JP6814248B2 - 硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物及びプリント配線板 - Google Patents

硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物及びプリント配線板 Download PDF

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Description

本発明は、硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物及びプリント配線板に関する。
例えば、プリント配線板材料として用いられるソルダーレジスト組成物は、外観向上や回路の隠蔽のために着色されている。一般的な着色されたソルダーレジスト組成物は、緑色であり、青色の着色剤と黄色の着色剤とが混合されている。黄色の着色剤は、光吸収の波長領域が、近年のフォトレジスト組成物のパターニング波長(350〜450nm)と重複している。したがって、従来の黄色の着色剤を含むフォトレジスト組成物は、微細なパターン描画の形成には黄色の着色剤の添加量に制限があった。そのため、青味の強いまたは緑色の薄いフォトレジスト組成物が主流となっている現状がある。緑色の薄いフォトレジストは、回路の隠蔽性に劣るだけでなく、熱による下地の変色により外観が変化したように見えるため好まれない。
これに対して、350〜450nmの波長範囲の吸光度が低い黄色のペリレン系着色剤を含む感光性樹脂組成物が提案されている(特許文献1)。
特開2009−258613号公報
しかしながら、特許文献1に記載のペリレン系着色剤は、染料系着色剤であり、顔料系着色剤よりも耐熱性が十分でなかった。そのため、耐熱性に優れる硬化性樹脂組成物を得ることが困難であった。
本発明は上記の問題を有利に解決するものであり、耐熱性に優れる硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、及び該硬化物を具備するプリント配線板を提供することを目的とする。
上記課題を解決する、本発明の一態様の硬化性樹脂組成物は、硬化性樹脂と、下記式(1)に示す着色剤と、を含有することを特徴とする。
Figure 0006814248
(式(1)中、R1及びR2は、それぞれアルキル基であり、m及びnは、それぞれ0〜6のいずれかの整数である。)
ここで、式(1)に示す着色剤は、下記式(2)に示す着色剤であることが好ましい。
Figure 0006814248
本発明の硬化性樹脂組成物の他の態様は、更に上記式(1)に示す着色剤以外の着色剤を含有することを特徴とする。
また、本発明の他の態様のドライフィルムは、上記硬化性樹脂組成物を、フィルム上に塗布及び乾燥して得られることを特徴とする。
また、本発明の他の態様の硬化物は、上記硬化性樹脂組成物又は上記ドライフィルムを硬化させてなることを特徴とする。
また、本発明の他の態様のプリント配線板は、上記硬化物を具備することを特徴とする。
本発明によれば、耐熱性に優れる硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、及び該硬化物を具備するプリント配線板を提供することができる。
本発明に係る着色剤の波長−吸光度グラフである。 硬化物のダム形状の説明図である。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化性樹脂と、下記式(1)に示す着色剤と、を含有することを特徴とする。
Figure 0006814248
式(1)中、R1及びR2は、それぞれアルキル基であり、m及びnは、それぞれ0〜6のいずれかの整数である。ここで、アルキル基は、例えば、炭素数1〜6のアルキル基であり、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基などである。
<式(1)に示す着色剤>
上記式に示す着色剤は、350〜450nmの波長領域での吸光度が低く、発色がよく、しかも従来の染料系着色剤よりも耐熱性に優れている。例えば、上記式に示す着色剤をアルカリ現像型硬化性樹脂組成物の黄色着色剤として用いることにより、黄色着色剤を含む硬化性樹脂組成物であっても高い解像性が得られ、また、耐熱性、分散安定性に優れている。
特性について詳述すると、上記(1)に示す着色剤を含む硬化性樹脂組成物は、当該着色剤の含有量が当該硬化性樹脂組成物中の固形分基準で10%であるときの乾燥塗膜の膜厚10±5μmの条件下において、吸光度が350〜450nmで2.0以下とすることができる。そのため、解像性が良好な硬化性樹脂組成物が得られる。
また、図1に、上記(2)に示す着色剤の波長−吸光度グラフを示す。なお比較のために特許文献1に示された染料系のオレンジに発色する着色剤ソルベントグリーン5(SG5)の波長−吸光度グラフを併せて示す。ソルベントグリーン5も吸光度が350〜450nmで2.0以下であるが、ソルベントグリーン5は後述する実施例で明らかなように耐熱性や分散安定性がない。これは、着色剤が染料という特徴起因によるものであり、溶解性が溶媒により左右される染料は、完全溶解であれば分子レベルで発色可能な一方、耐水性、耐熱性等に弱くなる。また、不溶解な溶媒の混在化では染料粒の発生や着色ムラおよび経時で染料の浮き出し等が発生する恐れがある。
また、上記(1)に示す着色剤を含む硬化性樹脂組成物は、当該着色剤の含有量が当該硬化性樹脂組成物中の固形分基準で10%であるときの乾燥塗膜の膜厚10±5μmの条件下において、測色計を用いた測色測定において、b*値を60以上とすることができる。このことは、上記(1)に示す着色剤は、発色が良いことを示している。上記(1)に示す着色剤は発色がよく、この着色剤を用いることにより、発色のよい硬化性樹脂組成物が得られる。
更に、上記(1)に示す着色剤は、TG/DTA測定において、−5%減量を300℃以上とすることができる。したがって、上記(1)に示す着色剤は、耐熱性に優れている。この着色剤を用いた硬化性樹脂組成物は耐熱性に優れている。
上記(1)に示す着色剤は、例えば、BASF社のルモゲンイエロー S0795などがある。式(1)に示す着色剤は、下記式(2)に示す着色剤であることが好ましい。
Figure 0006814248
上記(1)に示す着色剤の好適な配合量は、硬化性樹脂組成物中の溶剤を除く固形分基準で0.01〜60%であり、さらに好適には0.01〜50%である。なお、上記(1)に示す着色剤は、表面処理されていても表面処理されていなくてもよい。
<硬化性樹脂>
硬化性樹脂としては、熱硬化性樹脂と光硬化性樹脂を好適に用いることができる。
(熱硬化性樹脂)
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含むことにより、耐熱性が向上し、また、下地との密着性が向上する。熱硬化性樹脂を含む場合に、アルカリ可溶性樹脂と併用することができ、また、アルカリ可溶性樹脂を含まない組成とすることもできる。
熱硬化性樹脂は、好適には、分子中に環状エーテル基および環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)の少なくともいずれか一種を有する熱硬化性樹脂である。
このような分子中に環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性樹脂は、分子中に3、4または5員環の環状エーテル基若しくは環状チオエーテル基のいずれか一方または双方を有する化合物であり、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂などが挙げられる。
エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂、ビスフェノールP型エポキシ樹脂、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂などのビスフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂などのノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、フェノキシ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ノルボルネン型エポキシ樹脂、アダマンタン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートとの共重合エポキシ樹脂、エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体、CTBN変性エポキシ樹脂、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、フェニル−1,3−ジグリシジルエーテル、ビフェニル−4,4’−ジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールまたはプロピレングリコールのジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートなどが挙げられる。
多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。
分子中に2個以上の環状チオエーテル基を有する化合物としては、例えば、ジャパンエポキシレジン社製のビスフェノールA型エピスルフィド樹脂YL7000などが挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。
その他の熱硬化性樹脂としては、フェノキシ樹脂、尿素(ユリア)樹脂、メラミン樹脂などのトリアジン環含有樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ノルボルネン系樹脂、シアネート樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、マレイミド樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリアゾメチン樹脂、熱硬化性ポリイミド等が挙げられる。
(光硬化性樹脂(ラジカル重合))
光硬化性樹脂としては、特に、分子中に1個以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物が好ましく用いられる。エチレン性不飽和結合を有する化合物としては、公知慣用の光重合性オリゴマーおよび光重合性ビニルモノマー等が用いられる。
光重合性オリゴマーとしては、不飽和ポリエステル系オリゴマー、(メタ)アクリレート系オリゴマー等が挙げられる。(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
光重合性ビニルモノマーとしては、公知慣用のもの、例えば、スチレン、クロロスチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン誘導体;酢酸ビニル、酪酸ビニルまたは安息香酸ビニルなどのビニルエステル類;ビニルイソブチルエーテル、ビニル−n−ブチルエーテル、ビニル−t−ブチルエーテル、ビニル−n−アミルエーテル、ビニルイソアミルエーテル、ビニル−n−オクタデシルエーテル、ビニルシクロヘキシルエーテル、エチレングリコールモノブチルビニルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルビニルエーテルなどのビニルエーテル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート、;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシビバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌルレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。
本発明の硬化性樹脂組成物をインクジェット方式の印刷に用いる場合、本発明の硬化性樹脂組成物は、2官能(メタ)アクリレート、3官能以上の多官能(メタ)アクリレートおよび水酸基を有する(メタ)アクリレートのいずれか少なくとも1種を含むことが好ましい。
2官能(メタ)アクリレートの具体例としては、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、1,10−デカンジオールジアクリレートなどのジオールのジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールにエチレンオキサイドおよびプロピレンオキサイドの少なくとも何れか1種を付加して得たジオールのジアクリレート、カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレートなどのグリコールのジアクリレート、ビスフェノールA EO付加物ジアクリレート、ビスフェノールA PO付加物ジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、水添ジシクロペンタジエニルジアクリレート、シクロヘキシルジアクリレートなどの環状構造を有するジアクリレート、あるいはこれらに対応するメタアクリレートモノマーなどが挙げられる。
市販されている2官能(メタ)アクリレートとしては、ライトアクリレート1,6HX−A、1,9ND−A、3EG−A、4EG−A(共栄社化学社製の商品名)、HDDA、1,9−NDA、DPGDA、TPGDA(ダイセル・サイテック社製の商品名)、ビスコート♯195、♯230、♯230D、♯260、♯310HP、♯335HP、♯700HV、♯540(大阪有機化学工業社製の商品名)、アロニックスM−208、M−211B、M−215、M−220、M−225、M−240、M−270(東亞合成社製の商品名)などが挙げられる。
3官能以上の多官能(メタ)アクリレートの具体例としては、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールメタントリアクリレート、エチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレート、エピクロルヒドリン変性トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、エチレンオキシド変性リン酸トリアクリレート、エピクロルヒドリン変性グリセロールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、あるいはこれらのシルセスキオキサン変性物等に代表される多官能アクリレート、あるいはこれらに対応するメタアクリレートモノマー、3官能メタクリレートエステル、ε−カプロラクトン変性トリス(アクロキシエチル)イソシアヌレートなどが挙げられる。
水酸基を有する(メタ)アクリレートの具体例としては、2−ヒドロキシ−3−アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
水酸基を有する(メタ)アクリレートの市販品としては、アロニックスM−5700(東亞合成社製の商品名)、4HBA、2HEA、CHDMMA(以上、日本化成社製の商品名)、BHEA、HPA、HEMA、HPMA(以上、日本触媒社製の商品名)、ライトエステルHO、ライトエステルHOP、ライトエステルHOA(以上、共栄社化学社製の商品名)などが挙げられる。
(光硬化性樹脂(カチオン重合))
光硬化性樹脂としては、脂環エポキシ化合物およびビニルエーテル化合物等を好適に用いることができる。このうち脂環エポキシ化合物としては、3,4,3’,4’−ジエポキシビシクロヘキシル、2,2−ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロパン、2,2−ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)−1,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)メタン、1−[1,1−ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)]エチルベンゼン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)アジペート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(3,4−エポキシ)シクロヘキサンカルボキシレート、(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシル)メチル−3’,4’−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、エチレン−1,2−ビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボン酸)エステル、シクロヘキセンオキサイド、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアルコール、3,4−エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン等のエポキシ基を有する脂環エポキシ化合物などが挙げられる。市販品としては、例えば、ダイセル化学工業(株)製のセロキサイド2000、セロキサイド2021、セロキサイド3000、EHPE3150;三井化学(株)製のエポミックVG−3101;油化シェルエポキシ(株)製のE−1031S;三菱ガス化学(株)製のTETRAD−X、TETRAD−C;日本曹達(株)製のEPB−13、EPB−27などが挙げられる。
ビニルエーテル化合物としては、イソソルバイトジビニルエーテル、オキサノルボルネンジビニルエーテル等の環状エーテル型ビニルエーテル(オキシラン環、オキセタン環、オキソラン環等の環状エーテル基を有するビニルエーテル);フェニルビニルエーテル等のアリールビニルエーテル;n−ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル等のアルキルビニルエーテル;シクロヘキシルビニルエーテル等のシクロアルキルビニルエーテル;ハイドロキノンジビニルエーテル、1,4−ブタンジオールジビニルエーテル、シクロヘキサンジビニルエーテル、シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル等の多官能ビニルエーテル、αおよび/またはβ位にアルキル基、アリル基等の置換基を有するビニルエーテル化合物などが挙げられる。市販品としては、例えば、丸善石油化学(株)製の2−ヒドロキシエチルビニルエーテル(HEVE)、ジエチレングリコールモノビニルエーテル(DEGV)、2−ヒドロキシブチルビニルエーテル(HBVE)、トリエチレングリコールジビニルエーテルなどが挙げられる。
(アルカリ可溶性樹脂)
本発明の硬化性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有することができる。アルカリ可溶樹脂としては、カルボキシル基含有樹脂またはフェノール樹脂を用いることが好ましい。下地との密着性を向上させるだけでなく、特に、カルボキシル基含有樹脂を用いると、現像性の面からより好ましい。カルボキシル基含有樹脂は、エチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂でもよい。
(1)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸などの2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。
(2)エポキシ樹脂の水酸基を、さらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に、(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3)エポキシ化合物に、1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸などの不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸などの多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(4)ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、ノボラック型フェノール樹脂、ポリ−p−ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物などの1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物と、エチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に、(メタ)アクリル酸などの不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(5)1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に、不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(6)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネートなどのジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物などのジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に、酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。
(7)ジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロール酪酸などのカルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートなどの分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。
(8)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。
(9)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレンなどの不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。
(10)オキセタン樹脂に、アジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸などのジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に、2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。
(11)上述した(1)〜(10)のカルボキシル基含有樹脂に、1分子中に環状エーテル基と(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。
上述のカルボキシル基含有樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液による現像が可能になる。
また、カルボキシル基含有樹脂の酸価は、40〜200mgKOH/gの範囲が適当であり、より好ましくは45〜120mgKOH/gの範囲である。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g以上であるとアルカリ現像が容易となり、一方、200mgKOH/g以下である正常なレジストパターンの描画が容易となるので好ましい。
また、上述のカルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000以上であると、タックフリー性能、露光後の塗膜の耐現像性、解像性が良好となる。一方、重量平均分子量が150,000以下であると、現像性に優れる。
カルボキシル基含有樹脂は、上述以外のものも使用することができ、それぞれ1種類を単独で用いてもよく、複数種を混合して用いてもよい。
フェノール樹脂としては、フェノール性水酸基を有する化合物、例えば、ビフェニル骨格若しくはフェニレン骨格またはその両方の骨格を有する化合物、または、フェノール性水酸基含有化合物、例えば、フェノール、オルソクレゾール、パラクレゾール、メタクレゾール、2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、2,6−ジメチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、ピロガロール、フロログルシノール等を用いて合成した、様々な骨格を有するフェノール樹脂を用いてもよい。
例えば、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、Xylok型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類、ビスフェノールF、ビスフェノールS型フェノール樹脂、ポリ−p−ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物など公知慣用のフェノール樹脂を用いることができる。
これらは、単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
かかるフェノール樹脂の市販品としては、HF1H60(明和化成社製)、フェノライトTD−2090、フェノライトTD−2131(DIC社製)、ベスモールCZ−256−A(DIC社製)、シヨウノールBRG−555、シヨウノールBRG−556(昭和電工社製)、CGR−951(丸善石油社製)、または、ポリビニルフェノールのCST70、CST90、S−1P、S−2P(丸善石油社製)等を挙げることができる。これらのフェノール樹脂は、単独で、あるいは2種類以上を適宜組合せて用いることができる。
本発明においては、アルカリ可溶性樹脂として、カルボキシル基含有樹脂およびフェノール樹脂のいずれか一方、または、これらの混合物を用いてもよい。
なお、本発明の硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂としてエチレン性不飽和基を含まない材料を用いる場合には、上記光硬化性樹脂を併用することができる。光硬化性樹脂は、活性エネルギー線照射により、光硬化し、かつアルカリ可溶性樹脂のアルカリ水溶液への溶解を助長するものである。いずれの場合にも、1種類または複数種類の光硬化性樹脂を用いることができる。
硬化性樹脂及びアルカリ可溶性樹脂の合計配合量は、硬化性樹脂組成物中の溶剤を除く固形分基準で、10〜90質量%、好ましくは20〜90質量%の範囲が適当である。硬化性樹脂の配合量が10質量%以上の場合、被膜強度が向上する。一方、硬化性樹脂の配合量が80質量%以下の場合、硬化性樹脂組成物の粘性が適度となり、キャリアフィルムへの塗布性等が向上する。
<他の着色剤>
本発明の上記式(1)に示す着色剤の他に、着色剤を含有することができる。例えば、青色の着色剤を添加することにより、当該青色の着色剤と上記式(1)に示す着色剤とで緑色の硬化性樹脂組成物を得ることができる。従来の黄色着色剤と青色着色剤を混合して緑色とした場合では青みがかった緑色になるが、上記式(1)に示す着色剤と青色着色剤とを混合すると鮮やかな緑色にすることができる。
また、本発明の硬化性樹脂組成物に紫色の着色剤を添加することにより、当該紫色の着色剤と上記式(1)に示す着色剤とで黒色の硬化性樹脂組成物を得ることができる。なお、本発明の硬化性樹脂組成物に紫色の着色剤と青色の着色剤を添加することにより、黒色の硬化性樹脂組成物を得ることもできる。例えば、銅回路を有する基板上に、上記式(1)に示す着色剤を含む黒色硬化性樹脂組成物を使用して硬化膜を形成すると、従来の銅回路を有する基板上に形成した黒色硬化膜よりも黒い硬化塗膜とすることができる。
(青色着色剤)
青色着色剤としては、フタロシアニン系、アントラキノン系、ジオキサジン系、コバルト系等の、顔料系はピグメント(Pigment)、染料系はソルベント(Solvent)に分類されている化合物などがあり、具体的には、下記のようなカラーインデックス番号が付されているものを挙げることができる。また、これら以外にも金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
顔料系:Pigment Blue 15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,60;
染料系:Solvent Blue 35,45,63,67,68,70,83,87,94,97,104,122,136
(紫色着色剤)
紫色着色剤としては、具体的には、Pigment Violet 19,29,32,36,37,38,42;Solvent Violet 13,36;Pigment Black 1、Pigment Black 7、Pigment Brown 25等が挙げられる。
上記した青色着色剤や紫色着色剤の他にも、本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに色調調整等のため、他の色の着色剤を使用することができる。具体的には例えば、黒色着色剤、赤色着色剤、緑色着色剤、オレンジ色着色剤、茶色着色剤、白色着色剤、黄色着色剤等が挙げられる。
(黒色着色剤)
黒色着色剤としては、C.I.Pigment black 6、7、9、18等のカーボンブラック系の顔料、C.I.Pigment black 8、10等の黒鉛系の顔料、C.I.Pigment black 11、12、27,Pigment Brown 35等の酸化鉄系の顔料;例えば、戸田工業社製 KN−370の酸化鉄、三菱マテリアル社製 13M−Tのチタンブラック、C.I.Pigment black 20等のアンスラキノン系の顔料、C.I.Pigment black 13、25、29等の酸化コバルト系の顔料、C.I.Pigment black 15、28等の酸化銅系の顔料、C.I.Pigment black 14、26等のマンガン系の顔料、C.I.Pigment black 23等の酸化アンチモン系の顔料、C.I.Pigment black 30等の酸化ニッケル系の顔料、C.I.Pigment
black 31、32、BASFジャパン社製Lμmogen Black FK4280のペリレン系の顔料、Pigment Black 1のアニリン系の顔料および硫化モリブデンや硫化ビスマスも好適な顔料として例示できる。これらの顔料は、単独で、または、適宜組み合わせて使用される。特に好ましいのは、チタンブラック、四三酸化コバルトであり、これらは絶縁性、光硬化性を維持しつつ、沈降や色相に影響が無い範囲で添加することで耐熱性を向上し得る。
(赤色着色剤)
赤色着色剤としては、モノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などがあり、具体的には、下記のようなカラーインデックス番号が付されているものを挙げることができる。
モノアゾ系:Pigment Red 1,2,3,4,5,6,8,9,12,14,15,16,17,21,22,23,31,32,112,114,146,147,151,170,184,187,188,193,210,245,253,258,266,267,268,269;
ジスアゾ系:Pigment Red 37,38,41;
モノアゾレーキ系:Pigment Red 48:1,48:2,48:3,48:4,49:1,49:2,50:1,52:1,52:2,53:1,53:2,57:1,58:4,63:1,63:2,64:1,68;
ベンズイミダゾロン系:Pigment Red 171,175,176,185,208;
ぺリレン系:Solvent Red 135,179,Pigment Red 123,149,166,178,179,190,194,224;
ジケトピロロピロール系:Pigment Red 254,255,264,270,272;
縮合アゾ系:Pigment Red 144,166,214,220,221,242;
アントラキノン系:Pigment Red 168,177,216,Solvent
Red 149,150,52,207;
キナクリドン系:Pigment Red 122,202,206,207,209
(緑色着色剤)
緑色着色剤としては、フタロシアニン系、アントラキノン系があり、具体的には、Pigment Green 7,36,Solvent Green 3,5,20,28等を使用することができる。上記以外にも金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
(オレンジ色着色剤)
オレンジ色着色剤としては、具体的には、Pigment Orange 1,5,13,14,16,17,24,34,36,38,40,43,46,49,51,61,63,64,71,73等が挙げられる。
(茶色着色剤)
茶色着色剤としては、具体的には、Pigment brown23,25等が挙げられる。
(白色着色剤)
白色着色剤としては、Pigment white 4に示される酸化亜鉛、Pigment white 6に示される酸化チタン、Pigment white 7に示される硫化亜鉛が挙げられ、着色力と無毒性の点から特に酸化チタンが好ましく、例えば、富士チタン工業社製 TR−600、TR−700、TR−750、TR−840、石原産業社製 R−550、R−580、R−630、R−820、CR−50、CR−60、CR−90、チタン工業社製 KR−270、KR−310、KR−380等のルチル型酸化チタン、富士チタン工業社製 TA−100、TA−200、TA−300、TA−500、石原産業社製 A100、A220、チタン工業社製 KA−15、KA−20、KA−35、KA−90等のアナターゼ型酸化チタンが挙げられる。白色着色剤は少量、例えば、組成物中に0.1〜3質量%となるよう添加すれば隠蔽性を高める効果が期待できる場合がある。
(黄色着色剤)
黄色着色剤としては、モノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等があり、具体的には以下の着色剤が挙げられる。
モノアゾ系:Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,9,10,12,61,62,62:1,65,73,74,75,97,100,104,105,111,116,167,168,169,182,183;
ジスアゾ系:Pigment Yellow 12,13,14,16,17,55,63,81,83,87,126,127,152,170,172,174,176,188,198;
縮合アゾ系:Pigment Yellow 93,94,95,128,155,166,180;
ベンズイミダゾロン系:Pigment Yellow 120,151,154,156,175,181;
イソインドリノン系:Pigment Yellow 109,110,139,179,185;
アントラキノン系:Solvent Yellow 163,Pigment Yellow 24,108,193,147,199,202;
<光反応開始剤>
本発明の組成物には、光反応開始剤を含有させることができる。光反応開始剤としては、光照射によりラジカル、塩基、酸などを発生して硬化性樹脂を硬化させることができればいずれでもよい。光反応開始剤としては、アミノアセトフェノン系、ベンゾインエーテル系、ベンジルケタール系、アシルホスフィンオキシド系、オキシムエーテル系、オキシムエステル系、チタノセン系などの公知慣用の化合物が挙げられる。
光反応開始剤としては、以下に示す一般式(I)で表される構造部分を含むオキシムエステル系、一般式(II)で表される構造部分を含むα−アミノアセトフェノン系、一般式(III)で表される構造部分を含むアシルホスフィンオキサイド系、および一般式(IV)で表されるチタノセン系からなる群から選択される1種または2種以上を含有することが好ましい。
Figure 0006814248
Figure 0006814248
一般式(I)中、Rは、水素原子、フェニル基、アルキル基、シクロアルキル基、アルカノイル基またはベンゾイル基を表わす。Rは、フェニル基、アルキル基、シクロアルキル基、アルカノイル基またはベンゾイル基を表わす。
およびRにより表されるフェニル基は、置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えば、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、ハロゲン原子等が挙げられる。
およびRにより表されるアルキル基としては、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、アルキル鎖中に1個以上の酸素原子を含んでいてもよい。また、1個以上の水酸基で置換されていてもよい。
およびRにより表されるシクロアルキル基としては、炭素数5〜8のシクロアルキル基が好ましい。
およびRにより表されるアルカノイル基としては、炭素数2〜20のアルカノイル基が好ましい。
およびRにより表されるベンゾイル基は、置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えば、炭素数が1〜6のアルキル基、フェニル基等が挙げられる。
一般式(II)中、RおよびRは、各々独立に、炭素数1〜12のアルキル基またはアリールアルキル基を表わし、RおよびRは、各々独立に、水素原子、または炭素数1〜6のアルキル基を表わし、あるいは2つが結合して環状アルキルエーテル基を形成していてもよい。
一般式(III)中、RおよびRは、各々独立に、炭素数1〜10のアルキル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基またはハロゲン原子、アルキル基若しくはアルコキシ基で置換されたアリール基、または炭素数1〜20のカルボニル基(但し、双方が炭素数1〜20のカルボニル基である場合を除く。)を表わす。
一般式(IV)中、RおよびR10は、各々独立に、ハロゲン原子、アリール基、ハロゲン化アリール基、複素環含有ハロゲン化アリール基を表わす。
一般式(I)で表される構造部分を含むオキシムエステル系光反応開始剤としては、1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、下記式(I−1)で表される化合物、2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、および下記一般式(I−2)で表わされる化合物などが挙げられる。
Figure 0006814248
Figure 0006814248
一般式(I−2)中、R11は、一般式(I)におけるRと同義であり、R12およびR14は、それぞれ独立に、一般式(I)におけるRと同義である。R13は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(アルコキシル基を構成するアルキル基の炭素数が2以上の場合、アルキル基は1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有してもよい)またはフェノキシカルボン基を表す。
これらの中でも、上記式(I−2)で表される化合物が好ましい。
このようなオキシムエステル系光反応開始剤は、オキシムエステル基を複数有する化合物でもよい。
このようなオキシムエステル系光反応開始剤を使用する場合、露光に対する感度を向上させるため、一般式(II)で表される構造部分を含むα−アミノアセトフェノン系光反応開始剤などと併用することが好ましい。
一般式(II)で表される構造部分を含むα−アミノアセトフェノン系光反応開始剤としては、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。
一般式(III)で表される構造部分を含むアシルホスフィンオキサイド系光反応開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。
一般式(IV)で表されるチタノセン系光反応開始剤としては、ビス(η−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウムが挙げられる。
このような光反応開始剤の配合率は、硬化性樹脂100質量部に対して、好ましくは0.01〜100質量部、より好ましくは0.5〜80質量部の割合である。光反応開始剤の配合率が、硬化性樹脂100質量部に対し0.01質量部以上であると、光硬化性が良好となり塗膜剥離性や耐薬品性等の塗膜特性が良好となるので好ましい。一方、光反応開始剤の配合率が、硬化性樹脂100質量部に対し100質量部以下であると、深部硬化性に優れるので好ましい。
さらに、本発明の硬化性樹脂組成物には、上述した化合物以外の光反応開始剤や、光開始助剤および増感剤を使用することができ、例えば、ベンゾイン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、キサントン化合物、および、3級アミン化合物等を挙げることができる。
ベンゾイン化合物の具体例を挙げると、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルである。アセトフェノン化合物の具体例を挙げると、例えば、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンである。アントラキノン化合物の具体例を挙げると、例えば、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンである。チオキサントン化合物の具体例を挙げると、例えば、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンである。ケタール化合物の具体例を挙げると、例えば、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールである。ベンゾフェノン化合物の具体例を挙げると、例えば、ベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドである。
3級アミン化合物の具体例を挙げると、例えば、エタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアーMABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)等のジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアーEPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)である。
3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物が特に好ましい。ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが、毒性も低く好ましい。最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が紫外線領域にあるため、着色剤を用い、着色剤自体の色を反映した着色膜を提供することが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが、波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。
<熱硬化触媒>
本発明の硬化性樹脂組成物においては、さらに、熱硬化触媒を含有させることができる。熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物などを挙げることができる。また、市販されているものとしては、例えば、四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物およびその塩)などが挙げられる。さらに、これらには限られず、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、若しくはエポキシ基および/またはオキセタニル基とカルボキシル基の反応を促進するものであれば使用することができ、これらは単独で、または、2種以上を混合して使用することができる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくは、これら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。
熱硬化触媒の配合量は、通常用いられる割合で十分であり、例えば、硬化性樹脂100質量部に対し、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。
<その他の配合成分>
本発明の組成物には、さらに、硬化物の密着性、機械的強度、線膨張係数などの特性を向上させる目的で、無機充填材を配合することができる。このような無機充填材としては、例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、微粉状酸化ケイ素、無定形シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、雲母粉などの公知慣用の無機充填剤が使用できる。
本発明の組成物には、さらに、必要に応じて、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、t−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジンなどの公知慣用の重合禁止剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤およびレベリング剤の少なくとも何れか1種、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、酸化防止剤、光安定剤、分散剤、硬化促進剤、難燃剤、難燃助剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
本発明の組成物は、組成物の調製や粘度調整のために用いられる有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(DPM)、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などを使用することができる。これらの有機溶剤は、単独で、または、2種類以上を組み合わせて用いることができる。
本発明の硬化性樹脂組成物は、絶縁膜形成用の材料として有用である。また、本発明の硬化性樹脂組成物を用いることで、高品質のディスプレイ用部材を得ることができる。本発明の硬化性樹脂組成物は、その他、印刷インク、マーキングインク、インクジェットインク、フォトマスク作製材料、印刷用プルーフ作製材料、エッチングレジスト、ソルダーレジスト、カバーレイ、ソルダーダム、層間絶縁材、プラズマディスプレイパネル(PDP)の隔壁、誘電体パターン、電極(導体回路)パターン、電子部品の配線パターン、導電ペースト、導電フィルム、ブラックマトリックス等の遮蔽画像等の作製に用いられる。
本発明の硬化性樹脂組成物は、特にプリント配線板の絶縁性硬化被膜の形成に好適であり、絶縁性永久硬化被膜の形成にさらに好適であり、特にソルダーレジスト及びカバーレイの形成に好適である。
本発明の組成物は、キャリアフィルム(支持体)上に塗布、乾燥させて得られるドライフィルムの形態とすることができる。ドライフィルム化に際しては、本発明の組成物を上記有機溶剤により希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布し、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥して、乾燥塗膜とすることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で0.1〜100μm、好適には0.5〜50μmの範囲で適宜選択される。
キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、0.1〜150μmの範囲で適宜選択される。
この場合、キャリアフィルム上に塗膜を成膜した後、塗膜の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、塗膜の表面にさらに、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、カバーフィルムを剥離する際に、塗膜とカバーフィルムとの接着力が、塗膜とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。
また、本発明の組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整した後、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法、ダイコーター法、インクジェット印刷等の方法により塗布して、約50℃〜90℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることにより、タックフリーの乾燥塗膜を形成することができる。また、本発明の組成物をキャリアフィルム上に塗布し、乾燥させてフィルムとして巻き取ったドライフィルムの場合、これを、ラミネーター等により組成物の塗膜が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に硬化性樹脂組成物の層を形成することができる。
これらの塗膜を、例えば、活性エネルギー線照射により光硬化させるか、または、100℃〜250℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、硬化物を得ることができる。
上記基材としては、あらかじめ回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル・シアネート樹脂等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。
本発明の組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブンなど、蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、および、ノズルより支持体に吹き付ける方法を用いて行うことができる。
活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接活性エネルギー線を照射し画像を描くダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機の光源としては、最大波長が350〜410nmの範囲にある光を用いているものであればよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には20〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。
また、現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。
以下、実施例、参考例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記に限定されるものでないことはもとよりである。なお、以下において「部」、「%」とあるのは、特に断りのない限り「質量部」、「質量%」を示す。
(合成例1)
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート600gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製、商品名;EPICLON(登録商標)N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6)1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、及びハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一溶解した。次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)415g、テトラヒドロ無水フタル酸456.0g(3.0モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行い、冷却した。このようにして固形分酸価89mgKOH/g、固形分65%のアルカリ可溶性樹脂溶液を得た。
[硬化性樹脂組成物の調製]
表1〜4に示す各成分を、適宜有機溶剤を添加し分散させ、3本ロールミルで混練し、硬化性樹脂組成物を得た。なお、表1〜4において、各成分の含有量は、溶剤を除いた固形分である。また、黄色の硬化性樹脂組成物、緑色の硬化性樹脂組成物については適宜重合禁止剤を添加した。ただし、同色調内では同部数とした。
Figure 0006814248
Figure 0006814248
Figure 0006814248
Figure 0006814248
<アルカリ可溶性樹脂>
合成例1(エポキシアクリレート構造を有するカルボキシル基含有樹脂)
<熱硬化性樹脂>
N870:ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製)
828:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製社製)
<光重合開始剤>
TPO:アシルフォスフィンオキサイド系光反応開始剤(BASFジャパン社製)
Irg784:チタノセン系化合物(BASFジャパン社製)
OXE02:オキシムエステル系化合物(BASFジャパン社製)
Irg907:アセトフェノン系化合物(BASFジャパン社製)
<光硬化性樹脂>
DPHA:6官能アクリレートモノマー(日本化薬社製)
TMPTA:トリメチロールプロパントリアクリレート(日本化薬社製)
A−NOD−N:1,9−ノナンジオールジアクリレート(新中村化学工業社製)
ラロマーLR8863:EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート(BASFジャパン社製)
<熱硬化触媒>
メラミン
DICY:ジシアンジアミド
2PHZ:イミダゾール(四国化成工業社製)
<着色剤>
青色:ピグメントブルー15:3(FARSTOGEN BULE FA5380,DIC社製)
紫色:ピグメントバイオレット37(CROMOPHTAL VIOLET B,BASF社製)
黄色:式(2)に示す化合物
Figure 0006814248
なお、比較のために、ソルベントグリーン5(SG5)(PLAST YELLOW 8025,有本化学社製)を別途用意した。
<消泡剤>
シリコーン系消泡剤
<その他:無機充填材>
シリカ
[実施例1〜7、参考例1〜18、比較例1〜4の評価方法]
実施例1〜7、参考例1〜18、比較例1〜4の評価結果を表5〜8に示す。なお、各評価の評価方法は以下のとおりである。
Figure 0006814248
Figure 0006814248
Figure 0006814248
Figure 0006814248
<色調>
目視により判定した。
<評価硬化塗膜の作製>
(光硬化タイプ)
参考例1〜3,5〜13および比較例1〜3の硬化性樹脂組成物を洗浄したガラス上にスクリーン印刷で乾燥後20μmとなるように全面塗布し、熱風循環式乾燥炉において80℃10分間乾燥させた。この乾燥塗膜に、株式会社オーク社製DXP−3580を用いてステップタブレット(Stuffer41段)で8段となる露光量で照射を行った。次いで、硬化性樹脂組成物を熱風循環式乾燥炉にて150℃で60分硬化させて硬化塗膜を得た。
(熱硬化タイプ)
参考例4,14〜18および比較例4の硬化性樹脂組成物を洗浄したガラス上にスクリーン印刷で乾燥後20μmとなるように全面塗布し、熱風循環式乾燥炉にて150℃で60分硬化させて硬化塗膜を得た。
(インクジェットタイプ)
実施例1〜7の硬化性樹脂組成物を、富士グローバルグラフィックスシステムズ株式会社製インクジェットプリンターDMP−2831、10pLカートリッジに充填し洗浄したガラス上にインクジェット印刷を行ったところ、射出性が良好であった。硬化条件としては、高圧水銀灯を有するコンベア炉を用いて露光量1000mJ/cmで光照射し、硬化性樹脂組成物を硬化させて硬化塗膜を得た。
<色度>
上記作製方法により作製した硬化塗膜を色度測定器コニカミノルタ社製CM−2600dによりSCIモードでCIEL方式にて測定した。黒色の樹脂組成物はL*の値が低く、かつ、a*、b*が0に近いほうがより黒味であり好ましい。緑色の樹脂組成物はa*の値が低いほうがより緑味であり好ましい。黄色の樹脂組成物はb*の値が高いほうがより黄色味が強くなり好ましい。
<硬化物外観>
上記作製方法により作製した硬化塗膜表面を光学顕微鏡にて25倍程度で観察した。着色状態が均一である場合を○、着色のムラ模様が確認された場合を×とした。
<150℃プレスでの染み出し>
上記作製方法により作製した硬化物上に150℃でPETフィルムを貼ったときのフィルムに硬化性樹脂組成物が転写されるかを調べた。評価は次のとおりとした。
○:PETへの着色なし
×:PETが黄色に変色した
<感度>
参考例1〜3,5〜13及び比較例1〜3の硬化性樹脂組成物をメック社製CZ8100にて前処理した銅厚15μmの片面プリント配線板に乾燥後20μmとなるように全面塗布し、熱風循環式乾燥炉において80℃30分間乾燥させた。この乾燥塗膜に、株式会社オーク社製DXP−3580を用いてステップタブレット(Stuffer41段)を介して150mJ/cmで露光し、現像30℃の1質量%炭酸ナトリウム溶液によりスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行った際残存するステップタブレットのパターンを読んだ。残存段数が多いほど、感度が良好であり好ましい。
<解像性評価用サンプルの作製>
参考例1〜3,5〜13及び比較例1〜3の硬化性樹脂組成物をメック社製CZ8100にて前処理した銅厚15μmの片面プリント配線板に乾燥後20μmとなるように全面塗布し、熱風循環式乾燥炉において80℃30分間乾燥させた。この乾燥塗膜上に株式会社オーク社製DXP−3580を用いてステップタブレット(Stuffer41段)で8段となる露光量でライン幅100μmのダムパターンを描画した。次いで30℃の1質量%炭酸ナトリウム溶液によりスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行った後に、硬化物の100μmのダム形状を観察した。ダム形状の評価は、図2に示すとおりとした。
<分散安定性>
各実施例、各参考例及び各比較例の硬化性樹脂組成物を密封し、15℃雰囲気下にて1か月保管した後、開封した際の着色剤の分離を確認した。状態に変化がない場合を○、着色剤の分離が確認された場合を×と評価した。
表5〜8から、着色剤として式(2)の化合物を用い、光硬化タイプである樹脂組成物の色調が黄色の参考例1,5,12,13、黒色の参考例2,6、緑色の参考例3,7〜11のいずれも、適切な色調と、感度、解像性に優れ、且つ、耐熱性、分散安定性、外観に優れていた。また、熱硬化タイプである参考例4,14〜18は、アルカリ可溶性樹脂を含まない例であり、黄色の熱硬化性樹脂組成物(参考例4,14)、黒色の熱硬化性樹脂組成物(参考例15)、緑色の熱硬化性樹脂組成物(参考例16〜18)として耐熱性に優れていた。さらに、インクジェットタイプである実施例1〜7は、適切な色調と、耐熱性、分散安定性、外観に優れていた。
これに対し、着色剤としてソルベントグリーン5を使用した比較例1〜4は、耐熱性、外観、分散安定性が劣っていた。

Claims (4)

  1. 硬化性樹脂と、下記式(1)に示す着色剤と、を含有する硬化性樹脂組成物であって、
    前記硬化性樹脂が、2官能(メタ)アクリレート、3官能以上の多官能(メタ)アクリレートおよび水酸基を有する(メタ)アクリレートのいずれか少なくとも1種であることを特徴とするインクジェット方式の印刷用硬化性樹脂組成物。
    Figure 0006814248
    (式(1)中、R1及びR2は、それぞれアルキル基であり、m及びnは、それぞれ0〜6のいずれかの整数である。)
  2. 更に前記式(1)に示す着色剤以外の着色剤を含有する請求項1記載の硬化性樹脂組成物。
  3. 請求項1又は2に記載の硬化性樹脂組成物を硬化させてなることを特徴とする硬化物。
  4. 請求項3に記載の硬化物を具備することを特徴とするプリント配線板。
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JP6759323B2 (ja) * 2018-03-28 2020-09-23 太陽インキ製造株式会社 感光性樹脂組成物、2液型感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびプリント配線板
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4523679B2 (ja) * 1998-06-22 2010-08-11 太陽インキ製造株式会社 ハロゲンフリーの着色顔料を用いたプリント配線板用緑色レジストインキ組成物
JP2001109197A (ja) * 1999-10-05 2001-04-20 Canon Inc イエロートナー及びフルカラー画像形成方法
JP4343825B2 (ja) * 2004-12-28 2009-10-14 キヤノン株式会社 イエロートナー
JP2007003807A (ja) * 2005-06-23 2007-01-11 Sumitomo Bakelite Co Ltd 感光性樹脂組成物および該組成物を用いたソルダーレジスト
JP2009122504A (ja) * 2007-11-16 2009-06-04 Toyo Ink Mfg Co Ltd ハロゲン原子を含まない紫外線硬化型プリント配線基板用緑色インキ組成物、その製造方法およびそれをコーティングした基板
JP5352175B2 (ja) * 2008-03-26 2013-11-27 太陽ホールディングス株式会社 感光性樹脂組成物及びその硬化物、並びにその硬化物からなるソルダーレジスト層を有するプリント配線基板

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