JP6823063B2 - 高周波超音波トランスデューサ及び製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (17)
- 超音波トランスデューサであって、
フレームと、
前記フレームに固定されたトランスデューサ素子のアレイと、
前記アレイ内の前記トランスデューサ素子へつながる複数の導電路であって、前記フレームの表面から外方向に延在し、かつ電気導体に係合するように構成された導電面を有するリブを含む導電路と、
前記フレーム上に配置された1又は複数の位置合わせ構造であって、フレックス回路の露出トレースを前記導電路の前記リブに整列させるために、前記フレックス回路上のアライメント構造に嵌合するように構成された位置合わせ構造と、
を備える、超音波トランスデューサ。 - 各リブは、前記フレームに配置されたエポキシマトリックス材料で形成される、請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- エポキシマトリックスはフィラー材料を含む、請求項2に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記フィラー材料はシリカである、請求項3に記載の超音波トランスデューサ。
- 各リブは、トランスデューサ素子に隣接する領域に形成されたチャネル部に整列し、各チャネルは、前記導電路がリブになるために前記フレームの前記エポキシマトリックス材料の表面の上に隆起する地点に向かって減少する深さを有する、請求項2に記載の超音波トランスデューサ。
- 各リブは、前記リブ上に形成された、リブ頂部の表面積を増加させる複数のスクライブラインを含む、請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 各リブは、前記超音波トランスデューサの前記フレーム上の同一高さにおいて終端する、請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記超音波トランスデューサのリブは、前記超音波トランスデューサの前記フレーム上の異なる高さにおいて終端する、請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 超音波トランスデューサであって、
導電性フレームと、
前記導電性フレームに接続された圧電材料シートに形成された底面と頂面を有し、及び前記圧電材料シートの前記底面に接着されたレンズ材料を有するトランスデューサ素子のアレイと、
前記トランスデューサ素子の前記頂面を回路トレースへ接続する、複数の導電路と、
を備え、
前記導電路は、隣接リブから空間で分離され、かつ対応するトランスデューサ素子とやりとりする信号を搬送するために露出された回路トレースに係合するように構成された、外に向かって延在する導電面を有するリブを含む、超音波トランスデューサ。 - 複数の露出トレースを有するフレックス回路をさらに備え、前記フレックス回路の前記露出トレースは、前記リブに係合して、リブ頂部の前記導電面を介して前記アレイのトランスデューサ素子に電気接続される、請求項9に記載の超音波トランスデューサ。
- フレックス回路の対応するアライメント構造に係合するように構成された、1又は複数の位置合わせ構造をさらに備える、請求項9に記載のトランスデューサ。
- 前記フレックス回路は、前記露出トレースが前記リブと係合する領域の前記露出トレース間に配置された複数の穴を含み、前記穴は、前記フレックス回路が前記リブに接着されるときに、接着剤に前記穴を通過させて複数のリベットヘッドを形成させるように構成された、請求項10に記載の超音波トランスデューサ。
- 圧電材料の前記底面とレンズとの間に配設された、複数の整合層をさらに備え、前記整合層は、前記整合層内へ切り込まれ、かつ接着剤で充填された複数の切り込みスロットを備える、請求項9に記載の超音波トランスデューサ。
- 超音波トランスデューサであって、
フレームと、
前記フレームに接続された圧電材料シートに形成された、切断されたトランスデューサ素子のアレイと、
前記トランスデューサ素子に接続する複数の導電路であって、前記フレームに支えられた外方向に延在するリブを含み、かつフレックス回路の露出トレースに係合するように構成された導電面を有する、複数の導電路と、
前記フレックス回路上のアライメント構造と係合して前記フレックス回路の露出トレースを前記フレーム上の前記リブに整列させるように構成された、前記フレーム上の1又は複数の位置合わせ構造と、
を備える、超音波トランスデューサ。 - 超音波トランスデューサであって、
フレームと、
前記フレームに固定されたトランスデューサ素子のアレイと、
前記トランスデューサ素子から延在する複数の導電路であって、前記導電路が隣接リブから空間で分離された導電面を有する隆起リブを含む、複数の導電路と、
露出導電トレースの領域を有する1つ又は複数のフレックス回路であって、前記フレックス回路上の前記露出導電トレースは対応する隆起リブに整列かつ電気接続されて、前記露出導電トレースを前記アレイのトランスデューサ素子に電気接続する、1つ又は複数のフレックス回路と、
を備える、超音波トランスデューサ。 - 前記トランスデューサ素子のアレイの長さに沿って横並びに整列した露出トレースを有する複数のフレックス回路を含む、請求項15に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記複数のフレックス回路が、前記トランスデューサ素子から離れた位置で互いの上に積層された、請求項16に記載の超音波トランスデューサ。
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