JP2011235594A - 液体噴射装置のパルス設定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル列毎に特性ばらつきが生じていても、液体流路内に存在する気泡の排出性を確保することが可能な液体噴射装置のパルス設定方法を提供する。
【解決手段】気泡発生駆動パルスを圧電振動子に印加する気泡発生工程Ｓ１０と、検査用駆動パルス群をノズル列に対応した圧電振動子毎に印加する検査フラッシングＳ２０と、噴射駆動パルスを印加することで各ノズルから所定の状態としてインクが噴射されたか否かを検査する噴射不良検査工程Ｓ３０と、噴射不良検査工程によってノズルから所定の状態としてインクが噴射されなかったと判断された場合に、検査用駆動パルスの波形要素を変更して検査フラシングに戻る一方、ノズルから所定の状態としてインクが噴射されたと判断された場合に、検査フラッシングで用いられた検査用駆動パルス群のうち少なくとも何れかの検査用駆動パルスをフラッシング用駆動パルスとして設定するパルス設定工程Ｓ４０とを含む。
【選択図】図７

Description

本発明は、ノズルに連通する圧力室に圧力変動を与えて、圧力室内の液体をノズルから噴射させる液体噴射ヘッドを備えるインクジェット式プリンター等の液体噴射装置のパルス設定方法に関する。

液体噴射装置は、液体を噴射（吐出）可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズルから液滴状のインクを記録紙等の記録媒体（噴射対象）に対して噴射・着弾させることで画像等の記録を行うインクジェット式プリンター（以下、単にプリンターという。）等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、或いはＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等のディスプレイ製造装置においては、色材や電極等の液体状の各種材料を、画素形成領域や電極形成領域等に対して噴射するためのものとして、液体噴射装置が用いられている。

上記の記録ヘッドでは、液体状のインクを封入したインクカートリッジなどの液体貯留部からのインクが導入されると共に、リザーバーから圧力室を経てノズルに至る一連の液体流路が形成された流路ユニットや圧力室の容積を変動可能な圧力発生素子を有するアクチュエーターユニットなどを備えている。この記録ヘッドでは、自然蒸発によるインクの増粘や、インクに混入した気泡の圧力変動の吸収による圧力損失などによって、ノズルからインクが噴射されない、所謂ドット抜けや飛翔曲がりが発生する虞があり、インクの噴射不良を発生させる等の不具合を招く問題があった。

このようなインクの噴射不良を防止するため、種々のメンテナンス処理が実行されている。例えば、駆動パルスを圧力発生素子に印加して圧力発生素子を駆動させることで圧力室内に圧力変化を与えてノズルから液滴の空吐出を行う（以下、フラッシングという）ことによって、増粘したインクやインクに混入した気泡を強制的に除去することが行われている。フラッシングとは、液滴を紙などの着弾対象に着弾させることで、所定の着弾状態（例えば、画像）を得るための噴射領域、噴射タイミングとは別に設けられたフラッシング専用領域、フラッシング専用タイミングにおいて、ノズルから液滴を吐出させる動作のことである。

ところで、液体の粘度は、温度に応じて変化する。このため、フラッシング用駆動パルスを圧力発生素子に印加した際の気泡の排出性が変化する。このような温度変化に対応するために、圧力室を膨張させる第１のパルス部分と、膨張した圧力室を収縮させる第２のパルス部分と、第１のパルス部分と第２のパルス部分との間で膨張した圧力室の容積を保持（維持）する中間パルス部分とを含んでフラッシング用駆動パルスを構成し、記録ヘッドまたは記録ヘッド周辺の環境温度に応じて中間パルス部分の時間幅を調整（変更）することによって、フラッシング用駆動パルスを圧力発生素子に印加した際に圧力室に与える圧力変動を温度変化に応じて変化させて、圧力室内の気泡の排出性を向上させることが可能なプリンターが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−２８６０７４号公報

しかしながら、上記プリンターにおいても、記録ヘッドの製造時に、液体流路や圧力発生素子の寸法などが予め設定された設計値に対して誤差が生じることがあり、この結果、ノズル列（より詳しくはノズル）毎に、このような製造誤差に起因する特性ばらつきが生じる。この特性とは、例えば、圧力室内のインクに生じるヘルムホルツ共振周期（固有振動周期Ｔｃ）や、ノズル列毎に圧力発生手段が異なる場合において特定の電圧を印加したときの各圧力発生手段の変位量等である。このため、このような特性ばらつきを有する記録ヘッドに対して、上記したフラッシング用駆動パルスを用いて一律にフラッシングを行うと、ノズル列毎に気泡の排出性にばらつきが生じる可能性がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル列毎に特性ばらつきが生じていても、液体流路内に存在する気泡の排出性を確保することが可能な液体噴射装置のパルス設定方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の液体噴射装置のパルス設定方法は、複数のノズルから構成されるノズル群を複数列設し、各ノズルに連通する圧力室の容積を変動させる圧力発生手段を駆動することで前記ノズルから液体を噴射して着弾対象に着弾させる液体噴射ヘッドと、前記圧力発生手段を駆動する駆動パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を備えた液体噴射装置の設定方法であって、
前記駆動信号発生部は、噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで前記着弾対象に向けて液体を噴射する噴射処理とは別に、前記液体噴射ヘッドの液体流路内の気泡を除去する第1の駆動パルスと、当該第1の駆動パルスが決定される前の暫定的な第２の駆動パルスを複数種類含む第２の駆動パルス群と、前記ノズルから液体内に気泡を意図的に取り込むことができる第３の駆動パルスと、を発生可能であり、
前記第２の駆動パルスは、前記圧力室の容積が変化するように電圧を変化させる第１の電圧変化要素と、電圧を一定値で維持する電圧維持要素と、第１の電圧変化要素によって電圧が変化した方向とは反対方向に電圧を変化させる第２の電圧変化要素と、を含み、
前記第２の駆動パルス群を構成する各第２の駆動パルスは、各波形要素の少なくとも何れか１つがそれぞれで異なり、
前記第３の駆動パルスを前記圧力発生手段に印加する第１の工程と、
前記第２の駆動パルス群を前記ノズル群に対応した前記圧力発生手段毎に印加する第２の工程と、
前記第２の工程の後に、前記噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで、各ノズルから液体が所定の状態として噴射されたか否かを検査する第３の工程と、
前記第３の工程によって前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、前記第２の駆動パルスの波形要素のうちの少なくとも１つのパラメーターを変更して前記第２の工程に戻る一方、前記ノズルから液体が所定の状態として噴射されたと判断された場合に、前記第２の工程で用いられた第２の駆動パルス群のうち少なくとも何れかの第２の駆動パルスを前記ノズル群に対応する前記第１の駆動パルスとして設定する第４の工程と、を含むことを特徴とする。
なお、「気泡を除去する」とは、ノズルからの液体の噴射によって流路内に残存する気泡を排出するために、気泡を液体内に溶解させる現象を含め、液体及び当該液体に残存する気泡をノズルから排出させる現象を意味する。
また、「所定の状態」とは、ノズルから噴射される液体が流路内の気泡を外部に排出できる状態を言う。

この構成よれば、駆動信号発生部は、噴射駆動パルスを圧力発生手段に印加することで着弾対象に向けて液体を噴射する噴射処理とは別に、液体噴射ヘッドの液体流路内の気泡を除去する第１の駆動パルスと、第１の駆動パルスが決定される前の暫定的な第２の駆動パルスを複数種類含む第２の駆動パルス群と、ノズルから液体内に気泡を意図的に取り込むことができる第３の駆動パルスと、を発生可能であり、第２の駆動パルスは、圧力室の容積が変化するように電圧を変化させる第１の電圧変化要素と、電圧を一定値で維持する電圧維持要素と、第１の電圧変化要素によって電圧が変化した方向とは反対方向に電圧を変化させる第２の電圧変化要素と、を含み、第２の駆動パルス群を構成する各第２の駆動パルスは、各波形要素の少なくとも何れか１つがそれぞれで異なり、第３の駆動パルスを圧力発生手段に印加する第１の工程と、第２の駆動パルス群を前記ノズル群に対応した圧力発生手段毎に印加する第２の工程と、第２の工程の後に、噴射駆動パルスを圧力発生手段に印加することで、各ノズルから液体が所定の状態として噴射されたか否かを検査する第３の工程と、第３の工程によってノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、第２の駆動パルスの波形要素のうちの少なくとも１つのパラメーターを変更して第２の工程に戻る一方、前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、第２の工程で用いられた第２の駆動パルス群のうち少なくとも何れかの第２の駆動パルスを前記ノズル群に対応する第１の駆動パルスとして設定する第４の工程と、を含むので、製造誤差などによってノズル群毎に特性ばらつきがある場合においても、各ノズル群に対応する液体流路内に存在する気泡の排出性を確保し、各ノズル群に対して噴射能力を回復させることが可能なフラッシング用としての第１の駆動パルスを設定することができる。即ち、各ノズル群の特性に応じた効果的な第１の駆動パルスを複数種類の第２の駆動パルスの中から設定することができる。この結果、設定した第１の駆動パルスを各ノズル群に対応する圧力発生手段に印加することにより、ノズル群毎の特性ばらつきによらず、各ノズル群の噴射能力を回復させることができる。

上記構成において、前記第４の工程には、前記第３の工程において前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、前記第２の工程において前記圧力発生手段に印加した第２の駆動パルス群の中から第１の駆動パルスとして採用する第２の駆動パルスを選定する選定処理を含むことが望ましい。

この構成によれば、第４の工程には、第３の工程においてノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、第２の工程において圧力発生手段に印加した第２の駆動パルス群の中から第１の駆動パルスとして採用する第２の駆動パルスを選定する選定処理を含むので、第２の駆動パルスの中から各ノズル群の特性に応じたより効果的なフラッシング用の第１の駆動パルスを設定することができる。

また、本発明の液体噴射装置のパルス設定方法は、複数のノズルから構成されるノズル群を複数列設し、各ノズルに連通する圧力室の容積を変動させる圧力発生手段を駆動することで前記ノズルから液体を噴射して着弾対象に着弾させる液体噴射ヘッドと、前記圧力発生手段を駆動する駆動パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を備えた液体噴射装置のパルス設定方法であって、
前記駆動信号発生部は、噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで前記着弾対象に向けて液体を噴射する噴射処理とは別に、前記液体噴射ヘッドの液体流路内の気泡を除去する第１の駆動パルスと、当該第１の駆動パルスが決定される前の暫定的な第２の駆動パルスと、前記ノズルから液体内に気泡を意図的に取り込むことができる第３の駆動パルスと、を発生可能であり、
前記第２の駆動パルスは、前記圧力室の容積が変化するように電圧を変化させる第１の電圧変化要素と、電圧を一定値で維持する電圧維持要素と、第１の電圧変化要素によって電圧が変化した方向とは反対方向に電圧を変化させる第２の電圧変化要素と、を含み、
前記第３の駆動パルスを前記圧力発生手段に印加する第１の工程と、
前記第２の駆動パルスを前記ノズル群に対応した前記圧力発生手段毎に複数印加する第２の工程と、
前記第２の工程の後に、前記噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで、各ノズルから所定の状態として液体が噴射されたか否かを検査する第３の工程と、
前記第３の工程によって前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、前記第２の駆動パルスの波形要素又は第２の駆動パルス同士を接続するパルス接続要素のうちの少なくとも１つのパラメーターを変更して前記第２の工程に戻る一方、前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、前記第２の工程で用いられた第２の駆動パルスを、前記ノズル群に対応する前記第１の駆動パルスとして設定する第４の工程と、を含むことを特徴とする。

この構成よれば、駆動信号発生部は、噴射駆動パルスを圧力発生手段に印加することで着弾対象に向けて液体を噴射する噴射処理とは別に、液体噴射ヘッドの液体流路内の気泡を除去する第１の駆動パルスと、第１の駆動パルスが決定される前の暫定的な第２の駆動パルスと、ノズルから液体内に気泡を意図的に取り込むことができる第３の駆動パルスと、を発生可能であり、第２の駆動パルスは、圧力室の容積が変化するように電圧を変化させる第１の電圧変化要素と、電圧を一定値で維持する電圧維持要素と、第１の電圧変化要素によって電圧が変化した方向とは反対方向に電圧を変化させる第２の電圧変化要素と、を含み、第３の駆動パルスを圧力発生手段に印加する第１の工程と、第２の駆動パルスを前記ノズル群に対応した前記圧力発生手段毎に複数印加する第２の工程と、第２の工程の後に、噴射駆動パルスを圧力発生手段に印加することで、各ノズルから所定の状態として液体が噴射されたか否かを検査する第３の工程と、第３の工程によってノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、第２の駆動パルスの波形要素又は第２の駆動パルス同士を接続するパルス接続要素の何れかのパラメーターのうちの少なくとも１つを変更して第２の工程に戻る一方、ノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、第２の工程で用いられた第２の駆動パルスを、前記ノズル群に対応する第１の駆動パルスとして設定する第４の工程と、を含むので、製造誤差などによってノズル群毎に特性ばらつきがある場合においても、各ノズル群に対応する液体流路内に存在する気泡の排出性を確保し、各ノズル群に対して噴射能力を回復させることが可能なフラッシング用の第１の駆動パルスを設定することができる。即ち、各ノズル群の特性に応じた効果的なフラッシング用駆動パルスを用いて噴射能力回復処理を行うことができる。この結果、ノズル群毎の特性ばらつきによらず、各ノズル群の噴射能力を回復させることができる。

上記構成において、前記第３の工程によって前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、前記パルス接続要素の時間を、短く又は長くなるように変更することが望ましい。

この構成によれば、第３の工程によってノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、パルス接続要素の時間を短く又は長くなるように変更するので、対のうちの前側の駆動パルスによって圧力発生手段を駆動したときに圧力室内に生じる圧力振動と、後側の駆動パルスによって圧力発生手段を駆動したときに圧力室内に生じる圧力振動とが共振する状態を得ることが可能なフラッシング用の第１の駆動パルスを設定することができる。これにより、気泡の排出性を向上させることができる第１の駆動パルスを確実に設定することができる。
また、第２の駆動パルスの種類を増やすことなく、第１の駆動パルスを設定することができる。

上記構成において、前記第２の工程における各第２の駆動パルスの駆動電圧が、次第に高まり又は次第に低くなることが望ましい。
なお、「駆動電圧」とは、駆動パルスの最低電位から最高電位までの電位差を意味する。

この構成によれば、第２の工程における各第２の駆動パルスの駆動電圧が、次第に高まり又は次第に低くなるので、気泡を液体中に溶解させるために効果的な圧力変動を得ることが可能な第１の駆動パルスを設定することができる。即ち、各ノズル群の特性に応じた効果的なフラッシング用駆動パルスとしての第１の駆動パルスを設定することができる。

上記構成において、前記第２の工程における各第２の駆動パルスを構成する波形要素のうちの少なくとも１つの時間幅が、次第に長くなり又は次第に短くなることが望ましい。

この構成によれば、第２の工程における各第２の駆動パルスを構成する波形要素のうちの少なくとも１つの時間幅が、次第に長くなり又は次第に短くなるので、気泡を液体中に溶解させるために効果的な圧力変動を得ることが可能なフラッシング用となる第１の駆動パルスを設定することができる。即ち、各ノズル群の特性に応じた効果的な第１の駆動パルスを設定することができる。
また、回路の負担を増加することなく、圧力発生手段の駆動状態を変化させながら各第２の駆動パルスを順次印加することができる。

プリンターの概略構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。 ノズルプレートの平面図である。 プリンターの電気的な構成を説明するブロック図である。 記録用駆動信号に含まれる噴射駆動パルスの構成を説明する波形図である。 フラッシング用駆動パルスの基本構成を説明する波形図である。 第１実施形態に係るパルス設定処理の流れを説明するフローチャートである。 検査用駆動パルス群に含まれる検査用駆動パルスの構成を説明する表である。 気泡発生駆動パルスの構成を説明する波形図である。 第２実施形態に係るパルス設定処理の流れを説明するフローチャートである。 第４実施形態に係る検査用駆動パルスの基本構成を説明する図である。 第４実施形態に係る検査用駆動パルスの構成を説明する図である。 第４実施形態に係る他の検査用駆動パルスの構成を説明する波形図である。 第４実施形態に係るさらに他の検査用駆動パルスの構成を説明する波形図である。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、図１に示すインクジェット式記録装置（以下、プリンターと略記する）に適用した場合を例示する。

図１はプリンター１の構成を説明する斜視図、図２は上記の記録ヘッド２の要部断面図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド２が取り付けられると共に、インク（本発明における液体に相当）を貯留するインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４と、記録ヘッド２の下方に配設されたプラテン５と、記録ヘッド２が搭載されたキャリッジ４を記録紙６（本発明における着弾対象に相当）の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構７と、紙幅方向に直交する方向である紙送り方向に記録紙６を搬送する紙送り機構８等を備えて概略構成されている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向（ヘッド走査方向）であり、紙送り方向とは、副走査方向（即ち、ヘッド走査方向に直交する方向）である。

キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ４の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー１０によって検出され、検出信号が位置情報として制御部５６（図４参照）に送信される。これにより、制御部５６はこのリニアエンコーダー１０からの位置情報に基づいてキャリッジ４（記録ヘッド２）の走査位置を認識しながら、記録ヘッド２による記録動作（噴射動作）等を制御することができる。

キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側（図１における右側）の端部領域には、走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド２のノズル形成面（ノズルプレート３２：図２参照）を封止するキャッピング部材１２と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１３とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４（記録ヘッド２）が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙６上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能に構成されている。なお、キャッピング部材１２は、インク滴の空吐出（捨て打ち、フラッシングという）を行うことで、増粘したインクやインクに残存した気泡を排除（除去）するための後述するフラッシング処理においてインク滴を受けるインク受け部として用いられる。ここでは、フラッシングをキャッピング部材１２内で行うことを説明したが、この態様に限定されず、例えば、非印字時に記録紙が印刷領域から退避して、印刷領域下にあって、印刷領域に重畳するかのように存在するフラッシング領域に対してフラッシングを行っても良い。

本実施形態における記録ヘッド３は、図２に示すように、圧電振動子群２２、固定板２３、及び、フレキシブルケーブル２４等をユニット化した振動子ユニット２５と、この振動子ユニット２５を収納可能なヘッドケース２６と、リザーバー（共通インク室）３６から圧力室３８を通りノズル３５に至る一連のインク流路を形成する流路ユニット２７とを備えて構成される。

まず、振動子ユニット２５について説明する。圧電振動子群２２を構成する圧電振動子３０（本発明における圧力発生手段の一種）は、縦方向に細長い櫛歯状に形成されており、数十μｍ程度の極めて細い幅に切り分けられている。そして、この圧電振動子３０は縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子として構成されている。各圧電振動子３０は、固定端部を固定板２３上に接合することにより、自由端部を固定板２３の先端縁よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態で固定されている。そして、各圧電振動子３０における自由端部の先端は、後述するように、それぞれ流路ユニット２７におけるダイヤフラム部４２を構成する島部４４に接合される。フレキシブルケーブル２４は、固定板２３とは反対側となる固定端部の側面で圧電振動子３０と電気的に接続されている。また、各圧電振動子３０を支持する固定板２３は、圧電振動子３０からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板材によって構成される。本実施形態では、厚さが１ｍｍ程度のステンレス鋼板によって作製されている。

ヘッドケース２６は、例えば、エポキシ系樹脂により作製された中空箱体状部材であり、その先端面（下面）には流路ユニット２７を固定し、ケース内部に形成された収容空部２８内には、アクチュエーターの一種である振動子ユニット２５を収容している。また、ヘッドケース２６の内部には、その高さ方向を貫通してケース流路２９が形成されている。このケース流路２９は、インクカートリッジ３側からのインクをリザーバー３６に供給するための流路である。

次に、流路ユニット２７について説明する。流路ユニット２７は、ノズルプレート３２、流路形成基板３３、及び振動板３４から構成され、ノズルプレート３２を流路形成基板３３の一方の表面に、振動板３４をノズルプレート３２とは反対側となる流路形成基板３３の他方の表面にそれぞれ配置して積層し、接着等により一体化することで構成されている。

図３は、ノズルプレートの平面図である。
流路ユニット２７の底部に配置されるノズルプレート３２は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば、１８０ｄｐｉ）で複数のノズル３５を副走査方向に沿って開設した薄い金属板である。本実施形態では、例えば、１８０個のノズル３５を列状に開設し、これらのノズル３５によってノズル列３９（本発明におけるノズル群に相当）を構成している。そして、このノズル列３９を横並びに２列設けている。即ち、ノズルプレート３２には、ノズル列３９Ａと、ノズル列３９Ｂとが設けられている。

本実施形態では、ノズル列３９Ａは、ノズルグループ３９Ａ１とノズルグループ３９Ａ２の２つにグループ分けされている。ノズルグループ３９Ａ１は、1番目（一端）のノズル３５Ａ１から９０番目（中央の一端側）のノズル３５Ａ９０までのノズルによって構成され、ノズルグループ３９Ａ２は、９1番目（中央の他端側）のノズル３５Ａ９１から１８０番目（他端）のノズル３５Ａ１８０までのノズルによって構成されている。なお、ノズル列３９Ｂは、ノズル列３９Ａと同様に２つのノズルグループ３９Ｂ１，３９Ｂ２にグループ分けされている。

流路形成基板３３は、リザーバー３６、インク供給口３７、及び圧力室３８からなる一連のインク流路を形成する板状部材である。具体的には、この流路形成基板３３は、各ノズル開口３５に対応させて圧力室３８となる空部を隔壁で区画した状態で複数形成すると共に、インク供給口３７およびリザーバー３６となる空部を形成した板状の部材である。そして、本実施形態の流路形成基板３３は、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されている。上記の圧力室３８は、ノズル３５の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成され、インク供給口３７は、圧力室３８とリザーバー３６との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。また、リザーバー３６は、インクカートリッジ３に貯留されたインクを各圧力室３８に供給するための室であり、インク供給口３７を通じて対応する各圧力室３８に連通している。

振動板３４は、ステンレス鋼等の金属製の支持板４０上にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂フィルム４１をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、圧力室３８の一方の開口面を封止してこの圧力室３８の容積を変動させるためのダイヤフラム部４２を有すると共に、リザーバー３６の一方の開口面を封止するコンプライアンス部４３が形成された部材である。そして、ダイヤフラム部４２は、圧力室３８に対応した部分の支持板４０にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して圧電振動子３０の自由端部の先端を接合するための島部４４を形成することで構成されている。この島部４４は、圧力室３８の平面形状と同様に、ノズル３５の列設方向と直交する方向に細長いブロック状であり、この島部４４の周りの樹脂フィルム４１が弾性体膜として機能する。また、コンプライアンス部４３として機能する部分、すなわちリザーバー３６に対応する部分は、このリザーバー３６の開口形状に倣って支持板４０がエッチング加工で除去されて樹脂フィルム４１のみとなっている。

そして、上記の島部４４には圧電振動子３０の先端面が接合されているので、この圧電振動子３０の自由端部を伸縮させることで圧力室３８の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力室３８内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド２は、この圧力変動を利用してノズル３５からインク滴を噴射させるようになっている。

次に、プリンター１の電気的な構成を説明する。
図４は、プリンター１の電気的な構成を示すブロック図である。本実施形態におけるプリンター１は、プリンターコントローラー５０（本発明における駆動信号発生部に相当）とプリントエンジン５１とで概略構成されている。プリンターコントローラー５０は、ホストコンピューター等の外部装置からのデータが入力される外部インターフェース（外部Ｉ／Ｆ）５２と、各種データ等を記憶するＲＡＭ５３と、各種データ処理のための制御ルーチン等を記憶したＲＯＭ５４と、各部の制御を行う制御部５６と、クロック信号を発生する発振回路５７と、記録ヘッド２へ供給する駆動信号ＣＯＭを発生する駆動信号発生回路５８と、印刷データ（ドットパターンデータ）や駆動信号等ＣＯＭを記録ヘッド２に出力するための内部インターフェース（内部Ｉ／Ｆ）５９と、を備えている。

制御部５６は、外部装置から外部Ｉ／Ｆ５２を通じて受信した印刷データをドットパターンデータに変換し、このドットパターンデータを内部Ｉ／Ｆ５９を通じて記録ヘッド２側に出力する。このドットパターンデータは、階調データをデコード（翻訳）することにより得られる印刷データによって構成されている。また、制御部５６は、発振回路からのクロック信号に基づいて記録ヘッド２に対してラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨを供給する。これらのラッチ信号やチェンジ信号は、駆動信号ＣＯＭを構成する各駆動パルスＰの供給タイミングを規定する。

駆動信号発生回路５８は、単位周期Ｔに相当する１画素分の区間（１噴射周期又は１記録周期）内に、圧電振動子３０を駆動してノズル３５から記録紙６に向けてインクを噴射すること、即ち、記録紙６に対して画像等を記録するべくインクを噴射することを主目的とする噴射駆動パルスＤＰ（本発明における駆動パルスの一種）を１つ又は複数、或いは他の波形の駆動パルスと共に含み、これを繰り返し単位とした記録用駆動信号ＣＯＭ１を発生する。また、駆動信号発生回路５８は、後述するフラッシング処理として実行されるフラッシングに用いられる第1の駆動パルスとなるフラッシング用駆動パルスＦＬＰを複数含むフラッシング用駆動信号ＣＯＭ２を発生する。そして、駆動信号発生回路５８は、この駆動信号ＣＯＭ１，ＣＯＭ２をそれぞれ内部Ｉ／Ｆ５９を介して記録ヘッド２側に供給する。

図５は、上記構成の駆動信号発生回路５８が発生する記録用駆動信号ＣＯＭ１に含まれる噴射駆動パルスＤＰの構成を説明する波形図である。なお、図５において、縦軸は噴射駆動パルスＤＰの電位であり、横軸は時間［μｓ］である。また、噴射駆動パルスＤＰの最低電位ＶＬ１から最高電位ＶＨ１までの電位差はｖｈ１に設定されている。
記録用駆動信号ＣＯＭ１に含まれる噴射駆動パルスＤＰは、画像等の記録に用いられる駆動パルスの一例である。記録用駆動信号ＣＯＭ１は、１つの噴射駆動パルスＤＰを、ＬＡＴ信号で区切られる単位周期Ｔ内に含んで構成されている。なお、本発明における噴射駆動パルスＤＰは、例示した波形に限られず、他の要素を含んで構成されていても良い。

噴射駆動パルスＤＰは、時間幅ｔ１の間に基準電位ＶＢから最高（膨張）電位ＶＨ１までプラス側に電位が変化して圧力室３８を膨張させる膨張要素ｐ１と、最高電位ＶＨ１を一定時間（時間幅ｔ２）維持する膨張維持要素ｐ２と、時間幅ｔ３の間に最高電位ＶＨ１から最低（収縮）電位ＶＬ１までマイナス側に電位が変化して圧力室３８を急激に収縮させる収縮要素ｐ３と、収縮電位ＶＬ１を一定時間（時間幅ｔ４）維持する収縮維持（制振ホールド）要素ｐ４と、時間幅ｔ５の間に最低電位ＶＬ１から基準電位ＶＢまで電位が復帰する制振（復帰）要素ｐ５と、から構成される。

噴射駆動パルスＤＰが圧電振動子３０に供給されると次のように作用する。まず、膨張要素ｐ１が圧電振動子３０に供給されると、当該圧電振動子３０が収縮し、これに伴って圧力室３８が基準電位ＶＢに対応する基準容積から最高電位ＶＨ１に対応する最大容積まで変化、ここでは膨張する。これにより、ノズル３５に露出しているメニスカスが圧力室３８側に引き込まれる。この圧力室３８の膨張状態は、膨張維持要素ｐ２の供給期間中に亘って一定に維持される。

膨張維持要素ｐ２の後に続いて膨張要素ｐ１によって電圧が変化した方向とは反対方向に電圧を変化させる要素となる収縮要素ｐ３が圧電振動子３０に供給されると当該圧電振動子３０が伸長し、これにより、圧力室３８が上記最大容積から最低電位ＶＬ１に対応する最小容積まで急激に変化、ここでは収縮する。この圧力室３８の急激な収縮によって圧力室３８内のインクが加圧され、これにより、ノズル３５からは数ｐｌ〜数十ｐｌのインクが噴射される。この圧力室３８の収縮状態は、収縮維持要素ｐ４の供給期間に亘って短時間維持され、その後、制振要素ｐ５が圧電振動子３０に供給されて、圧力室３８が最低電位ＶＬ１に対応する容積から基準電位ＶＢに対応する基準容積まで復帰する。

次に、プリントエンジン４１側の構成について説明する。プリントエンジン４１は、記録ヘッド２と、キャリッジ移動機構７と、紙送り機構８と、リニアエンコーダー１０と、から構成されている。記録ヘッド２は、シフトレジスター（ＳＲ）６０、ラッチ６１、デコーダー６２、レベルシフター（ＬＳ）６３、スイッチ６４、及び圧電振動子３０を、各ノズル３５に対応させて複数備えている。プリンターコントローラー５０からのドットパターンデータは、発振回路５７からのクロック信号（ＣＫ）に同期して、シフトレジスター６０にシリアル伝送される。

シフトレジスター６０には、ラッチ６１が電気的に接続されており、プリンターコントローラー５０からのラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ６１に入力されると、シフトレジスター６０のドットパターンデータをラッチする。このラッチ６１にラッチされたドットパターンデータは、デコーダー６２に入力される。このデコーダー６２は、２ビットのドットパターンデータを翻訳してパルス選択データを生成する。本実施形態におけるパルス選択データは、合計２ビットのデータによって構成されている。

そして、デコーダー６２は、ラッチ信号（ＬＡＴ）又はチャンネル信号（ＣＨ）の受信を契機にパルス選択データをレベルシフター６３に出力する。この場合、パルス選択データは、上位ビットから順にレベルシフター６３に入力される。このレベルシフター６３は、電圧増幅器として機能し、パルス選択データが「１」の場合、スイッチ６４を駆動できる電圧、例えば数十ボルト程度の電圧に昇圧された電気信号を出力する。レベルシフター６３で昇圧された「１」のパルス選択データは、スイッチ６４に供給される。このスイッチ６４の入力側には、駆動信号発生回路５８からの駆動信号ＣＯＭが供給されており、スイッチ６４の出力側には、圧電振動子３０が接続されている。

そして、パルス選択データは、スイッチ６４の作動、つまり、駆動信号ＣＯＭ中の駆動パルスＰの圧電振動子３０への供給を制御する。例えば、スイッチ６４に入力されるパルス選択データが「１」である期間中は、スイッチ６４が接続状態になって、対応する駆動パルスＰが圧電振動子３０に供給され、この駆動パルスＰの波形に倣って圧電振動子３０の電位レベルが変化する。一方、パルス選択データが「０」である期間中は、レベルシフター６３からはスイッチ６４を作動させるための電気信号が出力されない。このため、スイッチ６４は切断状態となり、圧電振動子３０へは噴射パルスが供給されない。

ここで、記録ヘッド２のインク流路内のインクに残存する気泡について説明する。プリンター１は、インクカートリッジ３からのインクの初期充填時や記録処理によってノズル３５内のメニスカス（インクの自由表面）が急激に振動することなどでインクに気泡が混入する場合がある。そして、このような気泡が圧力変動を吸収することによって、ノズル３５からインクが噴射されない、所謂ドット抜けや飛翔曲がり等の吐出不良が発生する虞があった。そのため、プリンター１は、噴射駆動パルスＤＰを用いて記録紙６に対してインクを噴射させてテキストや画像等の印刷を行なう記録処理（印刷処理）の後や記録処理の実行中において一定間隔毎などに、記録ヘッド２をホームポジションのキャッピング部材１２やプラテン上に設けられたフラッシングポイントと呼ばれるインクを受ける位置に移動させてインク受け部に相対させた状態で、フラッシング処理としてフラッシングを実行する。このフラッシングでは、フラッシング用駆動パルスＦＬＰを圧電振動子３０に繰り返し印加することによって、増粘したインクやインクに混入した気泡を強制的に除去する。

図６は、フラッシング用駆動パルスＦＬＰの基本構成を説明する波形図である。なお、同図において、縦軸は駆動信号の電位である。また、横軸は時間である。
プリンター１は、フラッシングに用いるフラッシング用駆動パルスＦＬＰ（本発明における第１の駆動パルスに相当）を、繰り返し周期である単位周期Ｔ内に１つ又は複数含むフラッシング用駆動信号ＣＯＭ２を駆動信号発生回路５８から発生可能に構成されている。このフラッシング用駆動パルスＦＬＰは、記録紙６に対してインクを噴射するための噴射駆動パルスＤＰよりも、電位の変化が大きくなるように設定されており、圧力室３８に充填されたインク内の気泡を除去するための駆動パルスである。なお、本発明のフラッシング用駆動パルスＦＬＰを含むフラッシング用駆動信号ＣＯＭを用いるフラッシングでは、この１単位周期Ｔに含まれる駆動信号ＣＯＭ２内の全てのフラッシング用駆動パルスＦＬＰを印加することによる１つ又は複数ショット分の噴射を、フラッシング単位［ｓｅｇ］（フラッシングセグメント）としている。そして、フラッシングでは、所定のフラッシングセグメント数（例えば、合計数〜数千セグメント）だけフラッシング用駆動信号ＣＯＭ２が圧電振動子３０に繰り返し印加（供給）されることで、インク流路内のインクがノズル３５から排出される。

本実施形態におけるフラッシング用駆動パルスＦＬＰは、図６に示すように、台形状のパルス信号であって、最低電位（このパルスにおいては基準電位ＶＢ）から最高電位ＶＨ２までの電位差（本発明における駆動電圧に相当）はｖｈ２（ｖｈ２＞ｖｈ１）に設定されている。このフラッシング用駆動パルスＦＬＰは、時間幅ｔ６の間に基準電位ＶＢから最高電位ＶＨ２（ＶＨ２＞ＶＨ１）まで比較的急峻な一定勾配で電位を上昇（変化）させる膨張要素ｐ６（本発明における波形要素および第１の電圧変化要素の一種）と、膨張要素ｐ６の終端電位である最高電位ＶＨ２を一定時間（時間幅ｔ７）維持する膨張維持要素ｐ７（本発明における波形要素および第１の電圧維持要素の一種）と、時間幅ｔ８（ｔ８＜ｔ７）の間に最高電位ＶＨ２から基準電位ＶＢまで比較的急峻な一定勾配で電位を降下（変化）させる収縮要素ｐ８（本発明における波形要素および第２の電圧変化要素の一種）と、から構成される。

このフラッシング用駆動パルスＦＬＰが圧電振動子３０に印加されると、圧力室３８は、圧電振動子３０が素子長手方向に収縮変形することで、基準電位ＶＢに対応する最小（基準）容積から最高電位ＶＨ２に対応する最大容積まで膨張要素ｐ６の供給期間に亘って膨張し、その後に最大容積を膨張維持要素ｐ７の供給期間に亘って維持し、そして、最大容積から最小容積まで収縮要素ｐ８の供給期間に亘って収縮させる。これにより、圧力室３８の容積を最小容積から最大容積まで変化させた後に最大容積から最小容積まで急激に変化させることができ、記録処理に用いられる噴射駆動パルスＤＰの場合よりも圧力室３８内のインクに生じる圧力変化が高められる。そして、フラッシングにおいては、このフラッシング用駆動パルスＦＬＰを用いて圧力室３８の膨張・収縮が繰り返されることにより、圧力変動を受けた気泡がインクに溶け込み易くなる（即ち、インクへの気泡の溶解が促進される）。その結果、フラッシングやこのフラッシングの後の噴射処理の際に、ノズル３５からインクと共に気泡が排出される。

ところで、上記した複数のノズル列３９Ａ，３９Ｂを有するプリンター１においては、ノズル３５や圧力室３８などのインク流路の製造時の寸法誤差などによって、ノズル列３９（詳しくはノズル３５）毎に特性ばらつきが発生する場合がある。特性のばらつきとしては、圧力室３８内のインクに生じる固有振動周期のばらつきや、特定の電圧を印加したときの圧電振動子３０の変位量（当該変位量のばらつきは、ノズル列３９の噴射特性に関わるので、ノズル列３９の特性のばらつきとも言える。）等が挙げられる。そのため、特性ばらつきを有する記録ヘッド２に対して、同じフラッシング用駆動パルスＦＬＰを用いてフラッシングを行ったとしても、ノズル列３９毎に気泡の排出性にばらつきが生じる。その結果、噴射能力が回復しないノズル列が発生する虞があった。

そこで、本発明におけるプリンター１では、当該プリンター１の出荷前におけるヘッド検査時又はユーザーの使用環境下で、ノズル列３９毎に最適なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定するパルス設定処理を行うことに特徴を有している。このパルス設定処理では、後述する第３の駆動パルスとなる気泡発生駆動パルスＢＰを圧電振動子３０に供給して各ノズル３５からインク内に気泡を意図的に取り込んだ後に、圧電振動子３０の駆動状態（例えば、駆動周波数、変位量の大きさ等）が異なるように予め設定された第２の駆動パルスとなる検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５を用いて、各ノズル３５における検査フラッシング（フラッシングの一種）を実行した後に、噴射不良の回復具合を検査し、検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５の中から各ノズル列３９に対して噴射能力をより効果的に回復させることが可能な検査用駆動パルス群ＦＬＰがフラッシング用駆動パルスとして選定される。

図７は、第１実施形態に係るパルス処理工程の流れを説明するフローチャートである。
第１実施形態のパルス設定処理は、気泡発生駆動パルスＢＰを圧電振動子３０に印加して圧力室３８内のインクに気泡を生じさせる気泡発生工程（第１の工程）Ｓ１０と、検査用駆動パルス群ＦＬＰ１（後述）に含まれる検査用駆動パルスを圧電振動子３０に繰り返し印加して噴射能力回復処理を実行する検査フラッシング（第２の工程）Ｓ２０と、検査フラッシングＳ２０の後に、噴射駆動パルスＤＰを圧電振動子３０に印加することで、各ノズル３５からインクが噴射されたか否かを検査する噴射不良検査工程（第３の工程）Ｓ３０と、噴射不良検査工程Ｓ３０においてノズル３５から所定の状態として、つまり、フラッシングに適している状態（流路内の気泡をヘッド外部に排出できる状態）であるものとしてインクが噴射されたと判断された場合（Ｓ３０：ＹＥＳ）に、検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルス群ＦＬＰ１のうち少なくとも何れかの検査用駆動パルスをフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして設定するパルス設定（第４の工程）Ｓ４０と、噴射不良検査工程Ｓ３０においてインクが所定の状態として噴射されなかったと判断された場合（Ｓ３０：ＮＯ）に実行されるパルス変更工程Ｓ５０が含まれている。次に、パルス設定処理に用いられる検査用駆動パルス群ＦＬＰ１及び気泡発生駆動パルスＢＰについて説明する。

図８は、検査用駆動パルス群ＦＬＰ１に含まれる検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５の構成を説明する表である。なお、この図８の表における「ｖｈ」は駆動電圧の高さ示し、「θ」は検査用駆動パルスＦＬＰ１を構成する電位変化要素の傾き（電圧変化率）を示し、「ｆ」は検査用駆動パルス同士の間隔ｐｈ（対となる検査用駆動パルスのうち前側の検査用駆動パルスと後側の検査用駆動パルスとの間隔）に応じて決まる印加周波数（駆動周波数）を示している。これらの「ｖｈ」、「θ」、及び、「ｆ」は、本発明におけるパラメーターに相当する。そして、これらのパラメーターに関し、いずれも「小」「中」「大」の３つのレベルに分けられている。パラメーターのレベルに関しては、製造上予想される記録ヘッド２の特性ばらつきに対応可能な範囲で任意に設定される。勿論、「小」「中」「大」の３つには限られず、４つ以上のレベルを設定することもできる。
本実施形態の検査用駆動パルス群ＦＬＰ１としては、圧電振動子３０の駆動状態が異なる複数種類の検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５が用意されている。具体的には、検査用駆動パルスＦＬＰ１１は、ｖｈが「大」、θが「大」、ｆが「大」からなるパルスであり、圧電振動子３０の駆動状態を大きくして、圧力室３８内により大きな負圧が発生するように設定されている。検査用駆動パルスＦＬＰ１２は、ｖｈが「中」、θが「中」、ｆが「中」からなるパルスであり、圧電振動子３０の駆動状態が検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５の中では中程になるように設定されている。検査用駆動パルスＦＬＰ１３は、ｖｈが「小」、θが「小」、ｆが「小」からなるパルスであり、圧電振動子３０の駆動状態を小さくして、負圧の発生が検査用駆動パルスＦＬＰ１２よりも抑えられるように設定されている。検査用駆動パルスＦＬＰ１４は、ｖｈが「小」、θが「大」、ｆが「大」からなるパルスであり、駆動電圧を抑える一方、１パルス当たりの圧電振動子３０の駆動周期を早める（即ち、図１１に示すように、検査用駆動パルス同士ＦＬＰ２ａ，ＦＬＰ２ｂの間隔ｐｈを小さくする）ように設定されている。検査用駆動パルスＦＬＰ１５は、ｖｈが「大」、θが「小」、ｆが「小」からなるパルスであり、１パルス当たりの駆動電圧を高める一方、圧電振動子３０の駆動周期を遅くする（検査用駆動パルス同士の間隔ｐｈを大きくする）ように設定されている。

図９は、気泡発生駆動パルスＢＰの構成を説明する波形図である。
次に、気泡発生工程Ｓ１０において用いられる気泡発生駆動パルスＢＰについて説明する。気泡発生駆動パルスＢＰは、噴射駆動パルスＤＰの制振要素ｐ５（時間幅ｔ５）に対応する時間幅ｔ９（ｔ９１＋ｔ９２＋ｔ９３）に、各ノズル３５からインク内に気泡を意図的に取り込むことができる気泡取込要素ｐ９（ｐ９１＋ｐ９２＋ｐ９３）を有している点が、噴射駆動パルスＤＰとは異なる。具体的には、気泡発生駆動パルスＢＰの気泡取込要素ｐ９は、時間幅ｔ９１の間に最低電位ＶＬ１から基準電位ＶＢよりも高い中間電位ＶＭ（ＶＢ＜ＶＭ＜ＶＨ１）までプラス側に電位が変化して圧力室３８を膨張させる第２膨張要素ｐ９１と、中間電位ＶＭを一定時間（時間幅ｔ９２）維持する第２膨張維持要素ｐ９２と、中間電位ＶＭから基準電位ＶＢまでマイナス側に電位が変化して圧力室３８を収縮させる第２収縮要素ｐ９３と、から構成される。また、第２膨張要素ｐ９１の電圧変化率θｂ（図９参照）が、噴射駆動パルスＤＰの制振要素ｐ５の電圧変化率θｄ（図５参照）よりも勾配が急峻になるように設定されている。

そして、気泡取込要素ｐ９の第２膨張要素ｐ９１は、収縮要素ｐ３を圧電振動子３０に印加することによって圧力室３８内のインクに発生する残留振動（その振動周期は、およそ固有振動周期Ｔｃ）に対して同位相になるようなタイミングで圧電振動子３０に印加されることが望ましい。即ち、気泡発生駆動パルスＢＰは、気泡取込要素ｐ９を、圧力室３８内のインクに発生する残留振動を加振させるタイミングで印加する。これにより、残留振動によってメニスカス（ノズル３５内のインクの自由表面）がノズル３５の圧力室３８側に向かっている最中に、第２膨張要素ｐ９１が圧電振動子３０に印加され、圧力室３８内のインクを急激に、且つ、大きく膨張させる圧力変動を与えるように構成されている。これにより、メニスカスが圧力室３８側により大きく引き込まれる。

なお、上記の固有振動周期Ｔｃは、ノズル３５や圧力室３８の形状等によって決まる値であって、圧力室３８内におけるインクの振動周期Ｔｃは、次式（１）で表すことができる。
Ｔｃ＝２π√［〔（Ｍｎ×Ｍｓ）／（Ｍｎ＋Ｍｓ）〕×Ｃｃ］・・・（１）
但し、式（Ａ）において、Ｍｎはノズル３５におけるイナータンス、Ｍｓは圧力室３８に連通するインク供給口３７におけるイナータンス、Ｃｃは圧力室３８のコンプライアンス（単位圧力あたりの容積変化、柔らかさの度合いを示す。）である。上記式（１）において、イナータンスＭとは、インク流路におけるインクの移動し易さを示し、単位断面積あたりのインクの質量である。そして、インクの密度をρ、流路のインク流れ方向と直交する面の断面積をＳ、流路の長さをＬとしたとき、イナータンスＭは次式（２）で近似して表すことができる。
イナータンスＭ＝（密度ρ×長さＬ）／断面積Ｓ ・・・ （２）
また、Ｔｃは、上記式（２）に限らず、圧力室３８が有している振動周期であればよい。

このように構成された気泡発生駆動パルスＢＰが、圧電振動子３０に供給されると次のように作用する。まず、気泡発生駆動パルスＢＰの膨張要素ｐ１，膨張維持要素ｐ２，収縮要素ｐ３及び収縮維持要素ｐ４が圧電振動子３０に供給されると、噴射駆動パルスＤＰの膨張要素ｐ１，膨張維持要素ｐ２，収縮要素ｐ３及び収縮維持要素ｐ４が圧電振動子３０に供給されたときと同様に、ノズル３５からインクが噴射される。その後、第２膨張要素ｐ９１が圧電振動子３０に供給されると、当該圧電振動子３０が急激に収縮し、これに伴って圧力室３８が最低電位ＶＬ１に対応する最低容積から中間電位ＶＭに対応する中間容積まで膨張する。この際、ノズル３５内のメニスカスが、ノズル２５の吐出側のストレート部から、このストレート部の圧力室３８側に次第に拡径するように連通するテーパー部（何れも図示せず）の奥側（圧力室３８側）まで深く引き込まれて、慣性力によって圧力室３８に達する程度まで引き込まれる。これにより、ノズル３５からインク内に気泡が取り込まれる。そして、第２膨張維持要素ｐ９２及び第２収縮要素ｐ９３が圧電振動子３０に印加されて、中間電位ＶＭに対応する中間容積に維持した圧力室３８が、基準電位ＶＢに対応する基準容積まで復帰する。この気泡発生工程Ｓ１０には、噴射駆動パルスＤＰを用いてノズル３５からインクが噴射されるか否かを判定することで、インクに気泡が取り込まれたか否かを判定する気泡発生判定を行うことが望ましい。即ち、この気泡発生判定でインクが噴射されないと判定された場合、検査フラッシング工程Ｓ２０に進む一方で、インクが噴射されたと判定された場合、気泡発生駆動パルスＢＰを変更し、変更後の気泡発生駆動パルスＢＰを用いて気泡発生工程Ｓ１０を再度行う。気泡発生駆動パルスＢＰの具体的な変更としては、気泡取込要素ｐ９の第２膨張要素ｐ９１の電圧を大きくしたり、電圧変化率θｂをより急峻にしたりすることなどが挙げられる。このように気泡発生判定を行うことで、気泡をより確実にインクに取り込むことができる。

パルス設定処理では、次に、検査フラッシングを実行する（Ｓ２０）。この検査フラッシングＳ２０では、上記検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５のうちの何れかを用いて所定セグメント数だけ圧電振動子３０に印加してフラッシングを行う。例えば、まず、検査用駆動パルスＦＬＰ１１を、定められた印加周波数ｆ（大）で所定セグメント数だけ圧電振動子３０に印加してフラッシングを行う。なお、Ｓ２０〜Ｓ４０の処理は、ノズルグループ毎に行われる。以下では、主にノズルグループ３９Ａ１の場合を例に挙げて説明する。検査フラッシングＳ２０において、所定のセグメント数だけフラッシングを行った後、続いて、噴射駆動パルスＤＰを圧電振動子３０に印加することで、ノズルグループ３９Ａ１に属する各ノズル３５からインクが噴射されたか否かをドット抜け検出装置等によって検査する噴射不良検査工程を行う（Ｓ３０）。このドット抜け検出装置は、ノズル３５から噴射するインクを帯電させ、このインクを電極間で飛翔させて電極間における電圧変化を検出することにより、インクの吐出の有無を検査するものである。噴射不良検査工程Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されなかったと判断された場合には（Ｓ３０：ＮＯ）、検査用駆動パルスを、検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルス以外の検査用駆動パルス（例えば、検査用駆動パルスＦＬＰ１２）に変更し（Ｓ５０）、変更後の検査用駆動パルスを用いて再び検査フラッシングを実行する（Ｓ２０）。このようにして、Ｓ３０においてインクが噴射されたと判定されるまで、検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５を変更しつつＳ２０およびＳ３０の処理が繰り返される。そして、Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されたと判断された場合には（Ｓ３０：ＹＥＳ）、直前の検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルスをフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして設定するパルス設定工程を行う（Ｓ４０）。即ち、気泡発生工程Ｓ１０で気泡を発生させた上で検査フラッシングＳ２０を行い、噴射駆動パルスＤＰを用いてインクが噴射されたときは、この検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルスが、ノズルグループ３９Ａ１に対するフラッシングにおいて気泡排出効果が得られるフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして採用される。このようにして、他のノズルグループＡ２〜Ｂ２に対しても同様にＳ２０〜Ｓ４０が実行されることで、各ノズル列３９（ノズルグループ）の特性に応じた効果的なフラッシング用駆動パルスＦＬＰがそれぞれ設定される。即ち、以降に行われるフラッシングでは、各ノズル列３９或いはノズルグループ毎に設定されたフラッシング用駆動パルスがそれぞれ用いられる。

これにより、製造誤差などによってノズル列３９毎或いはノズルグループ毎に特性ばらつきがある場合においても、インク流路内に存在する気泡の排出性を確保し、噴射能力を回復させることが可能となる。即ち、各ノズル列３９の特性に応じた効果的なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを複数種類の検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５の中から設定することができる。この結果、設定したフラッシング用駆動パルスＦＬＰを各ノズル列３９に対応する圧電振動子３０に印加することにより、ノズル列３９毎の特性ばらつきによらず、各ノズル列３９の噴射能力を回復させることができる。
また、本実施形態のように、各ノズル列３９Ａ（３９Ｂ）をそれぞれ複数のノズルグループに分けて、ノズルグループ毎にパルス設定処理を行う場合には、各ノズルグループに対して噴射能力をより効果的に回復させることが可能なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定することができる。即ち、ノズル列３９Ａ（３９Ｂ）を構成するノズル３５の数がより多く、見かけ上のノズル列３９が長い場合には、ノズル列３９のうち一端側のノズル３５と他端側のノズル３５とでは、ノズル形成時の作り込み結果に誤差が生じ易くなる虞がある。しかしながら、本発明では、各ノズル列３９を複数のノズルグループに分割してパルス設定処理を行うことにより、各ノズルグループにより適したフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定することができる。なお、ノズル列３９を構成するノズル３５が比較的少なく、同一ノズル列３９内で特性の相違が少ない或いは無い場合には、ノズルグループに分割することなく、ノズル列毎にパルス設定処理を行うようにすることもできる。

ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

上記実施形態では、検査フラッシングＳ２０において上記検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５のうちの何れか１つを用いて所定セグメント数だけ圧電振動子３０に印加してフラッシングを行い、Ｓ３０においてインクが噴射されたと判定される（Ｓ３０：ＹＥＳ）まで、検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５を変更しつつＳ２０およびＳ３０の処理を繰り返す構成を例示したがこれには限られない。以下で説明する第２の実施形態では、１回の検査フラッシングＳ２０で、上記検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５のうち２つ以上の複数の検査用駆動パルス（ここでは全ての検査用駆動パルス）を含む検査用駆動パルス群ＦＬＰ１を用いてフラッシングを行い、検査用駆動パルス群ＦＬＰ１の中からフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして採用するための検査用駆動パルスを選定する選定処理が行われることに特徴を有している。なお、本実施形態では、第１の実施形態と異なる部分を主に説明し、共通する部分については適宜省略する。

図１０は、第２実施形態に係るパルス設定処理の流れを説明するフローチャートである。
本実施形態における検査フラッシングＳ２０では、検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５をそれぞれ所定のセグメント数だけ圧電振動子３０に順次印加してフラッシングを行う。即ち、例えば、検査用駆動パルスＦＬＰ１１を所定セグメントだけ圧電振動子３０に順次印加してフラッシングを行い、その後、同様にして検査用駆動パルスＦＬＰ１２〜ＦＬＰ１５をそれぞれ所定セグメントだけ圧電振動子３０に順次印加してフラッシングを行う。このようにして検査フラッシングＳ２０を行ったならば、上記第１の実施形態と同様に、噴射不良検査工程を行う（Ｓ３０）。噴射不良検査工程Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されたと判断された場合（Ｓ３０：ＹＥＳ）、直前の検査フラッシングＳ２０で用いた検査用駆動パルスの数がＮ（所定数）以下か否かを判断する（Ｓ６０）。直前の検査フラッシングＳ２０で用いた検査用駆動パルスの数がＮ（所定数（１つ以上であって、ここでは１つ））内ではない場合には（Ｓ６０：ＮＯ）、パルス数変更工程Ｓ７０において、検査用駆動パルスの削減を行う。具体的には、直前の検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５のうち何れか１つ、例えば、ＦＬＰ１５を除いた検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１４を、次の検査フラッシングＳ２０で用いる検査用駆動パルス群ＦＬＰ１とする。再び気泡発生工程Ｓ１０にて、気泡発生駆動パルスＢＰを用いてインクに気泡を取り込み、変更後の検査用駆動パルス群ＦＬＰ１を用いて再び検査フラッシングＳ２０を実行し、噴射不良検査工程Ｓ３０を行う。

そして、今回のパルス設定処理において２回目以降の検査フラッシングＳ２０を行った後、噴射不良検査工程Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されなかったと判断された場合（Ｓ３０：ＮＯ）、変更前の検査駆動パルスで気泡排出効果が得られたかを判断する（Ｓ８０）。この場合は、既に変更前の検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５によって気泡排出効果が得られており（Ｓ８０：ＹＥＳ）、直前の検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルス群ＦＬＰ１の中の検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１４では気泡排出効果が得られなかったが、パルス数変更工程Ｓ７０で除かれたＦＬＰ１５では気泡排出効果が得られたと推定することができる。したがって、この場合では、（補足：ＦＬＰ１５は直前の検査フラッシングで用いられていないので）検査用駆動パルスの数が所定数内（Ｎ≦１）であり（Ｓ６０：ＹＥＳ）、検査用駆動パルスＦＬＰ１５がフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして採用される。これにより、パルス設定に要する工程数を大幅に削減することができる。一方、Ｓ３０でノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されたと判断された場合（Ｓ３０：ＹＥＳ）、直前の検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルス群の中の少なくとも何れかの検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１４によって、気泡排出効果が得られたことになる。したがって、これらの１つ又は複数の検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１４をそのままフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして設定することも考えられるが、本実施形態では、直前の検査フラッシングＳ２０で用いた検査用駆動パルスの数が所定数内（Ｎ≦１）となる（Ｓ６０：ＹＥＳ）まで、さらに検査用駆動パルスを選定する選定処理が行われる。

即ち、パルス数変更工程Ｓ７０に戻り、直前の検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルス群ＦＬＰ１の中から１つの検査用駆動パルスが除かれる。例えば、直前の検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルス群ＦＬＰ１が、検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１４を含む場合、ＦＬＰ１４を除いて、残りのＦＬＰ１１、ＦＬＰ１２、及びＦＬＰ１３を次の検査フラッシングＳ２０で用いる検査用駆動パルス群ＦＬＰ１とする。そして、再び気泡発生工程Ｓ１０にて、気泡発生駆動パルスＢＰを用いてインクに気泡を取り込み、変更後の検査用駆動パルス群ＦＬＰ１を用いて再び検査フラッシングＳ２０を実行し、噴射不良検査工程Ｓ３０を再度行う。ここで、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されなかったと判断された場合（Ｓ３０：ＮＯ）、既に変更前の検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１４によって気泡排出効果が得られており（Ｓ８０：ＹＥＳ）、この例では検査用駆動パルスＦＬＰ１４がフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして採用される（Ｓ６０，Ｓ４０）。一方、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されたと判断された場合（Ｓ３０：ＹＥＳ）、この例では、直前の検査フラッシングで用いられた検査用駆動パルスＦＬＰ１１、ＦＬＰ１２、及びＦＬＰ１３の何れかの検査用駆動パルスによって、気泡排出効果が得られたことになる。この場合、この時点では直前の検査フラッシングＳ２０で用いた検査用駆動パルスの数が所定数内（Ｎ≦１）ではないため（Ｓ６０：ＮＯ）、パルス数変更工程Ｓ７０に戻り、さらに検査用駆動パルスＦＬＰ１１、ＦＬＰ１２、及びＦＬＰ１３の何れか一つ（例えば、ＦＬＰ１３）を除き、再び気泡発生工程Ｓ１０にて、気泡発生駆動パルスＢＰを用いてインクに気泡を取り込んだ後に、残りの検査用駆動パルスを用いて再び検査フラッシングＳ２０を実行し、噴射不良検査工程Ｓ３０を再度行う。そして、これらの工程を、気泡排出効果が得られる検査用駆動パルスの数が所定数内（Ｎ≦１）となって（Ｓ６０：ＹＥＳ）、フラッシング用駆動パルスＦＬＰが設定されるまで繰り返す。

上記第２の実施形態では、パルス数変更工程（Ｓ７０）において、検査用駆動パルスを除く際に、１つずつ除く例を示したが、これには限られず、検査用駆動パルスのうち２つ以上（好ましくは約半分）の検査用駆動パルスを除きながらパルスを選定していく構成を採用することで、選定処理を早く終了させることができる。即ち、第３の実施形態では、パルス数変更工程Ｓ７０において、検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルスのうち、半数（或いは、半分に割り切れない場合はそれに近い数。以下、同様。）の検査用駆動パルスが除かれ、再び気泡発生工程Ｓ１０にて、気泡発生駆動パルスＢＰを用いてインクに気泡を取り込んだ後に、残りの検査用駆動パルスを用いて再度検査フラッシングＳ２０が行われる。そして、残りの検査用駆動パルスを用いた検査フラッシングＳ２０を行った後の噴射不良検査工程Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されたと判断された場合（Ｓ３０：ＹＥＳ）には、さらに気泡排出効果が得られた検査用駆動パルスの数が所定数（例えば、１つ以上）内であるかを判断する（Ｓ６０）。そして、パルス数が所定数内と判断されなかった場合（Ｓ６０：ＮＯ）には、検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルスのうち、さらに半数の検査用駆動パルスが除かれ（Ｓ７０）、再び気泡発生工程Ｓ１０にて、気泡発生駆動パルスＢＰを用いてインクに気泡を取り込んだ後に、残りの検査用駆動パルスを用いて再度検査フラッシングＳ２０が行われる。一方、パルス数が所定数内と判断された場合（Ｓ６０：ＹＥＳ）には、直前の検査フラッシングＳ２０で用いられた検査用駆動パルスがフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして設定される。

また、本実施形態では、パルス数変更工程Ｓ７０で半数の検査用駆動パルスを除いた残りの検査用駆動パルスを用いた検査フラッシングＳ２０を行った後の噴射不良検査工程Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されなかったと判断された場合（Ｓ３０：ＮＯ）には、変更前の検査駆動パルスで気泡排出効果が得られたかを判断する（Ｓ８０）。この場合、既に変更前の検査用駆動パルスによって気泡排出効果が得られており（Ｓ８０：ＹＥＳ）、パルス数変更工程Ｓ７０で除かれた検査用駆動パルスにより気泡排出効果が得られたと推定することができ、この除かれた検査用駆動パルスが選定対象のパルスとなる（以下、適宜、選定対象検査用駆動パルスという。）。したがって、この場合では、選定対象検査用駆動パルスの数がＮ（例えば、１つ以上）内である場合（Ｓ６０：ＹＥＳ）、この選定対象検査用駆動パルスがフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして採用される。一方、選定対象検査用駆動パルスの数がＮ（例えば、１つ以上）内ではない場合（Ｓ６０：ＮＯ）、パルス数変更工程Ｓ７０で除かれた検査用駆動パルスのうち、半数の検査用駆動パルスが除かれ、再び気泡発生工程Ｓ１０に戻る。
なお、最初の検査フラッシングＳ２０において、検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５の全てを用いずに、このうちの何れか２つ又は３つ（好ましくは半分）を用いるようにしても良い。そして、例えばＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１３を除いた検査用駆動パルスＦＬＰ１４，ＦＬＰ１５を用いて最初の検査フラッシングＳ２０を行った後に、噴射不良検査工程Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されなかったと判断された場合（Ｓ３０：ＮＯ）、この時点で検査用駆動パルス（数）の変更は行っていないため、Ｓ８０の判定はＮＯとしてＳ５０のパルス変更工程Ｓ５０に移り、パルス変更工程Ｓ５０において、最初の検査フラッシングＳ２０で用いていない残りのＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１３を検査フラッシングＳ２０で用いる検査用駆動パルス群ＦＬＰ１（選定対象検査用駆動パルス）とする（Ｓ５０）。そして、変更した検査駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１３を用いてＳ２０以降の工程を実行する。

このように、パルス設定処理には、噴射不良検査工程Ｓ３０においてノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されたと判断された場合に、検査フラッシングＳ２０において圧電振動子３０に印加した検査用駆動パルス群ＦＬＰ１の中からフラッシング用駆動パルスＦＬＰとして採用する検査用駆動パルスを選定する選定処理を含むので、検査用駆動パルスの中から各ノズル列３９の特性に応じたより効果的なフラッシング用駆動パルスを設定することができる。

また、上記各実施形態では、予め異なるパラメーターに設定された複数種類の検査用駆動パルスＦＬＰ１１〜ＦＬＰ１５の中からフラッシング用駆動パルスＦＬＰを採用する例を示したが、これには限られない。例えば、検査用駆動パルスの波形要素又は検査用駆動パルス同士を接続するパルス接続要素のうちの少なくとも１つのパラメーターを変更しながら、フラッシング用駆動パルスＦＬＰを選定することもできる。
第４実施形態に係るパルス設定処理は、図７の噴射不良検査工程Ｓ３０において、ノズル３５から所定の状態としてインクが噴射されたと判断されなかった場合に（Ｓ３０：ＮＯ）、検査フラッシングＳ２０で発生される検査用駆動パルスの膨張要素ｐ６、膨張維持要素ｐ７、収縮要素ｐ８又は検査用駆動パルス同士の間隔ｐｈ（本発明における接続要素に相当）のうちの少なくとも１つを変更するパルス変更工程を実行し（Ｓ５０）、その後、パルス変更工程Ｓ５０で変更した検査用駆動パルスを用いて検査フラッシングＳ２０を実行することに特徴を有する。また、検査フラッシングＳ２０毎に１種類の検査用駆動パルスＦＬＰ２〜４４を用いる点が、第１実施形態とは異なる。

図１１は、第４実施形態に係る検査用駆動パルスＦＬＰ２の基本構成を説明する波形図であり、図１２は、第４実施形態に係る検査用駆動パルスＦＬＰ２の構成を説明する図である。なお、図１２において、横が時間軸であって、縦方向に延びる太線は検査用駆動パルスＦＬＰ２を省略して示したものである。
図１１に示された検査用駆動パルスＦＬＰ２は、検査フラッシングＳ２０毎に、検査用駆動パルスＦＬＰ２同士の間隔（検査用駆動パルスＦＬＰ２同士を接続するパルス接続要素）ｐｈが変更される。本実施形態においては、検査フラッシングＳ２０で繰り返し発生される検査用駆動パルスＦＬＰ２の対のうち、前側の検査用駆動パルスＦＬＰ２ａと後側の検査用駆動パルスＦＬＰ２ｂとの間隔ｐｈが、図１２に示すように、検査フラッシングＳ２０毎に次第に短くなるように構成されている。即ち、検査用駆動パルスＦＬＰ２を印加する周波数ｆを検査フラッシングＳ２０毎に異ならせている。具体的には、パルス変更工程Ｓ５０毎に、各検査フラッシングＳ２０における検査用駆動パルスＦＬＰ２同士の間隔ｐｈ１〜ｐｈ１０が次第に短くなるように変更される。なお、これらの間隔ｐｈの設定範囲に関し、記録ヘッド２の製造上で想定される特性のばらつきの範囲に応じて定められる。したがって、検査用駆動パルスＦＬＰ２同士の間隔ｐｈについては、本実施形態で例示したものには限られない。そして、このように構成された各検査用駆動パルスＦＬＰ２が、検査フラッシングＳ２０毎に、ノズルグループ３９Ａ１〜３９Ｂ２に対応した圧電振動子３０に繰り返し印加されて、１つのフラッシングセグメントに対応するフラッシングが行われる。

これにより、圧電振動子３０の駆動状態が検査フラッシングＳ２０毎に変化する。本実施形態では、間隔ｐｈが次第に短くなるので、圧電振動子３０の駆動周波数ｆが次第に高くなる。この駆動状態の変化の中で、何れかの検査フラッシングＳ２０でノズル列３９の特性に対応した駆動状態が得られる。具体的には、対のうちの前側の検査用駆動パルスＦＬＰ２ａによって圧電振動子３０を駆動したときに圧力室３８内に生じる圧力振動と、後側の検査用駆動パルスＦＬＰ２ｂによって圧電振動子３０を駆動したときに圧力室３８内に生じる圧力振動とが共振する状態が得られる。共振状態が得られるパルス対の間隔ｐｈは、ノズル列３９毎の特性に応じて異なるので、ノズル列３９毎に特性が異なる場合、共振状態が得られるタイミングはノズル列３９毎に異なる。このような共振状態が得られると、より大きい圧力変動がインク流路内の気泡に付与され、これにより気泡がインクに溶解されることがより促進される。このようなフラッシングが、規定フラッシングセグメント数だけ繰り返して行われる。これにより、ノズル列３９毎の特性ばらつきによらず、気泡の排出性を向上させることが可能なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定することができる。上記のように、記録ヘッド２の製造上で想定される特性のばらつきの範囲に応じて間隔ｐｈの設定範囲が定められることで、少なくとも何れかの検査フラッシングＳ２０で、ノズル列３９の特性に応じた駆動状態が得られる。
なお、本発明における検査用駆動パルスＦＬＰ２同士の間隔ｐｈは、検査フラッシングＳ２０毎に次第に長くなるようにパルス変更工程Ｓ５０で設定しても良い。

図１３は、第４実施形態に係る他の検査用駆動パルスＦＬＰ３１〜ＦＬＰ３４の構成を説明する図である。なお、同図において、縦軸は駆動信号の電位であり、横軸は時間である。また、同図に示された各検査用駆動パルスＦＬＰ３１〜ＦＬＰ３４のうち１種類の検査用駆動パルスＦＬＰが、検査フラッシングＳ２０毎に圧電振動子３０に繰り返し印加される。
そして、検査フラッシングＳ２０毎に、検査用駆動パルスの駆動電圧ｖｈが変更される。本実施形態においては、検査用駆動パルスＦＬＰ３の駆動電圧ｖｈが、検査フラッシングＳ２０毎に次第に高くなるように構成されている。即ち、検査用駆動パルスＦＬＰ３１〜ＦＬＰ３４の駆動電圧ｖｈを検査フラッシングＳ２０毎に異ならせている。具体的には、パルス変更工程Ｓ５０毎に、各検査フラッシングＳ２０における検査用駆動パルスＦＬＰ３１〜ＦＬＰ３４の駆動電圧ｖｈ２１〜ｖｈ２４が次第に高まるように変更される。そして、このように構成された各検査用駆動パルスＦＬＰ３１〜ＦＬＰ３４が、検査フラッシングＳ２０毎に、ノズルグループ３９Ａ１〜３９Ｂ２に対応した圧電振動子３０に繰り返し印加されて、１つのフラッシングセグメントに対応するフラッシングが行われる。これにより、圧電振動子３０の駆動状態が検査フラッシングＳ２０毎に変化する。本実施形態では、検査フラッシングＳ２０毎に、圧電振動子３０の駆動時の変位量が次第に大きくなり、これに応じて、圧力室３８内で生じる圧力変動の大きさも次第に大きくなる。この駆動状態の変化の中で、気泡をインク中に溶解させるために効果的な圧力変動を得ることが可能なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定することができる。このようなフラッシングが規定フラッシングセグメント数だけ繰り返して行われる。

これにより、ノズル列３９毎の特性ばらつきによらず、気泡の排出性を向上させることが可能なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定することができる。本実施形態においても、記録ヘッド２の製造上で想定される特性のばらつき（特に、ノズル列毎に対応する圧電振動子３０の特性）の範囲に応じて駆動電圧ｖｈの設定範囲が定められることで、何れかの検査フラッシングＳ２０で、ノズル列３９の特性に応じた駆動状態が得られる。
なお、本発明における検査用駆動パルスＦＬＰ３１〜３４の駆動電圧ｖｈ２１〜ｖｈ２４は、次第に低くなるように設定されていても良い。これにより、各検査フラッシングＳ２０の際のフラッシング用駆動パルスの駆動電圧ｖｈが低くなるので、フラッシングによるメニスカスの残留振動を抑制することができ、これにより、この残留振動による次の処理への悪影響を低減することができる。また、検査用駆動パルスＦＬＰ３１〜ＦＬＰ３４は、駆動電圧が昇順又は降順となるように検査フラッシングＳ２０毎に変更する構成には限られず、要は、検査フラッシングＳ２０毎に駆動電圧が異なるフラッシング用駆動パルスが圧電振動子３８に印加されれば良い。

図１４は、第４実施形態に係るさらに他の検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜ＦＬＰ４４の構成を説明する図である。なお、同図において、縦軸は駆動信号の電位であり、横軸は時間である。また、同図に示された各検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜ＦＬＰ４４のうち１種類の検査用駆動パルスＦＬＰが、検査フラッシングＳ２０毎に圧電振動子３０に繰り返し印加される。
そして、検査フラッシングＳ２０毎に、検査用駆動パルスの膨張要素ｐ６〜収縮要素ｐ８のうち、膨張要素ｐ６の時間幅ｔ６が変更される。本実施形態においては、検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜ＦＬＰ４４の膨張要素ｐ６の時間幅ｔ６が、検査フラッシングＳ２０毎に次第に短くなるように構成されている。即ち、検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜ＦＬＰ４４の膨張要素ｐ６の時間幅ｔ６を検査フラッシングＳ２０毎に異ならせている。具体的には、パルス変更工程Ｓ５０毎に、各検査フラッシングＳ２０における検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜ＦＬＰ４４の膨張要素ｐ６の時間幅ｔ６が次第に短くなるように変更される。即ち、膨張要素ｐ６の電位勾配（単位時間あたりの電位変化量）θ１〜θ４が次第に大きくなるように設定されている。そして、このように構成された各検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜ＦＬＰ４４が、検査フラッシングＳ２０毎に、ノズルグループ３９Ａ１〜３９Ｂ２に対応した圧電振動子３０に繰り返し印加されて、１つのフラッシングセグメントに対応するフラッシングが行われる。これにより、圧電振動子３０の駆動状態が検査フラッシングＳ２０毎に変化する。本実施形態では、圧電振動子３０の駆動時の単位時間あたりの変位量が次第に大きくなり、これに応じて圧力室３８内に生じる圧力変動の大きさも次第に大きくなる。この駆動状態の変化の中で、気泡をインク中に溶解させるために効果的な圧力変動を得ることが可能なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定することができる。このようなフラッシングが規定フラッシングセグメント数だけ繰り返して行われる。

これにより、ノズル列３９毎の特性ばらつきによらず、気泡の排出性を向上させることが可能なフラッシング用駆動パルスＦＬＰを設定することができる。本実施形態においても、記録ヘッド２の製造上で想定される特性のばらつきの範囲に応じて膨張要素ｐ６の時間幅ｔ６の設定範囲が定められることで、何れかの検査フラッシングＳ２０で、ノズル列３９の特性に応じた駆動状態が得られる。
なお、本発明における検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜４４を構成する膨張要素ｐ６の時間幅ｔ６が次第に長くなるように設定されていても良い。これにより、フラッシングの圧電振動子３０の駆動時の単位時間あたりの変位量が低くなり、圧力室３８内に生じる圧力変動も最も小さくなるので、当該フラッシングによるメニスカスの残留振動を抑制することができ、これにより、この残留振動による次の処理への悪影響を低減することができる。また、検査用駆動パルスＦＬＰ４１〜ＦＬＰ４４を構成する膨張要素ｐ６、膨張維持要素ｐ７、及び収縮要素ｐ８のうち、膨張維持要素ｐ７の時間幅ｔ７又は収縮要素ｐ８の時間幅ｔ８を検査フラッシングＳ２０毎に異ならせるように変更していても良いし、これらの組み合わせでも良い。

上記実施形態では、本発明におけるフラッシング駆動パルスＦＬＰとして設定される検査用駆動パルスの一例として、図６，図１１，図１３，図１４に示す検査用駆動パルスを挙げたが、パルスの形状は例示したものに限られず、圧電振動子３０の駆動状態を可変に設定させていれば、任意の波形のものを用いることができる。また、フラッシングのセグメント数については、任意の値に設定することができる。

なお、上記各実施形態では、圧力発生手段として、所謂縦振動型の圧電振動子３０を例示したが、これには限られず、例えば、所謂撓み振動型の圧電振動子を採用することも可能である。この場合、例示した駆動信号に関し、電位の変化方向、つまり上下が反転した波形となる。また、圧力振動子３０は、磁歪素子や発熱素子を用いる場合にも本発明を適用することが可能である。

以上は、液体噴射装置の一種であるプリンター１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極製造装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。

１…プリンター、２…記録ヘッド、６…記録紙、３０…圧電振動子、３５…ノズル、３８…圧力室、３９…ノズル列、５０…プリンターコントローラー

Claims (6)

1. 複数のノズルから構成されるノズル群を複数列設し、各ノズルに連通する圧力室の容積を変動させる圧力発生手段を駆動することで前記ノズルから液体を噴射して着弾対象に着弾させる液体噴射ヘッドと、前記圧力発生手段を駆動する駆動パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を備えた液体噴射装置のパルス設定方法であって、
   前記駆動信号発生部は、噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで前記着弾対象に向けて液体を噴射する噴射処理とは別に、前記液体噴射ヘッドの液体流路内の気泡を除去する第１の駆動パルスと、当該第１の駆動パルスが決定される前の暫定的な第２の駆動パルスを複数種類含む第２の駆動パルス群と、前記ノズルから液体内に気泡を意図的に取り込むことができる第３の駆動パルスと、を発生可能であり、
   前記第２の駆動パルスは、前記圧力室の容積が変化するように電圧を変化させる第１の電圧変化要素と、電圧を一定値で維持する電圧維持要素と、第１の電圧変化要素によって電圧が変化した方向とは反対方向に電圧を変化させる第２の電圧変化要素と、を含み、
   前記第２の駆動パルス群を構成する各第２の駆動パルスは、各波形要素の少なくとも何れか１つがそれぞれで異なり、
   前記第３の駆動パルスを前記圧力発生手段に印加する第１の工程と、
   前記第２の駆動パルス群を前記ノズル群に対応した前記圧力発生手段毎に印加する第２の工程と、
   前記第２の工程の後に、前記噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで、各ノズルから所定の状態として液体が噴射されたか否かを検査する第３の工程と、
   前記第３の工程によって前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、前記第２の駆動パルスの波形要素のうちの少なくとも１つのパラメーターを変更して前記第２の工程に戻る一方、前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、前記第２の工程で用いられた第２の駆動パルス群のうち少なくとも何れかの第２の駆動パルスを前記ノズル群に対応する前記第１の駆動パルスとして設定する第４の工程と、を含むことを特徴とする液体噴射装置のパルス設定方法。
2. 前記第４の工程には、前記第３の工程において前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、前記第２の工程において前記圧力発生手段に印加した第２の駆動パルス群の中から第１の駆動パルスとして採用する第２の駆動パルスを選定する選定処理を含むことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置のパルス設定方法。
3. 複数のノズルから構成されるノズル群を複数列設し、各ノズルに連通する圧力室の容積を変動させる圧力発生手段を駆動することで前記ノズルから液体を噴射して着弾対象に着弾させる液体噴射ヘッドと、前記圧力発生手段を駆動する駆動パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を備えた液体噴射装置のパルス設定方法であって、
   前記駆動信号発生部は、噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで前記着弾対象に向けて液体を噴射する噴射処理とは別に、前記液体噴射ヘッドの液体流路内の気泡を除去する第１の駆動パルスと、当該第１の駆動パルスが決定される前の暫定的な第２の駆動パルスと、前記ノズルから液体内に気泡を意図的に取り込むことができる第３の駆動パルスと、を発生可能であり、
   前記第２の駆動パルスは、前記圧力室の容積が変化するように電圧を変化させる第１の電圧変化要素と、電圧を一定値で維持する電圧維持要素と、第１の電圧変化要素によって電圧が変化した方向とは反対方向に電圧を変化させる第２の電圧変化要素と、を含み、
   前記第３の駆動パルスを前記圧力発生手段に印加する第１の工程と、
   前記第２の駆動パルスを前記ノズル群に対応した前記圧力発生手段毎に複数印加する第２の工程と、
   前記第２の工程の後に、前記噴射駆動パルスを前記圧力発生手段に印加することで、各ノズルから液体が噴射されたか否かを検査する第３の工程と、
   前記第３の工程によって前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、前記第２の駆動パルスの波形要素又は第２の駆動パルス同士を接続するパルス接続要素のうちの少なくとも１つのパラメーターを変更して前記第２の工程に戻る一方、前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されたと判断された場合に、前記第２の工程で用いられた第２の駆動パルスを、前記ノズル群に対応する前記第１の駆動パルスとして設定する第４の工程と、を含むことを特徴とする液体噴射装置のパルス設定方法。
4. 前記第３の工程によって前記ノズルから所定の状態として液体が噴射されなかったと判断された場合に、前記パルス接続要素の時間を、短く又は長くなるように変更することを特徴する請求項３に記載の液体噴射装置のパルス設定方法。
5. 前記第２の工程における各第２の駆動パルスの駆動電圧が、次第に高まり又は次第に低くなることを特徴する請求項１又は請求項３に記載の液体噴射装置のパルス設定方法。
6. 前記第２の工程における各第２の駆動パルスを構成する波形要素のうちの少なくとも１つの時間幅が、次第に長くなり又は次第に短くなることを特徴する請求項１又は請求項３に記載の液体噴射装置のパルス設定方法。

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