JP6831568B2 - 空気調和装置 - Google Patents

Description

本発明は、空気調和装置に関する。

例えば半導体製造設備のクリーンルームの室内温度は、通常、空気調和装置によって精密に管理されている。このようなクリーンルーム等の温度制御を精密に実施するための空気調和装置として、本件出願人は、特許文献１に開示される空気調和装置を以前に提案している。

特許文献１に係る空気調和装置は、圧縮機、凝縮器、膨張弁及び蒸発器を有する冷凍サイクルを備え、蒸発器によって空気を冷却するとともに、圧縮機から凝縮器に向けて流出する高温の熱媒体の一部を分岐させて空気の加熱に利用する。このように熱媒体を加熱に利用することで、冷却のための冷凍サイクル及び加熱のための電気ヒータを有する一般的な空気調和装置よりも省エネルギー化及び小型化の点で有利となる。また当該空気調和装置では、冷却後の空気を加熱することで、空気の温度を高精度に目標温度に制御することができる。

特開２０１７−３６８７５号公報

ところで、昨今、多くの地域で環境温度の著しい変動が発生しており、これに伴って空気調和装置の制御が不安定になるという不具合が数多く報告されている。このような環境温度の著しい変動は、具体的には環境温度の著しい低下又は上昇であるが、このうちの環境温度の著しい低下が生じた場合には、空気調和装置において高い加熱能力を出力することが必要となり得る。この際、特許文献１に係る空気調和装置では、加熱に利用する熱媒体の流量を増加させることになるが、このような流量増加による加熱能力の調節は、圧縮機の回転数に依存するため制約がある。したがって、加熱能力が不足することで、空気の温度を所望の温度に制御することが困難となる状況の発生が懸念される。

本発明は、このような実情を考慮してなされたものであり、通常時においては、冷却及び加熱による温度制御を省エネルギーに実施し、例えば環境温度の変化等によって通常時の運転では確保困難な高い加熱能力が必要となる際には、そのことを特別なセンサ等を用いることなく合理的に判断することで、温度制御対象の空気を速やかに所望の温度に制御することができる空気調和装置を提供することを目的とする。

本発明は、圧縮機、凝縮器、膨張弁、及び蒸発器が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、前記蒸発器によって温度制御対象の空気を冷却する冷却ユニットと、前記圧縮機から前記凝縮器に向けて流出する前記熱媒体の一部を分岐させ、第１ヒータ及び前記第１ヒータにおける前記熱媒体の流量を調節する加熱量調節弁を介して前記冷却ユニット側に戻し、前記第１ヒータによって前記温度制御対象の空気を加熱する第１加熱ユニットと、前記温度制御対象の空気を加熱する第２ヒータを有する第２加熱ユニットと、前記蒸発器、前記第１ヒータ及び前記第２ヒータを通過した前記温度制御対象の空気の温度を検出する温度センサと、前記冷却ユニット、前記第１加熱ユニット及び前記第２加熱ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、前記制御ユニットは、予め設定された前記温度制御対象の空気の目標温度と前記温度センサで検出される温度との差分に応じて前記加熱量調節弁の開度を上限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁が上限開度となった際に前記第２ヒータの加熱能力を増加させる、ことを特徴とする空気調和装置、である。

この空気調和装置では、第１加熱ユニットにおいて加熱量調節弁の開度を増加させた際に、第１ヒータの加熱能力が増加する。そのため、加熱量調節弁がその上限開度に制御されることは、第１ヒータの加熱能力が不足している旨を示す。ここで、加熱量調節弁の上限開度は、制御ユニットが自ら演算して制御するものであるため、この空気調和装置においては、特別なセンサ等を用いることなく温度制御時における第１ヒータの加熱能力の不足を認識することが可能となる。そして、このような上限開度への制御をトリガとして第２ヒータの加熱能力が増加されるため、目標温度への制御のための加熱能力を速やかに増加させることができる。一方で、第２ヒータの加熱能力が増加される前の通常時においては、主として、冷却ユニット及び第１加熱ユニットによる熱媒体を利用した温度制御を行うため、省エネルギーに温度制御が行われる。
したがって、通常時においては、冷却及び加熱による温度制御を省エネルギーに実施し、例えば環境温度の変化等によって通常時の運転では確保困難な高い加熱能力が必要となる際には、そのことを特別なセンサ等を用いることなく合理的に判断して加熱態様を切り換えることで、温度制御対象の空気を速やかに所望の温度に制御することができる。

前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記上限開度に制御される場合に、前記圧縮機の回転数を所定量だけ下げてもよい。

この構成では、加熱量調節弁の上限開度が所定時間にわたって継続する場合に、加熱能力の不足とともに冷却ユニットの冷凍能力が不必要に大きい状態であるものと判断し、圧縮機の回転数を所定量だけ下げることで冷凍能力を抑制する。これにより、効率的に温度制御を実施することができる。この際、圧縮機の回転数を制御するか否かを所定時間かけて判断することで、圧縮機の回転数が頻繁に変化して温度制御が不安定になることを抑制することができる。所定時間は、特に限られるものではないが、例えば１０秒以上３０秒以下に設定することで、温度制御の安定性と効率的な運転を両立させることができる。

また前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度を前記上限開度と下限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記下限開度に制御される場合に、前記圧縮機の回転数を前記所定量だけ上げてもよい。

この構成では、加熱量調節弁の下限開度が所定時間にわたって継続する場合に、加熱能力が不必要に大きいとともに冷却ユニットの冷凍能力が不足しているものと判断し、圧縮機の回転数を所定量だけ上げて冷凍能力を増加させることにより、状況に応じて好適な温度制御が実施される。この際、圧縮機の回転数を制御するか否かを所定時間かけて判断することで、圧縮機の回転数が頻繁に変化して温度制御が不安定になることを抑制することができる。上述と同様に、所定時間は、特に限られるものではないが、例えば１０秒以上３０秒以下に設定することで、温度制御の安定性を確保することができる。

また本発明は、第１圧縮機、第１凝縮器、第１膨張弁、及び第１蒸発器が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、前記第１蒸発器によって温度制御対象の空気を冷却する第１冷却ユニットと、前記第１圧縮機から前記第１凝縮器に向けて流出する前記熱媒体の一部を分岐させ、第１ヒータ及び前記第１ヒータにおける前記熱媒体の流量を調節する加熱量調節弁を介して前記第１冷却ユニット側に戻し、前記第１ヒータによって前記温度制御対象の空気を加熱する第１加熱ユニットと、第２圧縮機、第２凝縮器、第２膨張弁、及び第２蒸発器が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、前記第２蒸発器によって温度制御対象の空気を冷却する第２冷却ユニットと、前記温度制御対象の空気を加熱する第２ヒータを有する第２加熱ユニットと、前記第１蒸発器、第２蒸発器、前記第１ヒータ及び前記第２ヒータを通過した前記温度制御対象の空気の温度を検出する温度センサと、前記第１冷却ユニット、前記第２冷却ユニット、前記第１加熱ユニット及び前記第２加熱ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、前記制御ユニットは、予め設定された前記温度制御対象の空気の目標温度と前記温度センサで検出される温度との差分に応じて前記加熱量調節弁の開度を上限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁が上限開度となった際に前記第２ヒータの加熱能力を増加させる、ことを特徴とする空気調和装置、である。

この空気調和装置でも、第１加熱ユニットにおいて加熱量調節弁の開度を増加させた際に、第１ヒータの加熱能力が増加する。そのため、加熱量調節弁がその上限開度に制御されることは、第１ヒータの加熱能力が不足している旨を示す。ここで、加熱量調節弁の上限開度は、制御ユニットが自ら演算して制御するものであるため、この空気調和装置においても、特別なセンサ等を用いることなく温度制御時における第１ヒータの加熱能力の不足を認識することが可能となる。そして、このような上限開度への制御をトリガとして第２ヒータの加熱能力が増加されるため、目標温度への制御のための加熱能力を速やかに増加させることができる。一方で、第２ヒータの加熱能力が増加される前の通常時においては、主として、第１，第２冷却ユニット及び第１加熱ユニットによる熱媒体を利用した温度制御を行うため、省エネルギーに温度制御が行われる。
したがって、通常時においては、冷却及び加熱による温度制御を省エネルギーに実施し、例えば環境温度の変化等によって通常時の運転では確保困難な高い加熱能力が必要となる際には、そのことを特別なセンサ等を用いることなく合理的に判断して加熱態様を切り換えることで、温度制御対象の空気を速やかに所望の温度に制御することができる。

この場合、前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記上限開度に制御される場合に、前記第２圧縮機の回転数を所定量だけ下げてもよい。

また前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度を前記上限開度と下限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記下限開度に制御される場合に、前記第２圧縮機の回転数を前記所定量だけ上げてもよい。

また上記の本発明に係る空気調和装置のいずれにおいても、前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁が上限開度となった際に、通常加熱モードから予備ヒータ加熱モードに移行し、前記制御ユニットは、前記予備ヒータ加熱モードにおいて、前記目標温度と前記温度センサで検出される温度との差分に応じて前記第２ヒータの加熱能力を調節するようになっていてもよい。

この構成では、第２ヒータが目標温度と実測の温度との差分に応じて制御されることで、目標温度への温度制御のための加熱能力を効率的に得ることができる。

また、この場合、前記第２ヒータは、電気ヒータであり、前記制御ユニットは、前記通常加熱モードにおいて、前記第２ヒータに基準加熱能力を出力させてもよい。

この構成では、第２ヒータを常時駆動させることにより第２ヒータを乾燥させて吸湿状態となることを回避することで、第２ヒータの動作不良の発生を抑制し、温度制御の信頼性を向上させることができる。

また、この場合、前記制御ユニットは、前記予備ヒータ加熱モードで調節される前記第２ヒータの加熱能力が前記基準加熱能力以下となった際に、前記通常加熱モードに復帰するようになっていてもよい。

この構成では、第２ヒータを必要以上に作動させないことで、省エネルギーな温度制御を実現できる。

本発明によれば、通常時においては、冷却及び加熱による温度制御を省エネルギーに実施し、例えば環境温度の変化等によって通常時の運転では確保困難な高い加熱能力が必要となる際には、そのことを特別なセンサ等を用いることなく合理的に判断して加熱態様を切り換えることで、温度制御対象の空気を速やかに所望の温度に制御することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る空気調和装置の概略図である。 第１の実施の形態に係る空気調和装置の制御ユニットの構成を示すブロック図である。 第１の実施の形態に係る空気調和装置の動作を説明するフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態に係る空気調和装置の概略図である。

以下に、添付の図面を参照して、本発明の各実施の形態を詳細に説明する。

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る空気調和装置１の概略図である。本実施の形態に係る空気調和装置１は、例えば、フォトレジストの塗布及び現像を行う装置に対し、温度制御された空気を供給して、装置内温度を一定に維持するために用いられる。

まず、本実施の形態に係る空気調和装置１の概略構成を説明する。

図１に示すように、本実施の形態に係る空気調和装置１は、回転数を調節可能な圧縮機１１、凝縮器１２、膨張弁１３、及び蒸発器１４が熱媒体を循環させるように当該順序で配管１５により接続され、蒸発器１４によって温度制御対象の空気を冷却する冷却ユニット１０と、圧縮機１１から凝縮器１２に向けて流出する熱媒体の一部を分岐させ、第１ヒータ２１及びその下流側に設けられた加熱量調節弁２２を介して圧縮機１１の下流側において凝縮器１２に流入するように戻し、第１ヒータ２１によって温度制御対象の空気を加熱する第１加熱ユニット２０と、第１ヒータ２１とは独立して温度制御対象の空気を加熱する第２ヒータ３１を有する第２加熱ユニット３０と、を備えている。蒸発器１４、第１ヒータ２１及び第２ヒータ３１は、温度制御対象の空気を取り込む取込口４１と温度制御対象の空気を吐出する吐出口４２とが設けられた空気通流路４０に収容されている。本実施の形態では、取込口４１から吐出口４２に向かう方向で、蒸発器１４、第２ヒータ３１及び第１ヒータ２１がこの順で配置されている。

空気調和装置１には、取込口４１から吐出口４２へ空気を通流させる送風機５０と、吐出口４２に設けられる第１温度センサ５１と、吐出口４２から吐出される空気が供給されるユース領域Ｕに設けられる第２温度センサ５２と、蒸発器１４の下流側の配管内の圧力を検出する圧力センサ５３と、冷却ユニット１０、第１加熱ユニット２０及び第２加熱ユニット３０を制御する制御ユニット６０と、がさらに備えられている。制御ユニット６０は、冷却ユニット１０における圧縮機１１の回転数及び膨張弁１３の開度、第１加熱ユニット２０における加熱量調節弁２２の開度、ならびに第２加熱ユニット３０における第２ヒータ３１の加熱能力等を制御可能となっている。ここで、本実施の形態においては、第１温度センサ５１が、本発明でいう「温度センサ」が対応する。

また空気調和装置１は、吐出口４２に設けられる湿度センサ５４と、空気通流路４０における第１ヒータ２１と送風機５０との間すなわち第１ヒータ２１の下流側に設けられる加湿装置７０と、をさらに備えている。湿度センサ５４で検出された湿度は、制御ユニット６０に入力され、制御ユニット６０は、湿度センサ５４で検出された湿度に基づき加湿装置７０を調節して、温度制御対象の空気の湿度を所望の湿度に制御するようにもなっている。

なお、図示の都合上、図１において、第１温度センサ５１及び湿度センサ５４は、吐出口４２から離れて示されているが、第１温度センサ５１及び湿度センサ５４は吐出口４２を通過する空気の温度又は湿度を検出可能な任意の態様で配置されている。また本実施の形態では、取込口４１から吐出口４２に向かう方向で、蒸発器１４、第２ヒータ３１及び第１ヒータ２１がこの順で配置されているが、このような配置構成は特に限られるものではない。例えば、第２ヒータ３１は、第１ヒータ２１の下流側に配置されていてもよい。

図１において、複数示された矢印Ａは、空気の流れを示している。矢印Ａに示すように、本実施の形態に係る空気調和装置１では、空気通流路４０の取込口４１から取り込まれた温度制御対象の空気が、蒸発器１４、第２ヒータ３１及び第１ヒータ２１を通過した後、吐出口４２から吐出され、この際、第１温度センサ５１によって温度を検出される。そして、吐出口４２から吐出される空気は、ユース領域Ｕに供給され、第２温度センサ５２によって温度を検出されることになる。本実施の形態では、送風機５０が、空気通流路４０における第１ヒータ２１と吐出口４２との間（図１の例では吐出口４２の近傍）に設けられ、第１ヒータ２１を通過した空気が、送風機５０によって吐出口４２からユース領域Ｕに吐出されるようになっている。ユース領域Ｕは、例えばフォトレジストの塗布及び現像を行う装置（コータ等）の内部空間等である。

以下では、空気調和装置１の各構成について詳述する。

冷却ユニット１０における圧縮機１１は、蒸発器１４から流出した低温かつ低圧の気体の状態の熱媒体を圧縮し、高温（例えば８０℃）かつ高圧の気体の状態として、凝縮器１２に供給するようになっている。本実施の形態における圧縮機１１は、インバータ２８（図２参照）を介して制御ユニット６０に接続され、インバータ２８からの電力供給によって駆動する所謂インバータ圧縮機である。インバータ２８は、制御ユニット６０からの指令に応じて、圧縮機１１への供給電力の周波数（以下、運転周波数）及び電圧を可変であり、圧縮機１１は、供給電力の運転周波数に応じて回転数を調節することが可能となっている。圧縮機１１では、運転周波数が高いほど回転数が高くなり、より多くの熱媒体が凝縮器１２に供給される。圧縮機１１としては、スクロール型圧縮機が採用されることが好ましいが、インバータ２８による運転周波数の調節により回転数を調節して熱媒体の供給量（流量）を調節可能であれば、圧縮機１１の形式は特に限定されるものではない。なお、圧縮機１１の回転数は固定であってもよく、この場合は、圧縮機１１として、定速圧縮機が採用されてもよい。

凝縮器１２は、圧縮機１１で圧縮された熱媒体を冷却水によって冷却すると共に凝縮し、所定の冷却温度（例えば、４０℃）の高圧の液体の状態として、膨張弁１３に供給するようになっている。凝縮器１２の冷却水には、水が用いられてよいし、その他の冷媒が用いられてもよい。また、膨張弁１３は、凝縮器１２から供給された熱媒体を膨張させることにより減圧させて、低温（例えば、２℃）かつ低圧の気液混合状態として、蒸発器１４に供給するようになっている。蒸発器１４は、供給された熱媒体を温度制御対象の空気と熱交換させて空気を冷却するようになっている。空気と熱交換した熱媒体は、低温かつ低圧の気体の状態となって蒸発器１４から流出して再び圧縮機１１で圧縮されるようになっている。

この冷却ユニット１０では、圧縮機１１の運転周波数を変化させ回転数を調節することにより、凝縮器１２に供給される熱媒体の供給量を調節可能であると共に、膨張弁１３の開度を調節可能であることで、蒸発器１４に供給される熱媒体の供給量を調節可能となっている。このような調節により冷凍能力及び配管内の圧力を制御することが可能となっている。詳しくは、本実施の形態では、詳細は後述する所定の条件が検出された場合に、制御ユニット６０がインバータ２８に運転周波数の調節指令を出力して、冷凍能力を調節するようになっている。一方で、膨張弁１３は、蒸発器１４の出口圧力を一定に維持して冷凍能力を安定化させる目的で開度を調節されるようになっている。

また第１加熱ユニット２０では、第１ヒータ２１が、熱媒体入口と熱媒体出口とを有している。熱媒体入口と、圧縮機１１と凝縮器１２との間の配管部分１５Ａの上流側と、が、供給管２５によって接続される一方、熱媒体出口と、配管部分１５Ａの下流側と、が、戻し管２６によって接続され、戻し管２６に加熱量調節弁２２が設けられている。これにより、第１加熱ユニット２０は、圧縮機１１から凝縮器１２に向けて流出する熱媒体の一部を分岐させ、第１ヒータ２１及び加熱量調節弁２２を介して凝縮器１２に流入するように戻すことが可能となっている。

この第１加熱ユニット２０では、圧縮機１１によって圧縮された高温（例えば８０℃）かつ高圧の気体の状態の熱媒体が第１ヒータ２１に供給されることになる。第１ヒータ２１は、供給された熱媒体を温度制御対象の空気と熱交換させて空気を加熱するようになっている。そして、空気と熱交換した熱媒体は、第１ヒータ２１から戻し管２６を介して配管部分１５Ａに戻るようになっている。ここで、加熱量調節弁２２が、第１ヒータ２１から配管部分１５Ａへの熱媒体の戻り量を調節することにより、第１ヒータ２１における加熱能力を変更することが可能である。このような構成においては、熱媒体の戻し量が多いほど、加熱能力が増加することになる。ここで、加熱量調節弁２２による第１ヒータ２１を通流する熱媒体の流量の調節は、制御ユニット６０が、予め設定された温度制御対象の空気の目標温度（本例では、目標ソース温度）と第１温度センサ５１で検出される温度との差分に応じて加熱量調節弁２２の開度を所定の上限開度の範囲内で制御することにより行われる。このことについての詳細は、後述する。

また第２加熱ユニット３０では、上述したように電気ヒータとして構成される第２ヒータ３１が、図示省略された電源から供給される電力の電力供給量を制御ユニット６０によって制御され、電力供給量に応じて加熱能力を調節可能となっている。詳しくは、第２ヒータ３１は、制御ユニット６０が加熱量調節弁２２の開度を上限開度まで調節し、これにより加熱能力が不足すると判断された場合に、加熱能力を増加させるように制御ユニット６０によって制御される。より具体的には、第２ヒータ３１は、通常の状態においては常時、基準加熱能力を出力するように制御ユニット６０によって制御され、制御ユニット６０が加熱量調節弁２２の開度を上限開度まで調節した際に、基準加熱能力よりも高い加熱能力を出力するように構成されている。以下では、第１ヒータ２１によって加熱を行いつつ、第２ヒータ３１が基準加熱能力を出力する状態のことを「通常加熱モード」と呼び、第１ヒータ２１によって加熱を行いつつ、第２ヒータ３１に基準加熱能力よりも高い加熱能力を出力させる状態のことを「予備ヒータ加熱モード」と呼ぶ。

なお、上述のように第２ヒータ３１に基準加熱能力を出力させる理由は、本実施の形態では、第２ヒータ３１としてフィンシーズヒータが採用されることによる。すなわち、フィンシーズヒータは、発熱体と外管との間に絶縁粉末を充填して構成されるが、発熱体への電力供給を停止すると、とりわけ本実施の形態に係る空気調和装置１のように加湿装置７０を備える構成では、絶縁粉末が吸湿し、これが原因で絶縁不良が生じ得る。このような問題を回避するために本実施の形態では、絶縁粉末を常に乾燥状態とすべく第２ヒータ３１に上記の基準加熱能力を常時出力させるようになっている。したがって、上記基準加熱能力は、絶縁粉末を乾燥状態とすることができればよく、具体的に本実施の形態では、第２ヒータ３１の最大加熱能力（例えば６Ｋｗ）の２％の加熱能力が、基準加熱能力として設定されている。

なお、第２ヒータ３１がフィンシーズヒータである場合には、基準加熱能力を、第２ヒータ３１の最大加熱能力の１．５％以上５．０％以下の範囲で設定することが好ましい。この範囲であれば、絶縁粉末を安定的に乾燥状態とすることができ、且つ電力消費量も抑制することができるからである。なお、基準加熱能力を具体的にどの値に設定するかについては、温度制御対象の空気の状況に応じて決めてもよい。また、上述のように本実施の形態における制御ユニット６０は、加熱量調節弁２２の開度を上限開度まで調節した際に、基準加熱能力よりも高い加熱能力を第２ヒータ３１に出力させるが、第２ヒータ３１は、通常加熱モードにおいて常時オフ状態となっていてもよい。

次に制御ユニット６０の機能構成について図２を参照しつつ説明する。図２に示すように、制御ユニット６０は、加熱量調節弁２２の開度を制御する加熱量制御部６１と、インバータ２８の運転周波数を変更することで圧縮機１１の回転数を制御する圧縮機制御部６２と、膨張弁１３の開度を制御する熱媒体圧力制御部６３と、加湿装置７０を制御する加湿制御部６４と、加熱量制御部６１に接続される第１パルスコンバータ６５と、熱媒体圧力制御部６３に接続される第２パルスコンバータ６６と、を有している。この制御ユニット６０には、ユース領域Ｕの目標温度である目標ユース温度と、冷却ユニット１０における熱媒体の目標圧力と、温度制御対象の空気の目標湿度とが入力されることになる。また本実施の形態における制御ユニット６０は、上述した「通常加熱モード」と「予備ヒータ加熱モード」とを切り換え、モードに応じて動作を変更するように構成されている。以下、制御ユニット６０の各部について、必要に応じて「通常加熱モード」と「予備ヒータ加熱モード」とを場合分けしつつ説明する。

まず、加熱量制御部６１は、「通常加熱モード」と「予備ヒータ加熱モード」とで動作が異なる。通常加熱モードである場合、加熱量制御部６１は、第２温度センサ５２が検出する温度とユース領域Ｕに予め設定される目標ユース温度との差分に応じて、吐出口４２を通過する温度制御対象の空気の目標ソース温度を算出し、第１温度センサ５１が検出する温度と前記目標ソース温度との差分に応じたＰＩＤ演算により、第１温度センサ５１が検出する温度を前記目標ソース温度に一致させるための加熱量調節弁２２の開度操作量を演算して、当該開度操作量に応じて加熱量調節弁２２の開度を上限開度及び下限開度の範囲内で制御（ＰＩＤ制御）するようになっている。

なお、開度操作量とは、加熱量調節弁２２の目標開度を意味し、例えば開度操作量が０％と演算された場合には、当該開度操作量は、加熱量調節弁２２の開度を全閉にすることを意図した指令であることを意味する。また例えば開度操作量が１００％と演算された場合には、当該開度操作量は、加熱量調節弁２２の開度を全開にすることを意図した指令であることを意味する。また本実施の形態においては、加熱量調節弁２２の上限開度が一例として７０％に設定されており、下限開度が一例として１０％に設定されているが、このような値は、特に限られるものではなく任意に設定可能である。

本実施の形態における加熱量制御部６１は、具体的には第１パルスコンバータ６５に演算した開度操作量を出力し、第１パルスコンバータ６５が開度操作量に対応するパルス信号を演算して、加熱量調節弁２２に送出する。これにより、加熱量調節弁２２の開度が演算された開度操作量となるように調節されることになる。図示省略するが、加熱量調節弁２２は、第１パルスコンバータ６５からのパルス信号に応じて駆動するステッピングモータによって、その開度を調節されるようになっている。また、上述の目標ソース温度とは、温度制御対象の空気がユース領域Ｕに供給された際に、ユース領域Ｕの温度を目標ユース温度にするための温度である。目標ソース温度と目標ユース温度との関係は、空気調和装置１とユース領域Ｕとの位置関係等に基づき、演算により又は実験的に特定されてもよい。

一方で、予備ヒータ加熱モードである場合、加熱量制御部６１は、上述と同様に、第１温度センサ５１が検出する温度と目標ソース温度との差分に応じて加熱量調節弁２２の開度を制御するとともに、当該差分に応じて第２ヒータ３１の加熱能力も調節する。詳しくは、加熱量制御部６１は、第２温度センサ５２が検出する温度とユース領域Ｕに予め設定される目標ユース温度との差分に応じて算出された目標ソース温度と、第１温度センサ５１が検出する温度と、の差分に応じたＰＩＤ演算により、第１温度センサ５１が検出する温度を前記目標ソース温度に一致させるための第２ヒータ３１の目標加熱能力を演算して、当該目標加熱能力となるように第２ヒータ３１の加熱能力を制御（ＰＩＤ制御）する。一方で、本実施の形態における加熱量制御部６１は、予備ヒータ加熱モードで演算された目標加熱能力に応じて、第２ヒータ３１の加熱能力が上記基準加熱能力以下となった際には、通常加熱モードに復帰するようになっている。

次いで圧縮機制御部６２は、インバータ２８に電気的に接続され、圧縮機１１の回転数を所定の回転数範囲内で制御するものである。運転開始時において、本実施の形態における圧縮機制御部６２は、圧縮機１１が予め定められた初期回転数で回転するようにインバータ２８に指令を出力するようになっており、インバータ２８は、初期回転数に対応する運転周波数の電力を圧縮機１１に供給するようになっている。また、加熱量調節弁２２の制御等が開始された後、圧縮機制御部６２は、加熱量調節弁２２の開度が所定時間にわたって上限開度に制御される場合に、圧縮機１１の運転周波数を所定周波数だけ下げ、加熱量調節弁２２の開度が前記所定時間にわたって下限開度に制御される場合に、圧縮機１１の運転周波数を所定周波数だけ上げることで、圧縮機１１の回転数を調節するようになっている。

このような圧縮機制御部６２によれば、加熱量調節弁２２の開度が所定時間にわたって上限開度に制御される場合には、冷凍能力が過剰であると判断して、圧縮機１１の運転周波数を下げて回転数を所定量だけ下げることにより、冷凍能力を下げることができる。また、加熱量調節弁２２の開度が所定時間にわたって下限開度に制御される場合には、冷凍能力が不足していると判定して、圧縮機１１の運転周波数を増加させて回転数を所定量だけ上げることにより、冷凍能力を上げることができる。このことにより、温度制御対象の空気に対する適正な温度制御を行うことができる。

ここで、本実施の形態における圧縮機制御部６２は、圧縮機１１の回転数を上下させるか否かの判定を、加熱量調節弁２２の開度の所定時間における挙動に基づき所定時間の経過を待って行うことになる。このような処理は、圧縮機１１の回転数を頻繁に変化させないことで、冷凍能力及び加熱能力の変化によって制御系に生じる外乱の影響を抑制して、制御精度を向上させるために行われる。上述の「所定時間」は、空気調和装置１の特性によって変化し得る値であるが、圧縮機１１の運転周波数が頻繁に変化せず、且つ目標ユース温度への実用的な到達時間を考慮すると、例えば、１０秒〜３０秒、好ましくは１５秒〜２５秒、さらに好ましくは２０秒等に設定されることが好ましい。

また本実施の形態において、圧縮機制御部６２が加熱量調節弁２２の開度に応じて圧縮機１１の運転周波数を上下させる単位である「所定周波数」は、冷凍能力及び加熱能力の変化によって制御系に生じる外乱の影響を抑制する観点から、比較的小さい値であることが好ましい。この「所定周波数」は、空気調和装置１の特性及び圧縮機１１のモータの型式によって変化し得る値であるが、圧縮機１１の運転周波数が頻繁に変化せず、且つ目標ユース温度への実用的な到達時間を考慮すると、例えば、１Ｈｚ〜４Ｈｚ程度が好ましい。所定周波数の好ましい値である１Ｈｚ〜４Ｈｚ程度の値を回転数に換算すると、上下される回転数の所定量は、モータの型式によって変化し得る値であるが、例えば、２０〜８０（ｒ／ｍｉｎ）である。

続いて熱媒体圧力制御部６３は、圧力センサ５３が検出する圧力と予め設定される目標圧力との差分に応じたＰＩＤ演算により、圧力センサ５３が検出する圧力を前記目標圧力に一致させるための膨張弁１３の開度操作量を演算して、当該開度操作量に応じて膨張弁１３の開度を制御（ＰＩＤ制御）するようになっている。詳しくは、熱媒体圧力制御部６３は、第２パルスコンバータ６６に演算した開度操作量を出力し、第２パルスコンバータ６６が開度操作量に対応するパルス信号を演算して、膨張弁１３に送出する。これにより、膨張弁１３の開度が演算された開度操作量となるように調節される。なお、図示省略するが、膨張弁１３は、第２パルスコンバータ６６からのパルス信号に応じて駆動するステッピングモータによって、その開度を調節されるようになっている。

また加湿制御部６４は、湿度センサ５４が検出する湿度と予め設定される目標湿度との差分に基づくＰＩＤ演算により、湿度センサ５４が検出する湿度を前記目標湿度に一致させるための加湿装置７０の加湿操作量を演算して、当該加湿操作量に応じて前記加湿装置７０を制御（ＰＩＤ制御）するようになっている。加湿装置７０は、例えば加熱ヒータと、加熱ヒータによって加熱される水を貯留する槽とを有する。この場合には、加熱ヒータが加湿操作量に応じて制御されることになる。

以下では、本実施の形態の空気調和装置１の動作の一例について図３に示すフローチャートを参照しつつ説明する。

本実施の形態の空気調和装置１では、まず、制御ユニット６０において、ユース領域Ｕの目標温度である目標ユース温度と、冷却ユニット１０における熱媒体の目標圧力と、温度制御対象の空気の目標湿度と、が入力される。また、送風機５０が駆動されることにより、空気通流路４０内の空気が吐出口４２側に流動し、空気通流路４０の取込口４１から温度制御対象の空気が取り込まれる。さらに、冷却ユニット１０の圧縮機１１も駆動される。ここで、圧縮機１１は、上述した初期回転数となるように駆動される。また第１加熱ユニット２０では、加熱量調節弁２２の開度が一例として上限開度と下限開度との間の任意の値に設定される。また第２加熱ユニット３０では、第２ヒータ３１が基準加熱能力を出力するように制御される。すなわち空気調和装置１は、通常加熱モードの温度制御から運転を開始する。

この際、空気通流路４０の取込口４１から取り込まれた空気は、まず、蒸発器１４を通過し、その後、第２ヒータ３１及び第１ヒータ２１を通過する。その後、この空気は、加湿装置７０によって加湿された後、吐出口４２から吐出され、ユース領域Ｕに至る。この際、吐出口４２から吐出される空気は、第１温度センサ５１によって温度が検出され、湿度センサ５４によって湿度が検出される。また、ユース領域Ｕの温度が第２温度センサ５２によって検出され、蒸発器１４の下流側の熱媒体の圧力も圧力センサ５３によって検出される。そして、第１温度センサ５１は、検出した温度を制御ユニット６０に出力し、湿度センサ５４は、検出した湿度を制御ユニット６０に出力する。第２温度センサ５２は、検出した温度を制御ユニット６０に出力し、圧力センサ５３は、検出した圧力を制御ユニット６０に出力する。

上述のように空気調和装置１が運転されると、図３を参照し、本実施の形態では、まずステップＳ１において、制御ユニット６０の加熱量制御部６１が、第２温度センサ５２が検出する温度とユース領域Ｕに予め設定される目標ユース温度との差分に応じて、吐出口４２を通過する温度制御対象の空気の目標ソース温度を算出する。次いでステップＳ２において、加熱量制御部６１は、制御モードが通常加熱モードであるか又は予備ヒータ加熱モードであるかについて判断し、通常加熱モードである場合には、ステップＳ３の処理に進む。

ステップＳ３においては、加熱量制御部６１が、第１温度センサ５１が検出する温度とステップＳ１で算出された目標ソース温度との差分に応じたＰＩＤ演算により、第１温度センサ５１が検出する温度を目標ソース温度に一致させるための加熱量調節弁２２の開度操作量を演算し、続いてステップＳ４において、当該開度操作量に応じて加熱量調節弁２２の開度を調節する。

次いでステップＳ５において、加熱量制御部６１は、加熱量調節弁２２の開度が上限開度になっているか否かについて判断し、上限開度が確認された場合には、ステップＳ６において、制御モードを予備ヒータ加熱モードに移行させ、ステップＳ１の処理に戻る。一方で、ステップＳ５において上限開度が確認されない場合には、加熱量制御部６１は、ステップＳ７において、加熱量調節弁２２の開度が所定時間にわたって下限開度に制御さているか否かについて判断する。ここで、所定時間にわたって加熱量調節弁２２の開度が下限開度になっていることが確認された場合には、ステップＳ８において、圧縮機制御部６２が、圧縮機１１の運転周波数を増加させて回転数を所定量だけ上げた後、処理がステップＳ１に戻る。また、下限開度になっていることが確認されない場合には、圧縮機１１の回転数を調節することなく、ステップＳ１の処理に戻る。

一方で、ステップＳ３において予備ヒータ加熱モードが確認された場合には、ステップＳ９において、加熱量制御部６１が、第１温度センサ５１が検出する温度とステップＳ１で算出された目標ソース温度との差分に応じて、第１温度センサ５１が検出する温度を目標ソース温度に一致させるための加熱量調節弁２２の開度操作量を演算し、且つ当該差分に応じて、第１温度センサ５１が検出する温度を目標ソース温度に一致させるための第２ヒータ３１の目標加熱能力も演算する。そしてステップＳ１０において、加熱量制御部６１は、演算した開度操作量に応じて加熱量調節弁２２の開度を調節するとともに、演算した目標加熱能力となるように第２ヒータ３１の加熱能力を調節する。

その後、ステップＳ１１において、加熱量制御部６１は、加熱量調節弁２２の開度が所定時間にわたって上限開度に制御さているか否かについて判断し、所定時間にわたって加熱量調節弁２２の開度が上限開度になっていることが確認された場合には、ステップＳ１２において、圧縮機制御部６２が、圧縮機１１の運転周波数を下げて回転数を所定量だけ下げた後、処理がステップＳ１３に進む。また、上限開度になっていることが確認されない場合には、圧縮機１１の回転数を調節することなく、ステップＳ１３の処理に進む。

そしてステップＳ１３において、加熱量制御部６１は、第２ヒータ３１の加熱能力が基準加熱能力以下か否かについて確認し、基準加熱能力以下である場合には、ステップＳ１４において、制御モードを通常加熱モードに移行させ、ステップＳ１の処理に戻る。一方で、基準加熱能力以下でない場合には、制御モードを移行させることなく、処理がステップＳ１に戻る。なお、以上においては、温度制御の処理の流れを説明したが、このような処理に並行して、熱媒体圧力制御部６３による配管内圧力の制御と、加湿制御部６４による湿度制御とが行われることになる。

以上に説明したように本実施の形態の空気調和装置１では、第１加熱ユニット２０において加熱量調節弁２２の開度を増加させた際に、第１ヒータ２１の加熱能力が増加する。そのため、加熱量調節弁２２がその上限開度に制御されることは、第１ヒータ２１の加熱能力が不足している旨を示す。ここで、加熱量調節弁２２の上限開度は、制御ユニット６０が自ら演算して制御するものであるため、この空気調和装置１においては、特別なセンサ等を用いることなく温度制御時における第１ヒータ２１の加熱能力の不足を認識することが可能となる。そして、このような上限開度への制御をトリガとして第２ヒータ３１の加熱能力が増加されるため、目標温度（本例では、目標ソース温度）への制御のための加熱能力を速やかに増加させることができる。一方で、第２ヒータ３１の加熱能力が増加される前の通常時においては、主として、冷却ユニット１０及び第１加熱ユニット２０による熱媒体を利用した温度制御を行うため、省エネルギーに温度制御が行われる。

したがって、通常時においては、冷却及び加熱による温度制御を省エネルギーに実施し、例えば環境温度の変化等によって通常時の運転では確保困難な高い加熱能力が必要となる際には、そのことを特別なセンサ等を用いることなく合理的に判断して加熱態様を切り換えることで、温度制御対象の空気を速やかに所望の温度に制御することができる。

また制御ユニット６０は、加熱量調節弁２２の開度が所定時間にわたって上限開度に制御される場合に、圧縮機１１の回転数を所定量だけ下げる。これにより、加熱量調節弁２２の上限開度が所定時間にわたって継続する場合に、加熱能力の不足とともに冷却ユニット１０の冷凍能力が不必要に大きい状態であるものと判断し、圧縮機１１の回転数を所定量だけ下げることで冷凍能力を抑制する。これにより、効率的に温度制御を実施することができる。この際、圧縮機１１の回転数を制御するか否かを所定時間かけて判断することで、圧縮機１１の回転数が頻繁に変化して温度制御が不安定になることを抑制することができる。

また制御ユニット６０は、加熱量調節弁２２の開度を上限開度と下限開度の範囲内で制御し、加熱量調節弁２２の開度が所定時間にわたって下限開度に制御される場合に、圧縮機１１の回転数を所定量だけ上げる。これにより、加熱量調節弁２２の下限開度が所定時間にわたって継続する場合に、加熱能力が不必要に大きいとともに冷却ユニット１０の冷凍能力が不足しているものと判断し、圧縮機１１の回転数を所定量だけ上げて冷凍能力を増加させることにより、状況に応じて好適な温度制御が実施される。この際、圧縮機１１の回転数を制御するか否かを所定時間かけて判断することで、圧縮機１１の回転数が頻繁に変化して温度制御が不安定になることを抑制することができる。

また制御ユニット６０は、予備ヒータ加熱モードに移行した際には、目標温度と第１温度センサ５１で検出される温度との差分に応じて第２ヒータ３１の加熱能力を調節する。この構成では、第２ヒータ３１が目標温度と実測の温度との差分に応じて制御されることで、目標温度への温度制御のための加熱能力を効率的に得ることができる。

また第２ヒータ３１は、電気ヒータであり、制御ユニット６０は、通常加熱モードにおいて、第２ヒータ３１に基準加熱能力を出力させる。これにより、第２ヒータ３１を常時駆動させることにより第２ヒータ３１を乾燥させて吸湿状態となることを回避することで、第２ヒータ３１の動作不良の発生を抑制し、温度制御の信頼性を向上させることができる。

また制御ユニット６０は、予備ヒータ加熱モードで調節される第２ヒータ３１の加熱能力が基準加熱能力以下となった際に、通常加熱モードに復帰する。これにより、第２ヒータ３１を必要以上に作動させないことで、省エネルギーな温度制御を実現できる。

（第２の実施の形態）
次に、図４を参照しつつ本発明の第２の実施の形態に係る空気調和装置２について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第１の実施の形態と同様のものには、同一の符号を付して、説明を省略する場合がある。

図４に示すように、第２の形態に係る空気調和装置２は、第１冷却ユニット１１０と、第２冷却ユニット１４０と、第１加熱ユニット１２０と、第２加熱ユニット１３０と、これら各ユニットを制御する制御ユニット１６０と、を備えている。第１冷却ユニット１１０は、第１圧縮機１１１、第１凝縮器１１２、第１膨張弁１１３、及び第１蒸発器１１４が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、第１蒸発器１１４によって温度制御対象の空気を冷却するように構成されている。第１加熱ユニット１２０は、第１圧縮機１１１から第１凝縮器１１２に向けて流出する熱媒体の一部を分岐させ、第１ヒータ１２１及びその下流側に設けられた加熱量調節弁１２２を介して第１圧縮機１１１の下流側において第１凝縮器１１２に流入するように戻し、第１ヒータ１２１によって温度制御対象の空気を加熱するように構成されている。

第２加熱ユニット１３０は、第１ヒータ１２１とは独立して温度制御対象の空気を加熱する第２ヒータ１３１を有する。また第２冷却ユニット１４０は、回転数を調節可能な第２圧縮機１４１、第２凝縮器１４２、第２膨張弁１４３、及び第２蒸発器１４４が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、第２蒸発器１４４によって温度制御対象の空気を冷却するように構成されている。第１蒸発器１１４、第２蒸発器１４４、第１ヒータ１２１及び第２ヒータ１３１は、第１の実施の形態と同様の空気通流路４０に収容され、本実施の形態では、取込口４１から吐出口４２に向かう方向で、第２蒸発器１４４、第１蒸発器１１４、第２ヒータ１３１及び第１ヒータ１２１がこの順で配置されている。

また空気調和装置２は、第１の実施の形態と同様に、送風機５０と、吐出口４２に設けられる第１温度センサ５１と、吐出口４２から吐出される空気が供給されるユース領域Ｕに設けられる第２温度センサ５２と、を備えている。一方で、本実施の形態では、冷凍サイクルが二つ設けられるため、空気調和装置２が、第１蒸発器１１４の下流側の配管内の圧力を検出する第１圧力センサ１５３Ａと、第２蒸発器１４４の下流側の配管内の圧力を検出する第２圧力センサ１５３Ｂと、を備えている。

制御ユニット１６０について詳述すると、本実施の形態における制御ユニット１６０は、第１冷却ユニット１１０における第１膨張弁１１３の開度、第２冷却ユニット１４０における第２圧縮機１４１の回転数及び第２膨張弁１４３の開度、第１加熱ユニット１２０における加熱量調節弁１２２の開度、ならびに第２加熱ユニット１３０における第２ヒータ１３１の加熱能力等を制御可能となっている。なお、本実施の形態においても、第１温度センサ５１が、本発明でいう「温度センサ」が対応する。また空気調和装置２は、第１の実施の形態と同様の湿度センサ５４及び加湿装置７０も備えている。

制御ユニット１６０は、第１の実施の形態と同様の制御を行うようになっており、「通常加熱モード」と「予備ヒータ加熱モード」とを切り換え、モードに応じて動作を変更するようになっている。詳しくは、本実施の形態における制御ユニット１６０は、通常加熱モードである場合、第２温度センサ５２が検出する温度とユース領域Ｕに予め設定される目標ユース温度との差分に応じて、吐出口４２を通過する温度制御対象の空気の目標ソース温度を算出し、第１温度センサ５１が検出する温度と前記目標ソース温度との差分に基づくＰＩＤ演算により、第１温度センサ５１が検出する温度を前記目標ソース温度に一致させるための加熱量調節弁２２の開度操作量を演算して、当該開度操作量に応じて加熱量調節弁２２の開度を上限開度及び下限開度の範囲内で制御（ＰＩＤ制御）するようになっている。そして、このような通常加熱モードにおいて加熱量調節弁２２の開度が上限開度となった際に、制御ユニット１６０は、その制御モードを、第２ヒータ１３１の加熱能力を増加させる「予備加熱モード」に移行させるようになっている。

そして制御ユニット１６０は、予備ヒータ加熱モードにおいて、目標ソース温度と第１温度センサ５１で検出される温度との差分に応じて、加熱量調節弁２２の開度を調節するとともに、第２ヒータ１３１の加熱能力を調節するようになっている。ここで、第２ヒータ１３１は電気ヒータであり、制御ユニット１６０は、通常加熱モードにおいて、第２ヒータ１３１に基準加熱能力を出力させる。また制御ユニット１６０は、予備ヒータ加熱モードで調節される第２ヒータ１３１の加熱能力が基準加熱能力以下となった際には、通常加熱モードに復帰するようにもなっている。

さらに本実施の形態における制御ユニット１６０は、加熱量調節弁１２２の開度が所定時間にわたって上限開度に制御される場合に、第２圧縮機１４１の回転数を所定量だけ下げる。この処理は、予備ヒータ加熱モードにおいて行われる。また制御ユニット１６０は、加熱量調節弁１２２の開度が所定時間にわたって下限開度に制御される場合に、第２圧縮機１４１の回転数を所定量だけ上げる。この処理は、通常加熱モードにおいて行われる。

以上に説明した本実施の形態に係る空気調和装置２においても、第１加熱ユニット１２０において加熱量調節弁１２２の開度を増加させた際に、第１ヒータ１２１の加熱能力が増加する。そのため、加熱量調節弁１２２がその上限開度に制御されることは、第１ヒータ１２１の加熱能力が不足している旨を示す。ここで、加熱量調節弁１２２の上限開度は、制御ユニット１６０が自ら演算して制御するものであるため、本実施の形態に係る構成においても、特別なセンサ等を用いることなく第１ヒータ１２１の加熱能力の不足を認識することが可能となる。そして、このような上限開度への制御をトリガとして第２ヒータ１３１の加熱能力が増加されるため、目標温度への制御のための加熱能力を速やかに増加させることができる。一方で、第２ヒータ１３１の加熱能力が増加される前の通常時においては、主として、第１，第２冷却ユニット１１０，１４０及び第１加熱ユニット１２０による熱媒体を利用した温度制御を行うため、省エネルギーに温度制御が行われる。

したがって、通常時においては、冷却及び加熱による温度制御を省エネルギーに実施し、例えば環境温度の変化等によって通常時の運転では確保困難な高い加熱能力が必要となる際には、そのことを特別なセンサ等を用いることなく合理的に判断して加熱態様を切り換えることで、温度制御対象の空気を速やかに所望の温度に制御することができる。

以上、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明は、上述の各実施の形態に限られるものではなく、上述の各実施の形態には種々の変更を加えることができる。例えば、第１の実施の形態では、加熱量調節弁２２は、第１ヒータ２１の下流側に設けられるが、第１ヒータ２１の上流側に加熱量調節弁２２が設けられてもよい。また第２の実施の形態においても、第１ヒータ１２１の上流側に加熱量調節弁１２２が設けられてもよい。

また第１の実施の形態では、第２温度センサ５２が検出する温度とユース領域Ｕに予め設定される目標ユース温度との差分に応じて、吐出口４２を通過する温度制御対象の空気の目標ソース温度が算出され、その後、第１温度センサ５１が検出する温度と目標ソース温度との差分に応じて、加熱量調節弁２２及び第２ヒータ３１が制御される。しかしながら、制御態様はこれに限られることない。例えば、第２温度センサ５２を利用せずに、第１温度センサ５１が検出する温度を、予め直接的に設定した目標温度に制御する制御態様が採用されてもよい。

１，２…空気調和装置
１０…冷却ユニット
１１…圧縮機
１２…凝縮器
１３…膨張弁
１４…蒸発器
２０…第１加熱ユニット
２１…第１ヒータ
２２…加熱量調節弁
３０…第２加熱ユニット
３１…第２ヒータ
５１…第１温度センサ
５２…第２温度センサ
５３…圧力センサ
６０…制御ユニット
６１…加熱量制御部
６２…圧縮機制御部
６３…熱媒体圧力制御部
７０…加湿装置
１１０…第１冷却ユニット
１１１…第１圧縮機
１１２…第１凝縮器
１１３…第１膨張弁
１１４…第１蒸発器
１２０…第１加熱ユニット
１２１…第１ヒータ
１２２…加熱量調節弁
１３０…第２加熱ユニット
１３１…第２ヒータ
１４０…第２冷却ユニット
１４１…第２圧縮機
１４２…第２凝縮器
１４３…第２膨張弁
１４４…第２蒸発器
１５３Ａ…第１圧力センサ
１５３Ｂ…第２圧力センサ

Claims (9)

1. 圧縮機、凝縮器、膨張弁、及び蒸発器が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、前記蒸発器によって温度制御対象の空気を冷却する冷却ユニットと、
   前記圧縮機から前記凝縮器に向けて流出する前記熱媒体の一部を分岐させ、第１ヒータ及び前記第１ヒータにおける前記熱媒体の流量を調節する加熱量調節弁を介して前記冷却ユニット側に戻し、前記第１ヒータによって前記温度制御対象の空気を加熱する第１加熱ユニットと、
   前記温度制御対象の空気を加熱する第２ヒータを有する第２加熱ユニットと、
   前記蒸発器、前記第１ヒータ及び前記第２ヒータを通過した前記温度制御対象の空気の温度を検出する温度センサと、
   前記冷却ユニット、前記第１加熱ユニット及び前記第２加熱ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、
   前記制御ユニットは、予め設定された前記温度制御対象の空気の目標温度と前記温度センサで検出される温度との差分に応じて前記加熱量調節弁の開度を上限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁が上限開度となった際に前記第２ヒータの加熱能力を増加させる、ことを特徴とする空気調和装置。
2. 前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記上限開度に制御される場合に、前記圧縮機の回転数を所定量だけ下げる、ことを特徴とする請求項１に記載の空気調和装置。
3. 前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度を前記上限開度と下限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記下限開度に制御される場合に、前記圧縮機の回転数を前記所定量だけ上げる、ことを特徴とする請求項２に記載の空気調和装置。
4. 第１圧縮機、第１凝縮器、第１膨張弁、及び第１蒸発器が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、前記第１蒸発器によって温度制御対象の空気を冷却する第１冷却ユニットと、
   前記第１圧縮機から前記第１凝縮器に向けて流出する前記熱媒体の一部を分岐させ、第１ヒータ及び前記第１ヒータにおける前記熱媒体の流量を調節する加熱量調節弁を介して前記第１冷却ユニット側に戻し、前記第１ヒータによって前記温度制御対象の空気を加熱する第１加熱ユニットと、
   第２圧縮機、第２凝縮器、第２膨張弁、及び第２蒸発器が熱媒体を循環させるように当該順序で配管により接続され、前記第２蒸発器によって温度制御対象の空気を冷却する第２冷却ユニットと、
   前記温度制御対象の空気を加熱する第２ヒータを有する第２加熱ユニットと、
   前記第１蒸発器、第２蒸発器、前記第１ヒータ及び前記第２ヒータを通過した前記温度制御対象の空気の温度を検出する温度センサと、
   前記第１冷却ユニット、前記第２冷却ユニット、前記第１加熱ユニット及び前記第２加熱ユニットを制御する制御ユニットと、を備え、
   前記制御ユニットは、予め設定された前記温度制御対象の空気の目標温度と前記温度センサで検出される温度との差分に応じて前記加熱量調節弁の開度を上限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁が上限開度となった際に前記第２ヒータの加熱能力を増加させる、ことを特徴とする空気調和装置。
5. 前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記上限開度に制御される場合に、前記第２圧縮機の回転数を所定量だけ下げる、ことを特徴とする請求項４に記載の空気調和装置。
6. 前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁の開度を前記上限開度と下限開度の範囲内で制御し、前記加熱量調節弁の開度が所定時間にわたって前記下限開度に制御される場合に、前記第２圧縮機の回転数を前記所定量だけ上げる、ことを特徴とする請求項５に記載の空気調和装置。
7. 前記制御ユニットは、前記加熱量調節弁が上限開度となった際に、通常加熱モードから予備ヒータ加熱モードに移行し、
   前記制御ユニットは、前記予備ヒータ加熱モードにおいて、前記目標温度と前記温度センサで検出される温度との差分に応じて前記第２ヒータの加熱能力を調節する、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の空気調和装置。
8. 前記第２ヒータは、電気ヒータであり、
   前記制御ユニットは、前記通常加熱モードにおいて、前記第２ヒータに基準加熱能力を出力させる、ことを特徴とする請求項７に記載の空気調和装置。
9. 前記制御ユニットは、前記予備ヒータ加熱モードで調節される前記第２ヒータの加熱能力が前記基準加熱能力以下となった際に、前記通常加熱モードに復帰する、ことを特徴とする請求項８に記載の空気調和装置。

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