。この調整用駆動信号ＣＯＭ２ｃでは、パルス選択スイッチ３７によって、第４期間Ｔ４において調整用振動部に印加する調整電圧を第１調整電圧Ｖａｄ１または第２調整電圧Ｖａｄ２の何れかを選択することができる。すなわち、例えば、第４期間Ｔ４において調整用振動部に印加する調整電圧を第１調整電圧Ｖａｄ１に設定する場合、第１期間Ｔ１および第２期間Ｔ２においてはパルス選択スイッチ３７が接続状態とされて、調整用駆動信号ＣＯＭ２ｃが調整用振動部に印加され、第２期間Ｔ２と第３期間Ｔ３との境においてパルス選択スイッチ３７が切断状態とされる。圧電素子１６は、コンデンサーのように振る舞うので、圧電素子１６の電圧は、パルス選択スイッチ３７が切断される直前の電圧である第１調整電圧Ｖａｄ１に維持される。また、例えば、第４期間Ｔ４において調整用振動部に印加する調整電圧を第２調整電圧Ｖａｄ２に設定する場合、期間Ｔ１〜Ｔ４において調整用駆動信号ＣＯＭ２ｃのパルスＰａ３全体が調整用振動部に印加されるようにパルス選択スイッチ３７が接続状態とされる。あるいは期間Ｔ１〜Ｔ３においてはパルス選択スイッチ３７が切断状態とされ、第４期間Ｔ４においてパルス選択スイッチ３７が接続状態に切り替えられる。このように、調整用駆動信号ＣＯＭ２ｃに複数の調整電圧が含まれることにより、リファレンス振動周期からの差分のデータに応じてよりより適した調整電圧を容易に選択することが可能となる。

図９は、第３の実施形態における駆動信号ＣＯＭｓの構成を説明する波形図である。図９における上段は、駆動信号ＣＯＭｓの原波形を示し、中段は駆動信号ＣＯＭｓの中から検査対象振動部の圧電素子１６に印加される波形パターンを示し、下段は駆動信号ＣＯＭｓの中から調整用振動部の圧電素子１６に印加される波形パターンを示している。上記各実施形態においては、検査用駆動信号と調整用駆動信号とがそれぞれ異なる駆動信号である構成であったのに対し、本実施形態においては、１つの駆動信号が検査用駆動信号（第１駆動信号）と調整用駆動信（第２駆動信号）とを兼ねる構成となっている点が上記各実施形態と異なっている。なお、駆動信号ＣＯＭｓに対応させてパルス選択スイッチ３７の制御信号であるＣＨ信号が図示されている。駆動信号ＣＯＭｓは、検査対象振動部の圧電素子１６と調整用振動部の圧電素子１６とに共通に供給され、パルス選択スイッチ３７の切り替えにより、駆動信号ＣＯＭｓの中から所定の波形要素が印加される。

同図において上段に示される駆動信号ＣＯＭｓは、第１期間Ｔ１、第２期間Ｔ２、第３期間Ｔ３、および第４期間の合計４つの期間に分けられている。第１期間Ｔ１においては基準電圧ＶＢでもある第１調整電圧Ｖａｄ１から当該第１調整電圧Ｖａｄ１よりも高い第２調整電圧Ｖａｄ２（圧力室２１を収縮させる収縮電圧）まで変化する。また、第２期間Ｔ２において第２調整電圧Ｖａｄ２から当該第２調整電圧Ｖａｄ２と第１調整電圧Ｖａｄ１との間の第３調整電圧Ｖａｄ３（圧力室２１を膨張させる膨張電圧）まで変化し、当該第３調整電圧Ｖａｄ３から第２調整電圧Ｖａｄ２まで戻る逆台形波の検査用駆動パルスＰｄ″が発生される。そして、第３期間Ｔ３において第２調整電圧Ｖａｄ２から第１調整電圧Ｖａｄ１まで変化した後、第４期間Ｔ４では第１調整電圧Ｖａｄ１（基準電圧ＶＢ）で一定となっている。これらの期間Ｔ１〜Ｔ４のうち、第２期間Ｔ２が、圧力室２１内のインクに圧力振動を生じさせる振動発生期間であり、第４期間Ｔ４は、第２期間Ｔ２で発生されたインクの圧力振動を検出する検出期間である。

図９の中段に示されるように、検査対象振動部の圧電素子１６に対しては調整用駆動信号ＣＯＭ２ｓの中から第１期間Ｔ１における第２調整電圧Ｖａｄ２で一定の成分と、第２期間Ｔ２における検査用駆動パルスＰｄ″と、第３期間Ｔ３における第２調整電圧Ｖａｄ２で一定の成分とが、パルス選択スイッチ３７によって選択的に印加される。また、図９の下段に示されるように、調整用振動部の圧電素子１６に対しては、第１期間Ｔ１および第４期間Ｔ４における第１調整電圧Ｖａｄ１で一定の成分がパルス選択スイッチ３７によって選択的に印加されることで、期間Ｔ１〜Ｔ４に亘って第１調整電圧Ｖａｄ１（図９中実線）で維持することができる。また、第１期間Ｔ１および第３期間Ｔ３における第２調整電圧Ｖａｄ２で一定の成分がパルス選択スイッチ３７によって調整用振動部の圧電素子１６に選択的に印加されることで、期間Ｔ１〜Ｔ４に亘って第２調整電圧Ｖａｄ２（図９中破線）で維持することができる。さらに、第２期間Ｔ２における第３調整電圧Ｖａｄ３で一定の成分がパルス選択スイッチ３７によって調整用振動部の圧電素子１６に選択的に印加されることで、期間Ｔ１〜Ｔ４に亘って第３調整電圧Ｖａｄ３（図９中一点鎖線）で維持することができる。このように、検査用振動部と調整用振動部とで共通の駆動信号ＣＯＭｓを用いる場合においてもその中の波形成分を選択的に印加することにより、検査用振動部においては検査用駆動パルスＰｄ″により検査を行うことができ、また、調整用振動部においてはリファレンス振動周期からの差分のデータに応じてよりより適した調整電圧を容易に選択することが可能となる。

なお、駆動信号の構成は、各実施形態において例示したものには限られるものではなく、種々の波形のものを採用することができる。要するに、検査処理において検査対象振動部を駆動して圧力室２１内のインクに圧力振動を生じさせ、また、少なくとも検出期間において調整用振動部に一定の調整電圧を印加して当該調整用振動部を変形させた状態を維持させることで、検査対象振動部の振動周期を調整し得るものであればよい。

図１０から図１２は本発明における他の実施形態について説明する図である。
上記第１の実施形態においては、検知用振動部である圧電素子１６ａに対して隔壁２５を１つ挟んで隣り合う圧電素子１６ｂ，１６ｃが調整用振動部として機能する構成を例示したが、これには限られず、例えば、図１０に示される第４の実施形態のように、検知用振動部（圧電素子１６ａ）と調整用振動部（圧電素子１６ｄ，１６ｅ）との間に検知および調整に係らない別の圧電素子１６（圧電素子１６ｂ，１６ｃ）が配置されていてもよい。要するに、調整用振動部として駆動したときに検知用振動部にテンションが作用するような位置関係にある圧電素子１６およびこれに対応する可撓面であれば、調整用振動部として機能させることが可能である。

また、図１１に示される第５の実施形態のように、１つの検知用振動部に対して３つ以上（３列以上）の圧電素子１６ｂ〜１６ｅが調整用振動部として機能する構成を採用することもできる。このように、より多くの調整用振動部が駆動することにより検知用振動部により大きなテンション変化を作用させることができる。これにより、検知用振動部の振動周期等の調整幅（特に、テンションを高める側）をより大きく確保することが可能となる。

さらに、図１２に示される第６の実施形態における圧電素子４１は、圧電体層と電極層（何れも図示せず）とを交互に積層した圧電板を櫛歯状に切り分けることで作製された積層型であって、積層方向（電界方向）に直交する方向に伸縮する電界横効果型の所謂縦振動モードの圧電素子である。そして、例えば、検知用振動部としての圧電素子４１ａの振動期間において、圧電素子４１ｂ，４１ｃおよび対応する可撓面２２が調整用振動部として機能し、検知用振動部の振動周期を調整することができる。この例においては、調整用振動部に印加する調整信号の電圧を低くするほど当該調整用振動部が伸張し、これに応じて可撓面２２が、圧力室２１の内側に変位する。これにより、検知用振動部の可撓面２２が両側から引張され、当該可撓面２２に対してテンションが付与される。このような構成においても、上記各実施形態と同様に、検知用振動部の振動周期等を調整することが可能である。

そして、本発明は、圧電素子を駆動させることで圧力室内の液体に生じる圧力振動によりノズルから液体を噴射させる構成を有する液体噴射装置であれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。

１...プリンター，２...記録ヘッド，３...インクカートリッジ，４...キャリッジ，５...プラテン，６...記録紙，７...キャリッジ移動機構，８...紙送り機構，９...ガイドロッド，１１...ノズルプレート，１２...アクチュエーター基板，１３...連通基板，１４...圧力室形成基板，１５...振動板，１６...圧電素子，１７...封止板，１８...ケース，１９...収容空部，２０...インク導入路，２１...圧力室，２２...可撓面，２３...ノズル連通口，２４...ノズル，２５...隔壁，２６...共通液室，２７...個別連通口，３０...ヘッドコントローラー，３１...プリンターコントローラー，３２...プリントエンジン，３３...外部インタフェース，３４...記憶部，３５...ＣＰＵ，３６...駆動信号発生回路，３７...パルス選択スイッチ，３８...振動検出回路，３９...スイッチ，４０...温度センサー，４１...圧電素子

Claims (5)

1. 複数の空部が形成された基板と、前記基板における前記空部の一部を区画する可撓面と、前記空部に対応して前記可撓面を挟んで反対側に設けられた圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドと、
   前記圧電素子を駆動したときに生じる振動による当該圧電素子の起電力に基づいて前記空部に連通するノズルからの液体の噴射について検査を行う検査機構と、
   を備える液体噴射装置であって、
   複数の前記空部に対応した複数の圧電素子のうちの検査対象の第１圧電素子に印加する第１駆動信号と、前記第１圧電素子とは異なる第２圧電素子に印加する第２駆動信号を発生する信号発生回路を備え、
   前記第２駆動信号は、少なくとも前記第１駆動信号により前記第１圧電素子およびこれに対応する前記可撓面からなる第１振動部が駆動されたときの振動に基づき前記検査機構により検査が行われる検出期間において、前記第２圧電素子およびこれに対応する前記可撓面からなる第２振動部を変形させた状態を維持し、
   前記第２駆動信号は、前記検出期間において一定の調整電圧に維持し、
   前記液体噴射ヘッドの温度を検出する温度検出機構を備え、
   前記温度検出機構により検出される温度に応じて前記調整電圧が変化することを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記第２駆動信号は、異なる複数の前記調整電圧を有することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 複数の空部が形成された基板と、前記基板における前記空部の一部を区画する可撓面と、前記空部に対応して前記可撓面を挟んで反対側に設けられた圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドと、
   前記圧電素子を駆動したときに生じる振動による当該圧電素子の起電力に基づいて前記空部に連通するノズルからの液体の噴射について検査を行う検査機構と、
   を備える液体噴射装置であって、
   複数の前記空部に対応した複数の圧電素子のうちの検査対象の第１圧電素子に印加する第１駆動信号と、前記第１圧電素子とは異なる第２圧電素子に印加する第２駆動信号を発生する信号発生回路を備え、
   前記第２駆動信号は、少なくとも前記第１駆動信号により前記第１圧電素子およびこれに対応する前記可撓面からなる第１振動部が駆動されたときの振動に基づき前記検査機構により検査が行われる検出期間において、前記第２圧電素子およびこれに対応する前記可撓面からなる第２振動部を変形させた状態を維持し、
   前記第２駆動信号は、前記検出期間の前に前記第１駆動信号により前記第１振動部が振動される振動発生期間において前記第２振動部を振動させて前記第１振動部の振動を増幅させる波形要素を発生することを特徴とする液体噴射装置。
4. 前記第２駆動信号は、前記検出期間において一定の調整電圧に維持されることを特徴と
   する請求項３に記載の液体噴射装置。
5. 前記第１振動部と前記第２振動部とは、前記空部を区画する壁を１つ隔てて互いに隣接していることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射装置。

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