JP6813661B2 - 親水性蒸着膜及び蒸着材料 - Google Patents
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Description
特許文献1には、リン酸又はその誘導体とホウ酸又はその誘導体と溶媒からなる表面処理剤を塗布した後に熱処理する親水膜の成膜方法が記載されている。
特許文献1では、リン酸膜の耐久性を向上させるためにリン酸又はその誘導体とホウ酸又はその誘導体と溶媒からなる表面処理剤を塗布した後に熱処理する親水膜の成膜方法が記載されている。しかしながら、ネットワークカメラに用いられるプラスチックカバーのような曲率の大きな形状の基材に対して表面処理剤を均等な膜厚に塗布することは困難であり、膜厚制御が必要な光学薄膜として使用できない。また、塗布後に熱処理が必要であるため、プラスチックのような熱に弱い基材への成膜は行うことができない。
本発明は、耐水性が高く、曲率の大きい基材、複雑な形状の基材又は高温に加熱することが困難な基材にも形成可能な親水性蒸着膜を提供することを目的とする。また、精密な膜厚の制御が可能で屈折率が安定した親水性蒸着膜を提供する。
また、本発明は、構成元素として少なくともリン、酸素、及び3価又は6価となり得る金属元素を含むことを特徴とする蒸着材料であって、
前記3価又は6価となり得る金属を含む化合物が、セリウム化合物、タングステン化合物、鉄化合物、ガリウム化合物、及びビスマス化合物からなる群から選択される少なくとも一つであることを特徴とする蒸着材料に関する。
本発明の親水性蒸着膜、及びこれを成膜するための蒸着材料の、親水性能と耐水性の影響について、以下に詳述する。
本発明の親水性蒸着膜の製造方法は、蒸着材料を気化させ基材上に堆積させる工程を含むことが好ましい。
本発明で成膜可能な基材はガラス、プラスチック成型体、フィルムなど材質や形状は問わず、他の薄膜が成膜してある物体も基材として用いることができる。
また、本発明は基材上に親水性蒸着膜を含む多層膜であって、該親水性蒸着膜が最表面に形成された多層膜、として用いることも好ましい態様である。
成膜される薄膜は、ナノオーダーで膜厚を制御することが可能で、光学薄膜としてミラーなどの多層膜を作製することも可能である。例えば、親水性蒸着膜の膜厚は、好ましくは5〜200nmであり、より好ましくは25〜100nmである。
材料が混合物であっても蒸着法にて成膜が可能であるが、物質の全てが同時に蒸発するとは限らず、構成している物質固有の融点や蒸発温度により、材料を加熱してすぐに蒸発する物質や高温まで加熱しないとなかなか蒸発しない物質がある。
蒸着材料の原料としてはリン酸化合物を用いることが好ましい。親水性を発揮する成分であるリン酸は、常温において液体で存在しており、そのままでは蒸着材料として使用することができない。また、リン酸と他の材料を混合するとペースト状になり、混合容器から取り出しにくく、また、成形性が悪化するなどの欠点がある。加えて、焼成時にリン酸の縮合に伴い大量の水蒸気が発生することから、焼成装置の損耗が懸念される。よって、本発明において使用するリン酸材料としては、リン酸カルシウムやリン酸アルミニウムといった、常温において固体で存在するリン酸化合物が好ましい。
リン酸化合物は特に制限されず、種々の態様のものを用いることができる。例えば、リン酸アルミニウム、ヒドロキシアパタイトに代表されるリン酸カルシウム、リン酸セリウム、リン酸マグネシウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸アンモニウム、リン酸バリウム、リン酸コバルト、リン酸リチウム、リン酸ホウ素、リン酸イットリウム、リン酸鉄、などのリン酸化合物が挙げられる。
一方、同時に生じた酸化アルミニウムは真空雰囲気(1.0×10−3Pa)での蒸発温度が2000〜2200℃付近であり、揮発せず材料内にとどまり続ける。そのため、成膜された親水性蒸着膜にはアルミニウムが含まれず、リンと酸素からなる親水性蒸着膜となってしまう。前述の通り、リン酸のみの親水性蒸着膜では屋外での親水性能の維持ができないので、リン酸アルミニウムだけでは耐久性に優れる親水性蒸着膜を得ることはできない。
そこで本発明者らは先述したリン酸の固定に関する考察から、蒸着材料の原料としてリン酸アルミニウムやヒドロキシアパタイトをはじめとするリン酸化合物に、リン酸と結合力の大きい3価又は6価となり得る金属を含む酸化物又はフッ化物などの金属化合物を混合した蒸着材料を作製した。そして、これを蒸着させて得られたリン酸と3価又は6価の金属を含む親水性蒸着膜は、耐水性が向上して長期間にわたり親水性能が維持できることを見出した。
しかし、全ての3価又は6価となり得る金属を含む化合物がリン酸化合物からなる親水性蒸着膜の耐水性向上に寄与するわけではない。当該化合物の中には蒸発温度の高い物質と低い物質があり、リン酸化合物との混合物を蒸発させる場合、当該化合物の蒸発温度とリン酸化合物の熱分解温度が近しいほうが好ましい。酸化イットリウムや酸化スカンジウムなどリン酸化合物の分解温度より大幅に高い蒸発温度である化合物である場合、先にリン酸が蒸発してしまい、リン酸アルミニウムで説明したときと同様にリン酸蒸着膜中に3価又は6価となり得る金属を含ませることが困難である。
一方、酸化モリブデンなどリン酸化合物の分解温度より大幅に低い蒸発温度を有する化合物の場合も、リン酸化合物が分解されるよりも先に蒸発してしまい、うまくリン酸蒸着膜中に3価又は6価となり得る金属を含ませることが困難となったり、あるいはリン酸化合物よりも優先的に蒸発して膜中の金属元素濃度が過多となることで親水性能が低下するといった問題が起こってしまう。
よって3価又は6価となり得る金属を含む化合物の真空状態(1.0×10−3Pa)での蒸発温度は、リン酸化合物の熱分解温度±500℃が好ましく、±350℃がより好ましい。
すなわち、蒸着材料に含まれる3価又は6価となり得る金属を含む化合物としては、ランタノイド化合物、タングステン化合物、鉄化合物、インジウム化合物、ガリウム化合物、及びビスマス化合物からなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましい。より好ましくは、酸化セリウム及びフッ化セリウムなどのセリウム化合物、酸化タングステンなどのタングステン化合物、鉄化合物、ガリウム化合物、並びにビスマス化合物からなる群から選択される少なくとも一つである。さらに好ましくは酸化セリウム、及びフッ化セリウムからなる群から選択される少なくとも一つである。
また、親水性蒸着膜中に含まれる、3価又は6価となり得る金属元素としては、ランタノイド、タングステン、鉄、インジウム、ガリウム、及びビスマスなどからなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましい。より好ましくはセリウム、タングステン、鉄、ガリウム、及びビスマスなどからなる群から選択される少なくとも一つであり、さらに好ましくはセリウム、鉄、ガリウム、及びビスマスからなる群から選択される少なくとも一つであり、特に好ましくはセリウムである。
原料の混合及び造粒には、ボールミルなど公知の混合機を用いることができる。造粒の際には、アクリル系バインダーなど公知のバインダーを用いてもよい。バインダーの添加量は、リン酸化合物及び3価又は6価となり得る金属を含む化合物の合計100質量部に対して、5〜20質量部程度が好ましい。
該蒸着材料を用いて得られた薄膜には、リン、酸素、及び3価又は6価となり得る金属が含まれる。該薄膜は親水性能を発現するとともに耐水性能も持ち合わせるため、長期間親水性膜として使用することができる。
また、80.0質量%以下であると、膜中に親水性を発現させるリン酸基が十分に存在するため、接触角が小さくなり好適な親水性能が得られる。
一方、親水性蒸着膜中のリンの含有量は、19.0〜99.0質量%程度であることが好ましい。
<蒸着膜中の成分分析方法>
例えば、P、Ca及びCeを含有する親水性蒸着膜の成分分析の例を以下に示す。
親水性蒸着膜が成膜されたポリカーボネート基材表面から励起されたP−Kα線、Ca−Kα線、及びCe−Lα線の蛍光X線強度を測定する。装置は波長分散型Rigaku社製ZSX Primus II(以下、XRFと表記する)、X線管にはサイドウィンドウ型のRh対陰極のX線管を使用する。その他の測定条件は表1にまとめて示す。定量法はファンダメンタルパラメータ(FP)法を用いる。
1.5質量%以上であると、蒸着膜中に十分な量の金属を含有させることができる。一方、42.0質量%以下であると、蒸着膜中のリン酸の量が十分であり、良好な親水性を発揮する。
一方、蒸着材料中のリン酸化合物の含有量は、50〜98質量%程度であることが好ましい。
<親水性蒸着膜の成膜に用いる蒸着材料作製>
ヒドロキシアパタイト(白色粉末、平均粒径10μm、純度98%以上)及び酸化セリ
ウム(淡黄色粉末、平均粒径1.35〜1.75μm、純度99.9%)を、酸化セリウムの質量比率が10質量%になるようにそれぞれ評量し、10Lのボールミルにて回転数70rpmにて30分間混合を行った。混合後、有機(アクリル)系バインダー(セラモ)を、該混合物100質量部に対し15質量部加えボールミルで再度10分間混合を行った。
その後、一軸加圧成形機で400kgf/cm 2 の圧力をかけて成形体を作製した後粉砕し、目開き1.18〜2.00メッシュの篩で粒度を1〜2mmに調節し、顆粒状の成形体を得た。これを1.125Lのアルミナるつぼに投入し後、焼成装置において昇温スピード100℃/時間にて1100℃まで上昇させ、2時間保持した後に室温まで冷却し、顆粒状のリン酸蒸着材料を得た。
真空蒸着装置(ドーム径Φ900mm、蒸着距離890mm)を用いて、ポリカーボネート基材(直径74.5mm、厚さ2.0mm)をドームへ設置し、前述のリン酸蒸着材料を、蒸着装置内へ設置した。チャンバー内を1.0×10−3Pa以下まで減圧し、シャッターを閉じたまま、3分間リン酸蒸着材料に電子ビームを照射して、溶かし込みを行った。
次に、溶かし込んだリン酸蒸着材料に成膜電流170mA加速電圧6kVの電子ビームを当て、気化させた親水薄膜成分を基材上に堆積させ、膜厚100nmの親水性蒸着膜を形成した。この時、成膜レートは2Å/secであり、チャンバー内を1.2×10−2Paになるように酸素を導入した。
真空装置を大気圧に戻し、取り出した基板を成膜基板とした。
協和界面化学社製接触角計CA−X150を用いて、成膜基板の膜面に純水2.5μlを滴下し、画像処理式の接触角測定を実施したところ、4.5°であり、良好な親水性能が得られていることがわかった。
一般的に、純水の接触角が90°より小さい場合は親水性、90°より大きい場合を疎水性と呼ぶが、本発明では親水性蒸着膜の実用性を考慮し、純水の接触角60°以下(好ましくは50°以下)を親水性膜とする。
成膜基板をXRFを用いてポリカーボネート機材上の成分分析を行ったところ、リンと酸素のほかにCa、Ceが検出された。成分分析後、純水をためた容器に2時間浸漬させた後、XRFを用いて、再度ポリカーボネート機材上の成分分析を行い、基板表面上に残存膜の成分を分析したところ、浸漬試験後もリン、Ca、Ceが検出され、リンは薄膜中に残存しており、親水性蒸着膜としての成分が溶出していなかった。
作製された成膜基板を屋外に設置し、毎日、霧吹きにてイオン交換水を基板に吹きかけた。基板の水の濡れ広がりを確認し、耐久性の評価を行った。この時、水の濡れ広がりが目視で5割以下となった場合に評価を止め、その時の日数を記録した。5週間以上経過した後も親水性能が維持されていた。
酸化セリウムを質量比率で2質量%とした他は、実施例1と同様に蒸着材料を作製し、
基材に成膜して実施例2の成膜基板を得た。親水性能の評価、浸漬試験、屋外暴露試験を行ったところ、実施例1と同様に耐水性の高い親水性蒸着膜を得ることができた。
また、実施例1の製造例において、原料のリン酸化合物の成分や混合する金属酸化物を表2のように変えて、実施例2〜17の成膜基板を得た。それらの評価結果を表2に示す。
実施例1で得られた蒸着材料を用いて、実施例1と同様にしてBK−7ガラス基板に膜厚100nmの親水性蒸着膜を成膜した。分光エリプソメータ(J.A.Woollam製EC−400)を用いてこの親水性蒸着膜の屈折率nを求めたところ、n=1.64@550nmであった。この薄膜は透明であり、光学薄膜として他の多層膜と組み合わせて使用することが可能である。
17層光学ミラーの最表面にこの親水性蒸着膜を用いる場合の光学設計の例を図1及び表3に示す。またこのミラーの光学特性を図2に示す。このミラーは長期間親水性能を維持することができ、紫外線なども必要としないことから、屋内用や医療用としての用途で使用することが可能である。
実施例1で用いたリン酸カルシウム粉末に対してフッ化アルミニウム粉末(白色粉末、平均粒径38.5μm、純度99.9%)の質量比率が10質量%になるように混合して、実施例1と同様に蒸着材料を作製した。得られた蒸着材料を用いて、実施例1と同様に成膜基板を得て、親水性能の評価、浸漬試験、屋外暴露試験を行った。初期接触角は4.6°と良好な親水性能を示したが、薄膜中にアルミニウムは含有されておらず、屋外暴露試験において1週間で親水性能が失われてしまい、耐水性が低かった。
原料のリン酸化合物の成分や混合する金属酸化物を表2のように変えて、比較例2〜7の成膜基板を得た。これらの評価結果を表2に示す。
Claims (5)
- 親水性蒸着膜であって、
前記親水性蒸着膜が、構成元素として少なくともリン、酸素、及び3価となり得る金属元素を含み、
前記3価となり得る金属元素が、セリウム、鉄、ガリウム、及びビスマスからなる群から選択される少なくとも一つであり、
前記3価となり得る金属元素の含有量が、リン及び含有金属元素の合計を基準として、0.7〜80.0質量%であり、
前記親水性蒸着膜中の前記リンの含有量は、19.0〜99.0質量%であることを特徴とする親水性蒸着膜。 - 構成元素として少なくともリン、酸素、及び2種以上の金属元素を含み、前記金属元素のうち少なくとも1種は3価となり得る金属元素である蒸着材料であって、
前記3価となり得る金属を含む化合物が、セリウム化合物、鉄化合物、ガリウム化合物、及びビスマス化合物からなる群から選択される少なくとも一つであり、
前記蒸着材料が、リン酸化合物を含有し、
前記蒸着材料中の前記リン酸化合物の含有量が、50〜98質量%であることを特徴とする蒸着材料。 - 前記3価となり得る金属元素の含有量が、リン酸及び含有金属元素の合計を基準として、1.5〜42.0質量%である請求項2に記載の蒸着材料。
- 蒸着材料を気化させ基材上に堆積させる工程を含む親水性蒸着膜の製造方法であって、
該蒸着材料が、請求項2又は3に記載の蒸着材料である製造方法。 - 基材上に親水性蒸着膜を含む多層膜であって、
該親水性蒸着膜が最表面に形成されており、
該親水性蒸着膜は、請求項1に記載の親水性蒸着膜である多層膜。
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