JP6834323B2 - 異方性導電フィルム及び接続構造体 - Google Patents
異方性導電フィルム及び接続構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6834323B2 JP6834323B2 JP2016197853A JP2016197853A JP6834323B2 JP 6834323 B2 JP6834323 B2 JP 6834323B2 JP 2016197853 A JP2016197853 A JP 2016197853A JP 2016197853 A JP2016197853 A JP 2016197853A JP 6834323 B2 JP6834323 B2 JP 6834323B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- region
- particle group
- conductive film
- anisotropic conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 434
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 116
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 46
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 35
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 35
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 32
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 27
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 24
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 24
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 21
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 18
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 18
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 17
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 15
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 14
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 14
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 14
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 14
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 14
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 14
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 14
- -1 acrylate compound Chemical class 0.000 description 13
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 11
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 7
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010539 anionic addition polymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- HYIMSNHJOBLJNT-UHFFFAOYSA-N nifedipine Chemical compound COC(=O)C1=C(C)NC(C)=C(C(=O)OC)C1C1=CC=CC=C1[N+]([O-])=O HYIMSNHJOBLJNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229960001597 nifedipine Drugs 0.000 description 3
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 2
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical class I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 230000003712 anti-aging effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical class OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229940042795 hydrazides for tuberculosis treatment Drugs 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001184 polypeptide Chemical class 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Chemical class 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
- B32B5/14—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by a layer differing constitutionally or physically in different parts, e.g. denser near its faces
- B32B5/142—Variation across the area of the layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J9/00—Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
- C09J9/02—Electrically-conducting adhesives
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R11/00—Individual connecting elements providing two or more spaced connecting locations for conductive members which are, or may be, thereby interconnected, e.g. end pieces for wires or cables supported by the wire or cable and having means for facilitating electrical connection to some other wire, terminal, or conductive member, blocks of binding posts
- H01R11/01—Individual connecting elements providing two or more spaced connecting locations for conductive members which are, or may be, thereby interconnected, e.g. end pieces for wires or cables supported by the wire or cable and having means for facilitating electrical connection to some other wire, terminal, or conductive member, blocks of binding posts characterised by the form or arrangement of the conductive interconnection between the connecting locations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
- B32B27/20—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using fillers, pigments, thixotroping agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K9/00—Use of pretreated ingredients
- C08K9/02—Ingredients treated with inorganic substances
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/10—Adhesives in the form of films or foils without carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/02—Contact members
- H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
- H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted
- H01R13/2407—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means
- H01R13/2414—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means conductive elastomers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/14—Structural association of two or more printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/321—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
- H05K3/323—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives by applying an anisotropic conductive adhesive layer over an array of pads
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
- C08K2201/001—Conductive additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2203/00—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
- C09J2203/326—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/20—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself
- C09J2301/208—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself the adhesive layer being constituted by at least two or more adjacent or superposed adhesive layers, e.g. multilayer adhesive
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2463/00—Presence of epoxy resin
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/02—Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
- H05K2201/0203—Fillers and particles
- H05K2201/0263—Details about a collection of particles
- H05K2201/0269—Non-uniform distribution or concentration of particles
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/02—Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
- H05K2201/0203—Fillers and particles
- H05K2201/0263—Details about a collection of particles
- H05K2201/0272—Mixed conductive particles, i.e. using different conductive particles, e.g. differing in shape
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Description
第1導電粒子群と第2導電粒子群とはそれぞれ、異方性導電フィルムの厚み方向において互いに相違し且つ面方向に平行な第1領域と第2領域とに存在しており、
第1導電粒子群と第2導電粒子群とは、導電粒子の存在状態が互いに相違している異方性導電フィルムを提供する。この異方性導電フィルムは、以下の<2>〜<12>の好ましい態様を有する。
<3>第1導電粒子群を構成する各導電粒子は、第1領域において異方性導電フィルムの表面から略同一の距離に存在している<1>又は<2>記載の異方性導電フィルム。
<4>第1導電粒子群を構成する各導電粒子は、異方性導電フィルムを平面視したときに互いに独立的に存在している<3>記載の異方性導電フィルム。
<5>第1導電粒子群を構成する各導電粒子が格子状に規則配列している<4>記載の異方性導電フィルム。
<6>第2導電粒子群を構成する各導電粒子は、第2領域に分散して存在している<1>〜<5>のいずれかに記載の異方性導電フィルム。
<7>異方性導電フィルムの厚み方向において第1領域及び第2領域と互いに相違し且つ面方向に平行で導電粒子を含まない第3領域を更に有する<1>〜<6>のいずれかに記載の異方性導電フィルム。
<8>第1領域、第2領域及び第3領域が、この順で配置されている<7>記載の異方性導電フィルム。
<9>第1領域、第3領域及び第2領域が、この順で配置されている<7>記載の異方性導電フィルム。
<10>第2領域、第1領域及び第3領域が、この順で配置されている<7>記載の異方性導電フィルム。
<11>絶縁性バインダ中に更に複数の導電粒子から構成される第3導電粒子群が含まれている<1>〜<6>のいずれかに記載の異方性導電フィルムであって、
第3導電粒子群は、異方性導電フィルムの厚み方向において第1領域と第2領域と互いに相違し且つ面方向に平行な第4領域に存在している異方性導電フィルム。
<12>第4領域、第1領域及び第2領域が、この順で配置されている<11>記載の異方性導電フィルム。
図1は、本発明の一実施例の異方性導電フィルム100の断面図である。この異方性導電フィルム100は、絶縁性バインダ1中にそれぞれ複数の導電粒子2から構成される第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とが含まれている。これらの導電粒子群10、20はそれぞれ、異方性導電フィルム100の厚み方向において互いに相違し且つ面方向に平行な第1領域R1と第2領域R2とに存在している。本発明では、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とは、導電粒子2の存在状態が全体から見て互いに相違している。
本発明において、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とは、導電粒子2の存在状態が互いに相違していることが必要である。これは、一方の導電粒子群に由来する異方性導電フィルムの欠点を他方の導電粒子群で解消させるためである。このような導電粒子2の存在状態の具体例としては、導電粒子2の個数密度もしくは質量の観点からの存在量、導電粒子2の平均粒子径、導電粒子2の硬度もしくは圧縮強度、導電粒子2の表面形状、導電粒子2の表面材質(金属メッキ膜あるいは絶縁膜)、導電粒子2の配置、導電粒子2を分散している絶縁性バインダ1の溶融粘度もしくは組成等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
導電粒子2の個数密度は、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とで同じであってもよく、相違していてもよいが、対向端子間への導電粒子の捕捉性を高める観点から、第1導電粒子群10では好ましくは5000〜40000個/mm2、より好ましくは10000〜30000個/mm2であり、また、導電粒子の重畳による接続の不良を回避する観点から、第2導電粒子群20では好ましくは1000〜20000個/mm2、より好ましくは2000〜10000個/mm2である。しかも、導電粒子数の削減と捕捉の確実性を両立させる観点から、第1導電粒子群10における導電粒子2の個数密度は、第2導電粒子群20における導電粒子の個数密度の好ましくは2〜10倍、より好ましくは3〜5倍である。ここで、個数密度は、金属顕微鏡において平面視で観察し計測するとともに、SEMなどの電子顕微鏡から断面を計測することにより測定することができる。
導電粒子2の平均粒子径は、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とで同じであってもよく、相違していてもよいが、異方性導電接続の安定性の観点から、好ましくは1〜100μmであり、CV値は好ましくは25%以内である。平均粒子径は、画像型の粒子分布測定装置や金属顕微鏡の観察結果を計測ソフト(例えば、WinROOF、三谷商事(株))を用いて算出することができる。
導電粒子2の硬さは、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とで同じであってもよく、相違していてもよい。ここで、導電粒子2の平均粒子径との関連でいえば、平均粒子径が相違する導電粒子2を使用した場合には、比較的大きい導電粒子の硬さは、比較的小さい導電粒子よりも柔らかいことが好ましいが、十分な圧縮が見込まれ、異方性導電接続を阻害しないのであれば、同じ硬さであってもよい。
S:圧縮変位(mm)
R:導電粒子の半径(mm))
導電粒子2の表面形状は、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とで同じであってもよく、相違していてもよい。発明の効果を損なわない範囲で、表面形状に制限はないが、特開2015−8129号公報等に記載の表面に突起が形成されている導電粒子を好ましく使用することができる。このような突起が形成されることで、異方性導電接続時に端子に設けられている保護膜を突き破ることができる。突起の形成は導電粒子の表面に均等に存在することが好ましいが、異方性導電フィルムの製造工程のうち導電粒子を配列させるために導電粒子を型に充填する工程において、突起の一部に欠損が生じてもよい。突起の高さは、一例として10〜500nm、又は粒子径の10%以下とすることができる。
導電粒子2は、表面絶縁膜が形成されていることが好ましい。端子間スペースが狭い場合でも、ショートの発生を抑制できるからである。このような表面絶縁膜は、異方性導電接続に支障をきたさない程度であれば、どのような形態であってもよく、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とで同じであってもよく、相違していてもよい。
導電粒子2の異方性導電フィルム100中の存在量は、質量基準で表すこともでき、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とで同じであってもよく、相違していてもよいが、異方性導電フィルム100の全質量を100質量部としたときに、その100質量部中に好ましくは1質量部以上30質量部以下、より好ましくは3質量部以上10質量部以下となる量である。
本発明の異方性導電フィルム100においては、ショート抑制の観点から、導電粒子2は、少なくとも一つの導電粒子群(好ましくは第1導電粒子群10)において異方性導電フィルム100を平面視したときに互いに独立的に存在している。この場合、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20における導電粒子の平面方向での距離や配置の状態は、同じであってもよく、相違していてもよい。ここで、“互いに独立的に存在”とは、少なくともひとつの導電粒子群において導電粒子2が凝集せずに互いに非接触であり、しかもフィルム厚み方向にも重なり合いがない状態を意味する。“非接触”の程度は、隣接導電粒子2の中心間距離が平均粒子径の好ましくは1.5〜50倍、より好ましくは、2〜30倍である。また、“フィルム厚み方向にも重なり合いがない状態”とは、異方性導電フィルムを平面視したときに、少なくともひとつの導電粒子群における導電粒子が同一導電粒子群の他の導電粒子と重なり合わないことを意味する。
後述する絶縁性バインダ1の80℃溶融粘度は、第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とで同じであってもよく、相違していてもよいが、厚み方向で異なっていることが好ましい。特に第2導電粒子群20を包含している第2領域R2よりも、第1導電粒子群10を包含している第1領域R1の80℃溶融粘度が大きいことが、導電粒子を端子へ捕捉させる観点からは、特に好ましい。第1導電粒子群10と第2導電粒子群20とが、別体の層として存在している場合、第1導電粒子群10は80℃溶融粘度の異なる層の界面に存在してもよい。なお、80℃溶融粘度ではなく、最低溶融粘度が同様の傾向を示してもよい。
上述のように、導電粒子2の存在状態の区別の要素となりうる絶縁性バインダ1としては、従来の異方性導電フィルムで用いられている公知の絶縁性バインダを使用することができる。このような絶縁性バインダとしては、公知の熱重合性もしくは光重合性組成物を使用することができる。これらの重合性組成物には、膜形成樹脂やシランカップリング剤を含有させることが好ましい。膜形成樹脂としては、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂等を挙げることができ、これらの2種以上を併用することができる。これらの中でも、成膜性、加工性、接続信頼性の観点から、フェノキシ樹脂を好ましく使用することができる。また、シランカップリング剤としては、エポキシ系シランカップリング剤、アクリル系シランカップリング剤等を挙げることができる。これらのシランカップリング剤は、主としてアルコキシシラン誘導体である。
熱重合性組成物としては、(メタ)アクリレート化合物あるいはエポキシ化合物と、熱カチオン、アニオン若しくはラジカル重合性開始剤とを含有する熱重合性組成物が挙げられる。必要に応じ、光重合開始剤を含有してもよい。
光重合性組成物としては、光カチオン、アニオン若しくはラジカル重合性組成物、好ましくは(メタ)アクリレート化合物と光ラジカル重合開始剤とを含有する光ラジカル重合性組成物、もしくはエポキシ化合物と光カチオン若しくはアニオン重合開始剤とを含有する光カチオン若しくはアニオン重合性組成物が挙げられる。
本発明の異方性導電フィルム100は、単一の層から構成されていてもよく、複数の層が積層された多層から構成されていてもよい。
以上、図1の態様の異方性導電フィルム100について説明してきたが、本発明は、異方性導電フィルムの厚み方向において第1領域及び第2領域と互いに相違し且つ面方向に平行で導電粒子を含まない第3領域を更に有する異方性導電フィルムを包含する。この第3領域は、一般に円滑な樹脂流動を実現するための層である。このような態様の具体例を図2〜図4に示す。
本発明の図1の単層タイプの異方性導電フィルムは、例えば、同一の樹脂組成で第1導電粒子群を備える層や第2導電粒子群を備える層を作製したのちに、熱ラミネートをして積層して得ることができる。また、第2導電粒子群を公知の塗布方法で得たのちに、溶媒の乾燥条件を適宜調整し、溶媒含有量が多い状態でフィルムの一方に導電粒子を沈降させ、且つ第1導電粒子群を散布ないしは転写させ、埋め込むなどの操作をした後に、乾燥を再度行うことで製造することができる。
本発明の製造方法で使用する転写型としては、例えば、シリコン、各種セラミックス、ガラス、ステンレススチールなどの金属等の無機材料や、各種樹脂等の有機材料などに対し、フォトリソグラフ法等の公知の開口形成方法によって開口を形成したものを使用することができる。また、転写型は、板状、ロール状等の形状をとることができる。
本発明の異方性導電フィルムは、ICチップ、ICモジュール、FPCなどの第1電子部品と、FPC、ガラス基板、リジッド基板、セラミック基板などの第2電子部品とを異方性導電接続する際に好ましく適用することができる。ICチップ、ICモジュールなどをスタックして異方性導電接続してもよい。このようにして得られる接続構造体も本発明の一部である。
(第2導電粒子群含有層の形成)
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)45質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)5質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)45質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、シランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部、及び導電粒子(積水化学工業(株)、AUL703、粒径3μm)5質量部を混合することにより、導電粒子が分散している熱重合性組成物を調整した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmの剥離PETフィルム上にバーコータを用いて表1の厚み(4μm)となるように塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させることにより、PETフィルム上に導電粒子がランダムに分散している第2導電粒子群含有層を形成した。この第2導電粒子群含有層について、それに含まれる導電粒子の個数密度(個/mm2)を計測すると共に、回転式レオメータ(TA Instruments社)を用いて昇温速度10℃/分、測定時の力1N一定、使用測定プレート直径8mm、という条件により溶融粘度を測定し、その80℃での溶融粘度値に基づく流動性ランクを表1に示す。
A: 溶融粘度値が20000Pa・s以上である場合
B: 溶融粘度値が10000Pa・s以上20000Pa・s未満である場合
C: 溶融粘度値が3000Pa・s以上10000Pa・s未満である場合
D: 溶融粘度値が3000Pa・s未満である場合
一方、正方格子パターンに対応した凸部の配列パターンを有する金型を作成し、その金型に、公知の透明性樹脂のペレットを溶融させたものを流し込み、冷やして固めることで、表1の密度(導電粒子の個数密度に対応)の正方格子パターンの凹部を有する樹脂製の転写型を作製した。この転写型の凹部に導電粒子(積水化学工業(株)、AUL703、粒径3μm)を充填した。
第1導電粒子群含有層の導電粒子転写面に、第2導電粒子群含有層を対向させ、これらを50℃、0.2MPaという条件で貼り合わすことで図1の異方性導電フィルムを製造した。
(第1導電粒子群含有層の形成)
熱重合性組成物を、フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)40質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)15質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)40質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、及びシランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部から調製したこと以外は実施例1と同様に第1導電粒子群含有層を作成した。
第2導電粒子群含有層は、実施例1と同様に作成した。
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)35質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)5質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)55質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、及びシランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部を含有する熱重合性組成物を調製し、この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmのPETフィルム上に塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させて得た表1の厚み(7μm)の絶縁層を作成した。
第1導電粒子群含有層の導電粒子転写面に、第2導電粒子群含有層、続いて絶縁層を対向させ、これらを50℃、0.2MPaという条件で貼り合わすことで図2の異方性導電フィルムを製造した。
(第1導電粒子群含有層の形成)
実施例1と同様に、第1導電粒子群含有層を作成した。
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)40質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)15質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)40質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、シランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部、及び導電粒子(積水化学工業(株)、AUL703、粒径3μm)5質量部を混合することにより、導電粒子が分散している熱重合性組成物を調整した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmの剥離PETフィルム上にバーコータを用いて表1の厚み(5μm)となるように塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させることにより、PETフィルム上に導電粒子がランダムに分散している第2導電粒子群含有層を形成した。
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)40質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)15質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)40質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、及びシランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部を含有する熱重合性組成物を調製し、この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmのPETフィルム上に塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させて得た表1の厚み(6μm)の絶縁層を作成した。
第1導電粒子群含有層の導電粒子転写面に、絶縁層、続いて第2導電粒子群含有層を対向させ、これらを50℃、0.2MPaという条件で貼り合わすことで図3の異方性導電フィルムを製造した。
(第1導電粒子群含有層の形成)
実施例1と同様に、第1導電粒子群含有層を作成した。
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)35質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)25質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)35質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、シランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部、及び導電粒子(積水化学工業(株)、AUL703、粒径3μm)5質量部を混合することにより、導電粒子が分散している熱重合性組成物を調整した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmの剥離PETフィルム上にバーコータを用いて表1の厚み(4μm)となるように塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させることにより、PETフィルム上に導電粒子がランダムに分散している第2導電粒子群含有層を形成した。
実施例2と同様に絶縁層を作成した。
絶縁層に、第1導電粒子群含有層をその非導電粒子転写面側から対向させ、続いて第2導電粒子群含有層を対向させ、これらを50℃、0.2MPaという条件で貼り合わすことで図4の異方性導電フィルムを製造した。
(第1導電粒子群含有層の形成)
実施例1と同様に、第1導電粒子群含有層を作成した。
層厚を5μmから6μmに変更すること以外、実施例3と同様に第2導電粒子群含有層を形成した。
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)40質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)15質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)40質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、シランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部、及び導電粒子(積水化学工業(株)、AUL703、粒径3μm)5質量部を混合することにより、導電粒子が分散している熱重合性組成物を調整した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmの剥離PETフィルム上にバーコータを用いて表1の厚み(5μm)となるように塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させることにより、PETフィルム上に導電粒子がランダムに分散している第3導電粒子群含有層を形成した。
第1導電粒子群含有層の片面に第2導電粒子群含有層を、他面に第3導電粒子群含有層を対向させ、これらを50℃、0.2MPaという条件で貼り合わすことで図5の異方性導電フィルムを製造した。
(導電粒子含有層の形成)
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)40質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)15質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)40質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、シランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部、及び導電粒子(積水化学工業(株)、AUL703、粒径3μm)30質量部を混合することにより、導電粒子が分散している熱重合性組成物を調整した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmの剥離PETフィルム上にバーコータを用いて表1の厚み(6μm)となるように塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させることにより、PETフィルム上に導電粒子がランダムに分散している導電粒子含有層を形成した。
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)35質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)5質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)55質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、及びシランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部を混合することにより、熱重合性組成物を調整した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmの剥離PETフィルム上にバーコータを用いて表1の厚み(8μm)となるように塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させることにより、PETフィルム上に絶縁層を形成した。
導電粒子含有層と絶縁層とを対向させ、これらを50℃、0.2MPaという条件で貼り合わすことで図6の異方性導電フィルムを製造した。なお、図6において、図番60は異方性導電フィルムであり、61は熱硬化型の絶縁性樹脂層であり、62は熱硬化型の絶縁性バインダであり、63は導電粒子であり、64は熱硬化型の導電粒子含有層である。
(導電粒子含有層の形成)
正方格子パターンに対応した凸部の配列パターンを有する金型を作成し、その金型に、公知の透明性樹脂のペレットを溶融させたものを流し込み、冷やして固めることで、表1の密度(導電粒子の個数密度に対応)の正方格子パターンの凹部を有する樹脂製の転写型を作製した。この転写型の凹部に導電粒子(積水化学工業(株)、AUL703、粒径3μm)を充填した。
フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)、YP−50)35質量部、シリカフィラ(日本アエロジル(株)、アエロジルR805)5質量部、液状エポキシ樹脂(三菱化学(株)、jER828)55質量部、熱カチオン重合開始剤(三新化学工業(株)、SI−60L)3質量部、及びシランカップリング剤(信越化学工業(株)、KBM−403)2質量部を混合することにより、熱重合性組成物を調整した。この熱重合性組成物をフィルム厚さ50μmの剥離PETフィルム上にバーコータを用いて表1の厚み(11μm)となるように塗布し、80℃のオーブンにて5分間乾燥させることにより、PETフィルム上に絶縁層を形成した。
導電粒子含有層と絶縁層とを対向させ、これらを50℃、0.2MPaという条件で貼り合わせ、波長365nm、積算光量4000mJ/cm2の紫外線を照射することで図7の異方性導電フィルムを製造した。なお、図7において、図番70は異方性導電フィルムであり、71は絶縁性樹脂層であり、72は光硬化型の絶縁性バインダであり、73は導電粒子であり、74は光硬化型の導電粒子含有層である。
実施例1〜5及び比較例1〜2の異方性導電フィルムについて、以下の評価用ICとガラス基板とを以下の条件の熱圧着接続により(比較例2については、以下のUV照射併用)異方性導電接続して評価用接続構造体を作成した。
得られた評価用接続構造体の導通抵抗を、デジタルマルチメータを用いて4端子法で2mAの電流を通電したときの値を測定し、以下の基準で評価した。
OK(良好):測定した抵抗値が1Ω未満である場合
NG(不良):測定した抵抗値が1Ω以上である場合
得られた評価用接続構造体を、温度85℃、湿度85%RHの恒温槽に500時間おいた後の導通抵抗を、初期導通性と同様に測定し、以下の基準で評価した。
OK(良好):測定した抵抗値が5Ω未満である場合
NG(不良):測定した抵抗値が5Ω以上である場合
接続構造体を作成する際に、評価用ICを以下のIC(7.5μmスペースの櫛歯TEG(test element group))に変更した。得られた接続構造体についてショート発生率をデジタルマルチメータを用いて測定し、以下の基準で評価した。
外径 1.5mm×13mm
厚み 0.5mm
バンプ仕様 金メッキ、高さ15μm、サイズ25μm×140μm、バンプ間ギャップ7.5μm
OK(良好):ショート発生率が、50ppm未満である場合
NG(不良):ショート発生率が、50ppm以上である場合
接続に使用するICのバンプサイズを11μm×95μmに変更する以外は、初期導通性および導通信頼性と同様の条件で接続した。接続後の端子をガラス基板側から金属顕微鏡を用いて観察し、圧痕数をカウントすることで粒子の捕捉性を判定した。観察したバンプ個数はN=300で、最少の捕捉数(圧痕数)を示すバンプで評価した。判定基準を以下に示す。
A(非常に良好):圧痕数が10個以上
B(良好):圧痕数が5個以上、10個未満
C(普通):圧痕数が3個以上、5個未満
D(不良):圧痕数が3個未満
2 導電粒子
10 第1導電粒子群
20 第2導電粒子群
30 第3導電粒子群
60、70、100、200、300、400、500 異方性導電フィルム
61、71 絶縁性樹脂層
62、72 絶縁性バインダ
63、73 導電粒子
64、74 導電粒子含有層
R1 第1領域
R2 第2領域
R3 第3領域
R4 第4領域
Claims (12)
- 絶縁性バインダ中にそれぞれ複数の導電粒子から構成される第1導電粒子群と第2導電粒子群とが含まれている異方性導電フィルムであって、
第1導電粒子群と第2導電粒子群とはそれぞれ、異方性導電フィルムの厚み方向において互いに相違し且つ面方向に平行な第1領域と第2領域とに存在しており、
第1導電粒子群と第2導電粒子群とは、導電粒子の存在状態が互いに相違しており、
第1導電粒子群を構成する各導電粒子は、第1領域において異方性導電フィルムの表面から略同一の距離に存在している異方性導電フィルム。 - 第1導電粒子群を構成する各導電粒子は、異方性導電フィルムを平面視したときに互いに独立的に存在している請求項1記載の異方性導電フィルム。
- 第1導電粒子群を構成する各導電粒子が格子状に規則配列している請求項2記載の異方性導電フィルム。
- 第2導電粒子群を構成する各導電粒子は、第2領域に分散して存在している請求項1〜3のいずれかに記載の異方性導電フィルム。
- 異方性導電フィルムの厚み方向において第1領域及び第2領域と互いに相違し且つ面方向に平行で導電粒子を含まない第3領域を更に有する請求項1〜4のいずれかに記載の異方性導電フィルム。
- 第1領域、第2領域及び第3領域が、この順で配置されている請求項5記載の異方性導電フィルム。
- 第1領域、第3領域及び第2領域が、この順で配置されている請求項5記載の異方性導電フィルム。
- 第2領域、第1領域及び第3領域が、この順で配置されている請求項5記載の異方性導電フィルム。
- 絶縁性バインダ中に更に複数の導電粒子から構成される第3導電粒子群が含まれている請求項1〜4のいずれかに記載の異方性導電フィルムであって、
第3導電粒子群は、異方性導電フィルムの厚み方向において第1領域と第2領域と互いに相違し且つ面方向に平行な第4領域に存在している異方性導電フィルム。 - 第4領域、第1領域及び第2領域が、この順で配置されている請求項9記載の異方性導電フィルム。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の異方性導電フィルムで第1電子部品を第2電子部品に異方性導電接続した接続構造体。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の異方性導電フィルムで第1電子部品を第2電子部品に異方性導電接続する、接続構造体の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015199602 | 2015-10-07 | ||
JP2015199602 | 2015-10-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017073389A JP2017073389A (ja) | 2017-04-13 |
JP6834323B2 true JP6834323B2 (ja) | 2021-02-24 |
Family
ID=58487891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016197853A Active JP6834323B2 (ja) | 2015-10-07 | 2016-10-06 | 異方性導電フィルム及び接続構造体 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11685137B2 (ja) |
JP (1) | JP6834323B2 (ja) |
KR (1) | KR102048695B1 (ja) |
CN (1) | CN108028477A (ja) |
HK (1) | HK1252270A1 (ja) |
TW (1) | TWI737634B (ja) |
WO (1) | WO2017061539A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7035370B2 (ja) | 2016-10-31 | 2022-03-15 | デクセリアルズ株式会社 | フィラー含有フィルム |
CN109843992B (zh) * | 2016-10-31 | 2022-04-26 | 迪睿合株式会社 | 含填料膜 |
US20190279935A1 (en) * | 2016-12-29 | 2019-09-12 | Intel Corporation | Semiconductor package having package substrate containing non-homogeneous dielectric layer |
US11618742B2 (en) | 2018-02-16 | 2023-04-04 | Adeka Corporation | Radical polymerization initiator, composition containing same, cured product of composition, production method for cured product, and compound |
JP6794591B1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-12-02 | タツタ電線株式会社 | 導電性接着シート |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0773067B2 (ja) * | 1987-08-31 | 1995-08-02 | 日立化成工業株式会社 | 回路の接続部材 |
JPH09293414A (ja) | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Toshiba Chem Corp | 異方性導電膜 |
JP3678547B2 (ja) | 1997-07-24 | 2005-08-03 | ソニーケミカル株式会社 | 多層異方導電性接着剤およびその製造方法 |
JP2003064324A (ja) | 2001-06-11 | 2003-03-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電性接着フィルム及びそれを用いた回路基板の接続方法、回路基板接続体 |
JP2009041019A (ja) | 2003-01-07 | 2009-02-26 | Sekisui Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物、接着性エポキシ樹脂ペースト、接着性エポキシ樹脂シート、導電接続ペースト、導電接続シート及び電子部品接合体 |
JP4238124B2 (ja) | 2003-01-07 | 2009-03-11 | 積水化学工業株式会社 | 硬化性樹脂組成物、接着性エポキシ樹脂ペースト、接着性エポキシ樹脂シート、導電接続ペースト、導電接続シート及び電子部品接合体 |
JP4282417B2 (ja) | 2003-09-12 | 2009-06-24 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | 接続構造体 |
JP2009074020A (ja) | 2007-03-06 | 2009-04-09 | Tokai Rubber Ind Ltd | 異方性導電膜 |
US8335460B2 (en) * | 2009-03-19 | 2012-12-18 | Fuji Xerox Co., Ltd | Resin film manufacturing method, transfer belt, transfer unit, and image forming apparatus |
JP2011119495A (ja) | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Fujikura Ltd | 端子接続構造及び端子接続方法 |
JP2014017248A (ja) | 2012-06-14 | 2014-01-30 | Sekisui Chem Co Ltd | 導電材料、導電材料の製造方法及び接続構造体 |
JP6333626B2 (ja) | 2013-05-29 | 2018-05-30 | 積水化学工業株式会社 | 突起粒子、導電性粒子、導電材料及び接続構造体 |
JP6151597B2 (ja) | 2013-07-29 | 2017-06-21 | デクセリアルズ株式会社 | 導電性接着フィルムの製造方法、導電性接着フィルム、接続体の製造方法 |
JP6149683B2 (ja) | 2013-10-18 | 2017-06-21 | 日立化成株式会社 | フィルム状回路接続材料及びこれを用いた接続構造体 |
JP6459786B2 (ja) | 2015-06-11 | 2019-01-30 | 株式会社デンソー | ガスセンサ制御装置 |
-
2016
- 2016-10-06 JP JP2016197853A patent/JP6834323B2/ja active Active
- 2016-10-06 CN CN201680055475.8A patent/CN108028477A/zh active Pending
- 2016-10-06 KR KR1020187007372A patent/KR102048695B1/ko active IP Right Grant
- 2016-10-06 WO PCT/JP2016/079781 patent/WO2017061539A1/ja active Application Filing
- 2016-10-06 US US15/765,439 patent/US11685137B2/en active Active
- 2016-10-07 TW TW105132481A patent/TWI737634B/zh active
-
2018
- 2018-09-10 HK HK18111582.1A patent/HK1252270A1/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180287273A1 (en) | 2018-10-04 |
JP2017073389A (ja) | 2017-04-13 |
TW201728012A (zh) | 2017-08-01 |
TWI737634B (zh) | 2021-09-01 |
CN108028477A (zh) | 2018-05-11 |
HK1252270A1 (zh) | 2019-05-24 |
KR20180040675A (ko) | 2018-04-20 |
US11685137B2 (en) | 2023-06-27 |
WO2017061539A1 (ja) | 2017-04-13 |
KR102048695B1 (ko) | 2019-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6834323B2 (ja) | 異方性導電フィルム及び接続構造体 | |
JP7052254B2 (ja) | フィラー含有フィルム | |
WO2015141830A1 (ja) | 異方性導電フィルム及びその製造方法 | |
JP6750197B2 (ja) | 異方性導電フィルム及び接続構造体 | |
JP7114857B2 (ja) | 異方性導電フィルム、その製造方法及び接続構造体 | |
JP7035370B2 (ja) | フィラー含有フィルム | |
WO2016152791A1 (ja) | 異方導電性フィルム及び接続構造体 | |
JP7315878B2 (ja) | フィラー含有フィルム | |
JP2022075779A (ja) | 異方性導電フィルム | |
JP2022069457A (ja) | 異方性導電フィルム | |
JP7081097B2 (ja) | フィラー含有フィルム | |
JP7352114B2 (ja) | フィラー含有フィルム | |
JP7332956B2 (ja) | フィラー含有フィルム | |
JP2020095941A (ja) | 異方性導電フィルム、接続構造体、接続構造体の製造方法 | |
JP7319578B2 (ja) | フィラー含有フィルム | |
TWI835252B (zh) | 含填料膜 | |
KR20240051204A (ko) | 도전 필름, 접속 구조체 및 그 제조 방법 | |
JP2021193670A (ja) | 異方性導電フィルム | |
JP2021122027A (ja) | 異方性導電フィルムの製造方法、及び異方性導電フィルム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200804 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20201002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6834323 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |